ChemStudy

Скорость травления в полирующих травителях определяется скоростью диффузии реагента и зависит от градиента его концентрации:

(1)

где D - коэффициент диффузии реагента, зависящий от природы и энергии активации молекул реагента; и - концентрация реагента в объеме и на поверхности; - толщина приповерхностного слоя травителя, в котором существует градиент концентрации.

При этом скорость травления нечувствительна к физическим и химическим неоднородностям поверхности, слабо зависит от температуры. Вследствие более высокого градиента концентрации выступы на поверхности травятся быстрее впадин. Поэтому полирующие травители хорошо сглаживают шероховатости, выравнивая микрорельеф. Типичными полирующими травителями для кремниевых пластин являются смеси азотной и фтористоводородной (плавиковой) кислот.

Существуют две теории саморастворения кремния в травителях: химическая и электрохимическая. Согласно химической теории поверхностные химические реакции при полирующем травлении протекают в два этапа: окисление поверхностного слоя и перевод оксида в растворимую соль. Роль окислителя выполняет азотная кислота:

(2)

Фтористо-водородная кислота является комплексообразователем, который переводит оксид кремния в тетрафторид:

(3)

В соответствии с электрохимической теорией взаимодействие между полупроводником и травителем обусловлено тем, что на поверхности пластины при погружении ее в травитель существуют анодные и катодные микроучастки, между которыми возникают локальные токи.

На анодных участках происходит окисление кремния с последующим растворением оксида и образованием кремний-фтористоводородной кислоты, на катодных - восстановление окислителя (азотной кислоты). В процессе травления микроаноды и микрокатоды непрерывно меняются местами.

Результирующее уравнение реакции при этом имеет вид:

(4)

АКТУАЛИЗМ , сравнительно-исторический метод в геологии, согласно которому, изучая современные геологические процессы, можно судить об аналогичных процессах далекого прошлого. Применяется с учетом хода развития Земли и изменяющейся геологической обстановки. Как научный принцип актуализм выдвинут в 1-й пол. 19 в. английским геологом Ч. Лайелем.

ЛИМОЖСКАЯ ЭМАЛЬ , французские художественные изделия из меди с росписью непрозрачной эмалью (г. Лимож, расцвет производства - сер. 15 - сер. 17 вв.); складни, реликварии, сосуды, пластины с портретами (Н. Пенико, К. Нуайе, Л. Лимозен).

"СОЦИАЛ-ДЕМОКРАТ" ,1) литературно-политическое обозрение, издание группы "Освобождение труда", 1890-92, Лондон, Женева, 4 книги.2) Нелегальная газета, орган ЦК РСДРП, фактически была органом меньшевиков; 17(30).9 - 18.11(1.12). 1906, Санкт-Петербург, 7 номеров.3) Нелегальная газета, Центральный орган РСДРП, с 1912 - Центральный орган большевиков, февраль 1908 - январь 1917, Вильно, Санкт-Петербург, Париж, Женева, 58 номеров. Фактический руководитель и с декабря 1911 редактор - В. И. Ленин.4) Ежедневная газета, орган Московского областного бюро, Московского комитета, позднее Московского окружкома РСДРП(б), март 1917 - март 1918, Москва. Слилась с газетой "Правда".