Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластин Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластинСтраница 6
Типичные загрязнения
полупроводниковых пластин и их источники
Таблица 1.
| Загрязнения | Возможные источники |
|
Волокна (нейлон, целлюлоза и т. д.) |
Одежда, ткани, бумажные изделия |
|
Силикаты |
Горные породы, песок, почва, зола, пепел |
|
Окислы и окалина |
Продукты окисления некоторых металлов |
|
Масла и жиры |
Масла от машинной обработки, отпечатки пальцев, жиры с открытых участков тела, средства для волос, мази, лосьоны |
|
Силиконы |
Аэрозоли для волос, кремы, лосьоны после бритья, лосьоны для рук, мыло |
|
Металлы |
Порошки и отходы машинной обработки и шлифовки; изготовление металлических частей; частицы из металлических банок для хранения и металлических контейнеров |
|
Ионные примеси |
Продукты дыхания, отпечатки пальцев (хлорид натрия); примеси из очищающих растворов, содержащие ионные детергенты; некоторые флюсы; примеси от предварительной химической операции, такой, как травление или металлизация |
|
Неионные примеси |
Неионные детергенты, органические материалы для обработки |
|
Растворимые примеси |
Очищающие растворители и растворы |
ХИТИН , полисахарид, образованный остатками аминосахара ацетилглюкозамина. Основной компонент наружного скелета (кутикулы) насекомых, ракообразных и других членистоногих. У грибов заменяет целлюлозу, с которой сходен по химическим и физическим свойствам и биологической роли.
ЭНГИЕНСКИЙ ГЕРЦОГ (герцог Ангиенский) (duс d'Enghien) Луи Антуан (1772-1804) , французский принц, представитель боковой ветви Бурбонов (дома Конде). С начала Французской революции кон. 18 в. - в эмиграции. Заподозренный Наполеоном Бонапартом в намерении занять французский престол, был вывезен в 1804 отрядом французских драгун во Францию; обвинен в участии в заговоре Ж. Кадудаля, расстрелян.
ЧУБИНАШВИЛИ Георгий Николаевич (1885-1973) , грузинский искусствовед, академик АН Грузии (1941). Исследование грузинской архитектуры и изобразительного искусства.