Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластин Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластинСтраница 8
Жидкостная очистка предусматривает использование водных и других растворов различных реактивов. Целый ряд органических жировых загрязнений не растворяется в воде и препятствует смачиванию водой и большинством растворов обрабатываемой поверхности (поверхность гидрофобная). Для обеспечения равномерной очистки поверхность пластин и подложек переводят в гидрофильное, т. е. хорошо смачиваемое водой, состояние.
* Процесс удаления жировых загрязнений, сопровождаемый переводом поверхности из гидрофобного состояния в гидрофильное, называется обезжириванием.
Сухая очистка основана на использовании отжига, газового, ионного и плазмохимического травления. Эти способы исключают применение дорогостоящих и опасных в работе жидких химических реактивов; они более управляемы и легче поддаются автоматизации. Процессы сухой очистки являются наиболее эффективными также при обработке локальных участков и рельефной поверхности.
4.2. Способы жидкостной обработки пластин и подложек.
К способам жидкостной обработки поверхности пластин и подложек относят физическое и химическое обезжиривание, химическое и электрохимическое травление, промывание в воде.
4.2.1. Обезжиривание.
Физическое обезжиривание основано на отрыве молекул жира от поверхности при ее взаимодействии с органическими растворителями. Отрыв вызывается собственными колебаниями молекул жира и притяжением их молекулами растворителя. Для этого пластины (подложки) погружают в резервуар (ванну) с растворителем. После отрыва молекулы жира равномерно распределяются по всему объему ванны, что приводит к загрязнению растворителя и обратному процессу - адсорбции молекул жира очищенной поверхностью. Во избежание последнего требуется постоянное освежение растворителя.
В качестве растворителей наиболее часто применяют четыреххлористый углерод, бензол, толуол, изопропиловый спирт, фреон и др., в которых эффективно растворяется большинство жировых загрязнений.
Определяющими параметрами процесса являются температура и время. Растворимость жиров увеличивается с повышением температуры. Поэтому обезжиривание осуществляют в горячих или кипящих растворителях.
ИДЖЕВАН , город (с 1961) в Армении. Железнодорожная станция. 18,7 тыс. жителей (1991). Деревообрабатывающий и ковровый комбинаты, пищевкусовые предприятия, производство машин для лесного хозяйства, стройматериалов. Театр. Туризм.
И ИНЬ , в китайской мифологии мудрец - наставник царей, рожденный чудесным образом во время потопа.
ЮРМАЛА (Jurmala) , город в Латвии, климатический и бальнеогрязевой курорт, между южным берегом Рижского зал. и р. Лиелупе. Образован в 1959 из городов Кемери, Слока и Юрмальского р-на Риги. Включает цепь населенных пунктов: Лиелупе, Булдури, Дзинтари, Майори, Дубулты (адм. ц.) и др. Через Юрмалу проходит электрифицированная железная дорога (14 ст.) Рига - Тукумс. 66,5 тыс. жителей (1990). Целлюлозно-бумажный завод; фабрики: "Техноинформ", художественных вязаных и галантерейных изделий; завод спортивных лодок и др. Исторический и художественный музей, Музей-дача латышского поэта Я. Райниса.