Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластин Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластинСтраница 6
Типичные загрязнения
полупроводниковых пластин и их источники
Таблица 1.
| Загрязнения | Возможные источники |
|
Волокна (нейлон, целлюлоза и т. д.) |
Одежда, ткани, бумажные изделия |
|
Силикаты |
Горные породы, песок, почва, зола, пепел |
|
Окислы и окалина |
Продукты окисления некоторых металлов |
|
Масла и жиры |
Масла от машинной обработки, отпечатки пальцев, жиры с открытых участков тела, средства для волос, мази, лосьоны |
|
Силиконы |
Аэрозоли для волос, кремы, лосьоны после бритья, лосьоны для рук, мыло |
|
Металлы |
Порошки и отходы машинной обработки и шлифовки; изготовление металлических частей; частицы из металлических банок для хранения и металлических контейнеров |
|
Ионные примеси |
Продукты дыхания, отпечатки пальцев (хлорид натрия); примеси из очищающих растворов, содержащие ионные детергенты; некоторые флюсы; примеси от предварительной химической операции, такой, как травление или металлизация |
|
Неионные примеси |
Неионные детергенты, органические материалы для обработки |
|
Растворимые примеси |
Очищающие растворители и растворы |
ИГУМЕН (греч . hegumenos, букв. - ведущий), настоятель православного монастыря (в женских - игуменья). Обычно в сане архимандрита.
УСУНИ , кочевые племена Центральной и Ср. Азии. Во 2-1 вв. до н. э. жили на территории Сев. Киргизии и Юж. Казахстана. После 5 в. н. э. не упоминаются.
РЕПЕРТУАР (от позднелат . repertorium - список), совокупность произведений, исполняемых в театре (драматическом, музыкальном), на концертной эстраде, отдельным артистом. Различают также репертуар по стилям и жанрам (романтический, комедийный); существуют понятия "современный репертуар", "классический репертуар".