Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластин Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластинСтраница 6
Типичные загрязнения
полупроводниковых пластин и их источники
Таблица 1.
| Загрязнения | Возможные источники |
|
Волокна (нейлон, целлюлоза и т. д.) |
Одежда, ткани, бумажные изделия |
|
Силикаты |
Горные породы, песок, почва, зола, пепел |
|
Окислы и окалина |
Продукты окисления некоторых металлов |
|
Масла и жиры |
Масла от машинной обработки, отпечатки пальцев, жиры с открытых участков тела, средства для волос, мази, лосьоны |
|
Силиконы |
Аэрозоли для волос, кремы, лосьоны после бритья, лосьоны для рук, мыло |
|
Металлы |
Порошки и отходы машинной обработки и шлифовки; изготовление металлических частей; частицы из металлических банок для хранения и металлических контейнеров |
|
Ионные примеси |
Продукты дыхания, отпечатки пальцев (хлорид натрия); примеси из очищающих растворов, содержащие ионные детергенты; некоторые флюсы; примеси от предварительной химической операции, такой, как травление или металлизация |
|
Неионные примеси |
Неионные детергенты, органические материалы для обработки |
|
Растворимые примеси |
Очищающие растворители и растворы |
МАЛАЙЗИЙСКИЙ ЯЗЫК , название официального языка Малайзии, применяемое с 1969 наряду с названием малайский язык.
ЗЕЙСКОЕ ВОДОХРАНИЛИЩЕ , на р. Зея, в Амурской обл. Образовано плотиной одноименной гидроэлектростанции. Заполнено в 1974-80. Площадь 2420 км2, объем 68,4 км3, длина 225 км, наибольшая ширина 24 км. Осуществляет многолетнее регулирование стока; колебания уровня до 26 м. Создано в целях энергетики и борьбы с наводнениями. Судоходство.
ЦИЦЕРОН (Cicero) Марк Туллий (106-43 до н . э.), римский политический деятель, оратор и писатель. Сторонник республиканского строя. Из сочинений сохранились 58 судебных и политических речей, 19 трактатов по риторике, политике, философии и более 800 писем. Сочинения Цицерона - источник сведений об эпохе гражданских войн в Риме.