ChemStudy

Скорость травления в полирующих травителях определяется скоростью диффузии реагента и зависит от градиента его концентрации:

(1)

где D - коэффициент диффузии реагента, зависящий от природы и энергии активации молекул реагента; и - концентрация реагента в объеме и на поверхности; - толщина приповерхностного слоя травителя, в котором существует градиент концентрации.

При этом скорость травления нечувствительна к физическим и химическим неоднородностям поверхности, слабо зависит от температуры. Вследствие более высокого градиента концентрации выступы на поверхности травятся быстрее впадин. Поэтому полирующие травители хорошо сглаживают шероховатости, выравнивая микрорельеф. Типичными полирующими травителями для кремниевых пластин являются смеси азотной и фтористоводородной (плавиковой) кислот.

Существуют две теории саморастворения кремния в травителях: химическая и электрохимическая. Согласно химической теории поверхностные химические реакции при полирующем травлении протекают в два этапа: окисление поверхностного слоя и перевод оксида в растворимую соль. Роль окислителя выполняет азотная кислота:

(2)

Фтористо-водородная кислота является комплексообразователем, который переводит оксид кремния в тетрафторид:

(3)

В соответствии с электрохимической теорией взаимодействие между полупроводником и травителем обусловлено тем, что на поверхности пластины при погружении ее в травитель существуют анодные и катодные микроучастки, между которыми возникают локальные токи.

На анодных участках происходит окисление кремния с последующим растворением оксида и образованием кремний-фтористоводородной кислоты, на катодных - восстановление окислителя (азотной кислоты). В процессе травления микроаноды и микрокатоды непрерывно меняются местами.

Результирующее уравнение реакции при этом имеет вид:

(4)

ЧЕРЕК , река на Сев. Кавказе, правый приток Баксана. 76 км, площадь бассейна 3070 км2. Образуется слиянием рек Черек-Балкарский и Черек-Хуламский. Средний расход воды в верховьях 39,5 м3/с.

АРЕАЛЬНАЯ ЛИНГВИСТИКА , раздел языкознания, изучающий методами лингвистической географии пространственное размещение языков и области распространения языковых явлений.

МЫСОВСКИЙ Лев Владимирович (1888-1939) , российский физик. Труды по физике космических лучей, ядерной физике, ускорителям. Обнаружил (1927) барометрический эффект (изменение интенсивности космического излучения с изменением атмосферного давления). Предложил (1925) метод регистрации заряженных частиц при помощи толстослойных фотографических эмульсий. Доказал (1934) присутствие в составе космических лучей нейтронов. Положил начало гамма-дефектоскопии (1926). Открыл (1935, совместно с Б. В. Курчатовым, И. В. Курчатовым и Л. И. Русиновым) изомерию атомных ядер у искусственно радиоактивных изотопов. В 1922 одним из первых выдвинул идею создания ускорителя заряженных частиц.