Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластин Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластинСтраница 6
Типичные загрязнения
полупроводниковых пластин и их источники
Таблица 1.
| Загрязнения | Возможные источники |
|
Волокна (нейлон, целлюлоза и т. д.) |
Одежда, ткани, бумажные изделия |
|
Силикаты |
Горные породы, песок, почва, зола, пепел |
|
Окислы и окалина |
Продукты окисления некоторых металлов |
|
Масла и жиры |
Масла от машинной обработки, отпечатки пальцев, жиры с открытых участков тела, средства для волос, мази, лосьоны |
|
Силиконы |
Аэрозоли для волос, кремы, лосьоны после бритья, лосьоны для рук, мыло |
|
Металлы |
Порошки и отходы машинной обработки и шлифовки; изготовление металлических частей; частицы из металлических банок для хранения и металлических контейнеров |
|
Ионные примеси |
Продукты дыхания, отпечатки пальцев (хлорид натрия); примеси из очищающих растворов, содержащие ионные детергенты; некоторые флюсы; примеси от предварительной химической операции, такой, как травление или металлизация |
|
Неионные примеси |
Неионные детергенты, органические материалы для обработки |
|
Растворимые примеси |
Очищающие растворители и растворы |
ОСТЯКИ , устаревшее название хантов.
ЧИГИРИН , город (с 1795) на Украине, Черкасская обл., на р. Тясмин, в 36 км от ж.-д. ст. Фундуклеевка. 13 тыс. жителей (1991). Легкая, пищевая промышленность. Известен с 16 в.
ЮЖНОЕ ПАССАТНОЕ ТЕЧЕНИЕ , теплое поверхностное течение южных тропических широт Мирового ок., направленное с востока на запад. Возникает под действием пассатов. В Тихом ок. является продолжением Перуанского течения, в Атлантическом ок. - Бенгельского течения, в Индийском ок. - Западно-Австралийского течения, которые переходят в Юж. Пассатное течение при подходе к экватору и отклонении их направления на запад.