Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластин Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластинСтраница 6
Типичные загрязнения
полупроводниковых пластин и их источники
Таблица 1.
| Загрязнения | Возможные источники |
|
Волокна (нейлон, целлюлоза и т. д.) |
Одежда, ткани, бумажные изделия |
|
Силикаты |
Горные породы, песок, почва, зола, пепел |
|
Окислы и окалина |
Продукты окисления некоторых металлов |
|
Масла и жиры |
Масла от машинной обработки, отпечатки пальцев, жиры с открытых участков тела, средства для волос, мази, лосьоны |
|
Силиконы |
Аэрозоли для волос, кремы, лосьоны после бритья, лосьоны для рук, мыло |
|
Металлы |
Порошки и отходы машинной обработки и шлифовки; изготовление металлических частей; частицы из металлических банок для хранения и металлических контейнеров |
|
Ионные примеси |
Продукты дыхания, отпечатки пальцев (хлорид натрия); примеси из очищающих растворов, содержащие ионные детергенты; некоторые флюсы; примеси от предварительной химической операции, такой, как травление или металлизация |
|
Неионные примеси |
Неионные детергенты, органические материалы для обработки |
|
Растворимые примеси |
Очищающие растворители и растворы |
АГЛАБИДЫ , династия арабских эмиров в Сев. Африке в 800-909; вассалы Аббасидов. Пали в борьбе с Фатимидами.
ЯДРО , в биологии - обязательная часть клетки у многих одноклеточных и всех многоклеточных организмов. Типичное ядро отделено от окружающей цитоплазмы оболочкой, содержит ядрышко, хромосомы и кариоплазму. Размеры от 1 мкм (у некоторых простейших) до 1 мм (в яйцах некоторых рыб и земноводных). Управляет синтезом белков (в т. ч. ферментов) и через них всеми физиологическими процессами в клетке. Большинство клеток содержит одно ядро. По наличию или отсутствию в клетках оформленного ядра все организмы делят соответственно на эукариот и прокариот.
ИСТОЧНИКИ ИСТОРИЧЕСКИЕ , все объекты, непосредственно отражающие исторический процесс и дающие возможность изучать прошлое человеческого общества, т. е. все созданное человеком, а также результаты его взаимодействия с окружающей средой; предметы материальной культуры, памятники письменности, обычаи, обряды и др. Количество исторических источников безгранично, но число сохранившихся от различных исторических периодов неодинаково.