Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластин Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластинСтраница 6
Типичные загрязнения
полупроводниковых пластин и их источники
Таблица 1.
| Загрязнения | Возможные источники |
|
Волокна (нейлон, целлюлоза и т. д.) |
Одежда, ткани, бумажные изделия |
|
Силикаты |
Горные породы, песок, почва, зола, пепел |
|
Окислы и окалина |
Продукты окисления некоторых металлов |
|
Масла и жиры |
Масла от машинной обработки, отпечатки пальцев, жиры с открытых участков тела, средства для волос, мази, лосьоны |
|
Силиконы |
Аэрозоли для волос, кремы, лосьоны после бритья, лосьоны для рук, мыло |
|
Металлы |
Порошки и отходы машинной обработки и шлифовки; изготовление металлических частей; частицы из металлических банок для хранения и металлических контейнеров |
|
Ионные примеси |
Продукты дыхания, отпечатки пальцев (хлорид натрия); примеси из очищающих растворов, содержащие ионные детергенты; некоторые флюсы; примеси от предварительной химической операции, такой, как травление или металлизация |
|
Неионные примеси |
Неионные детергенты, органические материалы для обработки |
|
Растворимые примеси |
Очищающие растворители и растворы |
БЕЛГАОН (Белгаум) , город на юге Индии, шт. Карнатака. 326 тыс. жителей (1991). Пищевая, хлопчатобумажная, химическая промышленность. Выплавка алюминия.
ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВАЯ ПЛАВКА , рафинирующий переплав тугоплавких металлов или высоколегированных сталей в эектронно-лучевых печах. Электронно-лучевая плавка обеспечивает высокую чистоту переплавленного материала (напр., содержание газов в металле снижается в сотни раз) и однородность его структуры.
ВЕСЛОНОГИЕ ПТИЦЫ (пеликанообразные) , отряд водоплавающих птиц. Все 4 пальца соединены плавательной перепонкой. На побережьях океанов и морей. 6 семейств: олуши, фаэтоны, фрегаты, бакланы, змеешейки, пеликаны.