Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластин Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластинСтраница 6
Типичные загрязнения
полупроводниковых пластин и их источники
Таблица 1.
| Загрязнения | Возможные источники |
|
Волокна (нейлон, целлюлоза и т. д.) |
Одежда, ткани, бумажные изделия |
|
Силикаты |
Горные породы, песок, почва, зола, пепел |
|
Окислы и окалина |
Продукты окисления некоторых металлов |
|
Масла и жиры |
Масла от машинной обработки, отпечатки пальцев, жиры с открытых участков тела, средства для волос, мази, лосьоны |
|
Силиконы |
Аэрозоли для волос, кремы, лосьоны после бритья, лосьоны для рук, мыло |
|
Металлы |
Порошки и отходы машинной обработки и шлифовки; изготовление металлических частей; частицы из металлических банок для хранения и металлических контейнеров |
|
Ионные примеси |
Продукты дыхания, отпечатки пальцев (хлорид натрия); примеси из очищающих растворов, содержащие ионные детергенты; некоторые флюсы; примеси от предварительной химической операции, такой, как травление или металлизация |
|
Неионные примеси |
Неионные детергенты, органические материалы для обработки |
|
Растворимые примеси |
Очищающие растворители и растворы |
ЦИММЕРИНГ (Zimmering) Макс (1909-73) , немецкий писатель. В 1933-46 в эмиграции. Политические стихи (многие стали народными песнями). Произведения для детей (повесть о немецких антифашистах "Погоня за сапогом", 1932). Воспоминания о М. Горьком, В. В. Маяковском, К. А. Федине (1969).
УОРРЕН (Warren) Роберт Пенн (1905-89) , американский писатель, критик. В философско-психологическом романе "Вся королевская рать" (1946) - судьба политика-демагога. Философская притча "Пещера" (1959). Исторический роман "Достанет времени и места" (1951). Стихия современного социально-психологического отчуждения в романах "Приди в зеленый дол" (1971) и "Пристанище" (1977). Романы-метафоры Уоррена - многоплановый гротескный образ, сочетающийся с панорамой будничного бытия и богатством характеров. Поэзия (сборник "Новые и избранные стихи..." 1985) - земная и метафизическая, повествовательная и лирико-исповедальная, проникнутая философской иронией и четким ощущением нравственного идеала. Культурологическая книга "Демократия и поэзия" (1975).
ПИРОГАЛЛОЛ (1 , 2, 3-тригидроксибензол), С6Н3(ОН)3, бесцветные, темнеющие на воздухе кристаллы, tпл 133 °С. Применяется в производстве красителей, в газовом анализе, как проявляющее вещество в фотографии.