Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластин Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластинСтраница 6
Типичные загрязнения
полупроводниковых пластин и их источники
Таблица 1.
| Загрязнения | Возможные источники |
|
Волокна (нейлон, целлюлоза и т. д.) |
Одежда, ткани, бумажные изделия |
|
Силикаты |
Горные породы, песок, почва, зола, пепел |
|
Окислы и окалина |
Продукты окисления некоторых металлов |
|
Масла и жиры |
Масла от машинной обработки, отпечатки пальцев, жиры с открытых участков тела, средства для волос, мази, лосьоны |
|
Силиконы |
Аэрозоли для волос, кремы, лосьоны после бритья, лосьоны для рук, мыло |
|
Металлы |
Порошки и отходы машинной обработки и шлифовки; изготовление металлических частей; частицы из металлических банок для хранения и металлических контейнеров |
|
Ионные примеси |
Продукты дыхания, отпечатки пальцев (хлорид натрия); примеси из очищающих растворов, содержащие ионные детергенты; некоторые флюсы; примеси от предварительной химической операции, такой, как травление или металлизация |
|
Неионные примеси |
Неионные детергенты, органические материалы для обработки |
|
Растворимые примеси |
Очищающие растворители и растворы |
НАНИЗМ (от греч . nanos - карлик), карликовость, ненормально низкий рост человека (для мужчин ниже 125 см, для женщин ниже 120 см), обусловленный обычно поражением желез внутренней секреции.
АРИСТАРХ (ум . ок. 67), апостол от 70-ти, сподвижник апостола Павла (Деяния апостолов 19:29 и др.), епископ Апамейский (Сирия); убит в Риме в гонение императора Нерона. Память в Православной церкви 4 (17) января, 15 (28) апреля и 27 сентября (10 октября), в Католической 4 августа.
ЖЕНЕВСКИЕ КОНВЕНЦИИ 1949 , международные конвенции о защите жертв войны, подписанные 12.8.1949: 1) об улучшении участи раненых и больных в действующих армиях; 2) об улучшении участи раненых, больных и лиц, потерпевших кораблекрушение, из состава вооруженных сил на море; 3) об обращении с военнопленными; 4) о защите гражданского населения во время войны.