ChemStudy

Скорость травления в полирующих травителях определяется скоростью диффузии реагента и зависит от градиента его концентрации:

(1)

где D - коэффициент диффузии реагента, зависящий от природы и энергии активации молекул реагента; и - концентрация реагента в объеме и на поверхности; - толщина приповерхностного слоя травителя, в котором существует градиент концентрации.

При этом скорость травления нечувствительна к физическим и химическим неоднородностям поверхности, слабо зависит от температуры. Вследствие более высокого градиента концентрации выступы на поверхности травятся быстрее впадин. Поэтому полирующие травители хорошо сглаживают шероховатости, выравнивая микрорельеф. Типичными полирующими травителями для кремниевых пластин являются смеси азотной и фтористоводородной (плавиковой) кислот.

Существуют две теории саморастворения кремния в травителях: химическая и электрохимическая. Согласно химической теории поверхностные химические реакции при полирующем травлении протекают в два этапа: окисление поверхностного слоя и перевод оксида в растворимую соль. Роль окислителя выполняет азотная кислота:

(2)

Фтористо-водородная кислота является комплексообразователем, который переводит оксид кремния в тетрафторид:

(3)

В соответствии с электрохимической теорией взаимодействие между полупроводником и травителем обусловлено тем, что на поверхности пластины при погружении ее в травитель существуют анодные и катодные микроучастки, между которыми возникают локальные токи.

На анодных участках происходит окисление кремния с последующим растворением оксида и образованием кремний-фтористоводородной кислоты, на катодных - восстановление окислителя (азотной кислоты). В процессе травления микроаноды и микрокатоды непрерывно меняются местами.

Результирующее уравнение реакции при этом имеет вид:

(4)

ПРОПП Владимир Яковлевич (1895-1970) , российский литературовед. Фундаментальные труды по теории и истории фольклора: "Морфология сказки" (1928), "Исторические корни волшебной сказки" (1946), "Русский героический эпос" (1955), "Русские аграрные праздники" (1963), "Проблемы комизма и смеха" (опубликован 1976).

ПРИТЧА , малый дидактико-аллегорический литературный жанр, заключающий в себе моральное или религиозное поучение ("премудрость"). Близка к басне; в своих модификациях - универсальное явление в мировом фольклоре и литературе (напр., притчи Евангелий, в т. ч. о блудном сыне).

ЖУКОВ Георгий Константинович (1896-1974) , Маршал Советского Союза (1943), четырежды Герой Советского Союза (1939, 1944, 1945, 1956). Участник сражения на р. Халхин-Гол (1939). С 1940 командующий войсками Киевского ВО. В январе - июле 1941 начальник Генштаба - заместитель наркома обороны СССР. В Великую Отечественную войну проявил себя как талантливый полководец, сыгравший важнейшую роль в разгроме немецко-фашистских войск в Ленинградской и Московской битвах (1941-42), при прорыве блокады Ленинграда, в Сталинградской и Курской битвах (1942-43), при наступлении на Правобережной Украине и в Белорусской операции (1943-44), в Висло-Одерской и Берлинской операциях (1944-45). С августа 1942 заместитель наркома обороны СССР и заместитель Верховного Главнокомандующего. От имени Верховного Главнокомандования 8 мая 1945 принял капитуляцию фашистской Германии. В 1945-46 главнокомандующий Группой советских войск и глава Советской военной администрации в Германии. С марта 1946 главнокомандующий Сухопутными войсками и заместитель министра Вооруженных Сил СССР. В том же году отстранен от должности И. В. Сталиным. С июня 1946 командующий войсками Одесского, с 1948 - Уральского ВО. С 1953 1-й заместитель министра, с 1955 министр обороны СССР. В октябре 1957 освобожден от обязанностей министра по распоряжению Н. С. Хрущева, в 1958 уволен из Вооруженных Сил. Автор книги "Воспоминания и размышления" (1-е изд., 1969; 10-е изд. дополнено по рукописи автора, т. 1-3, 1990).