Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластин
Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластин
Страница 8

Жидкостная очистка предусматривает использование водных и других растворов различных реактивов. Целый ряд органических жировых загрязнений не растворяется в воде и препятствует смачиванию водой и большинством растворов обрабатываемой поверхности (поверхность гидрофобная). Для обеспечения равномерной очистки поверхность пластин и подложек переводят в гидрофильное, т. е. хорошо смачиваемое водой, состояние.

* Процесс удаления жировых загрязнений, сопровождаемый переводом поверхности из гидрофобного состояния в гидрофильное, называется обезжириванием.

Сухая очистка основана на использовании отжига, газового, ионного и плазмохимического травления. Эти способы исключают применение дорогостоящих и опасных в работе жидких химических реактивов; они более управляемы и легче поддаются автоматизации. Процессы сухой очистки являются наиболее эффективными также при обработке локальных участков и рельефной поверхности.

4.2. Способы жидкостной обработки пластин и подложек.

К способам жидкостной обработки поверхности пластин и подложек относят физическое и химическое обезжиривание, химическое и электрохимическое травление, промывание в воде.

4.2.1. Обезжиривание.

Физическое обезжиривание основано на отрыве молекул жира от поверхности при ее взаимодействии с органическими растворителями. Отрыв вызывается собственными колебаниями молекул жира и притяжением их молекулами растворителя. Для этого пластины (подложки) погружают в резервуар (ванну) с растворителем. После отрыва молекулы жира равномерно распределяются по всему объему ванны, что приводит к загрязнению растворителя и обратному процессу - адсорбции молекул жира очи­щенной поверхностью. Во избежание последнего требуется постоянное освежение растворителя.

В качестве растворителей наиболее часто применяют четыреххлористый углерод, бензол, толуол, изопропиловый спирт, фреон и др., в которых эффективно растворяется большинство жировых загрязнений.

Определяющими параметрами процесса являются температура и время. Растворимость жиров увеличивается с повышением температуры. Поэтому обезжиривание осуществляют в горячих или кипящих растворителях.

Страницы: 4 5 6 7 8 9 10 11 12

"ЧЕТЫРЕ ИСКУССТВА" , общество художников (1924-31) в Москве. Включало главным образом бывших членов "Мира искусства" и "Голубой розы" - живописцев, графиков, скульпторов и архитекторов (И. В. Жолтовский, А. И. Кравченко, П. В. Кузнецов, А. Т. Матвеев, В. И. Мухина, М. С. Сарьян, А. В. Щусев). Члены общества стремились к высокому профессиональному мастерству, эмоциональной реалистической передаче действительности в изобразительном искусстве; разрабатывали принципы современного градостроительства.

КОНТРОЛЬНЫЙ ФИЛЬМ , кинофильм для испытания и регулировки кинокопировальных и кинопроекционных аппаратов. Контрольные фильмы содержат кадры с изображением испытательных таблиц, штриховых и радиальных мир, а также контрольные фотографические и магнитные фонограммы.

ГРЕХОВ Игорь Всеволодович (р . 1934), российский ученый, член-корреспондент РАН (1991). Основные труды по исследованию физических процессов в мощных полупроводниковых приборах, электронно-дырочной плазме. Ленинская премия (1966), Государственная премия СССР (1987).