Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластин Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластинСтраница 6
Типичные загрязнения
полупроводниковых пластин и их источники
Таблица 1.
| Загрязнения | Возможные источники |
|
Волокна (нейлон, целлюлоза и т. д.) |
Одежда, ткани, бумажные изделия |
|
Силикаты |
Горные породы, песок, почва, зола, пепел |
|
Окислы и окалина |
Продукты окисления некоторых металлов |
|
Масла и жиры |
Масла от машинной обработки, отпечатки пальцев, жиры с открытых участков тела, средства для волос, мази, лосьоны |
|
Силиконы |
Аэрозоли для волос, кремы, лосьоны после бритья, лосьоны для рук, мыло |
|
Металлы |
Порошки и отходы машинной обработки и шлифовки; изготовление металлических частей; частицы из металлических банок для хранения и металлических контейнеров |
|
Ионные примеси |
Продукты дыхания, отпечатки пальцев (хлорид натрия); примеси из очищающих растворов, содержащие ионные детергенты; некоторые флюсы; примеси от предварительной химической операции, такой, как травление или металлизация |
|
Неионные примеси |
Неионные детергенты, органические материалы для обработки |
|
Растворимые примеси |
Очищающие растворители и растворы |
РОЗМАРИН , род вечнозеленых полукустарников семейства губоцветных. 1-3 вида, в Средиземноморье розмарин лекарственный культивируют как эфирномасличное и декоративное растение, в т. ч. в Крыму и на Кавказе.
ЯГУЖИНСКИЙ Павел Иванович (1683-1736) , граф, российский государственный деятель и дипломат, один из ближайших помощников Петра I, генерал-прокурор Сената.
ВТОРОЕ БОЛГАРСКОЕ ЦАРСТВО , на Балканском п-ове государство в 1187-1396. Образовалось в результате освободительного восстания 1185-87 против господства Византии. Столица - Тырново. В сер. 14 в. выделилось княжество Добротица (Добруджа; в нач. 15 в. захвачено турками), оставшаяся часть распалась ок. 1363 на Тырновское и Видинское царства (завоеваны турками соответственно в 1393 и 1396).