ChemStudy

Скорость травления в полирующих травителях определяется скоростью диффузии реагента и зависит от градиента его концентрации:

(1)

где D - коэффициент диффузии реагента, зависящий от природы и энергии активации молекул реагента; и - концентрация реагента в объеме и на поверхности; - толщина приповерхностного слоя травителя, в котором существует градиент концентрации.

При этом скорость травления нечувствительна к физическим и химическим неоднородностям поверхности, слабо зависит от температуры. Вследствие более высокого градиента концентрации выступы на поверхности травятся быстрее впадин. Поэтому полирующие травители хорошо сглаживают шероховатости, выравнивая микрорельеф. Типичными полирующими травителями для кремниевых пластин являются смеси азотной и фтористоводородной (плавиковой) кислот.

Существуют две теории саморастворения кремния в травителях: химическая и электрохимическая. Согласно химической теории поверхностные химические реакции при полирующем травлении протекают в два этапа: окисление поверхностного слоя и перевод оксида в растворимую соль. Роль окислителя выполняет азотная кислота:

(2)

Фтористо-водородная кислота является комплексообразователем, который переводит оксид кремния в тетрафторид:

(3)

В соответствии с электрохимической теорией взаимодействие между полупроводником и травителем обусловлено тем, что на поверхности пластины при погружении ее в травитель существуют анодные и катодные микроучастки, между которыми возникают локальные токи.

На анодных участках происходит окисление кремния с последующим растворением оксида и образованием кремний-фтористоводородной кислоты, на катодных - восстановление окислителя (азотной кислоты). В процессе травления микроаноды и микрокатоды непрерывно меняются местами.

Результирующее уравнение реакции при этом имеет вид:

(4)

РОЗОВ Виктор Сергеевич (р . 1913), русский драматург. Остроконфликтные пьесы, преимущественно о современной молодежи: "В добрый час!" (1954), "В поисках радости" (1957), "В день свадьбы" (1964), "Традиционный сбор" (постановка 1967), "Кабанчик" (1987). В пьесе "Вечно живые" (фильм "Летят журавли"; оба - 1957) - тема гражданского долга, человеческой верности, высоких традиций русской интеллигенции. Статьи о театре. Автобиографическая проза "Путешествие в разные стороны" (отдельное издание, 1987). Государственная премия СССР (1967).

ЯНЧО Пал (1761-1845) , венгерский актер. Один из первых венгерских профессиональных комедийных актеров. С 1792 работал в театре г. Клужа. Искусство Янчо оказало значительное влияние на развитие комедийного искусства венгерского театра 19 в.

ЯДЕРНЫЙ МАГНИТНЫЙ РЕЗОНАНС (ЯМР) , резонансное поглощение электромагнитных волн, обусловленное квантовыми переходами атомных ядер между энергетическими состояниями с разными ориентациями спина ядра. Для большинства ядер в магнитных полях ~103 - 104 Э ЯМР наблюдается в диапазоне частот 1-10 МГц. Спектры ЯМР используются для исследования структуры твердого тела и сложных молекул.