Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластин Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластинСтраница 6
Типичные загрязнения
полупроводниковых пластин и их источники
Таблица 1.
| Загрязнения | Возможные источники |
|
Волокна (нейлон, целлюлоза и т. д.) |
Одежда, ткани, бумажные изделия |
|
Силикаты |
Горные породы, песок, почва, зола, пепел |
|
Окислы и окалина |
Продукты окисления некоторых металлов |
|
Масла и жиры |
Масла от машинной обработки, отпечатки пальцев, жиры с открытых участков тела, средства для волос, мази, лосьоны |
|
Силиконы |
Аэрозоли для волос, кремы, лосьоны после бритья, лосьоны для рук, мыло |
|
Металлы |
Порошки и отходы машинной обработки и шлифовки; изготовление металлических частей; частицы из металлических банок для хранения и металлических контейнеров |
|
Ионные примеси |
Продукты дыхания, отпечатки пальцев (хлорид натрия); примеси из очищающих растворов, содержащие ионные детергенты; некоторые флюсы; примеси от предварительной химической операции, такой, как травление или металлизация |
|
Неионные примеси |
Неионные детергенты, органические материалы для обработки |
|
Растворимые примеси |
Очищающие растворители и растворы |
ЗАЛИЗНЯК Андрей Анатольевич (р . 1935), российский языковед, член-корреспондент РАН (1991; член-корреспондент АН СССР с 1987). Труды в области грамматики, славянской и русской акцентологии, а также общего языкознания, теории составления лингвистических задач, грамматики санскрита и др., исследовал новгородские берестяные грамоты. Автор "Грамматического словаря русского языка" (1977).
ИБАРАКИ , город в Японии, пригород Осаки. 255 тыс. жителей (1992). Металлургия, машиностроение. Химическая, пищевая промышленность.
НЕВМЕНЯЕМОСТЬ , неспособность лица вследствие хронической душевной болезни, временного расстройства душевной деятельности, слабоумия или иного болезненного состояния отдавать себе отчет в своих действиях или руководить ими. Лицо, признанное судом невменяемым, не подлежит уголовной ответственности (см. Принудительные меры медицинского характера).