Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластин
Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластин
Страница 10

Скорость травления в полирующих травителях определяется скоростью диффузии реагента и зависит от градиента его концентрации:

(1)

где D - коэффициент диффузии реагента, зависящий от природы и энергии активации молекул реагента; и - концентрация реагента в объеме и на поверхности; - толщина приповерхностного слоя травителя, в котором существует градиент концентрации.

При этом скорость травления нечувствительна к физическим и химическим неоднородностям поверхности, слабо зависит от температуры. Вследствие более высокого градиента концентрации выступы на поверхности травятся быстрее впадин. Поэтому полирующие травители хорошо сглаживают шероховатости, выравнивая микрорельеф. Типичными полирующими травителями для кремниевых пластин являются смеси азотной и фтористоводородной (плавиковой) кислот.

Существуют две теории саморастворения кремния в травителях: химическая и электрохимическая. Согласно химической теории поверхностные химические реакции при полирующем травлении протекают в два этапа: окисление поверхностного слоя и перевод оксида в растворимую соль. Роль окислителя выполняет азотная кислота:

(2)

Фтористо-водородная кислота является комплексообразователем, который переводит оксид кремния в тетрафторид:

(3)

В соответствии с электрохимической теорией взаимодействие между полупроводником и травителем обусловлено тем, что на поверхности пластины при погружении ее в травитель существуют анодные и катодные микроучастки, между которыми возникают локальные токи.

На анодных участках происходит окисление кремния с последующим растворением оксида и образованием кремний-фтористоводородной кислоты, на катодных - восстановление окислителя (азотной кислоты). В процессе травления микроаноды и микрокатоды непрерывно меняются местами.

Результирующее уравнение реакции при этом имеет вид:

(4)

Страницы: 6 7 8 9 10 11 12 13 14

ПУЛАСТЬЯ , в индуистской мифологии предок ракшасов и киннаров. Передал людям божественные пураны.

УДАВЫ (ложноногие) , семейство пресмыкающихся подотряда змей. Длина до 10 м, 80 видов, в т. ч. собственно удавы, питоны, анаконды и др., большинство - в тропических лесах. В России 2 вида рода удавчиков, встречаются на Сев. Кавказе Все удавы неядовиты; питаются главным образом птицами и мелкими млекопитающими; добычу душат, обвивая ее телом (отсюда название). 11 видов и подвидов в Красной книге Международного Союза охраны природы.

ЦЕНТРАЛЬНАЯ АМЕРИКА , южная часть материка Сев. Америка, расположенная в тропических широтах между Тихим и Атлантическим (Мексиканский зал. и Карибское м.) океанами, на стыке с Юж. Америкой. Северная природная граница Центральной Америки - тектоническая впадина Бальсас у южного края Мексиканского нагорья (ок. 18 °с. ш.), южная - Дарьенский перешеек (8-9 °с. ш.). Иногда границы проводят по Теуантепекскому и Панамскому перешейкам. Преобладают средневысотные горы и вулканические хребты. Действующие вулканы (Тахумулько, 4217 м, и др.); высокая сейсмичность. Климат тропический; осадков до 3000-5000 мм в год. Влажные тропические леса на северо-востоке, листопадные леса и кустарниковая растительность на юго-западе и севере. На территории Центральной Америки государства: Белиз, Гватемала, Гондурас, Коста-Рика, Никарагуа, Панама, Сальвадор, частично Мексика.