Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластин Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластинСтраница 6
Типичные загрязнения
полупроводниковых пластин и их источники
Таблица 1.
| Загрязнения | Возможные источники |
|
Волокна (нейлон, целлюлоза и т. д.) |
Одежда, ткани, бумажные изделия |
|
Силикаты |
Горные породы, песок, почва, зола, пепел |
|
Окислы и окалина |
Продукты окисления некоторых металлов |
|
Масла и жиры |
Масла от машинной обработки, отпечатки пальцев, жиры с открытых участков тела, средства для волос, мази, лосьоны |
|
Силиконы |
Аэрозоли для волос, кремы, лосьоны после бритья, лосьоны для рук, мыло |
|
Металлы |
Порошки и отходы машинной обработки и шлифовки; изготовление металлических частей; частицы из металлических банок для хранения и металлических контейнеров |
|
Ионные примеси |
Продукты дыхания, отпечатки пальцев (хлорид натрия); примеси из очищающих растворов, содержащие ионные детергенты; некоторые флюсы; примеси от предварительной химической операции, такой, как травление или металлизация |
|
Неионные примеси |
Неионные детергенты, органические материалы для обработки |
|
Растворимые примеси |
Очищающие растворители и растворы |
ГЕНИЧЕСКИЙ ПРОЛИВ , соединяет Азовское м. с зал. Сиваш. Длина ок. 4 км, ширина 80-150 м, глубина до 4,6 м. Порт Геническ.
ИВАНОВ-ВАНО Иван Петрович (1900-87) , российский режиссер и художник кино, народный артист СССР (1985). Один из зачинателей отечественного графического мультипликационного кино: "Каток" (1927), "Мойдодыр" (1939), "Конек-Горбунок" (1948, 1975), "Гуси-лебеди" (1950), "Сказка о царе Салтане" (1984, с Л. И. Мильчиным) и др. Профессор Всесоюзного Государственного института кинематографии (с 1952).
АНЕМО ... (от греч. anemos - ветер), часть сложных слов, соответствующая по значению слову "ветер" (напр., анемометр).