Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластин Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластинСтраница 6
Типичные загрязнения
полупроводниковых пластин и их источники
Таблица 1.
| Загрязнения | Возможные источники |
|
Волокна (нейлон, целлюлоза и т. д.) |
Одежда, ткани, бумажные изделия |
|
Силикаты |
Горные породы, песок, почва, зола, пепел |
|
Окислы и окалина |
Продукты окисления некоторых металлов |
|
Масла и жиры |
Масла от машинной обработки, отпечатки пальцев, жиры с открытых участков тела, средства для волос, мази, лосьоны |
|
Силиконы |
Аэрозоли для волос, кремы, лосьоны после бритья, лосьоны для рук, мыло |
|
Металлы |
Порошки и отходы машинной обработки и шлифовки; изготовление металлических частей; частицы из металлических банок для хранения и металлических контейнеров |
|
Ионные примеси |
Продукты дыхания, отпечатки пальцев (хлорид натрия); примеси из очищающих растворов, содержащие ионные детергенты; некоторые флюсы; примеси от предварительной химической операции, такой, как травление или металлизация |
|
Неионные примеси |
Неионные детергенты, органические материалы для обработки |
|
Растворимые примеси |
Очищающие растворители и растворы |
САЛИСБУРГ , официальное название г. Мазсалаца до 1917.
МОСКОВСКИЙ ДРАМАТИЧЕСКИЙ ТЕАТР им . К. С. Станиславского, основан в 1935 как Оперно-драматическая студия под руководством Станиславского, с 1943 Оперно-драматический театр, с 1948 современное название. Главный режиссер в 1950-63 - М. М. Яншин, в 1977-80 - А. А. Попов. Спектакли: "Взрослая дочь молодого человека" В. И. Славкина (1979), "Сирано де Бержерак" Э. Ростана (1980), "Лысый брюнет" Д. Гинка (1991) и др. Актеры (в разные годы): Г. И. Бурков, Е. Я. Урбанский, А. Л. Филозов, Е. С. Никищихина и др.
БАЙЛАДИЛА , крупный железорудный район в Индии (шт. Мадхья-Прадеш). Руды - главным образом гематитовые кварциты. Эксплуатируется с 1967. Кондиционные запасы 1,3 млрд. т руды, содержание Fe 63-67%; добыча 8,6 млн. т товарной руды (1987).