Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластин Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластинСтраница 6
Типичные загрязнения
полупроводниковых пластин и их источники
Таблица 1.
| Загрязнения | Возможные источники |
|
Волокна (нейлон, целлюлоза и т. д.) |
Одежда, ткани, бумажные изделия |
|
Силикаты |
Горные породы, песок, почва, зола, пепел |
|
Окислы и окалина |
Продукты окисления некоторых металлов |
|
Масла и жиры |
Масла от машинной обработки, отпечатки пальцев, жиры с открытых участков тела, средства для волос, мази, лосьоны |
|
Силиконы |
Аэрозоли для волос, кремы, лосьоны после бритья, лосьоны для рук, мыло |
|
Металлы |
Порошки и отходы машинной обработки и шлифовки; изготовление металлических частей; частицы из металлических банок для хранения и металлических контейнеров |
|
Ионные примеси |
Продукты дыхания, отпечатки пальцев (хлорид натрия); примеси из очищающих растворов, содержащие ионные детергенты; некоторые флюсы; примеси от предварительной химической операции, такой, как травление или металлизация |
|
Неионные примеси |
Неионные детергенты, органические материалы для обработки |
|
Растворимые примеси |
Очищающие растворители и растворы |
ОРДИНАРЕЦ (от нем . Ordonnanz - вестовой), военнослужащий, состоящий при командире или штабе и выполняющий главным образом обязанности посыльного.
"ХОЖДЕНИЕ В НАРОД" , массовое движение молодежи в деревню. Началось весной 1873, наибольший размах - весна - лето 1874. Цели: изучение народа, пропаганда социалистических идей, организация крестьянских восстаний. Центры: санкт-петербургские и московские кружки "чайковцев", "Киевская коммуна". Охватило 37 губ. Европейской России. К ноябрю 1874 арестовано св. 4 тыс. человек, наиболее активные участники осуждены по "процессу 193-х".
ЗАИР , название р. Конго, см. Конго (Заир).