Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластин Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластинСтраница 6
Типичные загрязнения
полупроводниковых пластин и их источники
Таблица 1.
| Загрязнения | Возможные источники |
|
Волокна (нейлон, целлюлоза и т. д.) |
Одежда, ткани, бумажные изделия |
|
Силикаты |
Горные породы, песок, почва, зола, пепел |
|
Окислы и окалина |
Продукты окисления некоторых металлов |
|
Масла и жиры |
Масла от машинной обработки, отпечатки пальцев, жиры с открытых участков тела, средства для волос, мази, лосьоны |
|
Силиконы |
Аэрозоли для волос, кремы, лосьоны после бритья, лосьоны для рук, мыло |
|
Металлы |
Порошки и отходы машинной обработки и шлифовки; изготовление металлических частей; частицы из металлических банок для хранения и металлических контейнеров |
|
Ионные примеси |
Продукты дыхания, отпечатки пальцев (хлорид натрия); примеси из очищающих растворов, содержащие ионные детергенты; некоторые флюсы; примеси от предварительной химической операции, такой, как травление или металлизация |
|
Неионные примеси |
Неионные детергенты, органические материалы для обработки |
|
Растворимые примеси |
Очищающие растворители и растворы |
ЕРБАНОВ Михей Николаевич (1889-1938) , политический деятель. С 1921 председатель ревкома, исполкома Бурят-Монгольской а. о.; в 1923-27 председатель Совнаркома и ЦИК Бурят-Монгольской АССР. С 1929 1-й секретарь Бурят-Монгольского обкома партии. Член ЦРК КПСС с 1934. Репрессирован; реабилитирован посмертно.
ПРОТИВОТАНКОВАЯ АРТИЛЛЕРИЯ , вид наземной артиллерии для поражения танков и других бронированных целей. На вооружении имеет противотанковые пушки, безоткатные орудия и противотанковые управляемые ракеты.
ФЕДОРОВ Иван Петрович (? - 1568) , боярин, влиятельный член правительства в сер. 16 в., конюший с 1547, один из руководителей земской Боярской думы с 1565. Выступил против опричнины. Обвинен в заговоре. По "делу" Федорова казнено ок. 500 человек.