Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластин
Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластин
Страница 5

Для обеспечения эффективной очистки с целью получения технологически чистой поверхности пластин (подложек) необходимо знать источник и вид загрязнения, характер его поведения на поверхности, методы удаления.

3.2. Источники загрязнений.

Основными источниками загрязнений поверхности пластин и подложек являются: абразивные и клеящие материалы, кремниевая пыль при механической обработке; пыль в производственных помещениях; предметы, с которыми соприкасаются пластины и подложки (оборудование, инструмент, оснастка, технологическая тара); технологические среды; органические и неорганические реагенты, вода; одежда и открытые участки тела операторов и др.

Загрязнение пластин и подложек практически возможно на всех операциях технологического процесса изготовления кристаллов и сборки ИМС.

3.3. Виды загрязнений.

Возможные загрязнения на поверхности пластин и подложек классифицируют, как правило, по их физико-химическим свойствам, так как они определяют выбор методов удаления загрязнений. Наиболее распространенными являются загрязнения следующих видов:

· Физические загрязнения - пылинки, ворсинки, абразивные материалы, силикаты, кремниевая пыль и другие посторонние частицы, химически не связанные с поверхностью пластин и подложек.

· Загрязнения, химически связанные с поверхностью пластин и подложек - оксиды, нитриды и другие соединения.

· Органические загрязнения - неполярные жиры, масла, силиконы и другие неионные примеси.

· Растворимые в воде полярные загрязнения - соли, кислоты, остатки травителей, флюсы и пр.

· Газы, адсорбированные поверхностью пластин и подложек.

На поверхности пластин и подложек одновременно могут присутствовать загрязнения различных видов. Типичные загрязнения и их источники, встречающиеся в технологии полупроводниковых ИМС, приведены в таблице 1.

Страницы: 1 2 3 4 5 6 7 8 9

ДИЛЕРЫ (англ . ед. ч. dealer), отдельные лица или фирмы, занимающиеся куплей-продажей ценных бумаг, валют, различных товаров. Действуют от своего имени и за свой счет. Прибыль дилера формируется из разницы цен (курсов) продавца и покупателя, а также за счет изменения цен (курсов) во времени.

ХЕЙ (Hey) Джеймс Стэнли (р . 1909), английский радиоинженер, астроном. Открыл (1942) радиоизлучение активных областей на Солнце, показал (1946) возможность радиолокации метеоров. Открыл (совместно с английскими исследователями С. Парсонсом и Дж. Филлипсом, 1946) при помощи радиоинтерферометра первый дискретный космический радиоисточник. Автор книги "Радиовселенная" (1975, русский перевод 1978).

ТВЕНХОФЕЛ (Twenhofel) Уильям Генри (1875-1957) , американский геолог и палеонтолог. Первым систематизировал сведения о современных осадках и осадочных горных породах. Труды по литологии и палеонтологии беспозвоночных.