ChemStudy

Скорость травления в полирующих травителях определяется скоростью диффузии реагента и зависит от градиента его концентрации:

(1)

где D - коэффициент диффузии реагента, зависящий от природы и энергии активации молекул реагента; и - концентрация реагента в объеме и на поверхности; - толщина приповерхностного слоя травителя, в котором существует градиент концентрации.

При этом скорость травления нечувствительна к физическим и химическим неоднородностям поверхности, слабо зависит от температуры. Вследствие более высокого градиента концентрации выступы на поверхности травятся быстрее впадин. Поэтому полирующие травители хорошо сглаживают шероховатости, выравнивая микрорельеф. Типичными полирующими травителями для кремниевых пластин являются смеси азотной и фтористоводородной (плавиковой) кислот.

Существуют две теории саморастворения кремния в травителях: химическая и электрохимическая. Согласно химической теории поверхностные химические реакции при полирующем травлении протекают в два этапа: окисление поверхностного слоя и перевод оксида в растворимую соль. Роль окислителя выполняет азотная кислота:

(2)

Фтористо-водородная кислота является комплексообразователем, который переводит оксид кремния в тетрафторид:

(3)

В соответствии с электрохимической теорией взаимодействие между полупроводником и травителем обусловлено тем, что на поверхности пластины при погружении ее в травитель существуют анодные и катодные микроучастки, между которыми возникают локальные токи.

На анодных участках происходит окисление кремния с последующим растворением оксида и образованием кремний-фтористоводородной кислоты, на катодных - восстановление окислителя (азотной кислоты). В процессе травления микроаноды и микрокатоды непрерывно меняются местами.

Результирующее уравнение реакции при этом имеет вид:

(4)

САН-ХУАН (San Juan) , город, столица и главный порт Пуэрто-Рико. 427 тыс. жителей, с пригородами св. 1 млн. человек (1989). Международный аэропорт. Пищевкусовая, текстильная, химическая, нефтеперерабатывающая промышленность. Университеты. Основан испанцами в 1508 под названием Капарра, в 1521 перенесен на другое место и назван Пуэрто-Рико; со временем это название перешло к острову, а город получил название Сан-Хуан. Укрепления, здания 16-18 вв.

ЦВЕТАЕВА Анастасия Ивановна (1894-1993) , русская писательница. Дочь И. В. Цветаева, сестра М. И. Цветаевой. Мемуары (в т. ч. книга "Воспоминания", 1971) воссоздают культурную атмосферу нач. 20 в. Пафос приятия жизни в автобиографической повести ("Моя Сибирь", 1988, о быте репрессированных), рассказах. Книги лирической прозы: "Королевские размышления, 1914 год" (1915), "Дым, дым, и дым" (1916).

ГОРКА , в авиации - фигура пилотажа - кратковременный полет самолета по восходящей прямолинейной траектории без крена.