Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластин Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластинСтраница 6
Типичные загрязнения
полупроводниковых пластин и их источники
Таблица 1.
| Загрязнения | Возможные источники |
|
Волокна (нейлон, целлюлоза и т. д.) |
Одежда, ткани, бумажные изделия |
|
Силикаты |
Горные породы, песок, почва, зола, пепел |
|
Окислы и окалина |
Продукты окисления некоторых металлов |
|
Масла и жиры |
Масла от машинной обработки, отпечатки пальцев, жиры с открытых участков тела, средства для волос, мази, лосьоны |
|
Силиконы |
Аэрозоли для волос, кремы, лосьоны после бритья, лосьоны для рук, мыло |
|
Металлы |
Порошки и отходы машинной обработки и шлифовки; изготовление металлических частей; частицы из металлических банок для хранения и металлических контейнеров |
|
Ионные примеси |
Продукты дыхания, отпечатки пальцев (хлорид натрия); примеси из очищающих растворов, содержащие ионные детергенты; некоторые флюсы; примеси от предварительной химической операции, такой, как травление или металлизация |
|
Неионные примеси |
Неионные детергенты, органические материалы для обработки |
|
Растворимые примеси |
Очищающие растворители и растворы |
ШТИТНЫЙ (Stitny) Томаш (ок . 1333 - ок. 1405), идеолог мелкого чешского рыцарства. Автор трактатов (на чешском языке) на религиозно-философские и моральные темы (критика католической церкви и феодальных порядков).
ЕВГЕНИЙ Мелитинский (ум . 298), один из тридцати трех христианских мучеников-воинов, пострадавших в Мелитине в гонение императора Диоклетиана. Память в Православной церкви 7 (20) ноября.
ЕВЛАХ , город (с 1938) в Азербайджане, на р. Кура. Железнодорожный узел. 47,3 тыс. жителей (1991). Предприятия легкой и пищевкусовой промышленности.