Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластин
Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластин
Страница 6

Типичные загрязнения

полупроводниковых пластин и их источники

Таблица 1.

Загрязнения

Возможные источники

Волокна (нейлон, целлюлоза и т. д.)

Одежда, ткани, бумажные изделия

Силикаты

Горные породы, песок, почва, зола, пепел

Окислы и окалина

Продукты окисления некоторых металлов

Масла и жиры

Масла от машинной обработки, отпечатки пальцев, жиры с открытых участков тела, средства для волос, мази, лосьоны

Силиконы

Аэрозоли для волос, кремы, лосьоны после бритья, лосьоны для рук, мыло

Металлы

Порошки и отходы машинной обработки и шлифовки; изготовление металлических частей; частицы из металлических банок для хранения и металлических контейнеров

Ионные примеси

Продукты дыхания, отпечатки пальцев (хлорид на­трия); примеси из очищающих растворов, содержащие ионные детергенты; некоторые флюсы; примеси от предварительной химической операции, такой, как травление или металлизация

Неионные примеси

Неионные детергенты, органические материалы для обработки

Растворимые примеси

Очищающие растворители и растворы

Страницы: 2 3 4 5 6 7 8 9 10

САБАТЬЕ (Sabatier) Поль (1854-1941) , французский химик-органик, один из основоположников органического катализа. Предложил использовать в качестве катализаторов вместо благородных металлов никель, медь, кобальт, железо. Осуществил на этих катализаторах многие процессы, в т. ч. гидрирование. Нобелевская премия (1912).

КАССИКИ , то же, что трупиалы.

КРАЕВСКИЙ Андрей Александрович (1810-89) , российский издатель, журналист. Помогал А. С. Пушкину в редактировании журнала "Современник" (1836-37). Редактор ряда газет, в т. ч. "Литературной газеты" (1840, 1844-45). Издавал журнал "Отечественные записки" (1839-68). Один из учредителей первого российского телеграфного агентства (РТА, с 1866).