Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластин
Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластин
Страница 6

Типичные загрязнения

полупроводниковых пластин и их источники

Таблица 1.

Загрязнения

Возможные источники

Волокна (нейлон, целлюлоза и т. д.)

Одежда, ткани, бумажные изделия

Силикаты

Горные породы, песок, почва, зола, пепел

Окислы и окалина

Продукты окисления некоторых металлов

Масла и жиры

Масла от машинной обработки, отпечатки пальцев, жиры с открытых участков тела, средства для волос, мази, лосьоны

Силиконы

Аэрозоли для волос, кремы, лосьоны после бритья, лосьоны для рук, мыло

Металлы

Порошки и отходы машинной обработки и шлифовки; изготовление металлических частей; частицы из металлических банок для хранения и металлических контейнеров

Ионные примеси

Продукты дыхания, отпечатки пальцев (хлорид на­трия); примеси из очищающих растворов, содержащие ионные детергенты; некоторые флюсы; примеси от предварительной химической операции, такой, как травление или металлизация

Неионные примеси

Неионные детергенты, органические материалы для обработки

Растворимые примеси

Очищающие растворители и растворы

Страницы: 2 3 4 5 6 7 8 9 10

ГАВАЙСКИЙ ЯЗЫК , относится к полинезийским языкам, входящим в австронезийскую семью. Письменность на основе латинского алфавита.

НИЖНЕРЕЙНСКИЙ БУРОУГОЛЬНЫЙ БАССЕЙН , расположен в основном в западной части Германии на левобережье р. Рейн. Промышленная разработка с нач. 18 в. Угленосны отложения палеоцена - плиоцена. Общие запасы 55 млрд. т. Теплота сгорания 7,1 - 10,5 МДж/кг. Добыча св. 120 млн. т открытым способом.

ЖУБАНОВ Ахмет Куанович (1906-68) , музыковед, композитор, дирижер, народный артист Казахстана (1944), академик АН Казахстана (1946). Один из основоположников казахского профессионального музыкального искусства и музыковедения. Опера "Абай" (совместно с Л. А. Хамиди; 1944) инструментальные и вокальные произведения, музыка к спектаклям и фильмам. Организатор и дирижер Государственного оркестра им. Курмангазы (в 1934-45). Профессор Алма-Атинской консерватории (с 1947).