Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластин Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластинСтраница 6
Типичные загрязнения
полупроводниковых пластин и их источники
Таблица 1.
| Загрязнения | Возможные источники |
|
Волокна (нейлон, целлюлоза и т. д.) |
Одежда, ткани, бумажные изделия |
|
Силикаты |
Горные породы, песок, почва, зола, пепел |
|
Окислы и окалина |
Продукты окисления некоторых металлов |
|
Масла и жиры |
Масла от машинной обработки, отпечатки пальцев, жиры с открытых участков тела, средства для волос, мази, лосьоны |
|
Силиконы |
Аэрозоли для волос, кремы, лосьоны после бритья, лосьоны для рук, мыло |
|
Металлы |
Порошки и отходы машинной обработки и шлифовки; изготовление металлических частей; частицы из металлических банок для хранения и металлических контейнеров |
|
Ионные примеси |
Продукты дыхания, отпечатки пальцев (хлорид натрия); примеси из очищающих растворов, содержащие ионные детергенты; некоторые флюсы; примеси от предварительной химической операции, такой, как травление или металлизация |
|
Неионные примеси |
Неионные детергенты, органические материалы для обработки |
|
Растворимые примеси |
Очищающие растворители и растворы |
ЛИВР (франц . livre, от лат. libra - римский фунт), 1) денежная единица Франции до введения в 1799 франка. Ливр обращался также в других странах, в т. ч. в Великобритании. 2) Мера массы во Франции до введения метрической системы (1 ливр - 489,5 г).
ЕЖА , род многолетних трав семейства злаков, кормовая культура. 5 видов; ежа сборная в Евразии и Сев. Африке, остальные - эндемики Зап. Средиземноморья. Ежу сборную выращивают как кормовое растение (сена за 2 укоса 60-70 ц с 1 га).
ДМИТРИЕВ Владимир Карпович (1868-1913) , российский экономист-математик и статистик. С помощью линейных уравнений разработал способ выражения полных затрат труда.