Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластин Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластинСтраница 6
Типичные загрязнения
полупроводниковых пластин и их источники
Таблица 1.
| Загрязнения | Возможные источники |
|
Волокна (нейлон, целлюлоза и т. д.) |
Одежда, ткани, бумажные изделия |
|
Силикаты |
Горные породы, песок, почва, зола, пепел |
|
Окислы и окалина |
Продукты окисления некоторых металлов |
|
Масла и жиры |
Масла от машинной обработки, отпечатки пальцев, жиры с открытых участков тела, средства для волос, мази, лосьоны |
|
Силиконы |
Аэрозоли для волос, кремы, лосьоны после бритья, лосьоны для рук, мыло |
|
Металлы |
Порошки и отходы машинной обработки и шлифовки; изготовление металлических частей; частицы из металлических банок для хранения и металлических контейнеров |
|
Ионные примеси |
Продукты дыхания, отпечатки пальцев (хлорид натрия); примеси из очищающих растворов, содержащие ионные детергенты; некоторые флюсы; примеси от предварительной химической операции, такой, как травление или металлизация |
|
Неионные примеси |
Неионные детергенты, органические материалы для обработки |
|
Растворимые примеси |
Очищающие растворители и растворы |
ТАЗИЕВ (Tazieff) Гарун (р . 1914), бельгийский геолог, вулканолог. Выходец из России, живет во Франции. Участник и руководитель многих экспедиций по изучению вулканов. Автор популярных книг и кинофильмов о вулканах и землетрясениях.
ЗАГОСКИН Михаил Васильевич (1830-1904) , русский писатель. Роман "Магистр" (1876; не окончен). Публицистические статьи и очерки о жизни сибирского крестьянства (в т. ч. серии "Заметки о быте поселян Иркутского уезда", 1857-58, "Деревенские письма", 1888-89). Издавал первую в Сибири частную газету "Амур" (1860-62).
ДРОБОВОЕ БУРЕНИЕ , вид вращательного бурения, при котором разрушение горной породы осуществляется стальной или чугунной дробью, находящейся на забое скважины под буровой коронкой. Применяется в твердых абразивных породах.