Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластин Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластинСтраница 6
Типичные загрязнения
полупроводниковых пластин и их источники
Таблица 1.
| Загрязнения | Возможные источники |
|
Волокна (нейлон, целлюлоза и т. д.) |
Одежда, ткани, бумажные изделия |
|
Силикаты |
Горные породы, песок, почва, зола, пепел |
|
Окислы и окалина |
Продукты окисления некоторых металлов |
|
Масла и жиры |
Масла от машинной обработки, отпечатки пальцев, жиры с открытых участков тела, средства для волос, мази, лосьоны |
|
Силиконы |
Аэрозоли для волос, кремы, лосьоны после бритья, лосьоны для рук, мыло |
|
Металлы |
Порошки и отходы машинной обработки и шлифовки; изготовление металлических частей; частицы из металлических банок для хранения и металлических контейнеров |
|
Ионные примеси |
Продукты дыхания, отпечатки пальцев (хлорид натрия); примеси из очищающих растворов, содержащие ионные детергенты; некоторые флюсы; примеси от предварительной химической операции, такой, как травление или металлизация |
|
Неионные примеси |
Неионные детергенты, органические материалы для обработки |
|
Растворимые примеси |
Очищающие растворители и растворы |
ТРУБЕЦКОЙ Никита Юрьевич (1699-1767) , князь, генерал-фельдмаршал (1756). С 1740 генерал-прокурор Сената, в 1760-62 президент Военной коллегии.
ВАЛЬРАФ (Wallraf) Гюнтер (р . 1942), немецкий писатель, член "Группы 61". Публицистические очерки ("Нежелательные репортажи", 1970) и документальные книги "Рождение сенсации..." (1977), "Свидетели обвинения..." (1976), "Справочник по "Бильд" (1981), "На самом дне" (1985).
ЭЛЕКТРОННАЯ ТЕОРИЯ (микроскопическая классическая электродинамика) , теория, в которой вещество рассматривается как совокупность взаимодействующих между собой микроскопических заряженных частиц (отрицательных и положительных), движущихся в вакууме. См. Лоренца-Максвелла уравнения.