Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластин Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластинСтраница 6
Типичные загрязнения
полупроводниковых пластин и их источники
Таблица 1.
| Загрязнения | Возможные источники |
|
Волокна (нейлон, целлюлоза и т. д.) |
Одежда, ткани, бумажные изделия |
|
Силикаты |
Горные породы, песок, почва, зола, пепел |
|
Окислы и окалина |
Продукты окисления некоторых металлов |
|
Масла и жиры |
Масла от машинной обработки, отпечатки пальцев, жиры с открытых участков тела, средства для волос, мази, лосьоны |
|
Силиконы |
Аэрозоли для волос, кремы, лосьоны после бритья, лосьоны для рук, мыло |
|
Металлы |
Порошки и отходы машинной обработки и шлифовки; изготовление металлических частей; частицы из металлических банок для хранения и металлических контейнеров |
|
Ионные примеси |
Продукты дыхания, отпечатки пальцев (хлорид натрия); примеси из очищающих растворов, содержащие ионные детергенты; некоторые флюсы; примеси от предварительной химической операции, такой, как травление или металлизация |
|
Неионные примеси |
Неионные детергенты, органические материалы для обработки |
|
Растворимые примеси |
Очищающие растворители и растворы |
РЕТАВАС (Rietavas) , город в Литве, на р. Юра, в 22 км от ж.-д. ст. Плунге. 4,5 тыс. жителей (1990). Деревообрабатывающая промышленность. Известен с 13 в.
ЩЕРБАКОВ Борис Валентинович (1916-95) , российский живописец, народный художник СССР (1986), член-корреспондент Российской АХ (1992; член-корреспондент АХ СССР с 1973). Обобщающие образы русской природы ("Суворовский дуб", 1969, "Русь Подмосковная", 1972), исторические портреты деятелей русской культуры ("Лев Толстой в Ясной Поляне", 1978), портреты современников, тематические картины. Государственная премия СССР (1952).
ЖАРОКОВ Таир (1908-65) , казахский поэт. В лирических стихах (сборники "Надпись на камне", 1946, "Взлет", 1965) - новая для казахской литературы поэтика; поэмы о Казахстане "Поток" (1937), "Буря в песках" (1957).