ChemStudy

Скорость травления в полирующих травителях определяется скоростью диффузии реагента и зависит от градиента его концентрации:

(1)

где D - коэффициент диффузии реагента, зависящий от природы и энергии активации молекул реагента; и - концентрация реагента в объеме и на поверхности; - толщина приповерхностного слоя травителя, в котором существует градиент концентрации.

При этом скорость травления нечувствительна к физическим и химическим неоднородностям поверхности, слабо зависит от температуры. Вследствие более высокого градиента концентрации выступы на поверхности травятся быстрее впадин. Поэтому полирующие травители хорошо сглаживают шероховатости, выравнивая микрорельеф. Типичными полирующими травителями для кремниевых пластин являются смеси азотной и фтористоводородной (плавиковой) кислот.

Существуют две теории саморастворения кремния в травителях: химическая и электрохимическая. Согласно химической теории поверхностные химические реакции при полирующем травлении протекают в два этапа: окисление поверхностного слоя и перевод оксида в растворимую соль. Роль окислителя выполняет азотная кислота:

(2)

Фтористо-водородная кислота является комплексообразователем, который переводит оксид кремния в тетрафторид:

(3)

В соответствии с электрохимической теорией взаимодействие между полупроводником и травителем обусловлено тем, что на поверхности пластины при погружении ее в травитель существуют анодные и катодные микроучастки, между которыми возникают локальные токи.

На анодных участках происходит окисление кремния с последующим растворением оксида и образованием кремний-фтористоводородной кислоты, на катодных - восстановление окислителя (азотной кислоты). В процессе травления микроаноды и микрокатоды непрерывно меняются местами.

Результирующее уравнение реакции при этом имеет вид:

(4)

ЛЕ ШАТЕЛЬЕ (Le Chatelier) Анри Луи (1850-1936) , французский физикохимик и металловед иностранный член-корреспондент РАН (1917; иностранный член-корреспондент Петербургской АН с 1913) и иностранный почетный член АН СССР (1926). Сформулировал (1884) общий закон смещения термодинамического равновесия (Ле Шателье - Брауна принцип). Исследовал процессы при высоких температурах, металлические сплавы, сконструировал металлографический микроскоп.

ЛЬВОВ Николай Александрович (1751-1803/04) , российский архитектор, художник, поэт, музыкант, член Российской АН (1783). Представитель классицизма: почтамт в Санкт-Петербурге (1782-89), собор в Торжке (1785-96), усадебные ансамбли (с. Никольское, близ Торжка, 1789-1804). Издал нотное собрание русских народных песен (1790, совместно с И. Прачем). Стихи, поэмы в духе сентиментализма, переводы.

ЧЕТВЕРТЫЙ ПЕРЕДЕЛ , в металлургии - дополнительная обработка металла (главным образом проката), полученного после первых трех переделов: холодная прокатка металла, профилирование полосы (производство гнутых профилей), волочение, нанесение защитных покрытий, а также производство метизов и некоторых бытовых изделий.