ChemStudy

Скорость травления в полирующих травителях определяется скоростью диффузии реагента и зависит от градиента его концентрации:

(1)

где D - коэффициент диффузии реагента, зависящий от природы и энергии активации молекул реагента; и - концентрация реагента в объеме и на поверхности; - толщина приповерхностного слоя травителя, в котором существует градиент концентрации.

При этом скорость травления нечувствительна к физическим и химическим неоднородностям поверхности, слабо зависит от температуры. Вследствие более высокого градиента концентрации выступы на поверхности травятся быстрее впадин. Поэтому полирующие травители хорошо сглаживают шероховатости, выравнивая микрорельеф. Типичными полирующими травителями для кремниевых пластин являются смеси азотной и фтористоводородной (плавиковой) кислот.

Существуют две теории саморастворения кремния в травителях: химическая и электрохимическая. Согласно химической теории поверхностные химические реакции при полирующем травлении протекают в два этапа: окисление поверхностного слоя и перевод оксида в растворимую соль. Роль окислителя выполняет азотная кислота:

(2)

Фтористо-водородная кислота является комплексообразователем, который переводит оксид кремния в тетрафторид:

(3)

В соответствии с электрохимической теорией взаимодействие между полупроводником и травителем обусловлено тем, что на поверхности пластины при погружении ее в травитель существуют анодные и катодные микроучастки, между которыми возникают локальные токи.

На анодных участках происходит окисление кремния с последующим растворением оксида и образованием кремний-фтористоводородной кислоты, на катодных - восстановление окислителя (азотной кислоты). В процессе травления микроаноды и микрокатоды непрерывно меняются местами.

Результирующее уравнение реакции при этом имеет вид:

(4)

ХАРАТЬЯН Дмитрий Вадимович (р . 1960), российский актер. Кумир молодежи на рубеже 80-90-х гг. Дебютировал в фильме В. В. Меньшова "Розыгрыш" (1976). Наибольший успех принесла Харатьяну роль Алеши Корсака в телесериалах "Гардемарины, вперед!" (1987), "Виват, гардемарины!" и "Гардемарины-III". Снимался также в фильмах "Черный квадрат", "Мордашка", "Жених из Майами" и др.

ОБЖИМКА ,1) операция ковки и штамповки, сопровождающаяся радиальной деформацией прутковых или трубных заготовок; часто обжимку называют обжимом или редуцированием.2) Штамп с продольным ручьем плавнопеременного сечения (главным образом для вытяжки металлической заготовки).3) Инструмент для клепки.

ТРИНИДАД (Trinidad) , остров в Атлантическом ок. в составе государства Тринидад и Тобаго. Площадь 4,8 тыс. км2. Высота до 940 м. На Тринидаде - столица госдарства - Порт-оф-Спейн.