Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластин Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластинСтраница 6
Типичные загрязнения
полупроводниковых пластин и их источники
Таблица 1.
| Загрязнения | Возможные источники |
|
Волокна (нейлон, целлюлоза и т. д.) |
Одежда, ткани, бумажные изделия |
|
Силикаты |
Горные породы, песок, почва, зола, пепел |
|
Окислы и окалина |
Продукты окисления некоторых металлов |
|
Масла и жиры |
Масла от машинной обработки, отпечатки пальцев, жиры с открытых участков тела, средства для волос, мази, лосьоны |
|
Силиконы |
Аэрозоли для волос, кремы, лосьоны после бритья, лосьоны для рук, мыло |
|
Металлы |
Порошки и отходы машинной обработки и шлифовки; изготовление металлических частей; частицы из металлических банок для хранения и металлических контейнеров |
|
Ионные примеси |
Продукты дыхания, отпечатки пальцев (хлорид натрия); примеси из очищающих растворов, содержащие ионные детергенты; некоторые флюсы; примеси от предварительной химической операции, такой, как травление или металлизация |
|
Неионные примеси |
Неионные детергенты, органические материалы для обработки |
|
Растворимые примеси |
Очищающие растворители и растворы |
ЦОЦИЛИ (социль) , индейский народ группы майя в Мексике (шт. Чьяпас). 125 тыс. человек (1992). Верующие - католики.
НАВАБ , в Индии в 17 в. наместник провинции Монгольской империи. С началом распада империи (18 в.) многие навабы стали независимыми князьями.
ЧЕРЕМШИНА Марко (наст . имя и фам. Иван Юрьевич Семанюк) (1874-1927), украинский писатель. Реалистические новеллы из жизни гуцульской крестьянской бедноты (сборники "Карбы", 1901, "Село погибает", 1925). В условиях панской Польши открыто проявлял симпатии к Советской Украине.