Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластин Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластинСтраница 6
Типичные загрязнения
полупроводниковых пластин и их источники
Таблица 1.
Загрязнения | Возможные источники |
Волокна (нейлон, целлюлоза и т. д.) |
Одежда, ткани, бумажные изделия |
Силикаты |
Горные породы, песок, почва, зола, пепел |
Окислы и окалина |
Продукты окисления некоторых металлов |
Масла и жиры |
Масла от машинной обработки, отпечатки пальцев, жиры с открытых участков тела, средства для волос, мази, лосьоны |
Силиконы |
Аэрозоли для волос, кремы, лосьоны после бритья, лосьоны для рук, мыло |
Металлы |
Порошки и отходы машинной обработки и шлифовки; изготовление металлических частей; частицы из металлических банок для хранения и металлических контейнеров |
Ионные примеси |
Продукты дыхания, отпечатки пальцев (хлорид натрия); примеси из очищающих растворов, содержащие ионные детергенты; некоторые флюсы; примеси от предварительной химической операции, такой, как травление или металлизация |
Неионные примеси |
Неионные детергенты, органические материалы для обработки |
Растворимые примеси |
Очищающие растворители и растворы |
ЦЫПКИН Яков Залманович (1919) , российский ученый, академик РАН (1991; академик АН СССР с 1990). Труды по теории импульсных, релейных и др. систем управления. Ленинская премия (1960).
ОСАДКОНАКОПЛЕНИЕ (седиментация) , образование всех видов отложений на поверхности Земли при переходе осаждаемого вещества из подвижного, взвешенного или растворенного (в воздушной или водной среде) в неподвижное (осадок) состояние. Осадконакопление происходит на дне рек, озер, морей и океанов и на поверхности суши.
"ЗНАМЯ ТРУДА" , 1) газета, центральный орган эсеров, 1907-14, Россия, а также Париж; выходила нерегулярно. 2) Ежедневная газета, орган левых эсеров, 1917, Петроград; 1918, Москва. Закрыта после левоэсеровского мятежа 1918.