Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластин Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластинСтраница 6
Типичные загрязнения
полупроводниковых пластин и их источники
Таблица 1.
| Загрязнения | Возможные источники |
|
Волокна (нейлон, целлюлоза и т. д.) |
Одежда, ткани, бумажные изделия |
|
Силикаты |
Горные породы, песок, почва, зола, пепел |
|
Окислы и окалина |
Продукты окисления некоторых металлов |
|
Масла и жиры |
Масла от машинной обработки, отпечатки пальцев, жиры с открытых участков тела, средства для волос, мази, лосьоны |
|
Силиконы |
Аэрозоли для волос, кремы, лосьоны после бритья, лосьоны для рук, мыло |
|
Металлы |
Порошки и отходы машинной обработки и шлифовки; изготовление металлических частей; частицы из металлических банок для хранения и металлических контейнеров |
|
Ионные примеси |
Продукты дыхания, отпечатки пальцев (хлорид натрия); примеси из очищающих растворов, содержащие ионные детергенты; некоторые флюсы; примеси от предварительной химической операции, такой, как травление или металлизация |
|
Неионные примеси |
Неионные детергенты, органические материалы для обработки |
|
Растворимые примеси |
Очищающие растворители и растворы |
АВТОБИОГРАФИЯ (от авто ... и биография), прозаический жанр, описание собственной жизни; близок мемуарам, но более сосредоточен на личности и внутреннем мире автора ("Былое и думы" А. И. Герцена).
БЕРЕГОВАЯ ОБОРОНА , силы, средства флота и береговые укрепления для обороны военно-морских баз, портов, побережья и островов. Оборона морского побережья осуществляется совместными усилиями сухопутных войск, ВМФ (ВМС), ВВС и войск ПВО.
БОЛЬШОЙ МЕНДЕРЕС (Buyuk Menderes) , река на западе Турции. 380 км, площадь бассейна 23,9 тыс. км2. Начинается на Анатолийском плоскогорье, впадает в Эгейское м., образуя дельту. Средний расход воды ок. 90 м3/с. В нижнем течении русло извилисто, поэтому древнегреческое название Большого Мендереса - Меандр стало синонимом речных излучин.