ChemStudy

Скорость травления в полирующих травителях определяется скоростью диффузии реагента и зависит от градиента его концентрации:

(1)

где D - коэффициент диффузии реагента, зависящий от природы и энергии активации молекул реагента; и - концентрация реагента в объеме и на поверхности; - толщина приповерхностного слоя травителя, в котором существует градиент концентрации.

При этом скорость травления нечувствительна к физическим и химическим неоднородностям поверхности, слабо зависит от температуры. Вследствие более высокого градиента концентрации выступы на поверхности травятся быстрее впадин. Поэтому полирующие травители хорошо сглаживают шероховатости, выравнивая микрорельеф. Типичными полирующими травителями для кремниевых пластин являются смеси азотной и фтористоводородной (плавиковой) кислот.

Существуют две теории саморастворения кремния в травителях: химическая и электрохимическая. Согласно химической теории поверхностные химические реакции при полирующем травлении протекают в два этапа: окисление поверхностного слоя и перевод оксида в растворимую соль. Роль окислителя выполняет азотная кислота:

(2)

Фтористо-водородная кислота является комплексообразователем, который переводит оксид кремния в тетрафторид:

(3)

В соответствии с электрохимической теорией взаимодействие между полупроводником и травителем обусловлено тем, что на поверхности пластины при погружении ее в травитель существуют анодные и катодные микроучастки, между которыми возникают локальные токи.

На анодных участках происходит окисление кремния с последующим растворением оксида и образованием кремний-фтористоводородной кислоты, на катодных - восстановление окислителя (азотной кислоты). В процессе травления микроаноды и микрокатоды непрерывно меняются местами.

Результирующее уравнение реакции при этом имеет вид:

(4)

ЗИМИН Михаил Николаевич (1930-91) , российский актер, народный артист СССР (1991). С 1954 (с перерывом) в Московском Художественном академическом театре. С 1987 на сцене Московского Художественного академического театра им. Максима Горького. Роли: Бахирев ("Битва в пути" по роману Г. Е. Николаевой), Лопахин ("Вишневый сад" А. П. Чехова) и др.

ЛОСИНО-ПЕТРОВСКИЙ , город (с 1951) в Российской Федерации, Московская обл., при впадении р. Воря в Клязьму, близ ж.-д. ст. Монино. 22,5 тыс. жителей (1992). Фабрика первичной переработки шерсти.

УОРРЕН (Warren) Роберт Пенн (1905-89) , американский писатель, критик. В философско-психологическом романе "Вся королевская рать" (1946) - судьба политика-демагога. Философская притча "Пещера" (1959). Исторический роман "Достанет времени и места" (1951). Стихия современного социально-психологического отчуждения в романах "Приди в зеленый дол" (1971) и "Пристанище" (1977). Романы-метафоры Уоррена - многоплановый гротескный образ, сочетающийся с панорамой будничного бытия и богатством характеров. Поэзия (сборник "Новые и избранные стихи..." 1985) - земная и метафизическая, повествовательная и лирико-исповедальная, проникнутая философской иронией и четким ощущением нравственного идеала. Культурологическая книга "Демократия и поэзия" (1975).