Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластин Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластинСтраница 6
Типичные загрязнения
полупроводниковых пластин и их источники
Таблица 1.
| Загрязнения | Возможные источники |
|
Волокна (нейлон, целлюлоза и т. д.) |
Одежда, ткани, бумажные изделия |
|
Силикаты |
Горные породы, песок, почва, зола, пепел |
|
Окислы и окалина |
Продукты окисления некоторых металлов |
|
Масла и жиры |
Масла от машинной обработки, отпечатки пальцев, жиры с открытых участков тела, средства для волос, мази, лосьоны |
|
Силиконы |
Аэрозоли для волос, кремы, лосьоны после бритья, лосьоны для рук, мыло |
|
Металлы |
Порошки и отходы машинной обработки и шлифовки; изготовление металлических частей; частицы из металлических банок для хранения и металлических контейнеров |
|
Ионные примеси |
Продукты дыхания, отпечатки пальцев (хлорид натрия); примеси из очищающих растворов, содержащие ионные детергенты; некоторые флюсы; примеси от предварительной химической операции, такой, как травление или металлизация |
|
Неионные примеси |
Неионные детергенты, органические материалы для обработки |
|
Растворимые примеси |
Очищающие растворители и растворы |
ОТПУСК , в Российской Федерации ежегодный отдых, предоставляемый всем рабочим и служащим (кроме временных и сезонных) с сохранением среднего заработка. Продолжительность не менее 24 рабочих дней (в расчете на 6-дневную рабочую неделю), для несовершеннолетних - 1 календарный месяц. Некоторым категориям работников предоставляются дополнительные отпуска. Установлены также оплачиваемые отпуска по временной нетрудоспособности; по беременности и родам; лицам, совмещающим работу с обучением. По уважительным причинам может быть предоставлен кратковременный отпуск без сохранения зарплаты.
ЗАСЛОНОВ Константин Сергеевич (1909/10-42) , один из руководителей партизанского движения в Великую Отечественную войну в Белоруссии, Герой Советского Союза (1943, посмертно). Руководил подпольной группой в Орше, командир бригады. Погиб в бою.
СААР (Саарская область) (Saarland) , земля на западе Германии. 2,6 тыс. км2. Население 1077 тыс. человек (1992). Адм. ц. - Саарбрюккен. В средние века на территории Саара существовало графство. С 1815 большая часть Саара в составе Пруссии (с 1871 - Германской империи). В 1919 передан в управление комиссии Лиги Наций (угольные копи - в собственность Франции); в 1935 (по плебисциту) отошел к Германии. После 2-й мировой войны вошел во французскую зону оккупации Германии; по договору 1956 между Францией и Германией с 1 января 1957 в составе Германии.