Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластин Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластинСтраница 6
Типичные загрязнения
полупроводниковых пластин и их источники
Таблица 1.
| Загрязнения | Возможные источники |
|
Волокна (нейлон, целлюлоза и т. д.) |
Одежда, ткани, бумажные изделия |
|
Силикаты |
Горные породы, песок, почва, зола, пепел |
|
Окислы и окалина |
Продукты окисления некоторых металлов |
|
Масла и жиры |
Масла от машинной обработки, отпечатки пальцев, жиры с открытых участков тела, средства для волос, мази, лосьоны |
|
Силиконы |
Аэрозоли для волос, кремы, лосьоны после бритья, лосьоны для рук, мыло |
|
Металлы |
Порошки и отходы машинной обработки и шлифовки; изготовление металлических частей; частицы из металлических банок для хранения и металлических контейнеров |
|
Ионные примеси |
Продукты дыхания, отпечатки пальцев (хлорид натрия); примеси из очищающих растворов, содержащие ионные детергенты; некоторые флюсы; примеси от предварительной химической операции, такой, как травление или металлизация |
|
Неионные примеси |
Неионные детергенты, органические материалы для обработки |
|
Растворимые примеси |
Очищающие растворители и растворы |
ЛИ (Юань Цзели) , см. Ли Ян.
РЕКОРДЕР (англ . recorder, от record - записывать), устройство, преобразующее электрические сигналы в колебания резца при механической записи звука.
ОКТЯБРЬСКИЕ СОБЫТИЯ 1993 (21 сент . - 4 окт.), явились следствием противостояния законодательной и исполнительной ветвей власти Российской Федерации. В условиях, когда "брежневская", подправленная Съездом народных депутатов российская конституция стала объективным тормозом в проведении реформ, а работа над новой велась слишком медленно и неэффективно, президент Б. Н. Ельцин издал указ "О поэтапной конституционной реформе в Российской Федерации", в соответствии с которым Верховный Совет и Съезд народных депутатов прекращали свою деятельность. Конституционный суд РФ пришел к заключению о несоответствии данного указа российской Конституции, однако Ельцин его не отменил. Верховный Совет, находившийся в Белом доме, отказался подчиниться указу президента, квалифицировав его действия как государственный переворот. Оборону Белого дома возглавили вице-президент А. В. Руцкой и председатель Верховного Совета Р. И. Хасбулатов. Попытки преодолеть кризис путем переговоров оказались безуспешными. Затянувшийся конфликт привел к блокаде Белого дома милицией. Защитники Белого дома предприняли штурм мэрии, пытались с помощью оружия овладеть Центральным телевидением в Останкине и штабом объединенных Вооруженных сил СНГ. 4 октября в результате осады и танкового обстрела Белый дом пал. В ходе событий погибло (по неполным данным) около 150 человек. В итоге событий система советов перестала существовать. В 1994 арестованные участники этих драматических событий были амнистированы Государственной думой Российской Федерации.