Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластин Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластинСтраница 6
Типичные загрязнения
полупроводниковых пластин и их источники
Таблица 1.
| Загрязнения | Возможные источники |
|
Волокна (нейлон, целлюлоза и т. д.) |
Одежда, ткани, бумажные изделия |
|
Силикаты |
Горные породы, песок, почва, зола, пепел |
|
Окислы и окалина |
Продукты окисления некоторых металлов |
|
Масла и жиры |
Масла от машинной обработки, отпечатки пальцев, жиры с открытых участков тела, средства для волос, мази, лосьоны |
|
Силиконы |
Аэрозоли для волос, кремы, лосьоны после бритья, лосьоны для рук, мыло |
|
Металлы |
Порошки и отходы машинной обработки и шлифовки; изготовление металлических частей; частицы из металлических банок для хранения и металлических контейнеров |
|
Ионные примеси |
Продукты дыхания, отпечатки пальцев (хлорид натрия); примеси из очищающих растворов, содержащие ионные детергенты; некоторые флюсы; примеси от предварительной химической операции, такой, как травление или металлизация |
|
Неионные примеси |
Неионные детергенты, органические материалы для обработки |
|
Растворимые примеси |
Очищающие растворители и растворы |
"ЧЕТЫРЕ ИСКУССТВА" , общество художников (1924-31) в Москве. Включало главным образом бывших членов "Мира искусства" и "Голубой розы" - живописцев, графиков, скульпторов и архитекторов (И. В. Жолтовский, А. И. Кравченко, П. В. Кузнецов, А. Т. Матвеев, В. И. Мухина, М. С. Сарьян, А. В. Щусев). Члены общества стремились к высокому профессиональному мастерству, эмоциональной реалистической передаче действительности в изобразительном искусстве; разрабатывали принципы современного градостроительства.
ЯХИН Рустем Мухамет-Хазеевич (р . 1921), татарский композитор и пианист, народный артист СССР (1986). Первый в татарской музыке концерт для фортепьяно с оркестром (1951), камерно-инструментальные ансамбли, романсы, песни.
ЩЕРБИНА Николай Федорович (1821-69) , русский поэт. В стихах на античные темы - культ радости, красоты (сборник "Греческие стихотворения", 1850). Сатирические стихи.