ChemStudy

Скорость травления в полирующих травителях определяется скоростью диффузии реагента и зависит от градиента его концентрации:

(1)

где D - коэффициент диффузии реагента, зависящий от природы и энергии активации молекул реагента; и - концентрация реагента в объеме и на поверхности; - толщина приповерхностного слоя травителя, в котором существует градиент концентрации.

При этом скорость травления нечувствительна к физическим и химическим неоднородностям поверхности, слабо зависит от температуры. Вследствие более высокого градиента концентрации выступы на поверхности травятся быстрее впадин. Поэтому полирующие травители хорошо сглаживают шероховатости, выравнивая микрорельеф. Типичными полирующими травителями для кремниевых пластин являются смеси азотной и фтористоводородной (плавиковой) кислот.

Существуют две теории саморастворения кремния в травителях: химическая и электрохимическая. Согласно химической теории поверхностные химические реакции при полирующем травлении протекают в два этапа: окисление поверхностного слоя и перевод оксида в растворимую соль. Роль окислителя выполняет азотная кислота:

(2)

Фтористо-водородная кислота является комплексообразователем, который переводит оксид кремния в тетрафторид:

(3)

В соответствии с электрохимической теорией взаимодействие между полупроводником и травителем обусловлено тем, что на поверхности пластины при погружении ее в травитель существуют анодные и катодные микроучастки, между которыми возникают локальные токи.

На анодных участках происходит окисление кремния с последующим растворением оксида и образованием кремний-фтористоводородной кислоты, на катодных - восстановление окислителя (азотной кислоты). В процессе травления микроаноды и микрокатоды непрерывно меняются местами.

Результирующее уравнение реакции при этом имеет вид:

(4)

ЦЕНТРАЛЬНОЕВРОПЕЙСКИЙ НЕФТЕГАЗОНОСНЫЙ БАССЕЙН , в пределах Польши, Германии, Нидерландов, Норвегии, Дании, Великобритании, Бельгии, Швеции, частично Белоруссии, России, а также акватории Северного м. Площадь 1,1 млн. км2. Нефтегазоносны отложения от карбона до палеогена. Имеется свыше 300 нефтяных и более 300 газовых месторождений. Главные нефтяные месторождения: Статфьорд, Фортис, Брент, Экофиск, Корморан, Пайпер, Данлин, Хаттон. Крупнейшие газовые месторождения: Гронинген, Тролль, Леман, Фригг.

ЦЕНА , количество денег (или других товаров и услуг), уплачиваемое и получаемое за единицу товара или услуги. В рыночной экономике конкретные цены складываются в зависимости от спроса и предложения, а также др. факторов конъюнктуры.

ПОЛЕВОЙ (наст . фам. Кампов) Борис Николаевич (1908-81), русский писатель, Герой Социалистического Труда (1974). В основу "Повести о настоящем человеке" (1946) положен подвиг летчика А.П. Маресьева. Роман "Золото" (1949-50), повести, рассказы. Дневники военных лет, в т. ч. книга о Нюрнбергском процессе "В конце концов" (1968); воспоминания. Главный редактор журнала "Юность" (с 1962). Государственная премия СССР (1947, 1949).