Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластин Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластинСтраница 6
Типичные загрязнения
полупроводниковых пластин и их источники
Таблица 1.
| Загрязнения | Возможные источники |
|
Волокна (нейлон, целлюлоза и т. д.) |
Одежда, ткани, бумажные изделия |
|
Силикаты |
Горные породы, песок, почва, зола, пепел |
|
Окислы и окалина |
Продукты окисления некоторых металлов |
|
Масла и жиры |
Масла от машинной обработки, отпечатки пальцев, жиры с открытых участков тела, средства для волос, мази, лосьоны |
|
Силиконы |
Аэрозоли для волос, кремы, лосьоны после бритья, лосьоны для рук, мыло |
|
Металлы |
Порошки и отходы машинной обработки и шлифовки; изготовление металлических частей; частицы из металлических банок для хранения и металлических контейнеров |
|
Ионные примеси |
Продукты дыхания, отпечатки пальцев (хлорид натрия); примеси из очищающих растворов, содержащие ионные детергенты; некоторые флюсы; примеси от предварительной химической операции, такой, как травление или металлизация |
|
Неионные примеси |
Неионные детергенты, органические материалы для обработки |
|
Растворимые примеси |
Очищающие растворители и растворы |
БЭРА ЗАКОН: реки , текущие в направлении меридиана, в Северном полушарии подмывают правый берег, в Южном - левый. Объясняется влиянием суточного вращения Земли на движение частиц воды в реке. Сформулирован К. М. Бэром в 1857.
АВАДХАРА , горноклиматический и бальнеологический курорт в Грузии, в Абхазии, к северо-востоку от Гагры.
ЭЛЕКТРОМОТЫГА , сельскохозяйственное орудие для обработки междурядий в теплицах, парниках, на приусадебных участках; используется также для сплошной обработки почвы на глубину до 10 см. Основной рабочий орган - ротор со сменными ножами, приводимый в действие от электродвигателя.