Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластин Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластинСтраница 6
Типичные загрязнения
полупроводниковых пластин и их источники
Таблица 1.
| Загрязнения | Возможные источники |
|
Волокна (нейлон, целлюлоза и т. д.) |
Одежда, ткани, бумажные изделия |
|
Силикаты |
Горные породы, песок, почва, зола, пепел |
|
Окислы и окалина |
Продукты окисления некоторых металлов |
|
Масла и жиры |
Масла от машинной обработки, отпечатки пальцев, жиры с открытых участков тела, средства для волос, мази, лосьоны |
|
Силиконы |
Аэрозоли для волос, кремы, лосьоны после бритья, лосьоны для рук, мыло |
|
Металлы |
Порошки и отходы машинной обработки и шлифовки; изготовление металлических частей; частицы из металлических банок для хранения и металлических контейнеров |
|
Ионные примеси |
Продукты дыхания, отпечатки пальцев (хлорид натрия); примеси из очищающих растворов, содержащие ионные детергенты; некоторые флюсы; примеси от предварительной химической операции, такой, как травление или металлизация |
|
Неионные примеси |
Неионные детергенты, органические материалы для обработки |
|
Растворимые примеси |
Очищающие растворители и растворы |
ХИМОТРИПСИН , пищеварительный фермент сока поджелудочной железы; участвует в расщеплении белков в кишечнике. Вырабатывается в виде неактивного химотрипсиногена.
СЕНА (Seine) , река во Франции. 776 км, площадь бассейна 78,6 тыс. км2. Течет преимущественно по Парижскому бас., впадает в прол. Ла-Манш, образуя эстуарий. Средний расход воды 400-500 м3/с, зимние паводки; в нижнем течении испытывает влияние приливов. Судоходна ниже г. Труа. Соединена каналами с Шельдой, Маасом, Рейном, Соной, Луарой. На Сене - города Париж, Руан; в эстуарии - порт Гавр.
ЕЖОВ Валентин Иванович (р . 1921), российский сценарист, заслуженный деятель искусств России (1976). Фильмы: "Баллада о солдате" (1959, с Г. Н. Чухраем), "Крылья" (1966, с Н. Б. Рязанцевой), "Белое солнце пустыни" (1970, с Р. Ибрагимбековым), "Это сладкое слово - свобода" (1973, с В. П. Жалакявичюсом), "Красные колокола" (1982, с С. Ф. Бондарчуком) и др. Ленинская премия (1961).