Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластин
Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластин
Страница 6

Типичные загрязнения

полупроводниковых пластин и их источники

Таблица 1.

Загрязнения

Возможные источники

Волокна (нейлон, целлюлоза и т. д.)

Одежда, ткани, бумажные изделия

Силикаты

Горные породы, песок, почва, зола, пепел

Окислы и окалина

Продукты окисления некоторых металлов

Масла и жиры

Масла от машинной обработки, отпечатки пальцев, жиры с открытых участков тела, средства для волос, мази, лосьоны

Силиконы

Аэрозоли для волос, кремы, лосьоны после бритья, лосьоны для рук, мыло

Металлы

Порошки и отходы машинной обработки и шлифовки; изготовление металлических частей; частицы из металлических банок для хранения и металлических контейнеров

Ионные примеси

Продукты дыхания, отпечатки пальцев (хлорид на­трия); примеси из очищающих растворов, содержащие ионные детергенты; некоторые флюсы; примеси от предварительной химической операции, такой, как травление или металлизация

Неионные примеси

Неионные детергенты, органические материалы для обработки

Растворимые примеси

Очищающие растворители и растворы

Страницы: 2 3 4 5 6 7 8 9 10

КОРОТИЧ Виталий Алексеевич (р . 1936), украинский и русский писатель. Сборники стихов "Огонь" (1968), "Закон земли" (1975), "Достоинство" (1977). Романы "Десятое мая" (1978), "Лицо ненависти" (публицистический; 1984; Государственная премия СССР, 1985). Повесть "Метроном" (1982). Путевые очерки. Литературная критика. Главный редактор журнала "Огонек" (1986-91).

ЭТНОГЕНЕЗ (от греч . ethnos - племя, народ и ...генез), происхождение народов. Этногенез включает как начальные этапы возникновения какого-либо народа, так и дальнейшее формирование его этнографических, лингвистических и антропологических особенностей.

ХАЛВА (араб .), кондитерское изделие из обжаренных тертых масличных семян и карамельной массы, сбитой с пенообразующим веществом (напр., отваром мыльного корня). Основные виды халвы: тахинная (из кунжутного семени), подсолнечная, ореховая и арахисовая.