Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластин Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластинСтраница 6
Типичные загрязнения
полупроводниковых пластин и их источники
Таблица 1.
| Загрязнения | Возможные источники |
|
Волокна (нейлон, целлюлоза и т. д.) |
Одежда, ткани, бумажные изделия |
|
Силикаты |
Горные породы, песок, почва, зола, пепел |
|
Окислы и окалина |
Продукты окисления некоторых металлов |
|
Масла и жиры |
Масла от машинной обработки, отпечатки пальцев, жиры с открытых участков тела, средства для волос, мази, лосьоны |
|
Силиконы |
Аэрозоли для волос, кремы, лосьоны после бритья, лосьоны для рук, мыло |
|
Металлы |
Порошки и отходы машинной обработки и шлифовки; изготовление металлических частей; частицы из металлических банок для хранения и металлических контейнеров |
|
Ионные примеси |
Продукты дыхания, отпечатки пальцев (хлорид натрия); примеси из очищающих растворов, содержащие ионные детергенты; некоторые флюсы; примеси от предварительной химической операции, такой, как травление или металлизация |
|
Неионные примеси |
Неионные детергенты, органические материалы для обработки |
|
Растворимые примеси |
Очищающие растворители и растворы |
ГРЕХОВ Игорь Всеволодович (р . 1934), российский ученый, член-корреспондент РАН (1991). Основные труды по исследованию физических процессов в мощных полупроводниковых приборах, электронно-дырочной плазме. Ленинская премия (1966), Государственная премия СССР (1987).
ПОЗНАНСКОЕ ВЕЛИКОЕ КНЯЖЕСТВО , образовано на отошедшей к Пруссии по решению Венского конгресса 1814-15 части территории Варшавского княжества. Центр - г. Познань. В результате Познанского восстания 1918-19 его территория вошла в состав Польского государства.
ШУГАЕВ Вячеслав Максимович (1938-97) , русский писатель. В прозе - социально-нравственные коллизии. Сборники очерков, повестей и рассказов: "Повести о жителях Майска" (1971), "Забытый сон" (1975), "Деревня Добролет" (1975), "Вольному воля" (1977), "Избранное" (1983) и др.