Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластин Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластинСтраница 6
Типичные загрязнения
полупроводниковых пластин и их источники
Таблица 1.
| Загрязнения | Возможные источники |
|
Волокна (нейлон, целлюлоза и т. д.) |
Одежда, ткани, бумажные изделия |
|
Силикаты |
Горные породы, песок, почва, зола, пепел |
|
Окислы и окалина |
Продукты окисления некоторых металлов |
|
Масла и жиры |
Масла от машинной обработки, отпечатки пальцев, жиры с открытых участков тела, средства для волос, мази, лосьоны |
|
Силиконы |
Аэрозоли для волос, кремы, лосьоны после бритья, лосьоны для рук, мыло |
|
Металлы |
Порошки и отходы машинной обработки и шлифовки; изготовление металлических частей; частицы из металлических банок для хранения и металлических контейнеров |
|
Ионные примеси |
Продукты дыхания, отпечатки пальцев (хлорид натрия); примеси из очищающих растворов, содержащие ионные детергенты; некоторые флюсы; примеси от предварительной химической операции, такой, как травление или металлизация |
|
Неионные примеси |
Неионные детергенты, органические материалы для обработки |
|
Растворимые примеси |
Очищающие растворители и растворы |
ФЛЕРОВСКИЙ Н ., см. Берви-Флеровский В. В.
ЭЗОП Клодий , древнеримский актер-трагик (1 в. до н. э.). Друг Цицерона, которого учил дикции. Владел искусством эмоционально-психологического воздействия на зрителя.
НАЦИОНАЛЬНАЯ БИБЛИОТЕКА Российской Федерации , до 1992 Публичная библиотека им. М. Е. Салтыкова-Щедрина, старейшая общедоступная библиотека страны, в Санкт-Петербурге. Основана в 1795 (открыта в 1814) как Императорская публичная библиотека. Получает обязательные экземпляры отечественных произведений печати с 1811. Уникальное по полноте собрание русских книг и периодических изданий 19 в. Св. 2,7 млн. ед. хр.