ChemStudy

Скорость травления в полирующих травителях определяется скоростью диффузии реагента и зависит от градиента его концентрации:

(1)

где D - коэффициент диффузии реагента, зависящий от природы и энергии активации молекул реагента; и - концентрация реагента в объеме и на поверхности; - толщина приповерхностного слоя травителя, в котором существует градиент концентрации.

При этом скорость травления нечувствительна к физическим и химическим неоднородностям поверхности, слабо зависит от температуры. Вследствие более высокого градиента концентрации выступы на поверхности травятся быстрее впадин. Поэтому полирующие травители хорошо сглаживают шероховатости, выравнивая микрорельеф. Типичными полирующими травителями для кремниевых пластин являются смеси азотной и фтористоводородной (плавиковой) кислот.

Существуют две теории саморастворения кремния в травителях: химическая и электрохимическая. Согласно химической теории поверхностные химические реакции при полирующем травлении протекают в два этапа: окисление поверхностного слоя и перевод оксида в растворимую соль. Роль окислителя выполняет азотная кислота:

(2)

Фтористо-водородная кислота является комплексообразователем, который переводит оксид кремния в тетрафторид:

(3)

В соответствии с электрохимической теорией взаимодействие между полупроводником и травителем обусловлено тем, что на поверхности пластины при погружении ее в травитель существуют анодные и катодные микроучастки, между которыми возникают локальные токи.

На анодных участках происходит окисление кремния с последующим растворением оксида и образованием кремний-фтористоводородной кислоты, на катодных - восстановление окислителя (азотной кислоты). В процессе травления микроаноды и микрокатоды непрерывно меняются местами.

Результирующее уравнение реакции при этом имеет вид:

(4)

АЛЬБЕРТИНА (Albertina) , графическое собрание в Вене: рисунки, миниатюры, плакаты, гравюры, литографии западноевропейских мастеров. Основано в 1776 как коллекция герцога Альберта.

ВАСИЛЬЕВА Екатерина Сергеевна (р . 1945), российская актриса, народная артистка России (1987). Играла в Московских театрах им. М. Н. Ермоловой, "Современник", с 1974 во МХАТе (с 1989 МХАТ им. А. П. Чехова). Роли: Прокурор ("Вагончик" Н. А. Павловой), Маргарита Хевистави ("Обвал" по М. Джавахишвили), Ирина Минелли ("Тамада" А. М. Галина) и др. Снималась в фильмах "Не болит голова у дятла", "Двадцать дней без войны" и др.

УЛАХАН-ЧИСТАЙ , хребет в системе Черского хр. (Якутия). Длина 250 км, высота до 3147 м. Ледники (ок. 100 км2).