Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластин Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластинСтраница 8
Жидкостная очистка предусматривает использование водных и других растворов различных реактивов. Целый ряд органических жировых загрязнений не растворяется в воде и препятствует смачиванию водой и большинством растворов обрабатываемой поверхности (поверхность гидрофобная). Для обеспечения равномерной очистки поверхность пластин и подложек переводят в гидрофильное, т. е. хорошо смачиваемое водой, состояние.
* Процесс удаления жировых загрязнений, сопровождаемый переводом поверхности из гидрофобного состояния в гидрофильное, называется обезжириванием.
Сухая очистка основана на использовании отжига, газового, ионного и плазмохимического травления. Эти способы исключают применение дорогостоящих и опасных в работе жидких химических реактивов; они более управляемы и легче поддаются автоматизации. Процессы сухой очистки являются наиболее эффективными также при обработке локальных участков и рельефной поверхности.
4.2. Способы жидкостной обработки пластин и подложек.
К способам жидкостной обработки поверхности пластин и подложек относят физическое и химическое обезжиривание, химическое и электрохимическое травление, промывание в воде.
4.2.1. Обезжиривание.
Физическое обезжиривание основано на отрыве молекул жира от поверхности при ее взаимодействии с органическими растворителями. Отрыв вызывается собственными колебаниями молекул жира и притяжением их молекулами растворителя. Для этого пластины (подложки) погружают в резервуар (ванну) с растворителем. После отрыва молекулы жира равномерно распределяются по всему объему ванны, что приводит к загрязнению растворителя и обратному процессу - адсорбции молекул жира очищенной поверхностью. Во избежание последнего требуется постоянное освежение растворителя.
В качестве растворителей наиболее часто применяют четыреххлористый углерод, бензол, толуол, изопропиловый спирт, фреон и др., в которых эффективно растворяется большинство жировых загрязнений.
Определяющими параметрами процесса являются температура и время. Растворимость жиров увеличивается с повышением температуры. Поэтому обезжиривание осуществляют в горячих или кипящих растворителях.
КРЕМЛЕВСКИЙ ДВОРЕЦ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ , здание на территории Московского Кремля. Используется для проведения государственных, общественных и международных мероприятий, а также для театрально-зрелищных представлений и как вторая сцена Большого театра (до 1989). Построено в 1959-1961 (архитекторы М. В. Посохин, А. А. Мндоянц, Е. Н. Стамо, П. П. Штеллер, инженеры Г. Н. Львов, А. Н. Кондратьев, И. И. Кочетов; Ленинская премия, 1962).
ШЛОССЕР (Schlosser) Фридрих Кристоф (1776-1861) , немецкий либеральный историк. Автор "Всемирной истории" (19 томов.).
ЩУСЕВ Алексей Викторович (1873-1949) , российский архитектор, академик АН СССР (1943). Обращался к традициям русского средневекового зодчества (Казанский вокзал, 1914-26, 1941), к классическому наследию. По проекту Щусева построены Мавзолей В. И. Ленина (1924-30), гостиница "Москва" (1932-38, с соавторами). Участвовал в разработке плана реконструкции Москвы (1918-25). Государственная премия СССР (1941, 1946, 1948, 1952, посмертно).