Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластин Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластинСтраница 6
Типичные загрязнения
полупроводниковых пластин и их источники
Таблица 1.
| Загрязнения | Возможные источники |
|
Волокна (нейлон, целлюлоза и т. д.) |
Одежда, ткани, бумажные изделия |
|
Силикаты |
Горные породы, песок, почва, зола, пепел |
|
Окислы и окалина |
Продукты окисления некоторых металлов |
|
Масла и жиры |
Масла от машинной обработки, отпечатки пальцев, жиры с открытых участков тела, средства для волос, мази, лосьоны |
|
Силиконы |
Аэрозоли для волос, кремы, лосьоны после бритья, лосьоны для рук, мыло |
|
Металлы |
Порошки и отходы машинной обработки и шлифовки; изготовление металлических частей; частицы из металлических банок для хранения и металлических контейнеров |
|
Ионные примеси |
Продукты дыхания, отпечатки пальцев (хлорид натрия); примеси из очищающих растворов, содержащие ионные детергенты; некоторые флюсы; примеси от предварительной химической операции, такой, как травление или металлизация |
|
Неионные примеси |
Неионные детергенты, органические материалы для обработки |
|
Растворимые примеси |
Очищающие растворители и растворы |
ДЕНИЗЛИ (Denizli) , город на юго-западе Турции, административный центр иля (административно-территориальная единица) Денизли. 204 тыс. жителей (1990). Текстильная, пищевая промышленность. В районе - добыча магнезита.
ФУКУОКА , город в Японии, на о. Кюсю, административный центр префектуры Фукуока. Св. 1,3 млн. жителей (1992). Порт в зал. Хаката. Международный аэропорт. Химическая, машиностроительная, текстильная и др. промышленность. Производство национальных художественных изделий (игрушки, ткани). Университеты.
ШИРРА (Schirra) Уолтер (р . 1923), космонавт США, капитан 1-го ранга в отставке. Полеты на "Меркурии МА-8" (октябрь 1962), "Джемини-6" (декабрь 1965) и "Аполлоне-7" (октябрь 1968).