ChemStudy

Скорость травления в полирующих травителях определяется скоростью диффузии реагента и зависит от градиента его концентрации:

(1)

где D - коэффициент диффузии реагента, зависящий от природы и энергии активации молекул реагента; и - концентрация реагента в объеме и на поверхности; - толщина приповерхностного слоя травителя, в котором существует градиент концентрации.

При этом скорость травления нечувствительна к физическим и химическим неоднородностям поверхности, слабо зависит от температуры. Вследствие более высокого градиента концентрации выступы на поверхности травятся быстрее впадин. Поэтому полирующие травители хорошо сглаживают шероховатости, выравнивая микрорельеф. Типичными полирующими травителями для кремниевых пластин являются смеси азотной и фтористоводородной (плавиковой) кислот.

Существуют две теории саморастворения кремния в травителях: химическая и электрохимическая. Согласно химической теории поверхностные химические реакции при полирующем травлении протекают в два этапа: окисление поверхностного слоя и перевод оксида в растворимую соль. Роль окислителя выполняет азотная кислота:

(2)

Фтористо-водородная кислота является комплексообразователем, который переводит оксид кремния в тетрафторид:

(3)

В соответствии с электрохимической теорией взаимодействие между полупроводником и травителем обусловлено тем, что на поверхности пластины при погружении ее в травитель существуют анодные и катодные микроучастки, между которыми возникают локальные токи.

На анодных участках происходит окисление кремния с последующим растворением оксида и образованием кремний-фтористоводородной кислоты, на катодных - восстановление окислителя (азотной кислоты). В процессе травления микроаноды и микрокатоды непрерывно меняются местами.

Результирующее уравнение реакции при этом имеет вид:

(4)

АРХИЕПИСКОП (от архи ... и епископ), старший епископ.

ХАБАРОВСКИЙ КРАЙ , в Российской Федерации. 824,6 тыс. км2. Население 1840 тыс. человек (1993), городское 79%. 9 городов и 43 поселка городского типа (1993). Включает Еврейскую АО. К Хабаровскому кр. относятся Шантарские и другие острова. Центр - Хабаровск. Большая часть территории занята горными хребтами Сихотэ-Алиня, Джугджура и др., протягивающимися параллельно побережью Охотского и Японского морей. Климат умеренный муссонный; средние температуры января от -16 до - 40 °С, июля 14-21 °С. Осадков 500-900 мм в год. Главная река - Амур. Св. 50% территории покрыто лесом. Комсомольский и Большехехцирский заповедники. Промышленность: машиностроение и металлообработка (производство морских и речных судов, станков, компрессоров, сельскохозяйственных машин и др.), черная металлургия, горнодобывающая (уголь, руды цветных металлов и др.), нефтеперерабатывающая (нефтепровод Оха - Комсомольск-на-Амуре), лесная, деревообрабатывающая и целлюлозно-бумажная, легкая, рыбная, стройматериалов. Посевы пшеницы, ячменя, овса, кормовых культур, сои. Молочно-мясное скотоводство, птицеводство, пчеловодство. Пушной и зверобойный промыслы. Транссибирская и Байкало-Амурская железнодорожные магистрали. Развит морской транспорт; порты: Ванино (действует паромная переправа Ванино - Холмск), Николаевск-на-Амуре, Охотск. Судоходство по р. Амур. Курорты: Кульдур, Аннинские Минеральные Воды.

ГИДРОФИЛЬНОСТЬ , способность вещества (материала) смачиваться водой. К гидрофильным веществам относятся, напр., глины, силикаты. Гидрофильность - частный случай лиофильности.