Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластин Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластинСтраница 6
Типичные загрязнения
полупроводниковых пластин и их источники
Таблица 1.
| Загрязнения | Возможные источники |
|
Волокна (нейлон, целлюлоза и т. д.) |
Одежда, ткани, бумажные изделия |
|
Силикаты |
Горные породы, песок, почва, зола, пепел |
|
Окислы и окалина |
Продукты окисления некоторых металлов |
|
Масла и жиры |
Масла от машинной обработки, отпечатки пальцев, жиры с открытых участков тела, средства для волос, мази, лосьоны |
|
Силиконы |
Аэрозоли для волос, кремы, лосьоны после бритья, лосьоны для рук, мыло |
|
Металлы |
Порошки и отходы машинной обработки и шлифовки; изготовление металлических частей; частицы из металлических банок для хранения и металлических контейнеров |
|
Ионные примеси |
Продукты дыхания, отпечатки пальцев (хлорид натрия); примеси из очищающих растворов, содержащие ионные детергенты; некоторые флюсы; примеси от предварительной химической операции, такой, как травление или металлизация |
|
Неионные примеси |
Неионные детергенты, органические материалы для обработки |
|
Растворимые примеси |
Очищающие растворители и растворы |
ЮРЬЕВ Юрий Константинович (1896-1965) , российский химик-органик. Основные работы посвящены химии гетероциклических соединений. Открыл (1936) и изучил реакцию каталитического превращения фурана в пиррол, тиофен и селенофен (реакция Юрьева). Государственная премия СССР (1946).
ПИЙ XI (Pius) (в миру Акилле Ратти , Achille Ratti) (1857-1939), папа Римский с 1922. Папский нунций в Варшаве (1919), архиепископ Миланский и кардинал (1921). В многочисленных энцикликах осуждал социальные революции и коммунизм. Подписал Латеранские соглашения.
ЖУЛАН , птица рода сорокопутов. Длина ок. 18 см. Пение - мелодичное щебетание - включает имитацию голосов других птиц. В Европе и Зап. Азии (в Сибири - на восток до Томска).