Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластин
Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластин
Страница 6

Типичные загрязнения

полупроводниковых пластин и их источники

Таблица 1.

Загрязнения

Возможные источники

Волокна (нейлон, целлюлоза и т. д.)

Одежда, ткани, бумажные изделия

Силикаты

Горные породы, песок, почва, зола, пепел

Окислы и окалина

Продукты окисления некоторых металлов

Масла и жиры

Масла от машинной обработки, отпечатки пальцев, жиры с открытых участков тела, средства для волос, мази, лосьоны

Силиконы

Аэрозоли для волос, кремы, лосьоны после бритья, лосьоны для рук, мыло

Металлы

Порошки и отходы машинной обработки и шлифовки; изготовление металлических частей; частицы из металлических банок для хранения и металлических контейнеров

Ионные примеси

Продукты дыхания, отпечатки пальцев (хлорид на­трия); примеси из очищающих растворов, содержащие ионные детергенты; некоторые флюсы; примеси от предварительной химической операции, такой, как травление или металлизация

Неионные примеси

Неионные детергенты, органические материалы для обработки

Растворимые примеси

Очищающие растворители и растворы

Страницы: 2 3 4 5 6 7 8 9 10

МАНЫЧ-ГУДИЛО (Большой Маныч) , соленое озеро в центральной части Кумо-Манычской впадины. Площадь изменчива (средняя 344 км2), средняя глубина 0,6 м.

АВСЮК Григорий Александрович (1906-88) , российский физико-географ, академик АН СССР (1984). Труды по исследованию температурного режима ледников. Руководитель (с 1956) советских гляциологических исследований по международным программам.

БОЙ , организованное вооруженное столкновение подразделений, частей (кораблей), соединений; может быть общевойсковым, противовоздушным, воздушным и морским. Виды боя: наступательный, оборонительный и встречный.