Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластин Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластинСтраница 6
Типичные загрязнения
полупроводниковых пластин и их источники
Таблица 1.
| Загрязнения | Возможные источники |
|
Волокна (нейлон, целлюлоза и т. д.) |
Одежда, ткани, бумажные изделия |
|
Силикаты |
Горные породы, песок, почва, зола, пепел |
|
Окислы и окалина |
Продукты окисления некоторых металлов |
|
Масла и жиры |
Масла от машинной обработки, отпечатки пальцев, жиры с открытых участков тела, средства для волос, мази, лосьоны |
|
Силиконы |
Аэрозоли для волос, кремы, лосьоны после бритья, лосьоны для рук, мыло |
|
Металлы |
Порошки и отходы машинной обработки и шлифовки; изготовление металлических частей; частицы из металлических банок для хранения и металлических контейнеров |
|
Ионные примеси |
Продукты дыхания, отпечатки пальцев (хлорид натрия); примеси из очищающих растворов, содержащие ионные детергенты; некоторые флюсы; примеси от предварительной химической операции, такой, как травление или металлизация |
|
Неионные примеси |
Неионные детергенты, органические материалы для обработки |
|
Растворимые примеси |
Очищающие растворители и растворы |
РОТШТЕЙН Федор Аронович (1871-1953) , российский историк, дипломат, академик АН СССР (1939). В 1890-1920 в эмиграции в Великобритании. В 1895-1911 член английской социал-демократической федерации, с 1911 один из лидеров левого крыла Британской социалистической партии. Участник создания КП Великобритании (1920). В 1921-30 на советской дипломатической, с 1922 на научной работе. Труды по истории рабочего движения, колониальной политики и международных отношений.
ПАНАФИНЕИ , в древней Аттике празднества в честь богини Афины (Великие панафинеи - раз в 4 года, Малые - ежегодно). В программу входили: главный обряд - шествие к акрополю, жертвоприношение и состязания (гимнастические, конные, поэтические и музыкальные).
КОНСТАНТИНОВ Константин Иванович (1817 , по другим данным, 1819-71), российский ученый, генерал-лейтенант (1864). Создал научные основы расчета и проектирования боевых пороховых ракет, пусковых станков и др. Разработал технологию изготовления ракет.