ChemStudy

Скорость травления в полирующих травителях определяется скоростью диффузии реагента и зависит от градиента его концентрации:

(1)

где D - коэффициент диффузии реагента, зависящий от природы и энергии активации молекул реагента; и - концентрация реагента в объеме и на поверхности; - толщина приповерхностного слоя травителя, в котором существует градиент концентрации.

При этом скорость травления нечувствительна к физическим и химическим неоднородностям поверхности, слабо зависит от температуры. Вследствие более высокого градиента концентрации выступы на поверхности травятся быстрее впадин. Поэтому полирующие травители хорошо сглаживают шероховатости, выравнивая микрорельеф. Типичными полирующими травителями для кремниевых пластин являются смеси азотной и фтористоводородной (плавиковой) кислот.

Существуют две теории саморастворения кремния в травителях: химическая и электрохимическая. Согласно химической теории поверхностные химические реакции при полирующем травлении протекают в два этапа: окисление поверхностного слоя и перевод оксида в растворимую соль. Роль окислителя выполняет азотная кислота:

(2)

Фтористо-водородная кислота является комплексообразователем, который переводит оксид кремния в тетрафторид:

(3)

В соответствии с электрохимической теорией взаимодействие между полупроводником и травителем обусловлено тем, что на поверхности пластины при погружении ее в травитель существуют анодные и катодные микроучастки, между которыми возникают локальные токи.

На анодных участках происходит окисление кремния с последующим растворением оксида и образованием кремний-фтористоводородной кислоты, на катодных - восстановление окислителя (азотной кислоты). В процессе травления микроаноды и микрокатоды непрерывно меняются местами.

Результирующее уравнение реакции при этом имеет вид:

(4)

ЗЕГЕРС (Seghers) Анна (1900-83) , немецкая писательница. В 1933-47 в эмиграции. Роман "Седьмой крест" (1942) утверждает нравственную победу борцов-антифашистов, веру в будущее немецкого народа. Цикл социально-психологических романов "Мертвые остаются молодыми" (1949), "Решение" (1959), "Доверие" (1968), новеллы (сборник "Сила слабых", 1965), рассказы (сборник "Странные встречи", 1973). Литературно-критические работы. Международная Ленинская премия (1951).

КОСГРЕЙВ (Cosgrave) Уильям Томас (1880-1965) , один из лидеров ирландской партии шинфейнеров. Участник Ирландского восстания 1916. Поддержал англо-ирландский договор 1921. В 1922-32 глава правительства.

ЗАДАР (Zadar) , город в Хорватии, порт на Адриатическом м. 76 тыс. жителей (1991). Международный аэропорт. Машиностроение, пищевкусовая, текстильная промышленность. Курорт. Археологический музей, Художественная галерея. Остатки римского форума и триумфальных арок. Церковь-ротонда св. Доната (нач. 9 в.). Романские базилики (св. Стошия, 12-13 вв.; св. Кршевана, 12 в.), крепостные ворота "Порта Терраферма" в стиле ренессанса (16 в.).