ChemStudy

Для обеспечения эффективной очистки с целью получения технологически чистой поверхности пластин (подложек) необходимо знать источник и вид загрязнения, характер его поведения на поверхности, методы удаления.

3.2. Источники загрязнений.

Основными источниками загрязнений поверхности пластин и подложек являются: абразивные и клеящие материалы, кремниевая пыль при механической обработке; пыль в производственных помещениях; предметы, с которыми соприкасаются пластины и подложки (оборудование, инструмент, оснастка, технологическая тара); технологические среды; органические и неорганические реагенты, вода; одежда и открытые участки тела операторов и др.

Загрязнение пластин и подложек практически возможно на всех операциях технологического процесса изготовления кристаллов и сборки ИМС.

3.3. Виды загрязнений.

Возможные загрязнения на поверхности пластин и подложек классифицируют, как правило, по их физико-химическим свойствам, так как они определяют выбор методов удаления загрязнений. Наиболее распространенными являются загрязнения следующих видов:

· Физические загрязнения - пылинки, ворсинки, абразивные материалы, силикаты, кремниевая пыль и другие посторонние частицы, химически не связанные с поверхностью пластин и подложек.

· Загрязнения, химически связанные с поверхностью пластин и подложек - оксиды, нитриды и другие соединения.

· Органические загрязнения - неполярные жиры, масла, силиконы и другие неионные примеси.

· Растворимые в воде полярные загрязнения - соли, кислоты, остатки травителей, флюсы и пр.

· Газы, адсорбированные поверхностью пластин и подложек.

На поверхности пластин и подложек одновременно могут присутствовать загрязнения различных видов. Типичные загрязнения и их источники, встречающиеся в технологии полупроводниковых ИМС, приведены в таблице 1.

ИТАЛЬЯНСКИЙ ПОХОД СУВОРОВА , апрель-август 1799, военные действия российских и австрийских войск под командованием генерал-фельдмаршала А. В. Суворова в Сев. Италии против французских войск во время войны Франции со 2-й антифранцузской коалицией (1798-1802). Победы российских войск (на реках Адда и Треббия и при Нови) и российского флота в Средиземноморском походе Ф. Ф. Ушакова 1798-1800 привели к освобождению Италии от французского господства.

ОБЩИННАЯ ТЕОРИЯ , в историографии 19 в. (создатель Г. Л. Маурер). Исходным пунктом аграрной эволюции и всего строя западноевропейского средневековья считала общину (марку).

РЕТИКУЛЯРНАЯ ТКАНЬ (от лат . reticulum - сеточка), разновидность соединительной ткани, составляющая основу кроветворных органов и лимфоидных скоплений в слизистых оболочках (напр., миндалинах) и мякоти зуба. Входит в состав ретикулоэндотелиальной системы.