Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластин Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластинСтраница 6
Типичные загрязнения
полупроводниковых пластин и их источники
Таблица 1.
| Загрязнения | Возможные источники |
|
Волокна (нейлон, целлюлоза и т. д.) |
Одежда, ткани, бумажные изделия |
|
Силикаты |
Горные породы, песок, почва, зола, пепел |
|
Окислы и окалина |
Продукты окисления некоторых металлов |
|
Масла и жиры |
Масла от машинной обработки, отпечатки пальцев, жиры с открытых участков тела, средства для волос, мази, лосьоны |
|
Силиконы |
Аэрозоли для волос, кремы, лосьоны после бритья, лосьоны для рук, мыло |
|
Металлы |
Порошки и отходы машинной обработки и шлифовки; изготовление металлических частей; частицы из металлических банок для хранения и металлических контейнеров |
|
Ионные примеси |
Продукты дыхания, отпечатки пальцев (хлорид натрия); примеси из очищающих растворов, содержащие ионные детергенты; некоторые флюсы; примеси от предварительной химической операции, такой, как травление или металлизация |
|
Неионные примеси |
Неионные детергенты, органические материалы для обработки |
|
Растворимые примеси |
Очищающие растворители и растворы |
ХАМИСИ (аль-Хамиси) Абдаррахман (1920-87) , арабский писатель (Египет). Сборники рассказов ("Глас народа", 1952; "Окровавленные рубашки", 1953) и стихов (в т. ч. "Книга любви", 1970; "Египет любви и революции", 1980) - о национально-освободительном движении; пьесы, публицистические книги "Борцы" (1951), киносценарии. Международная Ленинская премия (1980).
ЖИНОВИЧ (Жидович) Иосиф Иосифович (1907-1974) , белорусский дирижер, цимбалист, композитор, народный артист СССР (1968). Выступал как виртуоз цимбалист. С 1946 художественный руководитель и главный дирижер Государственного народного оркестра Белоруссии (с 1974 его имени). Модернизировал ряд инструментов, включенных в состав оркестра белорусских народных инструментов. Профессор Белорусской консерватории (с 1963).
ПОНТИФИКАТ (лат . pontificatus), в католической церкви власть и период правления римского папы. Один из титулов папы - понтифекс (pontifex - первосвященник).