Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластин Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластинСтраница 6
Типичные загрязнения
полупроводниковых пластин и их источники
Таблица 1.
| Загрязнения | Возможные источники |
|
Волокна (нейлон, целлюлоза и т. д.) |
Одежда, ткани, бумажные изделия |
|
Силикаты |
Горные породы, песок, почва, зола, пепел |
|
Окислы и окалина |
Продукты окисления некоторых металлов |
|
Масла и жиры |
Масла от машинной обработки, отпечатки пальцев, жиры с открытых участков тела, средства для волос, мази, лосьоны |
|
Силиконы |
Аэрозоли для волос, кремы, лосьоны после бритья, лосьоны для рук, мыло |
|
Металлы |
Порошки и отходы машинной обработки и шлифовки; изготовление металлических частей; частицы из металлических банок для хранения и металлических контейнеров |
|
Ионные примеси |
Продукты дыхания, отпечатки пальцев (хлорид натрия); примеси из очищающих растворов, содержащие ионные детергенты; некоторые флюсы; примеси от предварительной химической операции, такой, как травление или металлизация |
|
Неионные примеси |
Неионные детергенты, органические материалы для обработки |
|
Растворимые примеси |
Очищающие растворители и растворы |
ИНСИНУАЦИЯ (от лат . insinuatio, букв. - вкрадчивость), клеветническое измышление, злостный вымысел.
ИРАНСКОЕ НАГОРЬЕ , в Иране (ок. 2/3 территории), Афганистане, Пакистане; окраины - в Ираке и на юге Туркмении. 2,7 млн. км2. Высота до 5604 м (вулкан Демавенд). Внутренние плоскогорья высотой 500-2000 м разделены хребтами (Кухруд, Вост.-Иранские горы и др.) и обрамлены мощными горными сооружениями (Эльбурс, Копетдаг, Гиндукуш, Сулеймановы горы, Загрос). Бессточные озера, солончаки. Горные степи, полупустыни и пустыни, на внешних склонах - участки лесов.
МОКРОУСОВ Борис Андреевич (1909-68) , российский композитор. Опера "Чапаев" (2 редакция 1942; 3 редакция 1961), оперетта "Роза ветров" (1947), песни (св. 60), в т. ч. "Заветный камень", "Одинокая гармонь". Государственная премия СССР (1948).