Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластин Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластинСтраница 8
Жидкостная очистка предусматривает использование водных и других растворов различных реактивов. Целый ряд органических жировых загрязнений не растворяется в воде и препятствует смачиванию водой и большинством растворов обрабатываемой поверхности (поверхность гидрофобная). Для обеспечения равномерной очистки поверхность пластин и подложек переводят в гидрофильное, т. е. хорошо смачиваемое водой, состояние.
* Процесс удаления жировых загрязнений, сопровождаемый переводом поверхности из гидрофобного состояния в гидрофильное, называется обезжириванием.
Сухая очистка основана на использовании отжига, газового, ионного и плазмохимического травления. Эти способы исключают применение дорогостоящих и опасных в работе жидких химических реактивов; они более управляемы и легче поддаются автоматизации. Процессы сухой очистки являются наиболее эффективными также при обработке локальных участков и рельефной поверхности.
4.2. Способы жидкостной обработки пластин и подложек.
К способам жидкостной обработки поверхности пластин и подложек относят физическое и химическое обезжиривание, химическое и электрохимическое травление, промывание в воде.
4.2.1. Обезжиривание.
Физическое обезжиривание основано на отрыве молекул жира от поверхности при ее взаимодействии с органическими растворителями. Отрыв вызывается собственными колебаниями молекул жира и притяжением их молекулами растворителя. Для этого пластины (подложки) погружают в резервуар (ванну) с растворителем. После отрыва молекулы жира равномерно распределяются по всему объему ванны, что приводит к загрязнению растворителя и обратному процессу - адсорбции молекул жира очищенной поверхностью. Во избежание последнего требуется постоянное освежение растворителя.
В качестве растворителей наиболее часто применяют четыреххлористый углерод, бензол, толуол, изопропиловый спирт, фреон и др., в которых эффективно растворяется большинство жировых загрязнений.
Определяющими параметрами процесса являются температура и время. Растворимость жиров увеличивается с повышением температуры. Поэтому обезжиривание осуществляют в горячих или кипящих растворителях.
РАЙТ (Wright) Томас (1711-86) , английский астроном. Первым предложил (1750) модель Млечного Пути как кольца, состоящего из звезд. Считал, что туманности являются далекими звездными системами.
ЗОНДСКИЕ ОСТРОВА , в составе Малайского арх. Св. 1,5 млн. км2. Разделяются на Б. и М. Зондские о-ва. Наибольшие острова - Калимантан, Суматра, Сулавеси, Ява. Рельеф преимущественно горный, активный вулканизм. Экваториальные леса, на юге муссонные леса и саванны. Большая часть принадлежит Индонезии.
ЮЖНАЯ АЗИЯ , природная область в Азии, охватывающая п-ов Индостан с близлежащими островами, Индо-Гангскую равнину и ее горное обрамление. Площадь 5,1 млн. км2. Тропические леса, саванны, на западе - участки пустынь. Тропическое земледелие (главным образом на равнинах). На территории Юж. Азии расположены Бангладеш, Бутан, Индия, Мальдивы, Непал, Пакистан, Шри-Ланка. Иногда в состав Юж. Азии включают страны Юго-Восточной Азии.