ChemStudy

Скорость травления в полирующих травителях определяется скоростью диффузии реагента и зависит от градиента его концентрации:

(1)

где D - коэффициент диффузии реагента, зависящий от природы и энергии активации молекул реагента; и - концентрация реагента в объеме и на поверхности; - толщина приповерхностного слоя травителя, в котором существует градиент концентрации.

При этом скорость травления нечувствительна к физическим и химическим неоднородностям поверхности, слабо зависит от температуры. Вследствие более высокого градиента концентрации выступы на поверхности травятся быстрее впадин. Поэтому полирующие травители хорошо сглаживают шероховатости, выравнивая микрорельеф. Типичными полирующими травителями для кремниевых пластин являются смеси азотной и фтористоводородной (плавиковой) кислот.

Существуют две теории саморастворения кремния в травителях: химическая и электрохимическая. Согласно химической теории поверхностные химические реакции при полирующем травлении протекают в два этапа: окисление поверхностного слоя и перевод оксида в растворимую соль. Роль окислителя выполняет азотная кислота:

(2)

Фтористо-водородная кислота является комплексообразователем, который переводит оксид кремния в тетрафторид:

(3)

В соответствии с электрохимической теорией взаимодействие между полупроводником и травителем обусловлено тем, что на поверхности пластины при погружении ее в травитель существуют анодные и катодные микроучастки, между которыми возникают локальные токи.

На анодных участках происходит окисление кремния с последующим растворением оксида и образованием кремний-фтористоводородной кислоты, на катодных - восстановление окислителя (азотной кислоты). В процессе травления микроаноды и микрокатоды непрерывно меняются местами.

Результирующее уравнение реакции при этом имеет вид:

(4)

"ЗАРЯ" , парусно-моторная шхуна русской арктической экспедиции Э. В. Толля (1900-02) в районе Новосибирских о-вов. В сентябре 1902 выброшена на мель и оставлена участниками экспедиции.

ФИЛАТОВ Леонид Алексеевич (р . 1946), российский актер, заслуженный артист России. С 1969 в Московском театре на Таганке. Роли: Дмитриев ("Обмен" по Ю. В. Трифонову, 1976), Мастер ("Мастер и Маргарита" по М. А. Булгакову, 1977), Барон и Дон Карлос ("Пир во время чумы" по "Маленьким трагедиям" А. С. Пушкина, 1989) и др. Снимался в фильмах: "Успех" (1985), "Забытая мелодия для флейты" (1988), "Город Зеро" (1990) и др. Выступает как поэт, драматург и кинорежиссер, поставил фильм "Сукины дети" (1991).

МИНЕРАЛЬНЫЕ УДОБРЕНИЯ , минеральные соединения, главным образом соли, содержащие элементы питания растений и используемые для повышения плодородия почвы. Минеральные удобрения простые (азотные, фосфорные, калийные, микроудобрения) и комплексные; твердые (порошковидные и гранулированные) и жидкие. Обогащают почву питательными элементами, изменяют реакцию почвенного раствора, влияют на микробиологические процессы. Применяются в рекомендуемых дозах.