ChemStudy

Скорость травления в полирующих травителях определяется скоростью диффузии реагента и зависит от градиента его концентрации:

(1)

где D - коэффициент диффузии реагента, зависящий от природы и энергии активации молекул реагента; и - концентрация реагента в объеме и на поверхности; - толщина приповерхностного слоя травителя, в котором существует градиент концентрации.

При этом скорость травления нечувствительна к физическим и химическим неоднородностям поверхности, слабо зависит от температуры. Вследствие более высокого градиента концентрации выступы на поверхности травятся быстрее впадин. Поэтому полирующие травители хорошо сглаживают шероховатости, выравнивая микрорельеф. Типичными полирующими травителями для кремниевых пластин являются смеси азотной и фтористоводородной (плавиковой) кислот.

Существуют две теории саморастворения кремния в травителях: химическая и электрохимическая. Согласно химической теории поверхностные химические реакции при полирующем травлении протекают в два этапа: окисление поверхностного слоя и перевод оксида в растворимую соль. Роль окислителя выполняет азотная кислота:

(2)

Фтористо-водородная кислота является комплексообразователем, который переводит оксид кремния в тетрафторид:

(3)

В соответствии с электрохимической теорией взаимодействие между полупроводником и травителем обусловлено тем, что на поверхности пластины при погружении ее в травитель существуют анодные и катодные микроучастки, между которыми возникают локальные токи.

На анодных участках происходит окисление кремния с последующим растворением оксида и образованием кремний-фтористоводородной кислоты, на катодных - восстановление окислителя (азотной кислоты). В процессе травления микроаноды и микрокатоды непрерывно меняются местами.

Результирующее уравнение реакции при этом имеет вид:

(4)

РОССИЙСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ ДРУЖБЫ НАРОДОВ , создан в 1992 в Москве на базе Университета Дружбы народов им. П. Лумумбы (основан в 1960 для оказания помощи развивающимся странам в подготовке квалифицированных кадров с высшим образованием). Иностранные студенты после подготовительного отделения, на котором они овладевают русским языком, учатся на различных факультетах по физико-математическим, естественнонаучным, медицинским, сельскохозяйственным, инженерным и другим специальностям. В 1993 ок. 5 тыс. студентов из 100 стран.

ЗОЛОТАЯ БУЛЛА 1356 , законодательный акт, принятый имперским сеймом "Священной Римской империи" и утвержденный императором Карлом IV. Узаконивала избрание императора коллегией курфюрстов, закрепляла за ними другие привилегии. Способствовала политической раздробленности Германии. Действовала до 1806.

УРКУАРТ (Urckuhart) Томас (1605 или 1611-60) , английский поэт и прозаик. Ему принадлежит экспериментальный по языку перевод романа Ф. Рабле "Гаргантюа и Пантагрюэль" (1653), ставший уникальным памятником английской прозы эпохи барокко.