Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластин Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластинСтраница 6
Типичные загрязнения
полупроводниковых пластин и их источники
Таблица 1.
| Загрязнения | Возможные источники |
|
Волокна (нейлон, целлюлоза и т. д.) |
Одежда, ткани, бумажные изделия |
|
Силикаты |
Горные породы, песок, почва, зола, пепел |
|
Окислы и окалина |
Продукты окисления некоторых металлов |
|
Масла и жиры |
Масла от машинной обработки, отпечатки пальцев, жиры с открытых участков тела, средства для волос, мази, лосьоны |
|
Силиконы |
Аэрозоли для волос, кремы, лосьоны после бритья, лосьоны для рук, мыло |
|
Металлы |
Порошки и отходы машинной обработки и шлифовки; изготовление металлических частей; частицы из металлических банок для хранения и металлических контейнеров |
|
Ионные примеси |
Продукты дыхания, отпечатки пальцев (хлорид натрия); примеси из очищающих растворов, содержащие ионные детергенты; некоторые флюсы; примеси от предварительной химической операции, такой, как травление или металлизация |
|
Неионные примеси |
Неионные детергенты, органические материалы для обработки |
|
Растворимые примеси |
Очищающие растворители и растворы |
АБСУРД (от лат . absurdus - нелепый), бессмыслица, нелепость.
САНИТАРНО-ЭПИДЕМИОЛОГИЧЕСКАЯ СЛУЖБА РОССИИ , система государственных учреждений, осуществляющих санитарный надзор, разработку и проведение санитарных профилактических и противоэпидемических мероприятий.
ЯНГ (Ян Чжэньнин) (Yang Chen Ning) (р . 1922), физик-теоретик. По происхождению китаец. С 1945 в США. Заложил основы современной теории калибровочных полей (теория Янга - Миллса, 1954, совместно с Р. Миллсом). Выдвинул (1956, совместно с Ли Цзундао) гипотезу о несохранении четности в слабых взаимодействиях. Нобелевская премия (1957, совместно с Ли Цзундао).