Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластин Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластинСтраница 6
Типичные загрязнения
полупроводниковых пластин и их источники
Таблица 1.
| Загрязнения | Возможные источники |
|
Волокна (нейлон, целлюлоза и т. д.) |
Одежда, ткани, бумажные изделия |
|
Силикаты |
Горные породы, песок, почва, зола, пепел |
|
Окислы и окалина |
Продукты окисления некоторых металлов |
|
Масла и жиры |
Масла от машинной обработки, отпечатки пальцев, жиры с открытых участков тела, средства для волос, мази, лосьоны |
|
Силиконы |
Аэрозоли для волос, кремы, лосьоны после бритья, лосьоны для рук, мыло |
|
Металлы |
Порошки и отходы машинной обработки и шлифовки; изготовление металлических частей; частицы из металлических банок для хранения и металлических контейнеров |
|
Ионные примеси |
Продукты дыхания, отпечатки пальцев (хлорид натрия); примеси из очищающих растворов, содержащие ионные детергенты; некоторые флюсы; примеси от предварительной химической операции, такой, как травление или металлизация |
|
Неионные примеси |
Неионные детергенты, органические материалы для обработки |
|
Растворимые примеси |
Очищающие растворители и растворы |
ЛОУРЕНС (Lawrence) Эрнест Орландо (1901-58) , американский физик, иностранный почетный член АН СССР (1942). Выдвинул идею (1930) и построил первый циклотрон. Труды по ядерной физике и ее применении в биологии и медицине. Участник создания атомной бомбы. Нобелевская премия (1939).
БЕЙСБОЛ (англ . baseball), спортивная игра с мячом и битой, напоминающая лапту, на площадке 175 х 125 м, в которой участвуют 2 команды по 9 (североамериканский бейсбол) или по 11 (уэльский бейсбол) игроков каждая. Родина бейсбола - Англия; современные правила игры с 1845 (см. также Софтбол, Крикет). В Международной федерации бейсбола (IBF; основана в 1921) 71 страна (1991). Чемпионаты мира с 1938. В программе Олимпийских игр с 1992.
НАНИЗМ (от греч . nanos - карлик), карликовость, ненормально низкий рост человека (для мужчин ниже 125 см, для женщин ниже 120 см), обусловленный обычно поражением желез внутренней секреции.