Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластин Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластинСтраница 6
Типичные загрязнения
полупроводниковых пластин и их источники
Таблица 1.
| Загрязнения | Возможные источники |
|
Волокна (нейлон, целлюлоза и т. д.) |
Одежда, ткани, бумажные изделия |
|
Силикаты |
Горные породы, песок, почва, зола, пепел |
|
Окислы и окалина |
Продукты окисления некоторых металлов |
|
Масла и жиры |
Масла от машинной обработки, отпечатки пальцев, жиры с открытых участков тела, средства для волос, мази, лосьоны |
|
Силиконы |
Аэрозоли для волос, кремы, лосьоны после бритья, лосьоны для рук, мыло |
|
Металлы |
Порошки и отходы машинной обработки и шлифовки; изготовление металлических частей; частицы из металлических банок для хранения и металлических контейнеров |
|
Ионные примеси |
Продукты дыхания, отпечатки пальцев (хлорид натрия); примеси из очищающих растворов, содержащие ионные детергенты; некоторые флюсы; примеси от предварительной химической операции, такой, как травление или металлизация |
|
Неионные примеси |
Неионные детергенты, органические материалы для обработки |
|
Растворимые примеси |
Очищающие растворители и растворы |
ЕГЕРМЕЙСТЕР (нем . Jagermeister), в Российской империи по Табели о рангах придворный чин 3-го класса (обер-егермейстер - 2-го класса). Первоначально ведал императорской охотой.
ДМИТРИЕВСКИЙ СОБОР во Владимире , памятник русской архитектуры. Построен в 1194-1197 и первоначально входил в комплекс княжеского дворца. Строго продуманные тектоника и пропорции одноглавого 4-столпного храма, обилие фасадных скульптурных украшений придают собору величественность и торжественную парадность.
ЦЕХИН (итал . zecchino, от zecca - монетный двор), золотая монета, начала чеканиться в Венеции в 1284 весом 3-4 г. С сер. 16 в. чеканились в ряде европейских государств под названием дукатов.