Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластин Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластинСтраница 6
Типичные загрязнения
полупроводниковых пластин и их источники
Таблица 1.
| Загрязнения | Возможные источники |
|
Волокна (нейлон, целлюлоза и т. д.) |
Одежда, ткани, бумажные изделия |
|
Силикаты |
Горные породы, песок, почва, зола, пепел |
|
Окислы и окалина |
Продукты окисления некоторых металлов |
|
Масла и жиры |
Масла от машинной обработки, отпечатки пальцев, жиры с открытых участков тела, средства для волос, мази, лосьоны |
|
Силиконы |
Аэрозоли для волос, кремы, лосьоны после бритья, лосьоны для рук, мыло |
|
Металлы |
Порошки и отходы машинной обработки и шлифовки; изготовление металлических частей; частицы из металлических банок для хранения и металлических контейнеров |
|
Ионные примеси |
Продукты дыхания, отпечатки пальцев (хлорид натрия); примеси из очищающих растворов, содержащие ионные детергенты; некоторые флюсы; примеси от предварительной химической операции, такой, как травление или металлизация |
|
Неионные примеси |
Неионные детергенты, органические материалы для обработки |
|
Растворимые примеси |
Очищающие растворители и растворы |
ДИАЛЕКТИЧЕСКАЯ ТЕОЛОГИЯ (теология кризиса) , ведущее направление в европейском протестантизме 20-30-х гг. 20 в. Исходило из идей С. Кьеркегора, главные представители - К. Барт, Э. Бруннер, Р. Бультман, Ф. Гогартен и др.; в США - Р. Нибур. Резко противопоставив "религию" как свод предметных действий и представлений и "веру" как личную "встречу" с богом, диалектическая теология выступила против растворения религии в культуре у идеологов либерального протестантизма 19 - нач. 20 вв., за возвращение к первоначальным идеям Реформации; подчеркивала абсолютную "несоизмеримость" бога и всего человеческого. Распалась в 1930-1940-х гг.
ИВАН II Красный (1326-59) , великий князь владимирский и московский (с 1353), 2-й сын Ивана I. Продолжал объединение русских земель.
ФОНТАНА (Fontana) Доменико (1543-1607) , итальянский архитектор. Представитель раннего барокко. План реконструкции Рима (1585; осуществлен частично), установка обелиска на площадь Св. Петра в Риме (1586).