Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластин Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластинСтраница 6
Типичные загрязнения
полупроводниковых пластин и их источники
Таблица 1.
| Загрязнения | Возможные источники |
|
Волокна (нейлон, целлюлоза и т. д.) |
Одежда, ткани, бумажные изделия |
|
Силикаты |
Горные породы, песок, почва, зола, пепел |
|
Окислы и окалина |
Продукты окисления некоторых металлов |
|
Масла и жиры |
Масла от машинной обработки, отпечатки пальцев, жиры с открытых участков тела, средства для волос, мази, лосьоны |
|
Силиконы |
Аэрозоли для волос, кремы, лосьоны после бритья, лосьоны для рук, мыло |
|
Металлы |
Порошки и отходы машинной обработки и шлифовки; изготовление металлических частей; частицы из металлических банок для хранения и металлических контейнеров |
|
Ионные примеси |
Продукты дыхания, отпечатки пальцев (хлорид натрия); примеси из очищающих растворов, содержащие ионные детергенты; некоторые флюсы; примеси от предварительной химической операции, такой, как травление или металлизация |
|
Неионные примеси |
Неионные детергенты, органические материалы для обработки |
|
Растворимые примеси |
Очищающие растворители и растворы |
ЯТРОХИМИЯ (иатрохимия) , направление в медицине 16-18 вв., представители которого рассматривали процессы, происходящие в организме, как химические явления, болезни - как результат нарушения химического равновесия и ставили задачу поиска химических средств их лечения.
КИЛОГРАММ-СИЛА-МЕТР , единица энергии и работы МКГСС системы единиц, обозначается кгс·м. 1 кгс·м = 9,80655 Дж. Единицу кгс·м иногда неправильно называют килограммометром.
БАДАЛАМЕНТИ (Badalamenti) (псевд . Энди Бэдейл) Анджело (р. 1937), американский композитор, аранжировщик, поэт. Наибольший успех принес ему творческий союз с кинорежиссером Д. Линчем, к фильму которого "Синий бархат", а также телесериалу "Твин Пикс" написал музыку.