Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластин Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластинСтраница 6
Типичные загрязнения
полупроводниковых пластин и их источники
Таблица 1.
| Загрязнения | Возможные источники |
|
Волокна (нейлон, целлюлоза и т. д.) |
Одежда, ткани, бумажные изделия |
|
Силикаты |
Горные породы, песок, почва, зола, пепел |
|
Окислы и окалина |
Продукты окисления некоторых металлов |
|
Масла и жиры |
Масла от машинной обработки, отпечатки пальцев, жиры с открытых участков тела, средства для волос, мази, лосьоны |
|
Силиконы |
Аэрозоли для волос, кремы, лосьоны после бритья, лосьоны для рук, мыло |
|
Металлы |
Порошки и отходы машинной обработки и шлифовки; изготовление металлических частей; частицы из металлических банок для хранения и металлических контейнеров |
|
Ионные примеси |
Продукты дыхания, отпечатки пальцев (хлорид натрия); примеси из очищающих растворов, содержащие ионные детергенты; некоторые флюсы; примеси от предварительной химической операции, такой, как травление или металлизация |
|
Неионные примеси |
Неионные детергенты, органические материалы для обработки |
|
Растворимые примеси |
Очищающие растворители и растворы |
ЙЕЗД , город в Иране, административный центр остана Йезд. 230 тыс. жителей (1989). Текстильная промышленность. Ковроткачество. Мавзолей Доваздех-Имам (11 в.), Соборная мечеть, медресе Шамсия (оба 14 в.). Средневековый центр миниатюры.
СРЕДИЗЕМНЫЕ МОРЯ , располагаются между материками или внутри какого-либо материка и соединяются с океаном посредством проливов (напр., Средиземное м., Балтийское м.).
ДОС ПАССОС (Dos Passos) Джон (1896-1970) , американский писатель. В 20-е гг. представитель "потерянного поколения". Социальная эпопея-трилогия "США" об Америке 1900-30-х гг. ("42-я параллель", 1930; "1919", 1932; "Большие деньги", 1936), экспериментально сочетающая по принципу кинематографического монтажа документальную, биографическую и лирическую прозу. В трилогии "Округ Колумбия" (1939-48) порывает с левыми идеями.