Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластин Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластинСтраница 6
Типичные загрязнения
полупроводниковых пластин и их источники
Таблица 1.
| Загрязнения | Возможные источники |
|
Волокна (нейлон, целлюлоза и т. д.) |
Одежда, ткани, бумажные изделия |
|
Силикаты |
Горные породы, песок, почва, зола, пепел |
|
Окислы и окалина |
Продукты окисления некоторых металлов |
|
Масла и жиры |
Масла от машинной обработки, отпечатки пальцев, жиры с открытых участков тела, средства для волос, мази, лосьоны |
|
Силиконы |
Аэрозоли для волос, кремы, лосьоны после бритья, лосьоны для рук, мыло |
|
Металлы |
Порошки и отходы машинной обработки и шлифовки; изготовление металлических частей; частицы из металлических банок для хранения и металлических контейнеров |
|
Ионные примеси |
Продукты дыхания, отпечатки пальцев (хлорид натрия); примеси из очищающих растворов, содержащие ионные детергенты; некоторые флюсы; примеси от предварительной химической операции, такой, как травление или металлизация |
|
Неионные примеси |
Неионные детергенты, органические материалы для обработки |
|
Растворимые примеси |
Очищающие растворители и растворы |
БРИСТОЛЬСКИЙ ЗАЛИВ Атлантического ок ., у юго-западных берегов Великобритании. Длина 230 км, глубина до 50 м. Основные порты: Бристоль, Кардифф, Ньюпорт.
НЕПОЛНОЕ СРЕДНЕЕ ОБРАЗОВАНИЕ в Российской Федерации , ступень в получении законченного среднего образования; знания, получаемые в неполной средней школе. Окончившие 8 (9) класс продолжают образование в старших классах средней школы, или в учреждениях профессионального образования.
ЦЭРЭН Чойдогийн (1940) , монгольский физик-теоретик, академик и президент Монгольской АН (с 1982). Основные труды по ядерной физике.