Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластин Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластинСтраница 6
Типичные загрязнения
полупроводниковых пластин и их источники
Таблица 1.
| Загрязнения | Возможные источники |
|
Волокна (нейлон, целлюлоза и т. д.) |
Одежда, ткани, бумажные изделия |
|
Силикаты |
Горные породы, песок, почва, зола, пепел |
|
Окислы и окалина |
Продукты окисления некоторых металлов |
|
Масла и жиры |
Масла от машинной обработки, отпечатки пальцев, жиры с открытых участков тела, средства для волос, мази, лосьоны |
|
Силиконы |
Аэрозоли для волос, кремы, лосьоны после бритья, лосьоны для рук, мыло |
|
Металлы |
Порошки и отходы машинной обработки и шлифовки; изготовление металлических частей; частицы из металлических банок для хранения и металлических контейнеров |
|
Ионные примеси |
Продукты дыхания, отпечатки пальцев (хлорид натрия); примеси из очищающих растворов, содержащие ионные детергенты; некоторые флюсы; примеси от предварительной химической операции, такой, как травление или металлизация |
|
Неионные примеси |
Неионные детергенты, органические материалы для обработки |
|
Растворимые примеси |
Очищающие растворители и растворы |
ФАЭТОН , в греческой мифологии сын бога солнца Гелиоса. Управляя колесницей отца, Фаэтон не смог сдержать огнедышащих коней, которые, приблизившись к земле, едва не спалили ее; чтобы предотвратить катастрофу, Зевс поразил Фаэтона ударом молнии, и он, пылая, упал в реку.
ЕЛЬМСЛЕВ (Hjelmslev) Луи (1899-1965) , датский языковед. Труды по общему языкознанию. Основатель и руководитель Копенгагенского лингвистического кружка (с 1931) и копенгагенской (датской) школы структурализма - глоссематики.
ИСКУССТВЕННАЯ РАДИОАКТИВНОСТЬ , радиоактивность, наблюдаемая у нуклидов, образующихся в результате ядерных реакций. Открыта И. и Ф. Жолио-Кюри в 1934.