Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластин Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластинСтраница 6
Типичные загрязнения
полупроводниковых пластин и их источники
Таблица 1.
| Загрязнения | Возможные источники |
|
Волокна (нейлон, целлюлоза и т. д.) |
Одежда, ткани, бумажные изделия |
|
Силикаты |
Горные породы, песок, почва, зола, пепел |
|
Окислы и окалина |
Продукты окисления некоторых металлов |
|
Масла и жиры |
Масла от машинной обработки, отпечатки пальцев, жиры с открытых участков тела, средства для волос, мази, лосьоны |
|
Силиконы |
Аэрозоли для волос, кремы, лосьоны после бритья, лосьоны для рук, мыло |
|
Металлы |
Порошки и отходы машинной обработки и шлифовки; изготовление металлических частей; частицы из металлических банок для хранения и металлических контейнеров |
|
Ионные примеси |
Продукты дыхания, отпечатки пальцев (хлорид натрия); примеси из очищающих растворов, содержащие ионные детергенты; некоторые флюсы; примеси от предварительной химической операции, такой, как травление или металлизация |
|
Неионные примеси |
Неионные детергенты, органические материалы для обработки |
|
Растворимые примеси |
Очищающие растворители и растворы |
ЖИГУЛИ , горы на правом берегу Волги, огибаемые ее излучиной (т. н. Самарская Лука). Высота до 375 м. На северных склонах широколиственные и сосновые леса, на южном - лесостепи. Заповедник. Туризм. В районе Жигулей - Волжская (Куйбышевская) ГЭС.
ДЖАМШЕДПУР , город в Индии, шт. Бихар. 461,6 тыс. жителей (1991). Черная металлургия, машиностроение, химическая промышленность.
ЙОРК , город в Великобритании, на востоке Англии. 103 тыс. жителей (1991). Пищевая, стекольная промышленность, машиностроение. В 1 в. римская крепость. С 6 в. центр королевства англосаксов, в 9 в. - датских завоевателей. Резиденция архиепископа Йоркского с 735. Университет. Музей Йоркшира, Художественная галерея. Музей-замок. Романско-готический собор (11-15 вв.), аббатство Сент-Мэри (13 в.), замок (13 в.), жилые дома (15-16 вв.).