Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластин Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластинСтраница 6
Типичные загрязнения
полупроводниковых пластин и их источники
Таблица 1.
| Загрязнения | Возможные источники |
|
Волокна (нейлон, целлюлоза и т. д.) |
Одежда, ткани, бумажные изделия |
|
Силикаты |
Горные породы, песок, почва, зола, пепел |
|
Окислы и окалина |
Продукты окисления некоторых металлов |
|
Масла и жиры |
Масла от машинной обработки, отпечатки пальцев, жиры с открытых участков тела, средства для волос, мази, лосьоны |
|
Силиконы |
Аэрозоли для волос, кремы, лосьоны после бритья, лосьоны для рук, мыло |
|
Металлы |
Порошки и отходы машинной обработки и шлифовки; изготовление металлических частей; частицы из металлических банок для хранения и металлических контейнеров |
|
Ионные примеси |
Продукты дыхания, отпечатки пальцев (хлорид натрия); примеси из очищающих растворов, содержащие ионные детергенты; некоторые флюсы; примеси от предварительной химической операции, такой, как травление или металлизация |
|
Неионные примеси |
Неионные детергенты, органические материалы для обработки |
|
Растворимые примеси |
Очищающие растворители и растворы |
МАНЫЧ-ГУДИЛО (Большой Маныч) , соленое озеро в центральной части Кумо-Манычской впадины. Площадь изменчива (средняя 344 км2), средняя глубина 0,6 м.
АВСЮК Григорий Александрович (1906-88) , российский физико-географ, академик АН СССР (1984). Труды по исследованию температурного режима ледников. Руководитель (с 1956) советских гляциологических исследований по международным программам.
БОЙ , организованное вооруженное столкновение подразделений, частей (кораблей), соединений; может быть общевойсковым, противовоздушным, воздушным и морским. Виды боя: наступательный, оборонительный и встречный.