Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластин Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластинСтраница 8
Жидкостная очистка предусматривает использование водных и других растворов различных реактивов. Целый ряд органических жировых загрязнений не растворяется в воде и препятствует смачиванию водой и большинством растворов обрабатываемой поверхности (поверхность гидрофобная). Для обеспечения равномерной очистки поверхность пластин и подложек переводят в гидрофильное, т. е. хорошо смачиваемое водой, состояние.
* Процесс удаления жировых загрязнений, сопровождаемый переводом поверхности из гидрофобного состояния в гидрофильное, называется обезжириванием.
Сухая очистка основана на использовании отжига, газового, ионного и плазмохимического травления. Эти способы исключают применение дорогостоящих и опасных в работе жидких химических реактивов; они более управляемы и легче поддаются автоматизации. Процессы сухой очистки являются наиболее эффективными также при обработке локальных участков и рельефной поверхности.
4.2. Способы жидкостной обработки пластин и подложек.
К способам жидкостной обработки поверхности пластин и подложек относят физическое и химическое обезжиривание, химическое и электрохимическое травление, промывание в воде.
4.2.1. Обезжиривание.
Физическое обезжиривание основано на отрыве молекул жира от поверхности при ее взаимодействии с органическими растворителями. Отрыв вызывается собственными колебаниями молекул жира и притяжением их молекулами растворителя. Для этого пластины (подложки) погружают в резервуар (ванну) с растворителем. После отрыва молекулы жира равномерно распределяются по всему объему ванны, что приводит к загрязнению растворителя и обратному процессу - адсорбции молекул жира очищенной поверхностью. Во избежание последнего требуется постоянное освежение растворителя.
В качестве растворителей наиболее часто применяют четыреххлористый углерод, бензол, толуол, изопропиловый спирт, фреон и др., в которых эффективно растворяется большинство жировых загрязнений.
Определяющими параметрами процесса являются температура и время. Растворимость жиров увеличивается с повышением температуры. Поэтому обезжиривание осуществляют в горячих или кипящих растворителях.
ОГАЙО (Ohio) , река в США, левый приток Миссисипи. 1580 км, площадь бассейна 528,1 тыс. км2. Главный приток - р. Теннесси. Средний расход воды ок. 8 тыс. м3/с. Судоходна до верховьев. ГЭС.
ДМИТРИЕВ Николай Константинович (1898-1954) , российский языковед, член-корреспондент АН СССР (1943). Исследовал тюркские языки, тюркославянские языковые связи. Заложил основы современной школы тюркологии. Издал с комментариями ряд тюркских фольклорных текстов.
ПРЕКАРИЙ (лат . precarium, от preces - просьба), в раннее средневековье в Зап. Европе право пользования землей, предоставляемой земельным собственником на более или менее длительный срок по обращенной к нему просьбе. Был формой вовлечения еще свободных крестьян в феодальную зависимость (особенно когда разорявшийся мелкий земельный собственник сначала "дарил" землю, а затем получал ее назад как прекарий и обязан был за это нести повинности).