Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластин Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластинСтраница 6
Типичные загрязнения
полупроводниковых пластин и их источники
Таблица 1.
| Загрязнения | Возможные источники |
|
Волокна (нейлон, целлюлоза и т. д.) |
Одежда, ткани, бумажные изделия |
|
Силикаты |
Горные породы, песок, почва, зола, пепел |
|
Окислы и окалина |
Продукты окисления некоторых металлов |
|
Масла и жиры |
Масла от машинной обработки, отпечатки пальцев, жиры с открытых участков тела, средства для волос, мази, лосьоны |
|
Силиконы |
Аэрозоли для волос, кремы, лосьоны после бритья, лосьоны для рук, мыло |
|
Металлы |
Порошки и отходы машинной обработки и шлифовки; изготовление металлических частей; частицы из металлических банок для хранения и металлических контейнеров |
|
Ионные примеси |
Продукты дыхания, отпечатки пальцев (хлорид натрия); примеси из очищающих растворов, содержащие ионные детергенты; некоторые флюсы; примеси от предварительной химической операции, такой, как травление или металлизация |
|
Неионные примеси |
Неионные детергенты, органические материалы для обработки |
|
Растворимые примеси |
Очищающие растворители и растворы |
"ЗЕЛЕНАЯ РЕВОЛЮЦИЯ" , термин, появившийся в 60-х гг. 20 в. в связи с начавшимся во многих странах процессом внедрения новых высокоурожайных сортов зерновых культур (пшеница, рис) с целью резкого увеличения продовольственных ресурсов. "Зеленая революция" предусматривает также необходимое орошение земель, химизацию и механизацию сельского хозяйства; наибольшее значение имеет для развивающихся стран (Индия и др.).
РОББИНС (Robbins) Лайонел (1898-1984) , английский экономист, представитель лондонской школы буржуазной политэкономии. Предмет экономической науки видел в исследовании отношений распределения, основанных на принципах предельной полезности теории.
УКСУС (столовый уксус) , водный раствор (3-15%-ный) пищевой уксусной кислоты. Применяют в изготовлении приправ, маринадов, консервов.