Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластин Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластинСтраница 6
Типичные загрязнения
полупроводниковых пластин и их источники
Таблица 1.
| Загрязнения | Возможные источники |
|
Волокна (нейлон, целлюлоза и т. д.) |
Одежда, ткани, бумажные изделия |
|
Силикаты |
Горные породы, песок, почва, зола, пепел |
|
Окислы и окалина |
Продукты окисления некоторых металлов |
|
Масла и жиры |
Масла от машинной обработки, отпечатки пальцев, жиры с открытых участков тела, средства для волос, мази, лосьоны |
|
Силиконы |
Аэрозоли для волос, кремы, лосьоны после бритья, лосьоны для рук, мыло |
|
Металлы |
Порошки и отходы машинной обработки и шлифовки; изготовление металлических частей; частицы из металлических банок для хранения и металлических контейнеров |
|
Ионные примеси |
Продукты дыхания, отпечатки пальцев (хлорид натрия); примеси из очищающих растворов, содержащие ионные детергенты; некоторые флюсы; примеси от предварительной химической операции, такой, как травление или металлизация |
|
Неионные примеси |
Неионные детергенты, органические материалы для обработки |
|
Растворимые примеси |
Очищающие растворители и растворы |
ВАЛЛИЙСКИЙ ЯЗЫК (уэльский , кимрский), относится к кельтской группе индоевропейской семьи языков. Письменность на основе латинского алфавита.
ЗАПАДНО-БОЛГАРСКОЕ ЦАРСТВО , государство на Балканском п-ове в 969-1018. Столицы - Преслав, Преспа, Охрид. В 997-1014 правитель - Самуил. В 1018 завоевано Византией.
ДОЛИНИНА Наталья Григорьевна (1928-79) , русская писательница. Дочь Г. А. Гуковского. Очерковые книги, акцентирующие нравственные аспекты воспитательного процесса: "Мои ученики и их родители" (1959), "Человек - людям" (1961), "Сколько стоит хлеб" (1963), "Взрослые или дети?" (1965), "Дорогие родители!" (1975) и др. Повести "Мы с Сережкой близнецы" (1962), "Разные люди", (1976); автобиографическая повесть "Отец" (1974). Популярные книги о классике: "Прочитаем "Онегина" вместе" (1968), "Печорин и наше время" (1970) и др.