Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластин Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластинСтраница 6
Типичные загрязнения
полупроводниковых пластин и их источники
Таблица 1.
| Загрязнения | Возможные источники |
|
Волокна (нейлон, целлюлоза и т. д.) |
Одежда, ткани, бумажные изделия |
|
Силикаты |
Горные породы, песок, почва, зола, пепел |
|
Окислы и окалина |
Продукты окисления некоторых металлов |
|
Масла и жиры |
Масла от машинной обработки, отпечатки пальцев, жиры с открытых участков тела, средства для волос, мази, лосьоны |
|
Силиконы |
Аэрозоли для волос, кремы, лосьоны после бритья, лосьоны для рук, мыло |
|
Металлы |
Порошки и отходы машинной обработки и шлифовки; изготовление металлических частей; частицы из металлических банок для хранения и металлических контейнеров |
|
Ионные примеси |
Продукты дыхания, отпечатки пальцев (хлорид натрия); примеси из очищающих растворов, содержащие ионные детергенты; некоторые флюсы; примеси от предварительной химической операции, такой, как травление или металлизация |
|
Неионные примеси |
Неионные детергенты, органические материалы для обработки |
|
Растворимые примеси |
Очищающие растворители и растворы |
ГЕРРЕРО (Guerrero) , штат на юге Мексики. 63,7 тыс. км2. Население 2,6 млн. человек (1991). Адм. ц. - Чильпансинго.
"ЗАРЯ" , парусно-моторная шхуна русской арктической экспедиции Э. В. Толля (1900-02) в районе Новосибирских о-вов. В сентябре 1902 выброшена на мель и оставлена участниками экспедиции.
УСТЮГОВ Николай Владимирович (1896/97-1963) , историк, доктор исторических наук, профессор. Труды по социально-экономической истории России, специальным историческим дисциплинам, исследования и публикации документов по истории народов Поволжья, Урала и др.