Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластин Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластинСтраница 6
Типичные загрязнения
полупроводниковых пластин и их источники
Таблица 1.
| Загрязнения | Возможные источники |
|
Волокна (нейлон, целлюлоза и т. д.) |
Одежда, ткани, бумажные изделия |
|
Силикаты |
Горные породы, песок, почва, зола, пепел |
|
Окислы и окалина |
Продукты окисления некоторых металлов |
|
Масла и жиры |
Масла от машинной обработки, отпечатки пальцев, жиры с открытых участков тела, средства для волос, мази, лосьоны |
|
Силиконы |
Аэрозоли для волос, кремы, лосьоны после бритья, лосьоны для рук, мыло |
|
Металлы |
Порошки и отходы машинной обработки и шлифовки; изготовление металлических частей; частицы из металлических банок для хранения и металлических контейнеров |
|
Ионные примеси |
Продукты дыхания, отпечатки пальцев (хлорид натрия); примеси из очищающих растворов, содержащие ионные детергенты; некоторые флюсы; примеси от предварительной химической операции, такой, как травление или металлизация |
|
Неионные примеси |
Неионные детергенты, органические материалы для обработки |
|
Растворимые примеси |
Очищающие растворители и растворы |
ЦЮРУПИНСК (до 1928 Алешки) , город на Украине, Херсонская обл., в 9 км от ж.-д. ст. Цюрупинск, пристань на р. Конка (рукав Днепра). 26 тыс. жителей (1991). Целлюлозно-бумажные, маслодельные заводы и др. предприятия. Назван по имени А. Д. Цюрупы. Основан в 1784.
ДЕЛЬФИНОВЫЕ , семейство морских млекопитающих подотряда зубатых китов. 2 подсемейства: белуховые (белуха и нарвал) и дельфины; часто считают самостоятельными семействами.
ЯКУШИН Михаил Иосифович (р . 1910), российский спортсмен, заслуженный мастер спорта (1940), заслуженный тренер СССР (1957). В 1935-47 неоднократный чемпион СССР по футболу, хоккею (с мячом и с шайбой).