ChemStudy

Скорость травления в полирующих травителях определяется скоростью диффузии реагента и зависит от градиента его концентрации:

(1)

где D - коэффициент диффузии реагента, зависящий от природы и энергии активации молекул реагента; и - концентрация реагента в объеме и на поверхности; - толщина приповерхностного слоя травителя, в котором существует градиент концентрации.

При этом скорость травления нечувствительна к физическим и химическим неоднородностям поверхности, слабо зависит от температуры. Вследствие более высокого градиента концентрации выступы на поверхности травятся быстрее впадин. Поэтому полирующие травители хорошо сглаживают шероховатости, выравнивая микрорельеф. Типичными полирующими травителями для кремниевых пластин являются смеси азотной и фтористоводородной (плавиковой) кислот.

Существуют две теории саморастворения кремния в травителях: химическая и электрохимическая. Согласно химической теории поверхностные химические реакции при полирующем травлении протекают в два этапа: окисление поверхностного слоя и перевод оксида в растворимую соль. Роль окислителя выполняет азотная кислота:

(2)

Фтористо-водородная кислота является комплексообразователем, который переводит оксид кремния в тетрафторид:

(3)

В соответствии с электрохимической теорией взаимодействие между полупроводником и травителем обусловлено тем, что на поверхности пластины при погружении ее в травитель существуют анодные и катодные микроучастки, между которыми возникают локальные токи.

На анодных участках происходит окисление кремния с последующим растворением оксида и образованием кремний-фтористоводородной кислоты, на катодных - восстановление окислителя (азотной кислоты). В процессе травления микроаноды и микрокатоды непрерывно меняются местами.

Результирующее уравнение реакции при этом имеет вид:

(4)

АММИАЧНАЯ ВОДА , 1) водный (18-25%-ный) раствор аммиака NH3; используется главным образом как жидкое азотное удобрение и для аммонизации кормов. 2) Водная часть конденсата, образующегося при обработке водой газов коксования (т. н. надсмольная вода); кроме NH3 содержит некоторое количество H2S, CO2 и др. примесей. Применяется как сырье в производстве сульфата аммония.

ЖУВИНТАС , заповедник на юге Литвы, основан в 1946. Площадь 5420 га. Одноименное озеро (охраняется с 1937), болота, заросли тростника, лес, луга. Гнездовья водоплавающих птиц, в т. ч. колония лебедя-шипуна.

КЕМАЛИСТСКАЯ РЕВОЛЮЦИЯ , турецкая национальная революция, осуществленная под руководством М. Кемаля Ататюрка в 1918-23. В результате Кемалистской революции были ликвидированы султанат (1922) и халифат (1924), Турция провозглашена республикой (1923), отменены режим капитуляций, международный финансовый контроль и привилегии иностранных концессионеров.