Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластин
Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластин
Страница 8

Жидкостная очистка предусматривает использование водных и других растворов различных реактивов. Целый ряд органических жировых загрязнений не растворяется в воде и препятствует смачиванию водой и большинством растворов обрабатываемой поверхности (поверхность гидрофобная). Для обеспечения равномерной очистки поверхность пластин и подложек переводят в гидрофильное, т. е. хорошо смачиваемое водой, состояние.

* Процесс удаления жировых загрязнений, сопровождаемый переводом поверхности из гидрофобного состояния в гидрофильное, называется обезжириванием.

Сухая очистка основана на использовании отжига, газового, ионного и плазмохимического травления. Эти способы исключают применение дорогостоящих и опасных в работе жидких химических реактивов; они более управляемы и легче поддаются автоматизации. Процессы сухой очистки являются наиболее эффективными также при обработке локальных участков и рельефной поверхности.

4.2. Способы жидкостной обработки пластин и подложек.

К способам жидкостной обработки поверхности пластин и подложек относят физическое и химическое обезжиривание, химическое и электрохимическое травление, промывание в воде.

4.2.1. Обезжиривание.

Физическое обезжиривание основано на отрыве молекул жира от поверхности при ее взаимодействии с органическими растворителями. Отрыв вызывается собственными колебаниями молекул жира и притяжением их молекулами растворителя. Для этого пластины (подложки) погружают в резервуар (ванну) с растворителем. После отрыва молекулы жира равномерно распределяются по всему объему ванны, что приводит к загрязнению растворителя и обратному процессу - адсорбции молекул жира очи­щенной поверхностью. Во избежание последнего требуется постоянное освежение растворителя.

В качестве растворителей наиболее часто применяют четыреххлористый углерод, бензол, толуол, изопропиловый спирт, фреон и др., в которых эффективно растворяется большинство жировых загрязнений.

Определяющими параметрами процесса являются температура и время. Растворимость жиров увеличивается с повышением температуры. Поэтому обезжиривание осуществляют в горячих или кипящих растворителях.

Страницы: 4 5 6 7 8 9 10 11 12

САН-ХУАН (San Juan) , город, столица и главный порт Пуэрто-Рико. 427 тыс. жителей, с пригородами св. 1 млн. человек (1989). Международный аэропорт. Пищевкусовая, текстильная, химическая, нефтеперерабатывающая промышленность. Университеты. Основан испанцами в 1508 под названием Капарра, в 1521 перенесен на другое место и назван Пуэрто-Рико; со временем это название перешло к острову, а город получил название Сан-Хуан. Укрепления, здания 16-18 вв.

ИВА , род деревьев, кустарников и кустарничков семейства ивовых. Ок. 350 видов, в умеренном поясе Евразии и Сев. Америки. Многие виды декоративны, служат также для закрепления песков, оврагов. Древесина идет на поделки, ветви - для плетения корзин и пр. Кора богата дубящими веществами.

НАЦИОНАЛЬНАЯ БИБЛИОТЕКА Российской Федерации , до 1992 Публичная библиотека им. М. Е. Салтыкова-Щедрина, старейшая общедоступная библиотека страны, в Санкт-Петербурге. Основана в 1795 (открыта в 1814) как Императорская публичная библиотека. Получает обязательные экземпляры отечественных произведений печати с 1811. Уникальное по полноте собрание русских книг и периодических изданий 19 в. Св. 2,7 млн. ед. хр.