ChemStudy

Скорость травления в полирующих травителях определяется скоростью диффузии реагента и зависит от градиента его концентрации:

(1)

где D - коэффициент диффузии реагента, зависящий от природы и энергии активации молекул реагента; и - концентрация реагента в объеме и на поверхности; - толщина приповерхностного слоя травителя, в котором существует градиент концентрации.

При этом скорость травления нечувствительна к физическим и химическим неоднородностям поверхности, слабо зависит от температуры. Вследствие более высокого градиента концентрации выступы на поверхности травятся быстрее впадин. Поэтому полирующие травители хорошо сглаживают шероховатости, выравнивая микрорельеф. Типичными полирующими травителями для кремниевых пластин являются смеси азотной и фтористоводородной (плавиковой) кислот.

Существуют две теории саморастворения кремния в травителях: химическая и электрохимическая. Согласно химической теории поверхностные химические реакции при полирующем травлении протекают в два этапа: окисление поверхностного слоя и перевод оксида в растворимую соль. Роль окислителя выполняет азотная кислота:

(2)

Фтористо-водородная кислота является комплексообразователем, который переводит оксид кремния в тетрафторид:

(3)

В соответствии с электрохимической теорией взаимодействие между полупроводником и травителем обусловлено тем, что на поверхности пластины при погружении ее в травитель существуют анодные и катодные микроучастки, между которыми возникают локальные токи.

На анодных участках происходит окисление кремния с последующим растворением оксида и образованием кремний-фтористоводородной кислоты, на катодных - восстановление окислителя (азотной кислоты). В процессе травления микроаноды и микрокатоды непрерывно меняются местами.

Результирующее уравнение реакции при этом имеет вид:

(4)

ВОРТ (Worth) Чарлз Фредерик (1825-95) , первый кутюрье, основатель ведущей во 2-й пол. 19 в. фирмы мод в Париже, названной его именем. Ворт родился в Англии, во Франции с 1845. В 1857 в Париже совместно со шведом Бабергом (вскоре отошел от дел) Ворт основал свою фирму, где впервые модели одежды создавались не на заказчицу, а на манекенщицу (первой манекенщицей была его жена). Модели Ворта пользовались популярностью во всем мире и неоднократно отмечались медалями на международных выставках (ввел в моду кринолины и турнюры). Его дело с 1890 продолжили сыновья Гастон и Жан Филипп, однако, выдержать конкуренцию с новыми творцами моды не смогли. В 1954 имя Ворта купила одна из английских фирм.

МАРКОНИ (Marconi) Гульельмо (1874-1937) , итальянский радиотехник и предприниматель. С 1894 в Италии, а с 1896 в Великобритании проводил опыты по практическому использованию электромагнитных волн; в 1897 получил патент на изобретение способа беспроводного телеграфирования. Организовал акционерное общество (1897). Способствовал развитию радио как средства связи. Нобелевская премия (1909, совместно с К. Ф. Брауном).

ЛЕЧЕБНАЯ ФИЗКУЛЬТУРА (ЛФК) , раздел медицины, изучающий лечение и профилактику заболеваний методами физкультуры (обычно в сочетании с физиотерапевтическими процедурами и массажем). Основной терапевтический метод - лечебная гимнастика (специально подобранные упражнения). С профилактической целью применяют гигиеническую гимнастику, дозированные спортивные упражнения, игры.