Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластин Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластинСтраница 8
Жидкостная очистка предусматривает использование водных и других растворов различных реактивов. Целый ряд органических жировых загрязнений не растворяется в воде и препятствует смачиванию водой и большинством растворов обрабатываемой поверхности (поверхность гидрофобная). Для обеспечения равномерной очистки поверхность пластин и подложек переводят в гидрофильное, т. е. хорошо смачиваемое водой, состояние.
* Процесс удаления жировых загрязнений, сопровождаемый переводом поверхности из гидрофобного состояния в гидрофильное, называется обезжириванием.
Сухая очистка основана на использовании отжига, газового, ионного и плазмохимического травления. Эти способы исключают применение дорогостоящих и опасных в работе жидких химических реактивов; они более управляемы и легче поддаются автоматизации. Процессы сухой очистки являются наиболее эффективными также при обработке локальных участков и рельефной поверхности.
4.2. Способы жидкостной обработки пластин и подложек.
К способам жидкостной обработки поверхности пластин и подложек относят физическое и химическое обезжиривание, химическое и электрохимическое травление, промывание в воде.
4.2.1. Обезжиривание.
Физическое обезжиривание основано на отрыве молекул жира от поверхности при ее взаимодействии с органическими растворителями. Отрыв вызывается собственными колебаниями молекул жира и притяжением их молекулами растворителя. Для этого пластины (подложки) погружают в резервуар (ванну) с растворителем. После отрыва молекулы жира равномерно распределяются по всему объему ванны, что приводит к загрязнению растворителя и обратному процессу - адсорбции молекул жира очищенной поверхностью. Во избежание последнего требуется постоянное освежение растворителя.
В качестве растворителей наиболее часто применяют четыреххлористый углерод, бензол, толуол, изопропиловый спирт, фреон и др., в которых эффективно растворяется большинство жировых загрязнений.
Определяющими параметрами процесса являются температура и время. Растворимость жиров увеличивается с повышением температуры. Поэтому обезжиривание осуществляют в горячих или кипящих растворителях.
ЦЗЯМУСЫ , город в Северо-Вост. Китае, на р. Сунгари, пров. Хэйлунцзян. 493 тыс. жителей (1990). Целлюлозно-бумажная, бумажная промышленность, машиностроение.
ЗАВАЛИШИН Дмитрий Иринархович (1804-1892) , декабрист, лейтенант. В 1822-24 участник кругосветного плавания М. П. Лазарева. Член Северного общества. Приговорен к вечной каторге. С 1827 в Нерчинских рудниках, с 1839 на поселении в Чите. Вернулся из Сибири в 1863. В 50-80-х гг. сотрудничал в прессе ("Московские ведомости", "Русский вестник", "Русская старина" и др.). Автор "Записок декабриста" (1906).
ВНЕШНЯЯ ПАМЯТЬ ЭВМ , запоминающие устройства большой (до нескольких Гбайт) емкости (преимущественно на магнитных лентах, дисках, барабанах, оптических дисках), из которых необходимая информация вводится в ЭВМ в процессе выполнения той или иной программы.