Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластин
Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластин
Страница 6

Типичные загрязнения

полупроводниковых пластин и их источники

Таблица 1.

Загрязнения

Возможные источники

Kroll KG UB 150 горелка Kroll 150 www.seilor.ru.

Волокна (нейлон, целлюлоза и т. д.)

Одежда, ткани, бумажные изделия

Силикаты

Горные породы, песок, почва, зола, пепел

Окислы и окалина

Продукты окисления некоторых металлов

Масла и жиры

Масла от машинной обработки, отпечатки пальцев, жиры с открытых участков тела, средства для волос, мази, лосьоны

Силиконы

Аэрозоли для волос, кремы, лосьоны после бритья, лосьоны для рук, мыло

Металлы

Порошки и отходы машинной обработки и шлифовки; изготовление металлических частей; частицы из металлических банок для хранения и металлических контейнеров

Ионные примеси

Продукты дыхания, отпечатки пальцев (хлорид на­трия); примеси из очищающих растворов, содержащие ионные детергенты; некоторые флюсы; примеси от предварительной химической операции, такой, как травление или металлизация

Неионные примеси

Неионные детергенты, органические материалы для обработки

Растворимые примеси

Очищающие растворители и растворы

Страницы: 2 3 4 5 6 7 8 9 10

ЯНГИЮЛЬ , город (с 1934) в Узбекистане, Ташкентская обл., в долине р. Чирчик. Железнодорожная станция. 56,9 тыс. жителей (1991). Пищевкусовая, легкая (хлопкоочистительная, обувная и др.), полиграфическая промышленность и др.

ЧИЧЕРИН Борис Николаевич (1828-1904) , российский юрист, историк, философ, почетный член Петербургской АН (1893). В 1861-68 профессор Московского университета. Основоположник "государственной школы" в российской историографии. Представитель либерального течения российской философско-юридической мысли. Сторонник конституционной монархии. Труды по истории государственного права, политических учений, "Воспоминания" (ч. 1-4, 1929-34).

РАЕВСКИЙ Иосиф Моисеевич (1900/01-72) , российский актер, режиссер, народный артист СССР (1968). С 1922 во МХАТе. Профессор ГИТИСа (с 1939).