Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластин Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластинСтраница 6
Типичные загрязнения
полупроводниковых пластин и их источники
Таблица 1.
| Загрязнения | Возможные источники |
|
Волокна (нейлон, целлюлоза и т. д.) |
Одежда, ткани, бумажные изделия |
|
Силикаты |
Горные породы, песок, почва, зола, пепел |
|
Окислы и окалина |
Продукты окисления некоторых металлов |
|
Масла и жиры |
Масла от машинной обработки, отпечатки пальцев, жиры с открытых участков тела, средства для волос, мази, лосьоны |
|
Силиконы |
Аэрозоли для волос, кремы, лосьоны после бритья, лосьоны для рук, мыло |
|
Металлы |
Порошки и отходы машинной обработки и шлифовки; изготовление металлических частей; частицы из металлических банок для хранения и металлических контейнеров |
|
Ионные примеси |
Продукты дыхания, отпечатки пальцев (хлорид натрия); примеси из очищающих растворов, содержащие ионные детергенты; некоторые флюсы; примеси от предварительной химической операции, такой, как травление или металлизация |
|
Неионные примеси |
Неионные детергенты, органические материалы для обработки |
|
Растворимые примеси |
Очищающие растворители и растворы |
"СОЮЗ ЗАЩИТЫ УЧРЕДИТЕЛЬНОГО СОБРАНИЯ" (Петроград , 23 ноября 1917 - январь 1918, председатель - В. Н. Филипповский). В союз вошли: правые эсеры, народные социалисты, меньшевики-оборонцы, кадеты. Отделения в Москве, Одессе, Самаре и др. городах. После разгона Учредительного собрания прекратил свое существование.
ГОККО (краксы) , семейство птиц отряда куриных. Длина до 95 см (хохлатый гокко). 44 вида, в лесах Центр. и Юж. Америки. Объект охоты.
ЖЕЛЕЗА ОКСИДЫ: FeO , Fe2O3 и Fe3O4. Природные оксиды железа (гематит и магнетит) - сырье для получения железа. Применяются в производстве магнитных материалов, в качестве пигментов, компонентов футеровочной керамики.