ChemStudy

Скорость травления в полирующих травителях определяется скоростью диффузии реагента и зависит от градиента его концентрации:

(1)

где D - коэффициент диффузии реагента, зависящий от природы и энергии активации молекул реагента; и - концентрация реагента в объеме и на поверхности; - толщина приповерхностного слоя травителя, в котором существует градиент концентрации.

При этом скорость травления нечувствительна к физическим и химическим неоднородностям поверхности, слабо зависит от температуры. Вследствие более высокого градиента концентрации выступы на поверхности травятся быстрее впадин. Поэтому полирующие травители хорошо сглаживают шероховатости, выравнивая микрорельеф. Типичными полирующими травителями для кремниевых пластин являются смеси азотной и фтористоводородной (плавиковой) кислот.

Существуют две теории саморастворения кремния в травителях: химическая и электрохимическая. Согласно химической теории поверхностные химические реакции при полирующем травлении протекают в два этапа: окисление поверхностного слоя и перевод оксида в растворимую соль. Роль окислителя выполняет азотная кислота:

(2)

Фтористо-водородная кислота является комплексообразователем, который переводит оксид кремния в тетрафторид:

(3)

В соответствии с электрохимической теорией взаимодействие между полупроводником и травителем обусловлено тем, что на поверхности пластины при погружении ее в травитель существуют анодные и катодные микроучастки, между которыми возникают локальные токи.

На анодных участках происходит окисление кремния с последующим растворением оксида и образованием кремний-фтористоводородной кислоты, на катодных - восстановление окислителя (азотной кислоты). В процессе травления микроаноды и микрокатоды непрерывно меняются местами.

Результирующее уравнение реакции при этом имеет вид:

(4)

ЛИНЕАМЕНТЫ (от лат . lineamentum - линия, контур), линейные и дугообразные элементы рельефа планетарного масштаба, связанные с глубинными разломами.

ЖЕНЕВСКИЕ СОГЛАШЕНИЯ 1954 об Индокитае , приняты на совещании министров иностранных дел СССР, КНР, Великобритании, США и Франции (Женева, 26 апреля - 21 июля; в подготовке соглашений участвовали также представители ДРВ, Камбоджи, Лаоса и Юж. Вьетнама). Положили конец длившейся с сентября 1945 войне Франции против Вьетнама, Лаоса и Камбоджи.

ИТАЛЬЯНСКИЙ КОММЕРЧЕСКИЙ БАНК (Banca Commerciale Italiana) , акционерный коммерческий банк Италии (90% капитала принадлежит государству). Основан в 1894. Правление в Милане. Более 400 отделений и агентств в стране, 24 представительства (в т. ч. в Москве), 9 отделений и 33 дочерних банка за рубежом. Сумма баланса, собственный капитал, прибыль [млрд. лир (млрд. дол. США)]: 81874 (66,46); 4344 (35); 373 (0,3) (кон. 1980-х гг.).