Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластин Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластинСтраница 6
Типичные загрязнения
полупроводниковых пластин и их источники
Таблица 1.
| Загрязнения | Возможные источники |
|
Волокна (нейлон, целлюлоза и т. д.) |
Одежда, ткани, бумажные изделия |
|
Силикаты |
Горные породы, песок, почва, зола, пепел |
|
Окислы и окалина |
Продукты окисления некоторых металлов |
|
Масла и жиры |
Масла от машинной обработки, отпечатки пальцев, жиры с открытых участков тела, средства для волос, мази, лосьоны |
|
Силиконы |
Аэрозоли для волос, кремы, лосьоны после бритья, лосьоны для рук, мыло |
|
Металлы |
Порошки и отходы машинной обработки и шлифовки; изготовление металлических частей; частицы из металлических банок для хранения и металлических контейнеров |
|
Ионные примеси |
Продукты дыхания, отпечатки пальцев (хлорид натрия); примеси из очищающих растворов, содержащие ионные детергенты; некоторые флюсы; примеси от предварительной химической операции, такой, как травление или металлизация |
|
Неионные примеси |
Неионные детергенты, органические материалы для обработки |
|
Растворимые примеси |
Очищающие растворители и растворы |
БЕТЕЛЬ , смесь пряных листьев перца бетель - кустарника семейства перечных (разводимого в тропической Азии) с кусочками семян пальмы арека и небольшим количеством извести. Используют как жвачку; возбуждает нервую систему.
ПЕОНАЖ (от исп . peon - поденщик, батрак), одна из форм долговой зависимости непосредственных производителей (преимущественно крестьян) от помещика или предпринимателя. Зародилась во 2-й пол. 16 в., сохранилась во многих странах Лат. Америки, Азии, Африки и на юге США.
ЧЕРНЬ (черневая тайга) , густые пихтово-еловые (иногда горно-таежные) леса с примесью осины и березы в Сибири.