Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластин Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластинСтраница 6
Типичные загрязнения
полупроводниковых пластин и их источники
Таблица 1.
| Загрязнения | Возможные источники |
|
Волокна (нейлон, целлюлоза и т. д.) |
Одежда, ткани, бумажные изделия |
|
Силикаты |
Горные породы, песок, почва, зола, пепел |
|
Окислы и окалина |
Продукты окисления некоторых металлов |
|
Масла и жиры |
Масла от машинной обработки, отпечатки пальцев, жиры с открытых участков тела, средства для волос, мази, лосьоны |
|
Силиконы |
Аэрозоли для волос, кремы, лосьоны после бритья, лосьоны для рук, мыло |
|
Металлы |
Порошки и отходы машинной обработки и шлифовки; изготовление металлических частей; частицы из металлических банок для хранения и металлических контейнеров |
|
Ионные примеси |
Продукты дыхания, отпечатки пальцев (хлорид натрия); примеси из очищающих растворов, содержащие ионные детергенты; некоторые флюсы; примеси от предварительной химической операции, такой, как травление или металлизация |
|
Неионные примеси |
Неионные детергенты, органические материалы для обработки |
|
Растворимые примеси |
Очищающие растворители и растворы |
ЗВАНИЕ , устанавливаемое и присваиваемое компетентными органами наименование, свидетельствующее об официальном признании заслуг отдельного лица или коллектива либо о профессиональной, служебной, научной или иной квалификации. Существуют звания почетные, воинские, ученые, академические, спортивные, персональные, квалификационно-профессиональные, лауреатов премий, конкурсов и др.
ПАПАВА Михаил Григорьевич (1906-75) , российский кинодраматург. Сценарии фильмов: "Родные поля" (1945), "Высота" (1957), "Иваново детство" (1962, совместно с В. О. Богомоловым) и др. Государственная премия СССР (1950).
ДАВИД IV СТРОИТЕЛЬ (ок . 1073-1125), грузинский царь (с 1089) из династии Багратиони. Восстановил независимость Грузии от сельджуков. Вел борьбу с крупными феодалами, создал постоянное войско.