ChemStudy

Скорость травления в полирующих травителях определяется скоростью диффузии реагента и зависит от градиента его концентрации:

(1)

где D - коэффициент диффузии реагента, зависящий от природы и энергии активации молекул реагента; и - концентрация реагента в объеме и на поверхности; - толщина приповерхностного слоя травителя, в котором существует градиент концентрации.

При этом скорость травления нечувствительна к физическим и химическим неоднородностям поверхности, слабо зависит от температуры. Вследствие более высокого градиента концентрации выступы на поверхности травятся быстрее впадин. Поэтому полирующие травители хорошо сглаживают шероховатости, выравнивая микрорельеф. Типичными полирующими травителями для кремниевых пластин являются смеси азотной и фтористоводородной (плавиковой) кислот.

Существуют две теории саморастворения кремния в травителях: химическая и электрохимическая. Согласно химической теории поверхностные химические реакции при полирующем травлении протекают в два этапа: окисление поверхностного слоя и перевод оксида в растворимую соль. Роль окислителя выполняет азотная кислота:

(2)

Фтористо-водородная кислота является комплексообразователем, который переводит оксид кремния в тетрафторид:

(3)

В соответствии с электрохимической теорией взаимодействие между полупроводником и травителем обусловлено тем, что на поверхности пластины при погружении ее в травитель существуют анодные и катодные микроучастки, между которыми возникают локальные токи.

На анодных участках происходит окисление кремния с последующим растворением оксида и образованием кремний-фтористоводородной кислоты, на катодных - восстановление окислителя (азотной кислоты). В процессе травления микроаноды и микрокатоды непрерывно меняются местами.

Результирующее уравнение реакции при этом имеет вид:

(4)

ВЕРХОВНОЕ ГЛАВНОКОМАНДОВАНИЕ (Верховное Командование) , высший орган стратегического руководства вооруженными силами государства (коалиции государств), создаваемый обычно в военное время и возглавляемый Верховным главнокомандующим (Верховным командующим). В годы Великой Отечественной войны Верховное Главнокомандование Вооруженных Сил СССР именовалось Ставкой Верховного Главнокомандования.

ТАЛЬКАУАНО (Talcauhano) , город в центральной части Чили, порт на Тихом ок. (аванпорт Консепсьона). 246 тыс. жителей (1992). Пищевая, машиностроительная, нефтехимическая, цементная промышленность. Центр рыболовства. Близ Талькауано - завод черной металлургии. Основан в 18 в.

БЕРЕГОВАЯ ОБОРОНА , силы, средства флота и береговые укрепления для обороны военно-морских баз, портов, побережья и островов. Оборона морского побережья осуществляется совместными усилиями сухопутных войск, ВМФ (ВМС), ВВС и войск ПВО.