Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластин Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластинСтраница 6
Типичные загрязнения
полупроводниковых пластин и их источники
Таблица 1.
| Загрязнения | Возможные источники |
|
Волокна (нейлон, целлюлоза и т. д.) |
Одежда, ткани, бумажные изделия |
|
Силикаты |
Горные породы, песок, почва, зола, пепел |
|
Окислы и окалина |
Продукты окисления некоторых металлов |
|
Масла и жиры |
Масла от машинной обработки, отпечатки пальцев, жиры с открытых участков тела, средства для волос, мази, лосьоны |
|
Силиконы |
Аэрозоли для волос, кремы, лосьоны после бритья, лосьоны для рук, мыло |
|
Металлы |
Порошки и отходы машинной обработки и шлифовки; изготовление металлических частей; частицы из металлических банок для хранения и металлических контейнеров |
|
Ионные примеси |
Продукты дыхания, отпечатки пальцев (хлорид натрия); примеси из очищающих растворов, содержащие ионные детергенты; некоторые флюсы; примеси от предварительной химической операции, такой, как травление или металлизация |
|
Неионные примеси |
Неионные детергенты, органические материалы для обработки |
|
Растворимые примеси |
Очищающие растворители и растворы |
ЖЕЛЕЗА ОКСИДЫ: FeO , Fe2O3 и Fe3O4. Природные оксиды железа (гематит и магнетит) - сырье для получения железа. Применяются в производстве магнитных материалов, в качестве пигментов, компонентов футеровочной керамики.
ШРУТИ (санскр ., букв. - то, что может быть услышано), интервал величиной менее полутона (ок. 1/4 тона).
ЕРЕМЕНКО Андрей Иванович (1892-1970) , Маршал Советского Союза (1955), Герой Советского Союза (1944). В Великую Отечественную войну командующий войсками Брянского, Юго-Восточного, Сталинградского, Южного, Калининского, 1-го и 2-го Прибалтийского, 4-го Украинского фронтов и ряда армий. В 1945-58 командующий войсками ряда ВО.