Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластин Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластинСтраница 6
Типичные загрязнения
полупроводниковых пластин и их источники
Таблица 1.
| Загрязнения | Возможные источники |
|
Волокна (нейлон, целлюлоза и т. д.) |
Одежда, ткани, бумажные изделия |
|
Силикаты |
Горные породы, песок, почва, зола, пепел |
|
Окислы и окалина |
Продукты окисления некоторых металлов |
|
Масла и жиры |
Масла от машинной обработки, отпечатки пальцев, жиры с открытых участков тела, средства для волос, мази, лосьоны |
|
Силиконы |
Аэрозоли для волос, кремы, лосьоны после бритья, лосьоны для рук, мыло |
|
Металлы |
Порошки и отходы машинной обработки и шлифовки; изготовление металлических частей; частицы из металлических банок для хранения и металлических контейнеров |
|
Ионные примеси |
Продукты дыхания, отпечатки пальцев (хлорид натрия); примеси из очищающих растворов, содержащие ионные детергенты; некоторые флюсы; примеси от предварительной химической операции, такой, как травление или металлизация |
|
Неионные примеси |
Неионные детергенты, органические материалы для обработки |
|
Растворимые примеси |
Очищающие растворители и растворы |
НИКРИТИН Соломон Борисович (1898-1965) , российский художник, один из наиболее самобытных мастеров русского художественного авангарда 1920-х гг. Инициатор проекционизма. Его живописный и графический стиль эволюционировал от футуризма с сюрреалистическими чертами к более традиционной, романтической манере. В 1936-41 был главным художником ВДНХ.
ЧАМБАЛ , река в Индии, правый приток р. Джамна. 830 км, площадь бассейна ок. 135 тыс. км2. Течет по плато Малва и Гангской равнине. Средний расход воды ок. 600 м3/с. Используется для орошения. Крупное водохранилище близ г. Рампур. ГЭС.
АНГЛЕЗИТ , минерал класса сульфатов, Pb[SO4]. Бесцветные, светлоокрашенные кристаллы, зернистые массы. Твердость 3-3,5; плотность ок. 6,4 г/см3. В основном гипергенный, гидротермальный. Руда свинца.