Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластин
Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластин
Страница 6

Типичные загрязнения

полупроводниковых пластин и их источники

Таблица 1.

Загрязнения

Возможные источники

Волокна (нейлон, целлюлоза и т. д.)

Одежда, ткани, бумажные изделия

Силикаты

Горные породы, песок, почва, зола, пепел

Окислы и окалина

Продукты окисления некоторых металлов

Масла и жиры

Масла от машинной обработки, отпечатки пальцев, жиры с открытых участков тела, средства для волос, мази, лосьоны

Силиконы

Аэрозоли для волос, кремы, лосьоны после бритья, лосьоны для рук, мыло

Металлы

Порошки и отходы машинной обработки и шлифовки; изготовление металлических частей; частицы из металлических банок для хранения и металлических контейнеров

Ионные примеси

Продукты дыхания, отпечатки пальцев (хлорид на­трия); примеси из очищающих растворов, содержащие ионные детергенты; некоторые флюсы; примеси от предварительной химической операции, такой, как травление или металлизация

Неионные примеси

Неионные детергенты, органические материалы для обработки

Растворимые примеси

Очищающие растворители и растворы

Страницы: 2 3 4 5 6 7 8 9 10

ЛАЗДЕНЕН , название г. Краснознаменск в Калининградской обл. до 1946.

ЛЕОНТЬЕВ Алексей Федорович (1917-87) , российский математик, член-корреспондент АН СССР (1970). Труды по теории функций, дифференциальным уравнениям. Государственная премия СССР (1989, посмертно).

СМОЛЕНСКАЯ ОБЛАСТЬ , в Российской Федерации. 49,8 тыс. км2. Население 1165,2 тыс. человек (1993), городское 69%. 15 городов, 16 поселков городского типа (1993). Центр - Смоленск. Поверхность - холмистая равнина. Средние температуры января ?9 °С, июля 17 °С. Осадков ок. 600 мм в год. Главная река - Днепр. Добыча угля и торфа. Машиностроение и металлообработка (приборы, средства вычислительной техники, электролампы, холодильники, оборудование для легкой промышленности и др.), химическая (азотные удобрения, пластмассы), легкая (льняные ткани, трикотаж и др.), пищевая промышленность. Дорогобужская ГРЭС; Смоленские ГРЭС и АЭС. Посевы пшеницы, ржи, овса, ячменя, льна-долгунца. Выращивают картофель, овощи. Молочно-мясное скотоводство, свиноводство, коневодство.