Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластин Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластинСтраница 6
Типичные загрязнения
полупроводниковых пластин и их источники
Таблица 1.
| Загрязнения | Возможные источники |
|
Волокна (нейлон, целлюлоза и т. д.) |
Одежда, ткани, бумажные изделия |
|
Силикаты |
Горные породы, песок, почва, зола, пепел |
|
Окислы и окалина |
Продукты окисления некоторых металлов |
|
Масла и жиры |
Масла от машинной обработки, отпечатки пальцев, жиры с открытых участков тела, средства для волос, мази, лосьоны |
|
Силиконы |
Аэрозоли для волос, кремы, лосьоны после бритья, лосьоны для рук, мыло |
|
Металлы |
Порошки и отходы машинной обработки и шлифовки; изготовление металлических частей; частицы из металлических банок для хранения и металлических контейнеров |
|
Ионные примеси |
Продукты дыхания, отпечатки пальцев (хлорид натрия); примеси из очищающих растворов, содержащие ионные детергенты; некоторые флюсы; примеси от предварительной химической операции, такой, как травление или металлизация |
|
Неионные примеси |
Неионные детергенты, органические материалы для обработки |
|
Растворимые примеси |
Очищающие растворители и растворы |
ЛОСИНО-ПЕТРОВСКИЙ , город (с 1951) в Российской Федерации, Московская обл., при впадении р. Воря в Клязьму, близ ж.-д. ст. Монино. 22,5 тыс. жителей (1992). Фабрика первичной переработки шерсти.
НИКОНОВ Павел Федорович (р . 1930), российский художник, один из ведущих живописцев "сурового стиля"; участник "Группы восьми", которая в 1960-70-е гг. стремилась ввести элементы авангардистского творчества на официальные выставки. Во многих его работах самобытно претворяются черты экспрессионизма, отстраненного восприятия реальности.
ВАЛЬТЕР Александр Филиппович (1898-1941) , российский физик, член-корреспондент АН СССР (1933). Основные труды по пробою диэлектриков.