Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластин Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластинСтраница 6
Типичные загрязнения
полупроводниковых пластин и их источники
Таблица 1.
| Загрязнения | Возможные источники |
|
Волокна (нейлон, целлюлоза и т. д.) |
Одежда, ткани, бумажные изделия |
|
Силикаты |
Горные породы, песок, почва, зола, пепел |
|
Окислы и окалина |
Продукты окисления некоторых металлов |
|
Масла и жиры |
Масла от машинной обработки, отпечатки пальцев, жиры с открытых участков тела, средства для волос, мази, лосьоны |
|
Силиконы |
Аэрозоли для волос, кремы, лосьоны после бритья, лосьоны для рук, мыло |
|
Металлы |
Порошки и отходы машинной обработки и шлифовки; изготовление металлических частей; частицы из металлических банок для хранения и металлических контейнеров |
|
Ионные примеси |
Продукты дыхания, отпечатки пальцев (хлорид натрия); примеси из очищающих растворов, содержащие ионные детергенты; некоторые флюсы; примеси от предварительной химической операции, такой, как травление или металлизация |
|
Неионные примеси |
Неионные детергенты, органические материалы для обработки |
|
Растворимые примеси |
Очищающие растворители и растворы |
СЕТАР , см. Ситар.
ЧАМБАЛ , река в Индии, правый приток р. Джамна. 830 км, площадь бассейна ок. 135 тыс. км2. Течет по плато Малва и Гангской равнине. Средний расход воды ок. 600 м3/с. Используется для орошения. Крупное водохранилище близ г. Рампур. ГЭС.
ЕДИНАЯ ЭЛЕКТРОЭНЕРГЕТИЧЕСКАЯ СИСТЕМА (ЕЭЭС) , совокупность нескольких электроэнергетических систем, объединенных линиями электропередачи высокого напряжения и обеспечивающих энергоснабжение обширных территорий в пределах одной, а иногда и нескольких стран. ЕЭЭС Российской Федерации, Украины, Молдавии, Грузии, Армении, Латвии, Литвы, Эстонии и Казахстана включает 9 объединенных энергосистем: Северо-Запада, Центра, Ср. Волги, Юга, Сев. Кавказа, Закавказья, Урала, Казахстана и Сибири; объединяет (1992) св. 900 электростанций общей мощностью ок. 280 ГВт; работает совместно с электроэнергетическими системами стран Вост. Европы: Болгарии, Венгрии, Польши, Румынии, Словакии, Чехии, восточной части Германии.