ChemStudy

Скорость травления в полирующих травителях определяется скоростью диффузии реагента и зависит от градиента его концентрации:

(1)

где D - коэффициент диффузии реагента, зависящий от природы и энергии активации молекул реагента; и - концентрация реагента в объеме и на поверхности; - толщина приповерхностного слоя травителя, в котором существует градиент концентрации.

При этом скорость травления нечувствительна к физическим и химическим неоднородностям поверхности, слабо зависит от температуры. Вследствие более высокого градиента концентрации выступы на поверхности травятся быстрее впадин. Поэтому полирующие травители хорошо сглаживают шероховатости, выравнивая микрорельеф. Типичными полирующими травителями для кремниевых пластин являются смеси азотной и фтористоводородной (плавиковой) кислот.

Существуют две теории саморастворения кремния в травителях: химическая и электрохимическая. Согласно химической теории поверхностные химические реакции при полирующем травлении протекают в два этапа: окисление поверхностного слоя и перевод оксида в растворимую соль. Роль окислителя выполняет азотная кислота:

(2)

Фтористо-водородная кислота является комплексообразователем, который переводит оксид кремния в тетрафторид:

(3)

В соответствии с электрохимической теорией взаимодействие между полупроводником и травителем обусловлено тем, что на поверхности пластины при погружении ее в травитель существуют анодные и катодные микроучастки, между которыми возникают локальные токи.

На анодных участках происходит окисление кремния с последующим растворением оксида и образованием кремний-фтористоводородной кислоты, на катодных - восстановление окислителя (азотной кислоты). В процессе травления микроаноды и микрокатоды непрерывно меняются местами.

Результирующее уравнение реакции при этом имеет вид:

(4)

АУГСБУРГСКОЕ ИСПОВЕДАНИЕ , изложение основ лютеранства, составленное Ф. Меланхтоном (1530).

МЕЖДУНАРОДНАЯ ОРГАНИЗАЦИЯ ТРУДА (МОТ) , специализированное учреждение ООН. Создана в 1919 при Лиге Наций как Международная комиссия для выработки конвенций и рекомендаций по вопросам трудового законодательства и улучшения условий труда. В 1990 членами были 150 государств. Нобелевская премия мира (1969). Местопребывание - Женева.

СААР (Саарская область) (Saarland) , земля на западе Германии. 2,6 тыс. км2. Население 1077 тыс. человек (1992). Адм. ц. - Саарбрюккен. В средние века на территории Саара существовало графство. С 1815 большая часть Саара в составе Пруссии (с 1871 - Германской империи). В 1919 передан в управление комиссии Лиги Наций (угольные копи - в собственность Франции); в 1935 (по плебисциту) отошел к Германии. После 2-й мировой войны вошел во французскую зону оккупации Германии; по договору 1956 между Францией и Германией с 1 января 1957 в составе Германии.