ChemStudy

Скорость травления в полирующих травителях определяется скоростью диффузии реагента и зависит от градиента его концентрации:

(1)

где D - коэффициент диффузии реагента, зависящий от природы и энергии активации молекул реагента; и - концентрация реагента в объеме и на поверхности; - толщина приповерхностного слоя травителя, в котором существует градиент концентрации.

При этом скорость травления нечувствительна к физическим и химическим неоднородностям поверхности, слабо зависит от температуры. Вследствие более высокого градиента концентрации выступы на поверхности травятся быстрее впадин. Поэтому полирующие травители хорошо сглаживают шероховатости, выравнивая микрорельеф. Типичными полирующими травителями для кремниевых пластин являются смеси азотной и фтористоводородной (плавиковой) кислот.

Существуют две теории саморастворения кремния в травителях: химическая и электрохимическая. Согласно химической теории поверхностные химические реакции при полирующем травлении протекают в два этапа: окисление поверхностного слоя и перевод оксида в растворимую соль. Роль окислителя выполняет азотная кислота:

(2)

Фтористо-водородная кислота является комплексообразователем, который переводит оксид кремния в тетрафторид:

(3)

В соответствии с электрохимической теорией взаимодействие между полупроводником и травителем обусловлено тем, что на поверхности пластины при погружении ее в травитель существуют анодные и катодные микроучастки, между которыми возникают локальные токи.

На анодных участках происходит окисление кремния с последующим растворением оксида и образованием кремний-фтористоводородной кислоты, на катодных - восстановление окислителя (азотной кислоты). В процессе травления микроаноды и микрокатоды непрерывно меняются местами.

Результирующее уравнение реакции при этом имеет вид:

(4)

ЛИМОЖСКАЯ ЭМАЛЬ , французские художественные изделия из меди с росписью непрозрачной эмалью (г. Лимож, расцвет производства - сер. 15 - сер. 17 вв.); складни, реликварии, сосуды, пластины с портретами (Н. Пенико, К. Нуайе, Л. Лимозен).

ТРИФОНОВ Юрий Валентинович (1925-8 ..1), русский писатель. Роман "Студенты" (1950; Государственная премия СССР, 195..1); исторический роман "Нетерпение" (1973) о народовольцах. Проблема нравственного выбора в атмосфере 60-70-х гг., тема революции, Гражданской войны, сталинских репрессий как основы современных общественных аномалий в повести "Обмен" (1969); "Другая жизнь" (1975); "Дом на набережной" (1976); "Старик" (1978), документально-мемуарная книга "Отблеск костра" (1965). В романе "Время и место" (198..1) - тема творчества, истории, постигаемой как судьба писателя.

БЮРОКРАТ ,..1) лицо, принадлежащее к бюрократии. ..2) Должностное лицо, выполняющее свои обязанности формально, в ущерб делу; формалист, волокитчик.