ChemStudy

Скорость травления в полирующих травителях определяется скоростью диффузии реагента и зависит от градиента его концентрации:

(1)

где D - коэффициент диффузии реагента, зависящий от природы и энергии активации молекул реагента; и - концентрация реагента в объеме и на поверхности; - толщина приповерхностного слоя травителя, в котором существует градиент концентрации.

При этом скорость травления нечувствительна к физическим и химическим неоднородностям поверхности, слабо зависит от температуры. Вследствие более высокого градиента концентрации выступы на поверхности травятся быстрее впадин. Поэтому полирующие травители хорошо сглаживают шероховатости, выравнивая микрорельеф. Типичными полирующими травителями для кремниевых пластин являются смеси азотной и фтористоводородной (плавиковой) кислот.

Существуют две теории саморастворения кремния в травителях: химическая и электрохимическая. Согласно химической теории поверхностные химические реакции при полирующем травлении протекают в два этапа: окисление поверхностного слоя и перевод оксида в растворимую соль. Роль окислителя выполняет азотная кислота:

(2)

Фтористо-водородная кислота является комплексообразователем, который переводит оксид кремния в тетрафторид:

(3)

В соответствии с электрохимической теорией взаимодействие между полупроводником и травителем обусловлено тем, что на поверхности пластины при погружении ее в травитель существуют анодные и катодные микроучастки, между которыми возникают локальные токи.

На анодных участках происходит окисление кремния с последующим растворением оксида и образованием кремний-фтористоводородной кислоты, на катодных - восстановление окислителя (азотной кислоты). В процессе травления микроаноды и микрокатоды непрерывно меняются местами.

Результирующее уравнение реакции при этом имеет вид:

(4)

ТУРГЕНЕВ Иван Сергеевич (1818-83) , русский писатель, член-корреспондент Петербургской АН (1860). В цикле рассказов "Записки охотника" (1847-52) показал высокие духовные качества и одаренность русского крестьянина, поэзию природы. В социально-психологических романах "Рудин" (1856), "Дворянское гнездо" (1859), "Накануне" (1860), "Отцы и дети" (1862), повестях "Ася" (1858), "Вешние воды" (1872) созданы образы уходящей дворянской культуры и новых героев эпохи - разночинцев и демократов, образы самоотверженных русских женщин. В романах "Дым" (1867) и "Новь" (1877) изобразил жизнь русских за границей, народническое движение в России. На склоне жизни создал лирико-философские "Стихотворения в прозе" (1882). Мастер языка и психологического анализа, Тургенев оказал существенное влияние на развитие русской и мировой литератур.

ЕВФОРИОН , в греческой мифологии юноша редкой красоты, сын Ахилла и Елены, перенесенных после смерти на волшебный о. Левка. Бежал от преследований влюбленного в него Зевса и за это был поражен молнией. У Гете в "Фаусте" Евфорион - сын Фауста и Елены, воплощение мятежного духа.

ФУНЕВ Иван (1900-83) , болгарский скульптор. Правдивые произведения на темы из жизни рабочих (рельеф "В вагоне третьего класса", 1935).