ChemStudy

Для обеспечения эффективной очистки с целью получения технологически чистой поверхности пластин (подложек) необходимо знать источник и вид загрязнения, характер его поведения на поверхности, методы удаления.

3.2. Источники загрязнений.

Основными источниками загрязнений поверхности пластин и подложек являются: абразивные и клеящие материалы, кремниевая пыль при механической обработке; пыль в производственных помещениях; предметы, с которыми соприкасаются пластины и подложки (оборудование, инструмент, оснастка, технологическая тара); технологические среды; органические и неорганические реагенты, вода; одежда и открытые участки тела операторов и др.

Загрязнение пластин и подложек практически возможно на всех операциях технологического процесса изготовления кристаллов и сборки ИМС.

3.3. Виды загрязнений.

Возможные загрязнения на поверхности пластин и подложек классифицируют, как правило, по их физико-химическим свойствам, так как они определяют выбор методов удаления загрязнений. Наиболее распространенными являются загрязнения следующих видов:

· Физические загрязнения - пылинки, ворсинки, абразивные материалы, силикаты, кремниевая пыль и другие посторонние частицы, химически не связанные с поверхностью пластин и подложек.

· Загрязнения, химически связанные с поверхностью пластин и подложек - оксиды, нитриды и другие соединения.

· Органические загрязнения - неполярные жиры, масла, силиконы и другие неионные примеси.

· Растворимые в воде полярные загрязнения - соли, кислоты, остатки травителей, флюсы и пр.

· Газы, адсорбированные поверхностью пластин и подложек.

На поверхности пластин и подложек одновременно могут присутствовать загрязнения различных видов. Типичные загрязнения и их источники, встречающиеся в технологии полупроводниковых ИМС, приведены в таблице 1.

ЖУПА , ок. 10 - нач. 20 вв. название административно-территориальной единицы у южных и западных славян. В ряде случаев административный термин "жупа" трансформировался в топоним (область в Боснии, район в Сербии и в Далмации и др.).

"СОЦИАЛ-ДЕМОКРАТ" ,1) литературно-политическое обозрение, издание группы "Освобождение труда", 1890-92, Лондон, Женева, 4 книги.2) Нелегальная газета, орган ЦК РСДРП, фактически была органом меньшевиков; 17(30).9 - 18.11(1.12). 1906, Санкт-Петербург, 7 номеров.3) Нелегальная газета, Центральный орган РСДРП, с 1912 - Центральный орган большевиков, февраль 1908 - январь 1917, Вильно, Санкт-Петербург, Париж, Женева, 58 номеров. Фактический руководитель и с декабря 1911 редактор - В. И. Ленин.4) Ежедневная газета, орган Московского областного бюро, Московского комитета, позднее Московского окружкома РСДРП(б), март 1917 - март 1918, Москва. Слилась с газетой "Правда".

ЖДАНОВ Леонид Афанасьевич (1890-1974) , российский селекционер, академик ВАСХНИЛ (1948), Герой Социалистического Труда (1965). Труды по селекции подсолнечника; автор высокоурожайных заразихоустойчивых сортов масличных культур. Государственная премия СССР (1941).