ChemStudy

Скорость травления в полирующих травителях определяется скоростью диффузии реагента и зависит от градиента его концентрации:

(1)

где D - коэффициент диффузии реагента, зависящий от природы и энергии активации молекул реагента; и - концентрация реагента в объеме и на поверхности; - толщина приповерхностного слоя травителя, в котором существует градиент концентрации.

При этом скорость травления нечувствительна к физическим и химическим неоднородностям поверхности, слабо зависит от температуры. Вследствие более высокого градиента концентрации выступы на поверхности травятся быстрее впадин. Поэтому полирующие травители хорошо сглаживают шероховатости, выравнивая микрорельеф. Типичными полирующими травителями для кремниевых пластин являются смеси азотной и фтористоводородной (плавиковой) кислот.

Существуют две теории саморастворения кремния в травителях: химическая и электрохимическая. Согласно химической теории поверхностные химические реакции при полирующем травлении протекают в два этапа: окисление поверхностного слоя и перевод оксида в растворимую соль. Роль окислителя выполняет азотная кислота:

(2)

Фтористо-водородная кислота является комплексообразователем, который переводит оксид кремния в тетрафторид:

(3)

В соответствии с электрохимической теорией взаимодействие между полупроводником и травителем обусловлено тем, что на поверхности пластины при погружении ее в травитель существуют анодные и катодные микроучастки, между которыми возникают локальные токи.

На анодных участках происходит окисление кремния с последующим растворением оксида и образованием кремний-фтористоводородной кислоты, на катодных - восстановление окислителя (азотной кислоты). В процессе травления микроаноды и микрокатоды непрерывно меняются местами.

Результирующее уравнение реакции при этом имеет вид:

(4)

ПРИТЧА , малый дидактико-аллегорический литературный жанр, заключающий в себе моральное или религиозное поучение ("премудрость"). Близка к басне; в своих модификациях - универсальное явление в мировом фольклоре и литературе (напр., притчи Евангелий, в т. ч. о блудном сыне).

ЕЛИСЕЕВ Николай Александрович (1897-1966) , российский геолог и петрограф, член-корреспондент АН СССР (1953). Основные труды по методике петрографических исследований и метаморфизму горных пород.

ЯЩЕРИЦЫ , подотряд пресмыкающихся отряда чешуйчатых. Тело длиной от нескольких см до 3 м и более (комодский варан), покрыто ороговелыми чешуйками. У большинства хорошо развиты конечности. Более 3900 видов, на всех континентах, кроме Антарктиды, преимущественно в тропиках и субтропиках; обитают в степях, пустынях и лесах. Многие способны отбрасывать хвост (автотомия). Некоторые ядовиты (ядозубы). Истребляют насекомых-вредителей. Мясо некоторых видов съедобно, кожа используется для различных поделок.