ChemStudy

Скорость травления в полирующих травителях определяется скоростью диффузии реагента и зависит от градиента его концентрации:

(1)

где D - коэффициент диффузии реагента, зависящий от природы и энергии активации молекул реагента; и - концентрация реагента в объеме и на поверхности; - толщина приповерхностного слоя травителя, в котором существует градиент концентрации.

При этом скорость травления нечувствительна к физическим и химическим неоднородностям поверхности, слабо зависит от температуры. Вследствие более высокого градиента концентрации выступы на поверхности травятся быстрее впадин. Поэтому полирующие травители хорошо сглаживают шероховатости, выравнивая микрорельеф. Типичными полирующими травителями для кремниевых пластин являются смеси азотной и фтористоводородной (плавиковой) кислот.

Существуют две теории саморастворения кремния в травителях: химическая и электрохимическая. Согласно химической теории поверхностные химические реакции при полирующем травлении протекают в два этапа: окисление поверхностного слоя и перевод оксида в растворимую соль. Роль окислителя выполняет азотная кислота:

(2)

Фтористо-водородная кислота является комплексообразователем, который переводит оксид кремния в тетрафторид:

(3)

В соответствии с электрохимической теорией взаимодействие между полупроводником и травителем обусловлено тем, что на поверхности пластины при погружении ее в травитель существуют анодные и катодные микроучастки, между которыми возникают локальные токи.

На анодных участках происходит окисление кремния с последующим растворением оксида и образованием кремний-фтористоводородной кислоты, на катодных - восстановление окислителя (азотной кислоты). В процессе травления микроаноды и микрокатоды непрерывно меняются местами.

Результирующее уравнение реакции при этом имеет вид:

(4)

ФЕРНАНДЕЛЬ (Fernandel) (наст . имя и фам. Фернан Контанден, Contandin) (1903-1971), французский киноактер. Снимался в фильмах: "Большая записная книжка", "Закон есть закон", "Дьявол и десять заповедей" и др.

БИОЛОГИЧЕСКАЯ НОМЕНКЛАТУРА , система научных названий на латинском языке в ботанике, зоологии, микологии и микробиологии для групп организмов, связанных той или иной степенью родства, - таксонов. Ботанические, зоологические и другие номенклатуры разрабатывают соответствующие международные комитеты, затем их утверждают на международных конгрессах и издают международные кодексы, имеющие силу законодательных документов. Существуют также анатомические, биохимические и другие номенклатуры. См. также Бинарная номенклатура.

БИСК Александр Акимович (1883-1973) , русский поэт. Отец французского поэта Алена Боске. Стихи (сборники "Рассыпанное ожерелье", 1912; "Чужое и свое", 1962), отмеченные музыкальностью звучания и строгостью формы, тяготеют к традициям символизма. Переводы из Р. М. Рильке (первые переводы на русский язык), Ж. М. Эредиа, Э. Верхарна и др. Мемуары "Русский Париж 1906-1908 гг." (1963). С 1919 в эмиграции (Болгария, Бельгия, США).