Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластин Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластинСтраница 6
Типичные загрязнения
полупроводниковых пластин и их источники
Таблица 1.
| Загрязнения | Возможные источники |
|
Волокна (нейлон, целлюлоза и т. д.) |
Одежда, ткани, бумажные изделия |
|
Силикаты |
Горные породы, песок, почва, зола, пепел |
|
Окислы и окалина |
Продукты окисления некоторых металлов |
|
Масла и жиры |
Масла от машинной обработки, отпечатки пальцев, жиры с открытых участков тела, средства для волос, мази, лосьоны |
|
Силиконы |
Аэрозоли для волос, кремы, лосьоны после бритья, лосьоны для рук, мыло |
|
Металлы |
Порошки и отходы машинной обработки и шлифовки; изготовление металлических частей; частицы из металлических банок для хранения и металлических контейнеров |
|
Ионные примеси |
Продукты дыхания, отпечатки пальцев (хлорид натрия); примеси из очищающих растворов, содержащие ионные детергенты; некоторые флюсы; примеси от предварительной химической операции, такой, как травление или металлизация |
|
Неионные примеси |
Неионные детергенты, органические материалы для обработки |
|
Растворимые примеси |
Очищающие растворители и растворы |
АУН САН (1915-47) , национальный герой Бирмы. В 1945 возглавил восстание против японских оккупантов, в 1945-47 руководил борьбой за независимость. Убит террористами.
УТРЕХТ (Utrecht) , город в Нидерландах, административный центр пров. Утрехт. 234 тыс. жителей (1993). Порт на Рейне. Машиностроение, химическая, табачная, текстильная (с 11 в.) промышленность. Международные ярмарки. Университет (с 17 в.). Центральный музей. Базилика Синт-Питерскерк (11-14 вв.), собор (Домкерк, 11-16 вв.), ратуша (19 в.), многочисленные церкви и монастыри 11-16 вв.; жилые дома 14-16 вв.
ДЮ ВИНЬО (du Vigneaud) Винсент (1901-1978) , американский биохимик. Исследовал химическое строение инсулина, биотина. Определил структуру и синтезировал пептидные гормоны - вазопрессин и окситоцин. Нобелевская премия (1955).