ChemStudy

Скорость травления в полирующих травителях определяется скоростью диффузии реагента и зависит от градиента его концентрации:

(1)

где D - коэффициент диффузии реагента, зависящий от природы и энергии активации молекул реагента; и - концентрация реагента в объеме и на поверхности; - толщина приповерхностного слоя травителя, в котором существует градиент концентрации.

При этом скорость травления нечувствительна к физическим и химическим неоднородностям поверхности, слабо зависит от температуры. Вследствие более высокого градиента концентрации выступы на поверхности травятся быстрее впадин. Поэтому полирующие травители хорошо сглаживают шероховатости, выравнивая микрорельеф. Типичными полирующими травителями для кремниевых пластин являются смеси азотной и фтористоводородной (плавиковой) кислот.

Существуют две теории саморастворения кремния в травителях: химическая и электрохимическая. Согласно химической теории поверхностные химические реакции при полирующем травлении протекают в два этапа: окисление поверхностного слоя и перевод оксида в растворимую соль. Роль окислителя выполняет азотная кислота:

(2)

Фтористо-водородная кислота является комплексообразователем, который переводит оксид кремния в тетрафторид:

(3)

В соответствии с электрохимической теорией взаимодействие между полупроводником и травителем обусловлено тем, что на поверхности пластины при погружении ее в травитель существуют анодные и катодные микроучастки, между которыми возникают локальные токи.

На анодных участках происходит окисление кремния с последующим растворением оксида и образованием кремний-фтористоводородной кислоты, на катодных - восстановление окислителя (азотной кислоты). В процессе травления микроаноды и микрокатоды непрерывно меняются местами.

Результирующее уравнение реакции при этом имеет вид:

(4)

ЗЛАТОГЛАЗИКИ (пестряки) , род мух семейства слепней. Глаза с металлическим отливом (отсюда название). Длина 7-12 мм. Ок. 250 видов, распространены широко. Переносчики возбудителей сибирской язвы, туляремии, инфекционной анемии лошадей и др., а также паразитических червей, напр. филярий.

ЧЕРВЯЧНАЯ ПЕРЕДАЧА , механизм для передачи вращения между скрещивающимися валами посредством винта (червяка) и сопряженного с ним червячного колеса. Применяется в силовых передачах, обеспечивает передаточное отношение до 300 и более.

НЕСТАЦИОНАРНЫЕ ЗВЕЗДЫ , характеризуются нарушением равновесия внешних слоев, которое проявляется в выбросах вещества, в образовании вокруг звезд оболочек, в пульсации звезд. К нестационарным звездам относятся физические переменные звезды и звезды с оболочками, часто не имеющие больших изменений блеска, но показывающие изменения в спектрах. Все звезды в своем развитии проходят ряд стадий нестационарности.