Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластин Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластинСтраница 6
Типичные загрязнения
полупроводниковых пластин и их источники
Таблица 1.
| Загрязнения | Возможные источники |
|
Волокна (нейлон, целлюлоза и т. д.) |
Одежда, ткани, бумажные изделия |
|
Силикаты |
Горные породы, песок, почва, зола, пепел |
|
Окислы и окалина |
Продукты окисления некоторых металлов |
|
Масла и жиры |
Масла от машинной обработки, отпечатки пальцев, жиры с открытых участков тела, средства для волос, мази, лосьоны |
|
Силиконы |
Аэрозоли для волос, кремы, лосьоны после бритья, лосьоны для рук, мыло |
|
Металлы |
Порошки и отходы машинной обработки и шлифовки; изготовление металлических частей; частицы из металлических банок для хранения и металлических контейнеров |
|
Ионные примеси |
Продукты дыхания, отпечатки пальцев (хлорид натрия); примеси из очищающих растворов, содержащие ионные детергенты; некоторые флюсы; примеси от предварительной химической операции, такой, как травление или металлизация |
|
Неионные примеси |
Неионные детергенты, органические материалы для обработки |
|
Растворимые примеси |
Очищающие растворители и растворы |
САБАТЬЕ (Sabatier) Поль (1854-1941) , французский химик-органик, один из основоположников органического катализа. Предложил использовать в качестве катализаторов вместо благородных металлов никель, медь, кобальт, железо. Осуществил на этих катализаторах многие процессы, в т. ч. гидрирование. Нобелевская премия (1912).
КАССИКИ , то же, что трупиалы.
КРАЕВСКИЙ Андрей Александрович (1810-89) , российский издатель, журналист. Помогал А. С. Пушкину в редактировании журнала "Современник" (1836-37). Редактор ряда газет, в т. ч. "Литературной газеты" (1840, 1844-45). Издавал журнал "Отечественные записки" (1839-68). Один из учредителей первого российского телеграфного агентства (РТА, с 1866).