Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластин Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластинСтраница 6
Типичные загрязнения
полупроводниковых пластин и их источники
Таблица 1.
| Загрязнения | Возможные источники |
|
Волокна (нейлон, целлюлоза и т. д.) |
Одежда, ткани, бумажные изделия |
|
Силикаты |
Горные породы, песок, почва, зола, пепел |
|
Окислы и окалина |
Продукты окисления некоторых металлов |
|
Масла и жиры |
Масла от машинной обработки, отпечатки пальцев, жиры с открытых участков тела, средства для волос, мази, лосьоны |
|
Силиконы |
Аэрозоли для волос, кремы, лосьоны после бритья, лосьоны для рук, мыло |
|
Металлы |
Порошки и отходы машинной обработки и шлифовки; изготовление металлических частей; частицы из металлических банок для хранения и металлических контейнеров |
|
Ионные примеси |
Продукты дыхания, отпечатки пальцев (хлорид натрия); примеси из очищающих растворов, содержащие ионные детергенты; некоторые флюсы; примеси от предварительной химической операции, такой, как травление или металлизация |
|
Неионные примеси |
Неионные детергенты, органические материалы для обработки |
|
Растворимые примеси |
Очищающие растворители и растворы |
ЯРЛЫ , у скандинавов в раннем средневековье родовая знать, иногда правители государства.
БУХАРЕСТ (Bucuresti) , столица Румынии, на Нижнедунайской низм., в 45 км от Дуная. Самостоятельная административная единица. 2,1 млн. жителей (1992). Транспортный узел. Международный аэропорт. Крупный промышленный центр: машиностроение и металлообработка, текстильная, кожевенно-обувная, химическая, швейная, пищевая, стекольная, фарфорофаянсовая, полиграфическая промышленность, цветная и черная металлургия, деревообработка. Метрополитен. АН Румынии и отраслевые академии, университет и другие вузы; музеи, театры, концертный зал Атенеум (19 в.). Под современным названием известен с 14 в. С 1659 столица Валахии, с 1861 - Румынии. Монастыри и церкви 16-18 вв. (Михай-Водэ. Патриаршая, Крецулеску). Дворец Республики (20 в.).
КРАСНОЕ МОРЕ , межматериковое море Индийского ок., между Африкой и Аравийским п-овом. Соединяется на юге Баб-эль-Мандебским прол. с Аденским зал. и Аравийским м., на севере - Суэцким каналом со Средиземным м. 460 тыс. км2. Глубина до 3039 м. Одно из самых теплых (до 32 °С) и соленых (38-42‰) морей. Рыболовство, добыча жемчуга и кораллов. Главные порты: Суэц, Порт-Судан, Джидда, Массауа, Ходейда.