Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластин Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластинСтраница 6
Типичные загрязнения
полупроводниковых пластин и их источники
Таблица 1.
| Загрязнения | Возможные источники |
|
Волокна (нейлон, целлюлоза и т. д.) |
Одежда, ткани, бумажные изделия |
|
Силикаты |
Горные породы, песок, почва, зола, пепел |
|
Окислы и окалина |
Продукты окисления некоторых металлов |
|
Масла и жиры |
Масла от машинной обработки, отпечатки пальцев, жиры с открытых участков тела, средства для волос, мази, лосьоны |
|
Силиконы |
Аэрозоли для волос, кремы, лосьоны после бритья, лосьоны для рук, мыло |
|
Металлы |
Порошки и отходы машинной обработки и шлифовки; изготовление металлических частей; частицы из металлических банок для хранения и металлических контейнеров |
|
Ионные примеси |
Продукты дыхания, отпечатки пальцев (хлорид натрия); примеси из очищающих растворов, содержащие ионные детергенты; некоторые флюсы; примеси от предварительной химической операции, такой, как травление или металлизация |
|
Неионные примеси |
Неионные детергенты, органические материалы для обработки |
|
Растворимые примеси |
Очищающие растворители и растворы |
ХАРЬЮМАА (Harjumaa) (Гарриен , Гаррия), древнеэстонский мааконд (земля) на севере современной Эстонии, с г. Варбола. В 13 в. захвачен Данией, включил землю Рявала с г. Таллин (Ревель). В 1347 уступлен Ливонскому ордену, с 1561 - в Швеции, часть - в Эстляндии. В России с 1710 - Ревельский у. Эстляндской губ.
ФУЛЛЕР (Fuller) Ричард Бакминстер (1895-1983) , американский архитектор и инженер. Разработал легкие и прочные "геодезические купола" - пространственные стальные конструкции из прямых стержней (выставочный павильон в Сокольниках в Москве, 1959).
ЯМБ (греч . iambos), стихотворный метр с сильными местами на четных слогах стиха ("Мой дЯдя сАмых чЕстных прАвил...", А. С. Пушкин). Самый употребительный из метров русского силлабо-тонического стиха; основные размеры - 4-стопный (лирика, эпос), 6-стопный (поэмы и драмы 18 в.), 5-стопный (лирика и драмы 19-20 вв.), вольный разностопный (басня 18-19 вв., комедия 19 в.).