Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластин Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластинСтраница 6
Типичные загрязнения
полупроводниковых пластин и их источники
Таблица 1.
| Загрязнения | Возможные источники |
|
Волокна (нейлон, целлюлоза и т. д.) |
Одежда, ткани, бумажные изделия |
|
Силикаты |
Горные породы, песок, почва, зола, пепел |
|
Окислы и окалина |
Продукты окисления некоторых металлов |
|
Масла и жиры |
Масла от машинной обработки, отпечатки пальцев, жиры с открытых участков тела, средства для волос, мази, лосьоны |
|
Силиконы |
Аэрозоли для волос, кремы, лосьоны после бритья, лосьоны для рук, мыло |
|
Металлы |
Порошки и отходы машинной обработки и шлифовки; изготовление металлических частей; частицы из металлических банок для хранения и металлических контейнеров |
|
Ионные примеси |
Продукты дыхания, отпечатки пальцев (хлорид натрия); примеси из очищающих растворов, содержащие ионные детергенты; некоторые флюсы; примеси от предварительной химической операции, такой, как травление или металлизация |
|
Неионные примеси |
Неионные детергенты, органические материалы для обработки |
|
Растворимые примеси |
Очищающие растворители и растворы |
СУВЕРЕНИТЕТ (нем . Souveranitat, от франц. souverainete - верховная власть), независимость государства во внешних и верховенство во внутренних делах. Уважение суверенитета - основной принцип современного международного права и международных отношений. Закреплен в Уставе ООН и др. международных актах.
ХАРАДЗЕ Евгений Кириллович (р . 1907), российский ученый, академик РАН (1991; академик АН СССР (с 1984), академик (1955) и президент (1978-86) АН Грузии. Труды по звездной астрономии.
ГЮЙОН (Guyon) Жанна Мария (1648-1717) , проповедница квиетизма во Франции, последовательница М. де Молиноса.