Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластин Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластинСтраница 6
Типичные загрязнения
полупроводниковых пластин и их источники
Таблица 1.
| Загрязнения | Возможные источники |
|
Волокна (нейлон, целлюлоза и т. д.) |
Одежда, ткани, бумажные изделия |
|
Силикаты |
Горные породы, песок, почва, зола, пепел |
|
Окислы и окалина |
Продукты окисления некоторых металлов |
|
Масла и жиры |
Масла от машинной обработки, отпечатки пальцев, жиры с открытых участков тела, средства для волос, мази, лосьоны |
|
Силиконы |
Аэрозоли для волос, кремы, лосьоны после бритья, лосьоны для рук, мыло |
|
Металлы |
Порошки и отходы машинной обработки и шлифовки; изготовление металлических частей; частицы из металлических банок для хранения и металлических контейнеров |
|
Ионные примеси |
Продукты дыхания, отпечатки пальцев (хлорид натрия); примеси из очищающих растворов, содержащие ионные детергенты; некоторые флюсы; примеси от предварительной химической операции, такой, как травление или металлизация |
|
Неионные примеси |
Неионные детергенты, органические материалы для обработки |
|
Растворимые примеси |
Очищающие растворители и растворы |
ЖАКЕРИЯ (Jacquerie , от "Jacques Bonhomme" - "Жак-Простак", прозвище, данное крестьянину французскими дворянами), крестьянское восстание во Франции в 1358, вызванное усилением гнета, экономической разрухой в период Столетней войны 1337-1453. Один из его вождей - Гильом Каль (Guillaume Cale) пытался привлечь в качестве союзника парижан, восставших в 1357-58. Жакерия способствовала освобождению крестьян от личной зависимости.
ПНЕВМОФОРМОВАНИЕ , способ изготовления изделий из листовых термопластов. Изделие оформляется под действием сжатого воздуха на лист, закрепленный над полостью формы. Применяется, напр., в производстве ванн, раковин, деталей остекления самолетов.
КАНАТНИК , род одно- и многолетних трав, кустарников и деревьев семейства мальвовых. Св. 150 видов. Возделывают преимущественно канатник Теофраста; в сухих стеблях до 25% волокна для технических и упаковочных тканей. Основные площади в Китае, Монголии, Японии, Египте. Некоторые виды декоративны.