Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластин Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластинСтраница 6
Типичные загрязнения
полупроводниковых пластин и их источники
Таблица 1.
| Загрязнения | Возможные источники |
|
Волокна (нейлон, целлюлоза и т. д.) |
Одежда, ткани, бумажные изделия |
|
Силикаты |
Горные породы, песок, почва, зола, пепел |
|
Окислы и окалина |
Продукты окисления некоторых металлов |
|
Масла и жиры |
Масла от машинной обработки, отпечатки пальцев, жиры с открытых участков тела, средства для волос, мази, лосьоны |
|
Силиконы |
Аэрозоли для волос, кремы, лосьоны после бритья, лосьоны для рук, мыло |
|
Металлы |
Порошки и отходы машинной обработки и шлифовки; изготовление металлических частей; частицы из металлических банок для хранения и металлических контейнеров |
|
Ионные примеси |
Продукты дыхания, отпечатки пальцев (хлорид натрия); примеси из очищающих растворов, содержащие ионные детергенты; некоторые флюсы; примеси от предварительной химической операции, такой, как травление или металлизация |
|
Неионные примеси |
Неионные детергенты, органические материалы для обработки |
|
Растворимые примеси |
Очищающие растворители и растворы |
ФЛЕРОВСКИЙ Н ., см. Берви-Флеровский В. В.
ГИДРОТЕХНИЧЕСКИЙ БЕТОН , применяется для строительства сооружений, постоянно находящихся в воде или периодически контактирующих с водной средой; разновидность тяжелого бетона. Характеризуется высокой коррозионной стойкостью, водонепроницаемостью, морозостойкостью.
ВАСИЛЬЕВА Екатерина Сергеевна (р . 1945), российская актриса, народная артистка России (1987). Играла в Московских театрах им. М. Н. Ермоловой, "Современник", с 1974 во МХАТе (с 1989 МХАТ им. А. П. Чехова). Роли: Прокурор ("Вагончик" Н. А. Павловой), Маргарита Хевистави ("Обвал" по М. Джавахишвили), Ирина Минелли ("Тамада" А. М. Галина) и др. Снималась в фильмах "Не болит голова у дятла", "Двадцать дней без войны" и др.