Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластин Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластинСтраница 6
Типичные загрязнения
полупроводниковых пластин и их источники
Таблица 1.
| Загрязнения | Возможные источники |
|
Волокна (нейлон, целлюлоза и т. д.) |
Одежда, ткани, бумажные изделия |
|
Силикаты |
Горные породы, песок, почва, зола, пепел |
|
Окислы и окалина |
Продукты окисления некоторых металлов |
|
Масла и жиры |
Масла от машинной обработки, отпечатки пальцев, жиры с открытых участков тела, средства для волос, мази, лосьоны |
|
Силиконы |
Аэрозоли для волос, кремы, лосьоны после бритья, лосьоны для рук, мыло |
|
Металлы |
Порошки и отходы машинной обработки и шлифовки; изготовление металлических частей; частицы из металлических банок для хранения и металлических контейнеров |
|
Ионные примеси |
Продукты дыхания, отпечатки пальцев (хлорид натрия); примеси из очищающих растворов, содержащие ионные детергенты; некоторые флюсы; примеси от предварительной химической операции, такой, как травление или металлизация |
|
Неионные примеси |
Неионные детергенты, органические материалы для обработки |
|
Растворимые примеси |
Очищающие растворители и растворы |
БОВЕ (Bovet) Даниеле (1907-1992) , итальянский фармаколог. Исследовал взаимосвязь структуры лекарственных препаратов с их фармакологической активностью. Одним из первых исследовал антигистаминные препараты. Открыл синтетические соединения с курареподобным действием. Нобелевская премия (1957).
ЦВЕЙГ Стефан (1881-1942) , австрийский писатель. Мастер психологической новеллы (сборники "Амок", 1922, "Смятение чувств", 1927, и др.) и портрета (Стендаль, З. Фрейд, Ф. Ницше, Ф. М. Достоевский, Л. Н. Толстой, Ф. Магеллан, Ж. Фуше и мн. др.); романизированной биографии ("Мария Антуанетта", 1932, "Триумф и трагизм Эразма Роттердамского", 1934, "Бальзак", опубликован 1946). С 1934 в эмиграции; покончил жизнь самоубийством.
ХРИСТИАНСЕН Георгий Борисович (р . 1927), российский ученый, член-корреспондент РАН (1991; член-корреспондент АН СССР с 1990). Основные труды по физике космических лучей и физике высоких энергий. Разработал метод исследования продольного развития лавин в атмосфере. Ленинская премия СССР (1982).