Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластин
Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластин
Страница 8

Жидкостная очистка предусматривает использование водных и других растворов различных реактивов. Целый ряд органических жировых загрязнений не растворяется в воде и препятствует смачиванию водой и большинством растворов обрабатываемой поверхности (поверхность гидрофобная). Для обеспечения равномерной очистки поверхность пластин и подложек переводят в гидрофильное, т. е. хорошо смачиваемое водой, состояние.

* Процесс удаления жировых загрязнений, сопровождаемый переводом поверхности из гидрофобного состояния в гидрофильное, называется обезжириванием.

Сухая очистка основана на использовании отжига, газового, ионного и плазмохимического травления. Эти способы исключают применение дорогостоящих и опасных в работе жидких химических реактивов; они более управляемы и легче поддаются автоматизации. Процессы сухой очистки являются наиболее эффективными также при обработке локальных участков и рельефной поверхности.

4.2. Способы жидкостной обработки пластин и подложек.

К способам жидкостной обработки поверхности пластин и подложек относят физическое и химическое обезжиривание, химическое и электрохимическое травление, промывание в воде.

4.2.1. Обезжиривание.

Физическое обезжиривание основано на отрыве молекул жира от поверхности при ее взаимодействии с органическими растворителями. Отрыв вызывается собственными колебаниями молекул жира и притяжением их молекулами растворителя. Для этого пластины (подложки) погружают в резервуар (ванну) с растворителем. После отрыва молекулы жира равномерно распределяются по всему объему ванны, что приводит к загрязнению растворителя и обратному процессу - адсорбции молекул жира очи­щенной поверхностью. Во избежание последнего требуется постоянное освежение растворителя.

В качестве растворителей наиболее часто применяют четыреххлористый углерод, бензол, толуол, изопропиловый спирт, фреон и др., в которых эффективно растворяется большинство жировых загрязнений.

Определяющими параметрами процесса являются температура и время. Растворимость жиров увеличивается с повышением температуры. Поэтому обезжиривание осуществляют в горячих или кипящих растворителях.

Страницы: 4 5 6 7 8 9 10 11 12

ЛОКСОДРОМИЯ (локсодрома) (от греч . loxos - косой и dromos - бег, путь), линия на сфере (или какой-либо другой поверхности вращения), пересекающая все меридианы под постоянным углом К. На картах в проекции Меркатора локсодромии изображаются прямыми линиями. Используется навигацией и аэронавигацией.

ЭДЕЙЕН-МУРЗУК (Идехан-Мурзук) , песчаная пустыня на юго-западе Ливии. Ок. 200 тыс. км2. Дюны высотой до 30 м. Оазисы.

ТЕЛЕГРАФНАЯ СЕТЬ , комплекс технических сооружений и оборудования, предназначенный для осуществления телеграфной связи и состоящий из телеграфных предприятий (узлов связи), соединяющих их каналов связи и телеграфных станций, служащих для коммутации этих каналов. В Российской Федерации телеграфная сеть включает в себя сети: общего пользования, абонентского телеграфирования и факсимильной связи. Вся территория России разделена на несколько зон, в каждой из которых имеется свой главный узел, областные и районные узлы.