Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластин Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластинСтраница 6
Типичные загрязнения
полупроводниковых пластин и их источники
Таблица 1.
| Загрязнения | Возможные источники |
|
Волокна (нейлон, целлюлоза и т. д.) |
Одежда, ткани, бумажные изделия |
|
Силикаты |
Горные породы, песок, почва, зола, пепел |
|
Окислы и окалина |
Продукты окисления некоторых металлов |
|
Масла и жиры |
Масла от машинной обработки, отпечатки пальцев, жиры с открытых участков тела, средства для волос, мази, лосьоны |
|
Силиконы |
Аэрозоли для волос, кремы, лосьоны после бритья, лосьоны для рук, мыло |
|
Металлы |
Порошки и отходы машинной обработки и шлифовки; изготовление металлических частей; частицы из металлических банок для хранения и металлических контейнеров |
|
Ионные примеси |
Продукты дыхания, отпечатки пальцев (хлорид натрия); примеси из очищающих растворов, содержащие ионные детергенты; некоторые флюсы; примеси от предварительной химической операции, такой, как травление или металлизация |
|
Неионные примеси |
Неионные детергенты, органические материалы для обработки |
|
Растворимые примеси |
Очищающие растворители и растворы |
ЧЕЛЫШЕВ Евгений Петрович (р . 1921), российский литературовед, академик РАН (1991; академик АН СССР с 1987). Труды по проблемам индийской литературы.
ЗУДОВ Вячеслав Дмитриевич (р . 1942), российский космонавт. Летчик-космонавт СССР (1976), полковник, Герой Советского Союза (1976). Полет на "Союзе-23" (октябрь 1976).
ЕВРОПЕЙСКИЙ ИНВЕСТИЦИОННЫЙ БАНК , (European Investment Bank), межправительственная кредитная организация Европейского сообщества. Основана в 1958. Правление в Люксембурге. Оплаченный капитал и резервы 15,3 млрд. ЭКЮ (1991). 4 представительства за рубежом. Сумма баланса 14,3 млрд. ЭКЮ (1991).