Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластин Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластинСтраница 6
Типичные загрязнения
полупроводниковых пластин и их источники
Таблица 1.
| Загрязнения | Возможные источники |
|
Волокна (нейлон, целлюлоза и т. д.) |
Одежда, ткани, бумажные изделия |
|
Силикаты |
Горные породы, песок, почва, зола, пепел |
|
Окислы и окалина |
Продукты окисления некоторых металлов |
|
Масла и жиры |
Масла от машинной обработки, отпечатки пальцев, жиры с открытых участков тела, средства для волос, мази, лосьоны |
|
Силиконы |
Аэрозоли для волос, кремы, лосьоны после бритья, лосьоны для рук, мыло |
|
Металлы |
Порошки и отходы машинной обработки и шлифовки; изготовление металлических частей; частицы из металлических банок для хранения и металлических контейнеров |
|
Ионные примеси |
Продукты дыхания, отпечатки пальцев (хлорид натрия); примеси из очищающих растворов, содержащие ионные детергенты; некоторые флюсы; примеси от предварительной химической операции, такой, как травление или металлизация |
|
Неионные примеси |
Неионные детергенты, органические материалы для обработки |
|
Растворимые примеси |
Очищающие растворители и растворы |
ФИЗИКО-ГЕОГРАФИЧЕСКИЕ КАРТЫ (природы карты) , отображают отдельные компоненты или явления природы (рельеф, климат, почвы и др.) и их закономерные сочетания - природные территориальные комплексы.
ТАДЖ-МАХАЛ , памятник индийской архитектуры, мавзолей султана Шах-Джахана и его жены Мумтаз-Махал (ок. 1630-52, архитектор, вероятно, Устад Иса и др.) на берегу р. Джамна, в г. Агра, 5-купольное сооружение (высота 74 м) на платформе, с 4 минаретами по углам. Стены выложены белым мрамором с инкрустацией из самоцветов. К Тадж-Махалу примыкает сад с фонтанами и бассейном.
ЭСТРАДНЫЙ ТАНЕЦ , вид сценического танца, небольшая сценка, хореографическая миниатюра; включает эксцентрику, акробатику, ритмичные танцы и др.