Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластин
Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластин
Страница 6

Типичные загрязнения

полупроводниковых пластин и их источники

Таблица 1.

Загрязнения

Возможные источники

Волокна (нейлон, целлюлоза и т. д.)

Одежда, ткани, бумажные изделия

Силикаты

Горные породы, песок, почва, зола, пепел

Окислы и окалина

Продукты окисления некоторых металлов

Масла и жиры

Масла от машинной обработки, отпечатки пальцев, жиры с открытых участков тела, средства для волос, мази, лосьоны

Силиконы

Аэрозоли для волос, кремы, лосьоны после бритья, лосьоны для рук, мыло

Металлы

Порошки и отходы машинной обработки и шлифовки; изготовление металлических частей; частицы из металлических банок для хранения и металлических контейнеров

Ионные примеси

Продукты дыхания, отпечатки пальцев (хлорид на­трия); примеси из очищающих растворов, содержащие ионные детергенты; некоторые флюсы; примеси от предварительной химической операции, такой, как травление или металлизация

Неионные примеси

Неионные детергенты, органические материалы для обработки

Растворимые примеси

Очищающие растворители и растворы

Страницы: 2 3 4 5 6 7 8 9 10

ГАЛФВИНД (нидерл . halfwind, букв. - полветра), курс парусного судна, при котором его продольная ось перпендикулярна направлению ветра.

БОГДАНОВ Михаил Александрович (1914-1995) , художник кино, народный художник СССР (1985), член-корреспондент АХ (1973). Фильмы (совместно с Г. А. Мясниковым): "Каменный цветок" (1946), "Мичурин" (1949), "Коммунист" (1958), "Война и мир" (1965-67).

МЕТИСЫ (от позднелат . mixticius - смешанный),1) в антропологии - потомство от смешанных браков представителей различных рас. Метисы составляют большой процент населения в странах Америки, Африки, Азии и Австралии.2) Потомство от браков представителей европеоидной расы с индейцами.