ChemStudy

Наиболее трудно удаляются органические и химически связанные с поверхностью загрязнения, а также загрязнения от абразивных материалов, полярные газы и ионы, внедренные в приповерхностный слой пластин.

4. Методы удаления загрязнений.

4.1. Классификация методов очистки пластин и подложек.

Для удаления загрязнений используют различные методы, на физических принципах которых разрабатывают процессы очистки. По механизму протекания процессов все методы очистки классифицируют на физические и химические, а по применяемым средствам - на жидкостные и сухие (рис.2).

В основу каждого способа очистки положен один из трех методов удаления загрязнений с поверхности:

· механическое удаление частиц загрязнителя потоком жидкости или газа;

· растворение в воде;

· химическая реакция.

Рис. 2.

Классификация методов очистки пластин и подложек

К физическим методам удаления загрязнений относят растворение, отжиг, обработку поверхности ускоренными до больших энергий ионами инертных газов. Эти методы используют в основном для удаления загрязнений, расположенных на поверхности. Для удаления загрязнений на поверхности и в приповерхностном слое, в том числе тех, которые находятся в химической связи с материалом пластины или подложки, используют химические методы удаления. Они основаны на переводе путем химической реакции загрязнений в новые соединения, которые затем легко удаляются (травление, обезжиривание).

* Очистка, при которой удаляется приповерхностный слой пластины или подложки, называется травлением.

ТЕРПИГОРЕВ (псевд . Атава) Сергей Николаевич (1841-95), российский писатель-публицист. Книги о пореформенной деревне: "Оскудение, Очерки, заметки и размышления тамбовского помещика" (1880), "Потревоженные тени" (1888-90).

ХЮЭ (Гуэ) (Hue) , город в центральной части Вьетнама, близ Южно-Китайского моря, административный центр пров. Биньчитхьен. 211 тыс. жителей (1989). Транспортный узел. Пищевая, текстильная, лесопильная промышленность. Основан в 3 в. до н. э. В 19 в. столица Вьетнама, в 1884-1945 резиденция аннамских императоров.

ОХРАНА ПАМЯТНИКОВ ИСТОРИИ И КУЛЬТУРЫ , система государственных мер по сохранению, восстановлению, использованию и пропаганде памятников. Основной международной межправительственной организацией, занимающейся решением широкого круга проблем международного культурного и научного сотрудничества, включая охрану культурных ценностей, является ЮНЕСКО. Вопросами охраны памятников истории и культуры занимаются Международный совет музеев, Международный исследовательский центр по охране и реставрации культурных ценностей, Международный совет по охране памятников и достопримечательных мест. См. также Всемирное наследие, Национальное наследие Российской Федерации - России, Российский международный фонд культуры "Наследие", Общества охраны памятников истории и культуры.