Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластин
Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластин
Страница 10

Скорость травления в полирующих травителях определяется скоростью диффузии реагента и зависит от градиента его концентрации:

(1)

где D - коэффициент диффузии реагента, зависящий от природы и энергии активации молекул реагента; и - концентрация реагента в объеме и на поверхности; - толщина приповерхностного слоя травителя, в котором существует градиент концентрации.

При этом скорость травления нечувствительна к физическим и химическим неоднородностям поверхности, слабо зависит от температуры. Вследствие более высокого градиента концентрации выступы на поверхности травятся быстрее впадин. Поэтому полирующие травители хорошо сглаживают шероховатости, выравнивая микрорельеф. Типичными полирующими травителями для кремниевых пластин являются смеси азотной и фтористоводородной (плавиковой) кислот.

Существуют две теории саморастворения кремния в травителях: химическая и электрохимическая. Согласно химической теории поверхностные химические реакции при полирующем травлении протекают в два этапа: окисление поверхностного слоя и перевод оксида в растворимую соль. Роль окислителя выполняет азотная кислота:

(2)

Фтористо-водородная кислота является комплексообразователем, который переводит оксид кремния в тетрафторид:

(3)

В соответствии с электрохимической теорией взаимодействие между полупроводником и травителем обусловлено тем, что на поверхности пластины при погружении ее в травитель существуют анодные и катодные микроучастки, между которыми возникают локальные токи.

На анодных участках происходит окисление кремния с последующим растворением оксида и образованием кремний-фтористоводородной кислоты, на катодных - восстановление окислителя (азотной кислоты). В процессе травления микроаноды и микрокатоды непрерывно меняются местами.

Результирующее уравнение реакции при этом имеет вид:

(4)

Страницы: 6 7 8 9 10 11 12 13 14

ОХРАНА ПАМЯТНИКОВ ИСТОРИИ И КУЛЬТУРЫ , система государственных мер по сохранению, восстановлению, использованию и пропаганде памятников. Основной международной межправительственной организацией, занимающейся решением широкого круга проблем международного культурного и научного сотрудничества, включая охрану культурных ценностей, является ЮНЕСКО. Вопросами охраны памятников истории и культуры занимаются Международный совет музеев, Международный исследовательский центр по охране и реставрации культурных ценностей, Международный совет по охране памятников и достопримечательных мест. См. также Всемирное наследие, Национальное наследие Российской Федерации - России, Российский международный фонд культуры "Наследие", Общества охраны памятников истории и культуры.

МИЛИУС (Milius) Джон (р . 1944), американский киносценарист, режиссер, продюсер. Основная тенденция творчества - романтическая поэтизация первобытно-агрессивных импульсов. Всемирную известность принес ему фильм "Конан-варвар" (1982). Поставил также фильмы: "Диллинджер" (1973), "Красный рассвет" (1984), "Прощай, король" (1989) и др.

"ЦАРЬ-КОЛОКОЛ" , памятник литейного искусства 18 в., установлен в Московском Кремле; масса свыше 200 т (высота с ушками 6,14 м, диаметр 6,6 м); отлит в 1733-35 русскими мастерами И. Ф. и М. И. Маториными. Во время пожара 1737 от "Царя-колокола" отвалился кусок в 11,5 т.