Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластин Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластинСтраница 6
Типичные загрязнения
полупроводниковых пластин и их источники
Таблица 1.
| Загрязнения | Возможные источники |
|
Волокна (нейлон, целлюлоза и т. д.) |
Одежда, ткани, бумажные изделия |
|
Силикаты |
Горные породы, песок, почва, зола, пепел |
|
Окислы и окалина |
Продукты окисления некоторых металлов |
|
Масла и жиры |
Масла от машинной обработки, отпечатки пальцев, жиры с открытых участков тела, средства для волос, мази, лосьоны |
|
Силиконы |
Аэрозоли для волос, кремы, лосьоны после бритья, лосьоны для рук, мыло |
|
Металлы |
Порошки и отходы машинной обработки и шлифовки; изготовление металлических частей; частицы из металлических банок для хранения и металлических контейнеров |
|
Ионные примеси |
Продукты дыхания, отпечатки пальцев (хлорид натрия); примеси из очищающих растворов, содержащие ионные детергенты; некоторые флюсы; примеси от предварительной химической операции, такой, как травление или металлизация |
|
Неионные примеси |
Неионные детергенты, органические материалы для обработки |
|
Растворимые примеси |
Очищающие растворители и растворы |
ЕЛИСАВЕТА Праведная , Палестинская (1 в.), жена святого пророка Захарии, мать святого Иоанна Предтечи (Евангелие от Луки 1:5-25; 40-45). Память в Православной церкви 30 марта (12 апреля) и 5 (18) сентября, в Католической 5 ноября.
ЖОКЕЙ (англ . jockey), профессиональный наездник на скачках; специалист по тренингу и испытаниям верховых лошадей.
ЧЕРАНОВСКИЙ Борис Иванович (1896-1960) , авиаконструктор. Автор оригинальных проектов планеров и самолетов типа "летающее крыло" с центральным вертикальным оперением и др.