Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластин Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластинСтраница 6
Типичные загрязнения
полупроводниковых пластин и их источники
Таблица 1.
| Загрязнения | Возможные источники |
|
Волокна (нейлон, целлюлоза и т. д.) |
Одежда, ткани, бумажные изделия |
|
Силикаты |
Горные породы, песок, почва, зола, пепел |
|
Окислы и окалина |
Продукты окисления некоторых металлов |
|
Масла и жиры |
Масла от машинной обработки, отпечатки пальцев, жиры с открытых участков тела, средства для волос, мази, лосьоны |
|
Силиконы |
Аэрозоли для волос, кремы, лосьоны после бритья, лосьоны для рук, мыло |
|
Металлы |
Порошки и отходы машинной обработки и шлифовки; изготовление металлических частей; частицы из металлических банок для хранения и металлических контейнеров |
|
Ионные примеси |
Продукты дыхания, отпечатки пальцев (хлорид натрия); примеси из очищающих растворов, содержащие ионные детергенты; некоторые флюсы; примеси от предварительной химической операции, такой, как травление или металлизация |
|
Неионные примеси |
Неионные детергенты, органические материалы для обработки |
|
Растворимые примеси |
Очищающие растворители и растворы |
РЕТРАНСЛЯТОР (от ре ... и лат. translator, букв. - переносчик), устройство, искусственная среда или небесное тело, используемое как промежуточный пункт линии радиосвязи (радиорелейной, космической). Активный ретранслятор - приемо-передающая радиостанция (принимает радиосигнал, усиливает его и передает дальше); пассивный - плоский отражатель, зеркальная антенна, облако ионизованных паров металла, пояс иголок, спутник связи и т. д. (рассеивают радиоволны или направленно отражают их).
ТЕКТОНОФИЗИКА , раздел тектоники, занимающийся изучением физических условий возникновения тектонических деформаций.
ЭЛИАШБЕРГ Герасим Матвеевич (р . 1930), российский физик-теоретик, член-корреспондент РАН (1991; член-корреспондент АН СССР с 1990). Основал труды по статистической физике и сверхпроводимости. Предсказал возможность повышения критической температуры сверхпроводимости под воздействием высокочастотного поля (1970).