Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластин Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластинСтраница 6
Типичные загрязнения
полупроводниковых пластин и их источники
Таблица 1.
| Загрязнения | Возможные источники |
|
Волокна (нейлон, целлюлоза и т. д.) |
Одежда, ткани, бумажные изделия |
|
Силикаты |
Горные породы, песок, почва, зола, пепел |
|
Окислы и окалина |
Продукты окисления некоторых металлов |
|
Масла и жиры |
Масла от машинной обработки, отпечатки пальцев, жиры с открытых участков тела, средства для волос, мази, лосьоны |
|
Силиконы |
Аэрозоли для волос, кремы, лосьоны после бритья, лосьоны для рук, мыло |
|
Металлы |
Порошки и отходы машинной обработки и шлифовки; изготовление металлических частей; частицы из металлических банок для хранения и металлических контейнеров |
|
Ионные примеси |
Продукты дыхания, отпечатки пальцев (хлорид натрия); примеси из очищающих растворов, содержащие ионные детергенты; некоторые флюсы; примеси от предварительной химической операции, такой, как травление или металлизация |
|
Неионные примеси |
Неионные детергенты, органические материалы для обработки |
|
Растворимые примеси |
Очищающие растворители и растворы |
ИМЕНИНЫ (день ангела) , в христианской традиции - день памяти какого-либо святого, являющийся праздником для верующего, названного именем этого святого. В России именины членов императорской фамилии и высших церковных иерархов назывались тезоименитством.
БАСТИЛИЯ (Bastille) , крепость в Париже, построена в 1370-82; с 15 в. государственная тюрьма. Штурм Бастилии (14 июля 1789) восставшим народом явился началом Великой французской революции (отмечается с 1880 как национальный праздник Франции). В 1790 Бастилия была срыта.
ХЕББАР Каттинджери Кришна (р . 1912), индийский живописец и график. В произведениях на темы сельской жизни ("Круг за кругом") органично сочетает приемы традиционного индийского и современного европейского искусства, выразительно передает ритм труда.