Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластин Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластинСтраница 6
Типичные загрязнения
полупроводниковых пластин и их источники
Таблица 1.
| Загрязнения | Возможные источники |
|
Волокна (нейлон, целлюлоза и т. д.) |
Одежда, ткани, бумажные изделия |
|
Силикаты |
Горные породы, песок, почва, зола, пепел |
|
Окислы и окалина |
Продукты окисления некоторых металлов |
|
Масла и жиры |
Масла от машинной обработки, отпечатки пальцев, жиры с открытых участков тела, средства для волос, мази, лосьоны |
|
Силиконы |
Аэрозоли для волос, кремы, лосьоны после бритья, лосьоны для рук, мыло |
|
Металлы |
Порошки и отходы машинной обработки и шлифовки; изготовление металлических частей; частицы из металлических банок для хранения и металлических контейнеров |
|
Ионные примеси |
Продукты дыхания, отпечатки пальцев (хлорид натрия); примеси из очищающих растворов, содержащие ионные детергенты; некоторые флюсы; примеси от предварительной химической операции, такой, как травление или металлизация |
|
Неионные примеси |
Неионные детергенты, органические материалы для обработки |
|
Растворимые примеси |
Очищающие растворители и растворы |
ВЫМЬ , река на севере Европейской части Российской Федерации, правый приток Вычегды. 499 км, площадь бассейна 25,6 тыс. км2. Сплавная. Судоходна на 172 км от устья.
ХУАРЕС (Juarez) Бенито Пабло (1806-72) , национальный герой Мексики, президент в 1861-72, глава правительства в 1858-61. Провел законы, ограничивающие экономические и политические позиции церкви. Во время Мексиканской экспедиции 1861-67 возглавлял борьбу против интервентов.
ГАВАЙСКИЙ ЯЗЫК , относится к полинезийским языкам, входящим в австронезийскую семью. Письменность на основе латинского алфавита.