Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластин Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластинСтраница 6
Типичные загрязнения
полупроводниковых пластин и их источники
Таблица 1.
| Загрязнения | Возможные источники |
|
Волокна (нейлон, целлюлоза и т. д.) |
Одежда, ткани, бумажные изделия |
|
Силикаты |
Горные породы, песок, почва, зола, пепел |
|
Окислы и окалина |
Продукты окисления некоторых металлов |
|
Масла и жиры |
Масла от машинной обработки, отпечатки пальцев, жиры с открытых участков тела, средства для волос, мази, лосьоны |
|
Силиконы |
Аэрозоли для волос, кремы, лосьоны после бритья, лосьоны для рук, мыло |
|
Металлы |
Порошки и отходы машинной обработки и шлифовки; изготовление металлических частей; частицы из металлических банок для хранения и металлических контейнеров |
|
Ионные примеси |
Продукты дыхания, отпечатки пальцев (хлорид натрия); примеси из очищающих растворов, содержащие ионные детергенты; некоторые флюсы; примеси от предварительной химической операции, такой, как травление или металлизация |
|
Неионные примеси |
Неионные детергенты, органические материалы для обработки |
|
Растворимые примеси |
Очищающие растворители и растворы |
ЕКАТЕРИНА МЕДИЧИ (Catherine de Medicis) (1519-89) , французская королева с 1547, жена Генриха II. В значительной мере определяла государственную политику в период правления сыновей: Франциска II (1559-60), Карла IX (1560-1574), Генриха III (1574-89). Одна из организаторов Варфоломеевской ночи.
КАТОЛИКОС (от греч . katholikos - всеобщий), титул патриархов Армянской церкви и Грузинской православной церкви.
КУИНЕН (Qui Nhon) , город в южной части Вьетнама, порт на Южно-Китайском м., административный центр пров. Нгиабинь. 160 тыс. жителей (1989). Центр кустарной текстильной промышленности.