Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластин Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластинСтраница 6
Типичные загрязнения
полупроводниковых пластин и их источники
Таблица 1.
| Загрязнения | Возможные источники |
|
Волокна (нейлон, целлюлоза и т. д.) |
Одежда, ткани, бумажные изделия |
|
Силикаты |
Горные породы, песок, почва, зола, пепел |
|
Окислы и окалина |
Продукты окисления некоторых металлов |
|
Масла и жиры |
Масла от машинной обработки, отпечатки пальцев, жиры с открытых участков тела, средства для волос, мази, лосьоны |
|
Силиконы |
Аэрозоли для волос, кремы, лосьоны после бритья, лосьоны для рук, мыло |
|
Металлы |
Порошки и отходы машинной обработки и шлифовки; изготовление металлических частей; частицы из металлических банок для хранения и металлических контейнеров |
|
Ионные примеси |
Продукты дыхания, отпечатки пальцев (хлорид натрия); примеси из очищающих растворов, содержащие ионные детергенты; некоторые флюсы; примеси от предварительной химической операции, такой, как травление или металлизация |
|
Неионные примеси |
Неионные детергенты, органические материалы для обработки |
|
Растворимые примеси |
Очищающие растворители и растворы |
НАХСКО-ДАГЕСТАНСКИЕ ЯЗЫКИ (восточно-кавказские) , см. Кавказские (иберийско-кавказские) языки.
РАКВЕРЕ (Rakvere) (до 1917 официальное название Везенберг) , город в Эстонии. Железнодорожная станция. 20,1 тыс. жителей (1991). Пищевая, легкая, лесная, деревообрабатывающая, машиностроительная промышленность. Театр. Краеведческий музей. Известен с 13 в., в русских летописях называется Ракобор.
МАЛЬБОРО (Marlborough) Джон Черчилл (Churchill) (1650-1722) , герцог Мальборо (1702), английский полководец и государственный деятель, генерал-фельдцейхмейстер (1702). Принадлежал к партии вигов. Во время войны за Испанское наследство до 1711 главнокомандующий английской армией на континенте.