Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластин
Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластин
Страница 10

Скорость травления в полирующих травителях определяется скоростью диффузии реагента и зависит от градиента его концентрации:

(1)

где D - коэффициент диффузии реагента, зависящий от природы и энергии активации молекул реагента; и - концентрация реагента в объеме и на поверхности; - толщина приповерхностного слоя травителя, в котором существует градиент концентрации.

При этом скорость травления нечувствительна к физическим и химическим неоднородностям поверхности, слабо зависит от температуры. Вследствие более высокого градиента концентрации выступы на поверхности травятся быстрее впадин. Поэтому полирующие травители хорошо сглаживают шероховатости, выравнивая микрорельеф. Типичными полирующими травителями для кремниевых пластин являются смеси азотной и фтористоводородной (плавиковой) кислот.

Существуют две теории саморастворения кремния в травителях: химическая и электрохимическая. Согласно химической теории поверхностные химические реакции при полирующем травлении протекают в два этапа: окисление поверхностного слоя и перевод оксида в растворимую соль. Роль окислителя выполняет азотная кислота:

(2)

Фтористо-водородная кислота является комплексообразователем, который переводит оксид кремния в тетрафторид:

(3)

В соответствии с электрохимической теорией взаимодействие между полупроводником и травителем обусловлено тем, что на поверхности пластины при погружении ее в травитель существуют анодные и катодные микроучастки, между которыми возникают локальные токи.

На анодных участках происходит окисление кремния с последующим растворением оксида и образованием кремний-фтористоводородной кислоты, на катодных - восстановление окислителя (азотной кислоты). В процессе травления микроаноды и микрокатоды непрерывно меняются местами.

Результирующее уравнение реакции при этом имеет вид:

(4)

Страницы: 6 7 8 9 10 11 12 13 14

ИБСЕН (Ibsen) Генрик (1828-1906) , норвежский драматург. Один из создателей национального норвежского театра. Романтические драмы на сюжеты скандинавских саг, исторические пьесы. Философско-символические драматические поэмы "Бранд" (1866) и "Пер Гюнт" (1867). Острокритические социальные реалистические драмы "Кукольный дом" ("Нора", 1879), "Привидения" (1881), "Враг народа" (1882). В драмах "Дикая утка" (1884), "Гедда Габлер" (1890), "Строитель Сольнес" (1892) усилились черты психологизма и символизма, сближающие их с неоромантическим искусством конца века. Обнаруживая глубокое несоответствие между благопристойной видимостью и внутренней порочностью изображаемой действительности, Ибсен выразил протест против всей системы современных общественных установлений, требуя максимальной эмансипации человека.

ЕГОРОВ Анатолий Григорьевич (р . 1920), российский философ, академик РАН (1991; академик АН СССР с 1974). Труды в области исторического материализма, научного коммунизма, эстетики. Ленинская премия (1982).

ЮТЛАНДИЯ (дат . Jylland, нем. Jutland), полуостров в Дании (большая часть) и Германии, между Северным и Балтийским морями. Ок. 40 тыс. км2, длина ок. 300 км, высота до 173 м. Посевы зерновых, сахарной свеклы, кормовых трав. Крупный город - Орхус (Дания).