Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластин Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластинСтраница 6
Типичные загрязнения
полупроводниковых пластин и их источники
Таблица 1.
| Загрязнения | Возможные источники |
|
Волокна (нейлон, целлюлоза и т. д.) |
Одежда, ткани, бумажные изделия |
|
Силикаты |
Горные породы, песок, почва, зола, пепел |
|
Окислы и окалина |
Продукты окисления некоторых металлов |
|
Масла и жиры |
Масла от машинной обработки, отпечатки пальцев, жиры с открытых участков тела, средства для волос, мази, лосьоны |
|
Силиконы |
Аэрозоли для волос, кремы, лосьоны после бритья, лосьоны для рук, мыло |
|
Металлы |
Порошки и отходы машинной обработки и шлифовки; изготовление металлических частей; частицы из металлических банок для хранения и металлических контейнеров |
|
Ионные примеси |
Продукты дыхания, отпечатки пальцев (хлорид натрия); примеси из очищающих растворов, содержащие ионные детергенты; некоторые флюсы; примеси от предварительной химической операции, такой, как травление или металлизация |
|
Неионные примеси |
Неионные детергенты, органические материалы для обработки |
|
Растворимые примеси |
Очищающие растворители и растворы |
УЗГЕН , город в Киргизии, Ошская обл., на р. Карадарья, в 44 км от ж.-д. ст. Карасу-Узбекский (Кара-Суу). 35,2 тыс. жителей (1991). Заводы: сухого молока, минеральных вод; производство ковров и др. Возник во 2-1 вв. до н. э. Минарет (11 в.) и три купольных мавзолея (11-12 вв.).
ОБЖИМКА ,1) операция ковки и штамповки, сопровождающаяся радиальной деформацией прутковых или трубных заготовок; часто обжимку называют обжимом или редуцированием.2) Штамп с продольным ручьем плавнопеременного сечения (главным образом для вытяжки металлической заготовки).3) Инструмент для клепки.
ТРУХИЛЬО , город на западе Перу, административный центр департамента Либертад. 532 тыс. жителей (1990). Пищевкусовая, химическая, кожевенная промышленность. Университет. Театры. Музей археологии. Архитектурные памятники колониального периода. Пострадал от землетрясения в 1970.