Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластин Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластинСтраница 6
Типичные загрязнения
полупроводниковых пластин и их источники
Таблица 1.
| Загрязнения | Возможные источники |
|
Волокна (нейлон, целлюлоза и т. д.) |
Одежда, ткани, бумажные изделия |
|
Силикаты |
Горные породы, песок, почва, зола, пепел |
|
Окислы и окалина |
Продукты окисления некоторых металлов |
|
Масла и жиры |
Масла от машинной обработки, отпечатки пальцев, жиры с открытых участков тела, средства для волос, мази, лосьоны |
|
Силиконы |
Аэрозоли для волос, кремы, лосьоны после бритья, лосьоны для рук, мыло |
|
Металлы |
Порошки и отходы машинной обработки и шлифовки; изготовление металлических частей; частицы из металлических банок для хранения и металлических контейнеров |
|
Ионные примеси |
Продукты дыхания, отпечатки пальцев (хлорид натрия); примеси из очищающих растворов, содержащие ионные детергенты; некоторые флюсы; примеси от предварительной химической операции, такой, как травление или металлизация |
|
Неионные примеси |
Неионные детергенты, органические материалы для обработки |
|
Растворимые примеси |
Очищающие растворители и растворы |
ГУЙГУ-ЦЗЫ (кит . учитель из долины оборотней), в китайской мифологии бессмертный мудрец, покровитель прорицателей, спутник Лао-цзы.
ЛИЛЛО (Lillo) Джордж (1693-1739) , английский драматург. Первые в английской литературе мещанские драмы - "Лондонский купец, или История Джорджа Барнвеля" (1731), "Роковое любопытство" (пост. 1736), сочетавшие правдивость изображения с нравоучительством.
"ЗВЕНО" , политическая группировка (1927-44) и партия Народный союз "Звено" (1944-49) в Болгарии. В 1934 "Звено" (с помощью Военной лиги) произвело государственный переворот (у власти до 1935). В 1939-45 члены "Звена" вели борьбу против гитлеровской Германии. Лидер "Звена" К. Георгиев возглавил 9.9.1944 первое правительство Отечественного фронта (ОФ). В 1949 "Звено" влилось в ОФ.