ChemStudy

Скорость травления в полирующих травителях определяется скоростью диффузии реагента и зависит от градиента его концентрации:

(1)

где D - коэффициент диффузии реагента, зависящий от природы и энергии активации молекул реагента; и - концентрация реагента в объеме и на поверхности; - толщина приповерхностного слоя травителя, в котором существует градиент концентрации.

При этом скорость травления нечувствительна к физическим и химическим неоднородностям поверхности, слабо зависит от температуры. Вследствие более высокого градиента концентрации выступы на поверхности травятся быстрее впадин. Поэтому полирующие травители хорошо сглаживают шероховатости, выравнивая микрорельеф. Типичными полирующими травителями для кремниевых пластин являются смеси азотной и фтористоводородной (плавиковой) кислот.

Существуют две теории саморастворения кремния в травителях: химическая и электрохимическая. Согласно химической теории поверхностные химические реакции при полирующем травлении протекают в два этапа: окисление поверхностного слоя и перевод оксида в растворимую соль. Роль окислителя выполняет азотная кислота:

(2)

Фтористо-водородная кислота является комплексообразователем, который переводит оксид кремния в тетрафторид:

(3)

В соответствии с электрохимической теорией взаимодействие между полупроводником и травителем обусловлено тем, что на поверхности пластины при погружении ее в травитель существуют анодные и катодные микроучастки, между которыми возникают локальные токи.

На анодных участках происходит окисление кремния с последующим растворением оксида и образованием кремний-фтористоводородной кислоты, на катодных - восстановление окислителя (азотной кислоты). В процессе травления микроаноды и микрокатоды непрерывно меняются местами.

Результирующее уравнение реакции при этом имеет вид:

(4)

ЧАРЫШ , река на Алтае, левый приток Оби. 547 км, площадь бассейна 22,2 тыс. км2. Средний расход воды в 82 км от устья 192 м3/с. Судоходна на 180 км.

ШУЛЬЦЕ-ГЕВЕРНИЦ (Schulze-Gaevernitz) Герхарт (1864-1943) , немецкий экономист. Примыкал к исторической школе в политэкономии. Выступал за установление "социального мира" в обществе. В концентрации финансового могущества видел выражение "организованного капитализма", при котором "промышленное государство" осуществляет сознательное регулирование через банки, подменяющее действие "автоматически функционирующих экономических законов".

ВЫГОТСКИЙ Лев Семенович (1896-1934) , российский психолог. Разработал культурно-историческую теорию, которая положила начало школе в современной психологии. Труды по развитию высших психических функций, мышлению и речи, психологии искусства.