Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластин Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластинСтраница 6
Типичные загрязнения
полупроводниковых пластин и их источники
Таблица 1.
| Загрязнения | Возможные источники |
|
Волокна (нейлон, целлюлоза и т. д.) |
Одежда, ткани, бумажные изделия |
|
Силикаты |
Горные породы, песок, почва, зола, пепел |
|
Окислы и окалина |
Продукты окисления некоторых металлов |
|
Масла и жиры |
Масла от машинной обработки, отпечатки пальцев, жиры с открытых участков тела, средства для волос, мази, лосьоны |
|
Силиконы |
Аэрозоли для волос, кремы, лосьоны после бритья, лосьоны для рук, мыло |
|
Металлы |
Порошки и отходы машинной обработки и шлифовки; изготовление металлических частей; частицы из металлических банок для хранения и металлических контейнеров |
|
Ионные примеси |
Продукты дыхания, отпечатки пальцев (хлорид натрия); примеси из очищающих растворов, содержащие ионные детергенты; некоторые флюсы; примеси от предварительной химической операции, такой, как травление или металлизация |
|
Неионные примеси |
Неионные детергенты, органические материалы для обработки |
|
Растворимые примеси |
Очищающие растворители и растворы |
ГУАНАХУАТО (Guanajuato) , город в Мексике, административный центр шт. Гуанахуато. Ок. 70 тыс. жителей. Транспортный узел на высоте 2050 м. Старинный центр горнопромышленного района (золото, серебро, олово и др.). Университет. Родина художника Д. Риверы. Основан в 1548. Музеи. Архитектурные памятники 16-18 вв. Туризм.
ЭСПРИ (от франц . esprit - ум, смысл), украшение из перьев для прически или шляпы. Эспри отличалось от других украшений из перьев своими большими размерами. Делалось из перьев журавля, павлина или фазана. Вошло в европейскую моду в последнее десятилетие 18 в.
ЯНЫЧАРЫ (тур . yeniceri, букв. - новое войско), турецкая регулярная пехота, создана в 14 в. Первоначально комплектовалась из пленных юношей, позже путем насильственного набора мальчиков из христианского населения Османской империи. Ликвидирована в 1826 Махмудом II.