Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластин Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластинСтраница 6
Типичные загрязнения
полупроводниковых пластин и их источники
Таблица 1.
| Загрязнения | Возможные источники |
|
Kroll KG UB 150 горелка Kroll 150 www.seilor.ru. Волокна (нейлон, целлюлоза и т. д.) |
Одежда, ткани, бумажные изделия |
|
Силикаты |
Горные породы, песок, почва, зола, пепел |
|
Окислы и окалина |
Продукты окисления некоторых металлов |
|
Масла и жиры |
Масла от машинной обработки, отпечатки пальцев, жиры с открытых участков тела, средства для волос, мази, лосьоны |
|
Силиконы |
Аэрозоли для волос, кремы, лосьоны после бритья, лосьоны для рук, мыло |
|
Металлы |
Порошки и отходы машинной обработки и шлифовки; изготовление металлических частей; частицы из металлических банок для хранения и металлических контейнеров |
|
Ионные примеси |
Продукты дыхания, отпечатки пальцев (хлорид натрия); примеси из очищающих растворов, содержащие ионные детергенты; некоторые флюсы; примеси от предварительной химической операции, такой, как травление или металлизация |
|
Неионные примеси |
Неионные детергенты, органические материалы для обработки |
|
Растворимые примеси |
Очищающие растворители и растворы |
ЯНГИЮЛЬ , город (с 1934) в Узбекистане, Ташкентская обл., в долине р. Чирчик. Железнодорожная станция. 56,9 тыс. жителей (1991). Пищевкусовая, легкая (хлопкоочистительная, обувная и др.), полиграфическая промышленность и др.
ЧИЧЕРИН Борис Николаевич (1828-1904) , российский юрист, историк, философ, почетный член Петербургской АН (1893). В 1861-68 профессор Московского университета. Основоположник "государственной школы" в российской историографии. Представитель либерального течения российской философско-юридической мысли. Сторонник конституционной монархии. Труды по истории государственного права, политических учений, "Воспоминания" (ч. 1-4, 1929-34).
РАЕВСКИЙ Иосиф Моисеевич (1900/01-72) , российский актер, режиссер, народный артист СССР (1968). С 1922 во МХАТе. Профессор ГИТИСа (с 1939).