Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластин Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластинСтраница 6
Типичные загрязнения
полупроводниковых пластин и их источники
Таблица 1.
| Загрязнения | Возможные источники |
|
Волокна (нейлон, целлюлоза и т. д.) |
Одежда, ткани, бумажные изделия |
|
Силикаты |
Горные породы, песок, почва, зола, пепел |
|
Окислы и окалина |
Продукты окисления некоторых металлов |
|
Масла и жиры |
Масла от машинной обработки, отпечатки пальцев, жиры с открытых участков тела, средства для волос, мази, лосьоны |
|
Силиконы |
Аэрозоли для волос, кремы, лосьоны после бритья, лосьоны для рук, мыло |
|
Металлы |
Порошки и отходы машинной обработки и шлифовки; изготовление металлических частей; частицы из металлических банок для хранения и металлических контейнеров |
|
Ионные примеси |
Продукты дыхания, отпечатки пальцев (хлорид натрия); примеси из очищающих растворов, содержащие ионные детергенты; некоторые флюсы; примеси от предварительной химической операции, такой, как травление или металлизация |
|
Неионные примеси |
Неионные детергенты, органические материалы для обработки |
|
Растворимые примеси |
Очищающие растворители и растворы |
ИНОХОДЦЕВ Петр Борисович (1742-1806) , астроном, академик Петербургской АН (1779), член Российской академии (1785). Определил географические координаты ряда русских городов, наблюдал прохождение Венеры по диску Солнца (1769). Историк астрономии. Участвовал в работе Российской академии по составлению словаря русского языка.
РОССИЙСКОЕ ИНФОРМАЦИОННОЕ АГЕНТСТВО "НОВОСТИ" (РИА "Новости") , государственная информационно-аналитическая организация. Основано в 1993. Учредитель - правительство Российской Федерации. Предшественники: Совинформбюро (1941-61), Агентство печати "Новости" (АПН; 1961-90), Информационное агентство "Новости" (ИАН; 1990-93). Распространяет российскую и иностранную информацию. 50 бюро в зарубежных государствах, 17 представительств в странах СНГ, сеть корпунктов. Издает книги и периодику, готовит телевизионные программы и фотоматериалы.
КРЕЙМЕР С ., см. Крамер С.