ChemStudy

Скорость травления в полирующих травителях определяется скоростью диффузии реагента и зависит от градиента его концентрации:

(1)

где D - коэффициент диффузии реагента, зависящий от природы и энергии активации молекул реагента; и - концентрация реагента в объеме и на поверхности; - толщина приповерхностного слоя травителя, в котором существует градиент концентрации.

При этом скорость травления нечувствительна к физическим и химическим неоднородностям поверхности, слабо зависит от температуры. Вследствие более высокого градиента концентрации выступы на поверхности травятся быстрее впадин. Поэтому полирующие травители хорошо сглаживают шероховатости, выравнивая микрорельеф. Типичными полирующими травителями для кремниевых пластин являются смеси азотной и фтористоводородной (плавиковой) кислот.

Существуют две теории саморастворения кремния в травителях: химическая и электрохимическая. Согласно химической теории поверхностные химические реакции при полирующем травлении протекают в два этапа: окисление поверхностного слоя и перевод оксида в растворимую соль. Роль окислителя выполняет азотная кислота:

(2)

Фтористо-водородная кислота является комплексообразователем, который переводит оксид кремния в тетрафторид:

(3)

В соответствии с электрохимической теорией взаимодействие между полупроводником и травителем обусловлено тем, что на поверхности пластины при погружении ее в травитель существуют анодные и катодные микроучастки, между которыми возникают локальные токи.

На анодных участках происходит окисление кремния с последующим растворением оксида и образованием кремний-фтористоводородной кислоты, на катодных - восстановление окислителя (азотной кислоты). В процессе травления микроаноды и микрокатоды непрерывно меняются местами.

Результирующее уравнение реакции при этом имеет вид:

(4)

ЕКАТЕРИНБУРГСКИЙ ТЕАТР ДРАМЫ , открыт в 1930, с 1977 академический. Актеры: В. Г. Ордынский, М. А. Бецкий, Б. Ф. Ильин, Е. К. Амман-Дальская, М. А. Токарева. Спектакли: "Черная невеста" Ж. Ануя (1987), "Вишневый сад" А. П. Чехова (1990), "Маскарад" М. Ю. Лермонтова (1991), "Лес" А. Н. Островского, "Театр времен Нерона и Сенеки" Э. С. Радзинского (1992) и др.

ЭЙЛИ (Ailеy) Алвин (1931-89) , американский актер, танцовщик, хореограф, педагог. Один из виднейших представителей школы танца "модерн". В 1958 основал собственную труппу Американский театр танца Алвина Эйли. Тематика и лексика большинства его постановок восходят к афро-американской музыкальной и танцевальной фольклорной традиции.

ИСЧИСЛЕНИЕ ПРЕДИКАТОВ , раздел математической логики, логическое исчисление, в алфавит знаков которого, помимо символов исчисления высказываний, входят также символы вещей (индивидов), их свойств и отношений, а также выражений "все" и "некоторые" (кванторы), позволяющие количественно охарактеризовать связи вещей, свойств и отношений; служит аксиоматизацией логики предикатов.