Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластин Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластинСтраница 6
Типичные загрязнения
полупроводниковых пластин и их источники
Таблица 1.
| Загрязнения | Возможные источники |
|
Волокна (нейлон, целлюлоза и т. д.) |
Одежда, ткани, бумажные изделия |
|
Силикаты |
Горные породы, песок, почва, зола, пепел |
|
Окислы и окалина |
Продукты окисления некоторых металлов |
|
Масла и жиры |
Масла от машинной обработки, отпечатки пальцев, жиры с открытых участков тела, средства для волос, мази, лосьоны |
|
Силиконы |
Аэрозоли для волос, кремы, лосьоны после бритья, лосьоны для рук, мыло |
|
Металлы |
Порошки и отходы машинной обработки и шлифовки; изготовление металлических частей; частицы из металлических банок для хранения и металлических контейнеров |
|
Ионные примеси |
Продукты дыхания, отпечатки пальцев (хлорид натрия); примеси из очищающих растворов, содержащие ионные детергенты; некоторые флюсы; примеси от предварительной химической операции, такой, как травление или металлизация |
|
Неионные примеси |
Неионные детергенты, органические материалы для обработки |
|
Растворимые примеси |
Очищающие растворители и растворы |
ЩУКИН Александр Николаевич (1900-90) , российский радиотехник, академик АН СССР (1953), генерал-лейтенант-инженер (1971), дважды Герой Социалистического Труда (1956, 1975). Труды по распространению коротких волн, теории и методам расчета дальней коротковолновой связи и др. Ленинская премия (1957), Государственная премия СССР (1953).
ДЖОТТО ДИ БОНДОНЕ (Giotto di Bondone) (1266 или 1267-1337) , итальянский живописец. Представитель Проторенессанса. Порвав со средневековыми канонами, внес в религиозные сцены земное начало, изображая евангельские легенды с небывалой жизненной убедительностью. Фрески капеллы дель Арена в Падуе (1305-1308) и церкви Санта-Кроче во Флоренции (ок. 1320-25) поражают внутренней силой и величием образов, тектоничностью композиции. Автор проекта колокольни собора во Флоренции.
ЛАВРИЙСКИЕ РУДНИКИ , месторождения серебро-свинцовых руд в Др. Греции, на горе Лаврион около современного г. Лаврион (Аттика). С 6 в. до н. э. собственность Афин. Работали рабы (в 5-4 вв. до н. э. до 35 тыс.). С 1 в. н. э. заброшены. Добыча возобновилась в 1873.