Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластин Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластинСтраница 6
Типичные загрязнения
полупроводниковых пластин и их источники
Таблица 1.
| Загрязнения | Возможные источники |
|
Волокна (нейлон, целлюлоза и т. д.) |
Одежда, ткани, бумажные изделия |
|
Силикаты |
Горные породы, песок, почва, зола, пепел |
|
Окислы и окалина |
Продукты окисления некоторых металлов |
|
Масла и жиры |
Масла от машинной обработки, отпечатки пальцев, жиры с открытых участков тела, средства для волос, мази, лосьоны |
|
Силиконы |
Аэрозоли для волос, кремы, лосьоны после бритья, лосьоны для рук, мыло |
|
Металлы |
Порошки и отходы машинной обработки и шлифовки; изготовление металлических частей; частицы из металлических банок для хранения и металлических контейнеров |
|
Ионные примеси |
Продукты дыхания, отпечатки пальцев (хлорид натрия); примеси из очищающих растворов, содержащие ионные детергенты; некоторые флюсы; примеси от предварительной химической операции, такой, как травление или металлизация |
|
Неионные примеси |
Неионные детергенты, органические материалы для обработки |
|
Растворимые примеси |
Очищающие растворители и растворы |
СТОРОЖЕВОЕ ОХРАНЕНИЕ , вид охранения войск при расположении их на месте в условиях возможного нападения наземного противника. Выставляется обычно от части (соединения) - сторожевые отряды, заставы и посты, патрули.
ХОРЕЗМШАХ , титул правителя Хорезма (951-1220).
ДЕССАУ (Dessau) Пауль (1894-1979) , немецкий композитор. Вице-президент Немецкой академии искусств (1957-62). Писал политические песни для рабочих хоров, оперы. С 1933 в эмиграции (с 1939 в США). С 1948 в Берлине. Сотрудничал с Б. Брехтом (музыка к его пьесам; оперы, в т. ч. "Осуждение Лукулла", 1949, "Ланцелот", 1969).