Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластин Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластинСтраница 6
Типичные загрязнения
полупроводниковых пластин и их источники
Таблица 1.
| Загрязнения | Возможные источники |
|
Волокна (нейлон, целлюлоза и т. д.) |
Одежда, ткани, бумажные изделия |
|
Силикаты |
Горные породы, песок, почва, зола, пепел |
|
Окислы и окалина |
Продукты окисления некоторых металлов |
|
Масла и жиры |
Масла от машинной обработки, отпечатки пальцев, жиры с открытых участков тела, средства для волос, мази, лосьоны |
|
Силиконы |
Аэрозоли для волос, кремы, лосьоны после бритья, лосьоны для рук, мыло |
|
Металлы |
Порошки и отходы машинной обработки и шлифовки; изготовление металлических частей; частицы из металлических банок для хранения и металлических контейнеров |
|
Ионные примеси |
Продукты дыхания, отпечатки пальцев (хлорид натрия); примеси из очищающих растворов, содержащие ионные детергенты; некоторые флюсы; примеси от предварительной химической операции, такой, как травление или металлизация |
|
Неионные примеси |
Неионные детергенты, органические материалы для обработки |
|
Растворимые примеси |
Очищающие растворители и растворы |
ХЭВИ-МЕТАЛ (англ . Heavy metal, букв. тяжелый металл), одно из ответвлений хард-рока, получившее широкое распространение в начале 1980-х гг. Элемент импровизации в истинном "металле" практически сведен к нулю, точнее, он отсутствует в традиционном смысле этого слова, однако опытные "металлические" группы часто вводят в свои композиции очень сложные изменения ритма, и у неподготовленного слушателя может возникнуть ощущение какофонии, хотя речь идет о ритмической импровизации.
КИСЕЛЕВ Юрий Петрович (1914-96) , российский режиссер, актер, народный артист СССР (1974). Сценическая деятельность с 1930. С 1943 главный режиссер Саратовского Театра юного зрителя. Государственная премия СССР (1952).
ЙЕЗД , город в Иране, административный центр остана Йезд. 230 тыс. жителей (1989). Текстильная промышленность. Ковроткачество. Мавзолей Доваздех-Имам (11 в.), Соборная мечеть, медресе Шамсия (оба 14 в.). Средневековый центр миниатюры.