Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластин Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластинСтраница 6
Типичные загрязнения
полупроводниковых пластин и их источники
Таблица 1.
| Загрязнения | Возможные источники |
|
Волокна (нейлон, целлюлоза и т. д.) |
Одежда, ткани, бумажные изделия |
|
Силикаты |
Горные породы, песок, почва, зола, пепел |
|
Окислы и окалина |
Продукты окисления некоторых металлов |
|
Масла и жиры |
Масла от машинной обработки, отпечатки пальцев, жиры с открытых участков тела, средства для волос, мази, лосьоны |
|
Силиконы |
Аэрозоли для волос, кремы, лосьоны после бритья, лосьоны для рук, мыло |
|
Металлы |
Порошки и отходы машинной обработки и шлифовки; изготовление металлических частей; частицы из металлических банок для хранения и металлических контейнеров |
|
Ионные примеси |
Продукты дыхания, отпечатки пальцев (хлорид натрия); примеси из очищающих растворов, содержащие ионные детергенты; некоторые флюсы; примеси от предварительной химической операции, такой, как травление или металлизация |
|
Неионные примеси |
Неионные детергенты, органические материалы для обработки |
|
Растворимые примеси |
Очищающие растворители и растворы |
ВОРОНЦОВ Семен Романович (1744-1832) , граф (1797), российский дипломат. С 1782 полномочный министр в Венеции, в 1784-1806 в Лондоне.
ЖЕРМЕН (Germain) Теодор (р . 1920), французский физик, непременный секретарь Института Франции, иностранный член РАН (1991; иностранный член АН СССР с 1988). Возглавлял Национальное управление по аэронавтике (1962-67). Труды по теории сверхзвуковых и околозвуковых течений, ударным волнам, магнитной гидродинамике, динамике плазмы.
ХАЛАТОВ Семен Сергеевич (1884-1951) , российский патофизиолог. Разработал т. н. холестериновую экспериментальную модель атеросклероза (1912).