Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластин Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластинСтраница 6
Типичные загрязнения
полупроводниковых пластин и их источники
Таблица 1.
| Загрязнения | Возможные источники |
|
Волокна (нейлон, целлюлоза и т. д.) |
Одежда, ткани, бумажные изделия |
|
Силикаты |
Горные породы, песок, почва, зола, пепел |
|
Окислы и окалина |
Продукты окисления некоторых металлов |
|
Масла и жиры |
Масла от машинной обработки, отпечатки пальцев, жиры с открытых участков тела, средства для волос, мази, лосьоны |
|
Силиконы |
Аэрозоли для волос, кремы, лосьоны после бритья, лосьоны для рук, мыло |
|
Металлы |
Порошки и отходы машинной обработки и шлифовки; изготовление металлических частей; частицы из металлических банок для хранения и металлических контейнеров |
|
Ионные примеси |
Продукты дыхания, отпечатки пальцев (хлорид натрия); примеси из очищающих растворов, содержащие ионные детергенты; некоторые флюсы; примеси от предварительной химической операции, такой, как травление или металлизация |
|
Неионные примеси |
Неионные детергенты, органические материалы для обработки |
|
Растворимые примеси |
Очищающие растворители и растворы |
ГИЛЬМЕНД , река в Афганистане и Иране (низовья). 1150 км, площадь бассейна ок. 500 тыс. км2. Начинается в горах Гиндукуша. Заканчивается в бессточной впадине Систан, питая оз. Хамун. Средний расход воды 400-500 м3/с. Используется для орошения.
ЖЕНСКИЙ ПЕДАГОГИЧЕСКИЙ ИНСТИТУТ , с 1903, Санкт-Петербург, высшее учебное заведение Ведомства учреждений императрицы Марии. В 1918 преобразован в 1-й Петроградский педагогический институт, в 1922 слит с Петроградским (ныне Санкт-Петербургским) педагогическим институтом им. Герцена.
АТЕРОСКЛЕРОЗ (от греч . athera - кашица и склероз), хроническое сердечно-сосудистое заболевание лиц преимущественно пожилого возраста. Характеризуется уплотнением артериальной стенки за счет разрастания соединительной ткани, сужением просвета сосудов и ухудшением кровоснабжения органов. Имеют значение наследственность, избыточное потребление животного жира, малая физическая активность, психоэмоциональное перенапряжение, курение. При атеросклерозе венечных артерий сердца возможны стенокардия, инфаркт миокарда, кардиосклероз; при атеросклерозе сосудов мозга - нарушения мозгового кровообращения, в т. ч. инсульт, психические нарушения.