Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластин Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластинСтраница 6
Типичные загрязнения
полупроводниковых пластин и их источники
Таблица 1.
| Загрязнения | Возможные источники |
|
Волокна (нейлон, целлюлоза и т. д.) |
Одежда, ткани, бумажные изделия |
|
Силикаты |
Горные породы, песок, почва, зола, пепел |
|
Окислы и окалина |
Продукты окисления некоторых металлов |
|
Масла и жиры |
Масла от машинной обработки, отпечатки пальцев, жиры с открытых участков тела, средства для волос, мази, лосьоны |
|
Силиконы |
Аэрозоли для волос, кремы, лосьоны после бритья, лосьоны для рук, мыло |
|
Металлы |
Порошки и отходы машинной обработки и шлифовки; изготовление металлических частей; частицы из металлических банок для хранения и металлических контейнеров |
|
Ионные примеси |
Продукты дыхания, отпечатки пальцев (хлорид натрия); примеси из очищающих растворов, содержащие ионные детергенты; некоторые флюсы; примеси от предварительной химической операции, такой, как травление или металлизация |
|
Неионные примеси |
Неионные детергенты, органические материалы для обработки |
|
Растворимые примеси |
Очищающие растворители и растворы |
ШАРЖ (франц . charge), юмористическое изображение (обычно портрет), в котором с соблюдением сходства карикатурно изменены и подчеркнуты характерные черты человека.
ГАЛЬКА , округленные обломки горных пород диаметром 1-10 см, окатанные текучей водой или морскими волнами.
БОЛОТОВ Андрей Тимофеевич (1738-1833) , русский писатель и естествоиспытатель, один из основоположников отечественной агрономической науки. Труд "О разделении полей" (1771) - первое руководство по введению севооборотов и организации сельскохозяйственных территорий. Вывел сорта плодовых культур. Разработал принципы лесоразведения и лесоиспользования. Мемуары "Жизнь и приключения Андрея Болотова..." (т. 1-4, 1870-73).