Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластин
Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластин
Страница 8

Жидкостная очистка предусматривает использование водных и других растворов различных реактивов. Целый ряд органических жировых загрязнений не растворяется в воде и препятствует смачиванию водой и большинством растворов обрабатываемой поверхности (поверхность гидрофобная). Для обеспечения равномерной очистки поверхность пластин и подложек переводят в гидрофильное, т. е. хорошо смачиваемое водой, состояние.

* Процесс удаления жировых загрязнений, сопровождаемый переводом поверхности из гидрофобного состояния в гидрофильное, называется обезжириванием.

Сухая очистка основана на использовании отжига, газового, ионного и плазмохимического травления. Эти способы исключают применение дорогостоящих и опасных в работе жидких химических реактивов; они более управляемы и легче поддаются автоматизации. Процессы сухой очистки являются наиболее эффективными также при обработке локальных участков и рельефной поверхности.

4.2. Способы жидкостной обработки пластин и подложек.

К способам жидкостной обработки поверхности пластин и подложек относят физическое и химическое обезжиривание, химическое и электрохимическое травление, промывание в воде.

4.2.1. Обезжиривание.

Физическое обезжиривание основано на отрыве молекул жира от поверхности при ее взаимодействии с органическими растворителями. Отрыв вызывается собственными колебаниями молекул жира и притяжением их молекулами растворителя. Для этого пластины (подложки) погружают в резервуар (ванну) с растворителем. После отрыва молекулы жира равномерно распределяются по всему объему ванны, что приводит к загрязнению растворителя и обратному процессу - адсорбции молекул жира очи­щенной поверхностью. Во избежание последнего требуется постоянное освежение растворителя.

В качестве растворителей наиболее часто применяют четыреххлористый углерод, бензол, толуол, изопропиловый спирт, фреон и др., в которых эффективно растворяется большинство жировых загрязнений.

Определяющими параметрами процесса являются температура и время. Растворимость жиров увеличивается с повышением температуры. Поэтому обезжиривание осуществляют в горячих или кипящих растворителях.

Страницы: 4 5 6 7 8 9 10 11 12

ВОДОРОДНАЯ БОМБА , устаревшее название ядерной бомбы большой разрушительной силы, действие которой основано на использовании энергии, выделяющейся при реакции синтеза легких ядер (см. Термоядерные реакции). Впервые водородная бомба была испытана в СССР (1953).

"РУССКАЯ ИСТОРИЧЕСКАЯ БИБЛИОТЕКА" (РИБ) , серия сборников документов и литературных памятников (39 т.). Издавалась Археографической комиссией в 1872-1927. Сочинения А. М. Курбского, Аввакума, документы государственных учреждений, церковных и монастырских архивов до 17 в. включительно и др. Некоторые тома переизданы.

ВЫБОРГ , город в Российской Федерации, Ленинградская обл., порт на побережье Финского зал. Железнодорожный узел. 80,9 тыс. жителей (1992). Машиностроение, металлообрабатывающая, легкая, пищевая промышленность. Дом-музей В. И. Ленина. Краеведческий музей. Возник в 11-12 вв. С 1293 шведская крепость, с 1710 в России, в 1918-40 в Финляндии (назывался Виипури, Viipuri). Замок 13 в.