ChemStudy

Скорость травления в полирующих травителях определяется скоростью диффузии реагента и зависит от градиента его концентрации:

(1)

где D - коэффициент диффузии реагента, зависящий от природы и энергии активации молекул реагента; и - концентрация реагента в объеме и на поверхности; - толщина приповерхностного слоя травителя, в котором существует градиент концентрации.

При этом скорость травления нечувствительна к физическим и химическим неоднородностям поверхности, слабо зависит от температуры. Вследствие более высокого градиента концентрации выступы на поверхности травятся быстрее впадин. Поэтому полирующие травители хорошо сглаживают шероховатости, выравнивая микрорельеф. Типичными полирующими травителями для кремниевых пластин являются смеси азотной и фтористоводородной (плавиковой) кислот.

Существуют две теории саморастворения кремния в травителях: химическая и электрохимическая. Согласно химической теории поверхностные химические реакции при полирующем травлении протекают в два этапа: окисление поверхностного слоя и перевод оксида в растворимую соль. Роль окислителя выполняет азотная кислота:

(2)

Фтористо-водородная кислота является комплексообразователем, который переводит оксид кремния в тетрафторид:

(3)

В соответствии с электрохимической теорией взаимодействие между полупроводником и травителем обусловлено тем, что на поверхности пластины при погружении ее в травитель существуют анодные и катодные микроучастки, между которыми возникают локальные токи.

На анодных участках происходит окисление кремния с последующим растворением оксида и образованием кремний-фтористоводородной кислоты, на катодных - восстановление окислителя (азотной кислоты). В процессе травления микроаноды и микрокатоды непрерывно меняются местами.

Результирующее уравнение реакции при этом имеет вид:

(4)

БРОНЕНОСЕЦ , боевой корабль во 2-й пол. 19 - нач. 20 вв. с башенной артиллерией крупного калибра (до 305 мм) и мощной броней. В русском флоте существовали эскадренные броненосцы, предназначенные для ведения морского боя в составе эскадры, и броненосцы береговой обороны. После русско-японской войны 1904-05 корабли типа эскадренных броненосцев стали называться линейными кораблями.

ЛИТЕРАТУРА [лат . lit(t)eratura, букв. - написанное], произведения письменности, имеющие общественное значение (напр., художественная литература, научная литература, эпистолярная литература). Чаще под литературой понимают художественную литературную продукцию (художественная литература; соответствие в 19 в. - "изящная словесность"). В этом значении литература - явление искусства ("искусство слова"), эстетически выражающее общественное сознание и в свою очередь формирующее его. Материальный носитель образности в литературе - речь - позволяет ей необычайно широко осваивать и активно истолковывать жизненные процессы во всей их сложности, в т. ч. внутренний мир людей и их общение, воплощаемые в высказываниях (см. Монолог и Диалог). Художественная литература как вид искусства возникает на почве мифологии и устно-поэтического народного творчества. Художественная литература хранит, накапливает и передает от поколения к поколению эстетические, нравственные, философские, социальные ценности. Литература представляет собой формирующуюся на протяжении тысячелетий динамическую систему литературных родов (эпос, лирика, драма), жанров, мотивов, сюжетов, образов, стиховых и прозаических форм (см. Проза и Поэзия), изобразительных средств языка (см. Речь художественная), приемов композиции. Существуют виды письменных произведений., смыкающиеся с художественной литературой, - мемуарная, эпистолярная, документальная литература. Древнейшие произведения писались в стихах, проза - относительно более поздняя область художественной литературы. Только в 18-19 вв. эти две области сравнялись по значению. Для 20 в. характерны связи художественной литературы с другими преимущественно новыми видами искусства - кино, радио, телевидением. Творчество выдающихся деятелей художественной литературы знаменует важнейшие фазы развития мировой и национальной культуры. Литература изучается филологией, по преимуществу литературоведением.

"УТРО РОССИИ" , ежедневная газета, орган торгово-промышленных кругов, с 1912 - партии прогрессистов, 1907-18 (с перерывами), Москва. Фактический издатель - П. П. Рябушинский. Закрыта после Октябрьской революции за контрреволюционную пропаганду.