ChemStudy

Скорость травления в полирующих травителях определяется скоростью диффузии реагента и зависит от градиента его концентрации:

(1)

где D - коэффициент диффузии реагента, зависящий от природы и энергии активации молекул реагента; и - концентрация реагента в объеме и на поверхности; - толщина приповерхностного слоя травителя, в котором существует градиент концентрации.

При этом скорость травления нечувствительна к физическим и химическим неоднородностям поверхности, слабо зависит от температуры. Вследствие более высокого градиента концентрации выступы на поверхности травятся быстрее впадин. Поэтому полирующие травители хорошо сглаживают шероховатости, выравнивая микрорельеф. Типичными полирующими травителями для кремниевых пластин являются смеси азотной и фтористоводородной (плавиковой) кислот.

Существуют две теории саморастворения кремния в травителях: химическая и электрохимическая. Согласно химической теории поверхностные химические реакции при полирующем травлении протекают в два этапа: окисление поверхностного слоя и перевод оксида в растворимую соль. Роль окислителя выполняет азотная кислота:

(2)

Фтористо-водородная кислота является комплексообразователем, который переводит оксид кремния в тетрафторид:

(3)

В соответствии с электрохимической теорией взаимодействие между полупроводником и травителем обусловлено тем, что на поверхности пластины при погружении ее в травитель существуют анодные и катодные микроучастки, между которыми возникают локальные токи.

На анодных участках происходит окисление кремния с последующим растворением оксида и образованием кремний-фтористоводородной кислоты, на катодных - восстановление окислителя (азотной кислоты). В процессе травления микроаноды и микрокатоды непрерывно меняются местами.

Результирующее уравнение реакции при этом имеет вид:

(4)

МЕЖЕРАУП Петр Христофорович (1895-1931) , военачальник. Участвовал в 1-й мировой и Гражданской войнах. В Красной Армии с 1918. С 1923 начальник Военно-воздушных сил Туркестанского фронта. В дальнейшем на командных должностях. Уделял большое внимание организации показательных перелетов и сам принимал в них активное участие. Погиб в авиационной катастрофе.

РАДИОМЕТРИЧЕСКОЕ ОБОГАЩЕНИЕ , отделение полезных минералов от пустой породы, основанное на свойстве минералов испускать излучения или ослаблять их.

УЗБОЙ (тюрк) ,..1) сухие русла, мертвые долины в пустынях Ср. Азии...2) Древняя долина в Туркмении, протягивается от Сарыкамышской котловины до Каспийского м., ограничивая с северо-запада пустыню Каракумы. Длина ок. 550 км, длина русла со всеми излучинами - 775 км. Высота менее 50 м (в западной части Узбой лежит ниже уровня океана). В долине цепи соленых озер, солончаковых впадин. Заросли саксаула.