Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластин Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластинСтраница 6
Типичные загрязнения
полупроводниковых пластин и их источники
Таблица 1.
| Загрязнения | Возможные источники |
|
Волокна (нейлон, целлюлоза и т. д.) |
Одежда, ткани, бумажные изделия |
|
Силикаты |
Горные породы, песок, почва, зола, пепел |
|
Окислы и окалина |
Продукты окисления некоторых металлов |
|
Масла и жиры |
Масла от машинной обработки, отпечатки пальцев, жиры с открытых участков тела, средства для волос, мази, лосьоны |
|
Силиконы |
Аэрозоли для волос, кремы, лосьоны после бритья, лосьоны для рук, мыло |
|
Металлы |
Порошки и отходы машинной обработки и шлифовки; изготовление металлических частей; частицы из металлических банок для хранения и металлических контейнеров |
|
Ионные примеси |
Продукты дыхания, отпечатки пальцев (хлорид натрия); примеси из очищающих растворов, содержащие ионные детергенты; некоторые флюсы; примеси от предварительной химической операции, такой, как травление или металлизация |
|
Неионные примеси |
Неионные детергенты, органические материалы для обработки |
|
Растворимые примеси |
Очищающие растворители и растворы |
НАЧЕТЧИК , 1) в христианстве мирянин, допущенный к чтению религиозных текстов в церкви или на дому у верующих. 2) Человек, много читавший, но знакомый со всем поверхностно; лицо, догматически проповедующее какое-либо учение.
ЦЗЯНМЫНЬ , город на юге Китая, порт в дельте р. Чжуцзян, пров. Гуандун. 230 тыс. жителей (1990). Машиностроение, химическая, бумажная, пищевая промышленность.
ИЛЛЮЗИОНИЗМ , в изобразительном искусстве обман глаз, имитация, создающая впечатление реального существования изображаемого пространства и предметов, как бы стирающая грань между реальным и изображаемым миром (архитектурно-перспективные росписи барокко, натюрморты-"обманки" 18 в.).