Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластин Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластинСтраница 6
Типичные загрязнения
полупроводниковых пластин и их источники
Таблица 1.
| Загрязнения | Возможные источники |
|
Волокна (нейлон, целлюлоза и т. д.) |
Одежда, ткани, бумажные изделия |
|
Силикаты |
Горные породы, песок, почва, зола, пепел |
|
Окислы и окалина |
Продукты окисления некоторых металлов |
|
Масла и жиры |
Масла от машинной обработки, отпечатки пальцев, жиры с открытых участков тела, средства для волос, мази, лосьоны |
|
Силиконы |
Аэрозоли для волос, кремы, лосьоны после бритья, лосьоны для рук, мыло |
|
Металлы |
Порошки и отходы машинной обработки и шлифовки; изготовление металлических частей; частицы из металлических банок для хранения и металлических контейнеров |
|
Ионные примеси |
Продукты дыхания, отпечатки пальцев (хлорид натрия); примеси из очищающих растворов, содержащие ионные детергенты; некоторые флюсы; примеси от предварительной химической операции, такой, как травление или металлизация |
|
Неионные примеси |
Неионные детергенты, органические материалы для обработки |
|
Растворимые примеси |
Очищающие растворители и растворы |
ЭРФУРТ (Erfurt) , город в Германии, на р. Гера, административный центр земли Тюрингия. 205 тыс. жителей (1992). Международный аэропорт. Машиностроение, химическая, мебельная, обувная, полиграфическая промышленность. Международная выставка цветов. Медицинская академия. Готический ансамбль собора (12-15 вв.) и церковь Северикирхе (13-14 вв.); доминиканская церковь (14-15 вв.), готические, ренессансные и барочные дома 15-18 вв.
КАНАЛИРОВАНИЕ ЧАСТИЦ , движение частиц, попавших в кристалл, вдоль "каналов", образованных параллельными рядами атомов.
ВОКАНСОН (Vaucanson) Жак де (1709-1782) , французский механик. Сконструировал механический шелкоткацкий станок, создал ряд автоматов с часовыми механизмами (в т. ч. известные игрушки - порхающая утка и играющий флейтист).