Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластин
Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластин
Страница 6

Типичные загрязнения

полупроводниковых пластин и их источники

Таблица 1.

Загрязнения

Возможные источники

Волокна (нейлон, целлюлоза и т. д.)

Одежда, ткани, бумажные изделия

Силикаты

Горные породы, песок, почва, зола, пепел

Окислы и окалина

Продукты окисления некоторых металлов

Масла и жиры

Масла от машинной обработки, отпечатки пальцев, жиры с открытых участков тела, средства для волос, мази, лосьоны

Силиконы

Аэрозоли для волос, кремы, лосьоны после бритья, лосьоны для рук, мыло

Металлы

Порошки и отходы машинной обработки и шлифовки; изготовление металлических частей; частицы из металлических банок для хранения и металлических контейнеров

Ионные примеси

Продукты дыхания, отпечатки пальцев (хлорид на­трия); примеси из очищающих растворов, содержащие ионные детергенты; некоторые флюсы; примеси от предварительной химической операции, такой, как травление или металлизация

Неионные примеси

Неионные детергенты, органические материалы для обработки

Растворимые примеси

Очищающие растворители и растворы

Страницы: 2 3 4 5 6 7 8 9 10

КРУГОВАЯ ЧАСТОТА , то же, что угловая частота.

АНДРЕЕВ Михаил Степанович (1873-1948) , российский этнограф и лингвист, член-корреспондент АН СССР (1929), академик АН Узбекистана (1943). Труды по быту, народному искусству, традиционным верованиям таджиков; по восточно-иранским языкам.

ЧИСТОКРОВНАЯ ВЕРХОВАЯ ПОРОДА лошадей , выведена в Великобритании в 17-18 вв. Животные среднего роста и крупные, гармонического сложения, резвы (1-е место среди верховых пород) и выносливы. Используют в конном спорте и для улучшения других пород. Разводят во многих странах, в т. ч. в России.