Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластин Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластинСтраница 6
Типичные загрязнения
полупроводниковых пластин и их источники
Таблица 1.
| Загрязнения | Возможные источники |
|
Волокна (нейлон, целлюлоза и т. д.) |
Одежда, ткани, бумажные изделия |
|
Силикаты |
Горные породы, песок, почва, зола, пепел |
|
Окислы и окалина |
Продукты окисления некоторых металлов |
|
Масла и жиры |
Масла от машинной обработки, отпечатки пальцев, жиры с открытых участков тела, средства для волос, мази, лосьоны |
|
Силиконы |
Аэрозоли для волос, кремы, лосьоны после бритья, лосьоны для рук, мыло |
|
Металлы |
Порошки и отходы машинной обработки и шлифовки; изготовление металлических частей; частицы из металлических банок для хранения и металлических контейнеров |
|
Ионные примеси |
Продукты дыхания, отпечатки пальцев (хлорид натрия); примеси из очищающих растворов, содержащие ионные детергенты; некоторые флюсы; примеси от предварительной химической операции, такой, как травление или металлизация |
|
Неионные примеси |
Неионные детергенты, органические материалы для обработки |
|
Растворимые примеси |
Очищающие растворители и растворы |
КАЛИЯ ИОДИД , KI, бесцветные кристаллы. Хорошо растворим в воде. На свету медленно разлагается с выделением иода. Применяют для изготовления светочувствительных фотоматериалов и в медицине.
БРОДНИКИ , население побережья Азовского м. и нижнего Дона в 12-13 вв., возможно славянское. Участвовали в междоусобицах русских князей, русско-половецких и русско-татарских сражениях.
ВЕНЕЦИАНСКИЙ ЗАЛИВ Адриатического м ., у берегов Италии, Словении и Хорватии. Глубина до 34 м. На северо-востоке переходит в Триестский зал. Основные порты - Венеция, Триест.