Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластин
Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластин
Страница 8

Жидкостная очистка предусматривает использование водных и других растворов различных реактивов. Целый ряд органических жировых загрязнений не растворяется в воде и препятствует смачиванию водой и большинством растворов обрабатываемой поверхности (поверхность гидрофобная). Для обеспечения равномерной очистки поверхность пластин и подложек переводят в гидрофильное, т. е. хорошо смачиваемое водой, состояние.

* Процесс удаления жировых загрязнений, сопровождаемый переводом поверхности из гидрофобного состояния в гидрофильное, называется обезжириванием.

Сухая очистка основана на использовании отжига, газового, ионного и плазмохимического травления. Эти способы исключают применение дорогостоящих и опасных в работе жидких химических реактивов; они более управляемы и легче поддаются автоматизации. Процессы сухой очистки являются наиболее эффективными также при обработке локальных участков и рельефной поверхности.

4.2. Способы жидкостной обработки пластин и подложек.

К способам жидкостной обработки поверхности пластин и подложек относят физическое и химическое обезжиривание, химическое и электрохимическое травление, промывание в воде.

4.2.1. Обезжиривание.

Физическое обезжиривание основано на отрыве молекул жира от поверхности при ее взаимодействии с органическими растворителями. Отрыв вызывается собственными колебаниями молекул жира и притяжением их молекулами растворителя. Для этого пластины (подложки) погружают в резервуар (ванну) с растворителем. После отрыва молекулы жира равномерно распределяются по всему объему ванны, что приводит к загрязнению растворителя и обратному процессу - адсорбции молекул жира очи­щенной поверхностью. Во избежание последнего требуется постоянное освежение растворителя.

В качестве растворителей наиболее часто применяют четыреххлористый углерод, бензол, толуол, изопропиловый спирт, фреон и др., в которых эффективно растворяется большинство жировых загрязнений.

Определяющими параметрами процесса являются температура и время. Растворимость жиров увеличивается с повышением температуры. Поэтому обезжиривание осуществляют в горячих или кипящих растворителях.

Страницы: 4 5 6 7 8 9 10 11 12

НЬЮФАУНДЛЕНД , провинция на востоке Канады, на о. Ньюфаундленд и в северо-восточной части п-ова Лабрадор. 404,6 тыс. км2. Население 581 тыс. человек (1992). Адм. ц. - Сент-Джонс. Коренное население Ньюфаундленда - индейцы и эскимосы. В 11 в. побережье Ньюфаундленда посещали норманны. В 1497 открыт английской экспедицией Дж. Кабота. В 1713-1917 и 1934-49 английская колония, в 1917-34 доминион, с 1949 провинция Канады.

"ЗОЛОТОЕ КОЛЬЦО РОССИИ" , кольцевой туристический маршрут от Москвы на северо-восток через древнерусские города Сергиев Посад, Переславль-Залесский, Ростов, Ярославль, Кострому, Суздаль, Владимир. Действует с начала 1970-х гг.

АУН САН (1915-47) , национальный герой Бирмы. В 1945 возглавил восстание против японских оккупантов, в 1945-47 руководил борьбой за независимость. Убит террористами.