ChemStudy

Скорость травления в полирующих травителях определяется скоростью диффузии реагента и зависит от градиента его концентрации:

(1)

где D - коэффициент диффузии реагента, зависящий от природы и энергии активации молекул реагента; и - концентрация реагента в объеме и на поверхности; - толщина приповерхностного слоя травителя, в котором существует градиент концентрации.

При этом скорость травления нечувствительна к физическим и химическим неоднородностям поверхности, слабо зависит от температуры. Вследствие более высокого градиента концентрации выступы на поверхности травятся быстрее впадин. Поэтому полирующие травители хорошо сглаживают шероховатости, выравнивая микрорельеф. Типичными полирующими травителями для кремниевых пластин являются смеси азотной и фтористоводородной (плавиковой) кислот.

Существуют две теории саморастворения кремния в травителях: химическая и электрохимическая. Согласно химической теории поверхностные химические реакции при полирующем травлении протекают в два этапа: окисление поверхностного слоя и перевод оксида в растворимую соль. Роль окислителя выполняет азотная кислота:

(2)

Фтористо-водородная кислота является комплексообразователем, который переводит оксид кремния в тетрафторид:

(3)

В соответствии с электрохимической теорией взаимодействие между полупроводником и травителем обусловлено тем, что на поверхности пластины при погружении ее в травитель существуют анодные и катодные микроучастки, между которыми возникают локальные токи.

На анодных участках происходит окисление кремния с последующим растворением оксида и образованием кремний-фтористоводородной кислоты, на катодных - восстановление окислителя (азотной кислоты). В процессе травления микроаноды и микрокатоды непрерывно меняются местами.

Результирующее уравнение реакции при этом имеет вид:

(4)

ЦИСТОИДЕИ (морские пузыри) , группа вымерших морских беспозвоночных типа иглокожих. Жили в ордовике - девоне. Прикрепленные и свободнолежащие на дне формы. Ок. 400 видов.

НИЦШЕ (Nietzsche) Фридрих (1844-1900) , немецкий философ, представитель философии жизни. Профессор классической филологии Базельского университета (1869-79). Испытал влияние А. Шопенгауэра и Р. Вагнера. Творческая деятельность Ницше оборвалась в 1889 в связи с душевной болезнью. В "Рождении трагедии из духа музыки" (1872) противопоставил два начала бытия - "дионисийское" (жизненно-оргиастическое) и "аполлоновское" (созерцательно-упорядочивающее). В сочинениях, написанных в жанре философско-художественной прозы, выступал с анархической критикой культуры, проповедовал эстетический имморализм ("По ту сторону добра и зла", 1886). В мифе о "сверхчеловеке" индивидуалистический культ сильной личности ("Так говорил Заратустра", 1883-84; "Воля к власти", опубликовано 1889-1901) сочетался у Ницше с романтическим идеалом "человека будущего".

ЭЛЕКТРОМОТЫГА , сельскохозяйственное орудие для обработки междурядий в теплицах, парниках, на приусадебных участках; используется также для сплошной обработки почвы на глубину до 10 см. Основной рабочий орган - ротор со сменными ножами, приводимый в действие от электродвигателя.