Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластин Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластинСтраница 6
Типичные загрязнения
полупроводниковых пластин и их источники
Таблица 1.
| Загрязнения | Возможные источники |
|
Волокна (нейлон, целлюлоза и т. д.) |
Одежда, ткани, бумажные изделия |
|
Силикаты |
Горные породы, песок, почва, зола, пепел |
|
Окислы и окалина |
Продукты окисления некоторых металлов |
|
Масла и жиры |
Масла от машинной обработки, отпечатки пальцев, жиры с открытых участков тела, средства для волос, мази, лосьоны |
|
Силиконы |
Аэрозоли для волос, кремы, лосьоны после бритья, лосьоны для рук, мыло |
|
Металлы |
Порошки и отходы машинной обработки и шлифовки; изготовление металлических частей; частицы из металлических банок для хранения и металлических контейнеров |
|
Ионные примеси |
Продукты дыхания, отпечатки пальцев (хлорид натрия); примеси из очищающих растворов, содержащие ионные детергенты; некоторые флюсы; примеси от предварительной химической операции, такой, как травление или металлизация |
|
Неионные примеси |
Неионные детергенты, органические материалы для обработки |
|
Растворимые примеси |
Очищающие растворители и растворы |
РЕКВИЕМ (по начальному слову лат . текста "Requiem aeternam dona eis, Domine" - "Вечный покой даруй им, Господи"), заупокойная месса. На традиционный латинский текст реквиема писали музыку многие композиторы (В. А. Моцарт, Г. Берлиоз, Ф. Лист, Дж. Верди); с 17 в. реквиемы создаются и на немецкие тексты из лютеранской Библии (Г. Щютц, И. Брамс), в 20 в. - на неканонические тексты (Б. Бриттен, Д. Б. Кабалевский).
ОСЬ ВРАЩЕНИЯ , прямая, неподвижная относительно вращающегося вокруг нее твердого тела. Для твердого тела, имеющего неподвижную точку (напр., для детского волчка), прямая, проходящая через эту точку, поворотом вокруг которой тело перемещается из данного положения в положение, к нему бесконечно близкое, называется мгновенной осью вращения.
ХАТОЯМА Итиро (1883-1959) , премьер-министр Японии в 1954-56. 19.10.1956 подписал совместную, СССР и Японии декларацию о прекращении состояния войны и восстановлении дипломатических отношений.