Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластин
Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластин
Страница 8

Жидкостная очистка предусматривает использование водных и других растворов различных реактивов. Целый ряд органических жировых загрязнений не растворяется в воде и препятствует смачиванию водой и большинством растворов обрабатываемой поверхности (поверхность гидрофобная). Для обеспечения равномерной очистки поверхность пластин и подложек переводят в гидрофильное, т. е. хорошо смачиваемое водой, состояние.

* Процесс удаления жировых загрязнений, сопровождаемый переводом поверхности из гидрофобного состояния в гидрофильное, называется обезжириванием.

Сухая очистка основана на использовании отжига, газового, ионного и плазмохимического травления. Эти способы исключают применение дорогостоящих и опасных в работе жидких химических реактивов; они более управляемы и легче поддаются автоматизации. Процессы сухой очистки являются наиболее эффективными также при обработке локальных участков и рельефной поверхности.

4.2. Способы жидкостной обработки пластин и подложек.

К способам жидкостной обработки поверхности пластин и подложек относят физическое и химическое обезжиривание, химическое и электрохимическое травление, промывание в воде.

4.2.1. Обезжиривание.

Физическое обезжиривание основано на отрыве молекул жира от поверхности при ее взаимодействии с органическими растворителями. Отрыв вызывается собственными колебаниями молекул жира и притяжением их молекулами растворителя. Для этого пластины (подложки) погружают в резервуар (ванну) с растворителем. После отрыва молекулы жира равномерно распределяются по всему объему ванны, что приводит к загрязнению растворителя и обратному процессу - адсорбции молекул жира очи­щенной поверхностью. Во избежание последнего требуется постоянное освежение растворителя.

В качестве растворителей наиболее часто применяют четыреххлористый углерод, бензол, толуол, изопропиловый спирт, фреон и др., в которых эффективно растворяется большинство жировых загрязнений.

Определяющими параметрами процесса являются температура и время. Растворимость жиров увеличивается с повышением температуры. Поэтому обезжиривание осуществляют в горячих или кипящих растворителях.

Страницы: 4 5 6 7 8 9 10 11 12

АДЕН , экономическая столица Йемена, административный центр мухафазы Аден. 318 тыс. жителей (1984). Транзитный порт на Аравийском м. Международный аэропорт. Нефтеперерабатывающая, текстильная, пищевая промышленность. Судоремонт. Университет. В древности известен под названием Адана (Асана). В 1839 - 1967 английская военная база.

ЕВСТИГНЕЕВ Денис Евгеньевич (р . 1961), российский оператор и режиссер. Сын Е. А. Евстигнеева и Г. Б. Волчек. Операторские работы: "Осень, Чертаново" (1988), "Слуга" (1988), "Такси-блюз" (1990), "Армавир!" (1991), "Луна-парк" (1992) и др. В 1994 поставил фильм "Лимита", где создал групповой портрет своего поколения. С 1995 работает в области социальной телерекламы ("Русский проект").

ФИЗИКО-ХИМИЧЕСКИЙ АНАЛИЗ , метод исследования термодинамически равновесных систем на основании анализа графической зависимости какого-либо физического свойства системы от ее состава (см. Диаграмма состояния). Позоляет установить наличие и состав химических соединений без выделения их из системы. Применяют для исследований многокомпонентных многофазных систем (металлических сплавов, минералов, растворов солей и др.).