ChemStudy

Скорость травления в полирующих травителях определяется скоростью диффузии реагента и зависит от градиента его концентрации:

(1)

где D - коэффициент диффузии реагента, зависящий от природы и энергии активации молекул реагента; и - концентрация реагента в объеме и на поверхности; - толщина приповерхностного слоя травителя, в котором существует градиент концентрации.

При этом скорость травления нечувствительна к физическим и химическим неоднородностям поверхности, слабо зависит от температуры. Вследствие более высокого градиента концентрации выступы на поверхности травятся быстрее впадин. Поэтому полирующие травители хорошо сглаживают шероховатости, выравнивая микрорельеф. Типичными полирующими травителями для кремниевых пластин являются смеси азотной и фтористоводородной (плавиковой) кислот.

Существуют две теории саморастворения кремния в травителях: химическая и электрохимическая. Согласно химической теории поверхностные химические реакции при полирующем травлении протекают в два этапа: окисление поверхностного слоя и перевод оксида в растворимую соль. Роль окислителя выполняет азотная кислота:

(2)

Фтористо-водородная кислота является комплексообразователем, который переводит оксид кремния в тетрафторид:

(3)

В соответствии с электрохимической теорией взаимодействие между полупроводником и травителем обусловлено тем, что на поверхности пластины при погружении ее в травитель существуют анодные и катодные микроучастки, между которыми возникают локальные токи.

На анодных участках происходит окисление кремния с последующим растворением оксида и образованием кремний-фтористоводородной кислоты, на катодных - восстановление окислителя (азотной кислоты). В процессе травления микроаноды и микрокатоды непрерывно меняются местами.

Результирующее уравнение реакции при этом имеет вид:

(4)

ЯКОБИНЦЫ , в период Французской революции кон. 18 в. члены Якобинского клуба, оставшиеся в его составе после выхода из него в 1792 жирондистов. Вожди якобинцев: М. Робеспьер, Ж. П. Марат, Ж. Дантон, Л. А. Сен-Жюст и др. В период якобинской диктатуры (1793-1794) усилилась борьба течений в среде якобинцев: правым якобинцам - дантонистам противостояли левые якобинцы (П. Г. Шометт, Ж. Р. Эбер и др.), из которых зимой 1793-94 выделились эбертисты. Большая часть якобинцев шла за Робеспьером. Термидорианский переворот (июль 1794) положил конец власти якобинцев.

УЛЬТИМАТУМ (позднелат . ultimatum, букв. - доведенное до конца), в международном праве выраженное в дипломатическом документе или в устной форме категорическое, не допускающее никаких споров и возражений требование правительства одного государства, предъявляемое правительству другого государства, под угрозой того, что в случае невыполнения этого требования к указанному сроку выдвинувшее ультиматум правительство примет определенные меры.

КАЛОРИМЕТРИЯ , совокупность методов измерения тепловых эффектов, сопровождающих различные физические, химические и биологические процессы. Методами калориметрии определяют теплоемкости, теплоты фазовых переходов, тепловые эффекты химических реакций и т. п.