Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластин Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластинСтраница 7
Наиболее трудно удаляются органические и химически связанные с поверхностью загрязнения, а также загрязнения от абразивных материалов, полярные газы и ионы, внедренные в приповерхностный слой пластин.
4. Методы удаления загрязнений.
4.1. Классификация методов очистки пластин и подложек.
Для удаления загрязнений используют различные методы, на физических принципах которых разрабатывают процессы очистки. По механизму протекания процессов все методы очистки классифицируют на физические и химические, а по применяемым средствам - на жидкостные и сухие (рис.2).
В основу каждого способа очистки положен один из трех методов удаления загрязнений с поверхности:
· механическое удаление частиц загрязнителя потоком жидкости или газа;
· растворение в воде;
· химическая реакция.
Рис. 2.
Классификация методов очистки пластин и подложек
К физическим методам удаления загрязнений относят растворение, отжиг, обработку поверхности ускоренными до больших энергий ионами инертных газов. Эти методы используют в основном для удаления загрязнений, расположенных на поверхности. Для удаления загрязнений на поверхности и в приповерхностном слое, в том числе тех, которые находятся в химической связи с материалом пластины или подложки, используют химические методы удаления. Они основаны на переводе путем химической реакции загрязнений в новые соединения, которые затем легко удаляются (травление, обезжиривание).
* Очистка, при которой удаляется приповерхностный слой пластины или подложки, называется травлением.
ВНЕШНЯЯ ПАМЯТЬ ЭВМ , запоминающие устройства большой (до нескольких Гбайт) емкости (преимущественно на магнитных лентах, дисках, барабанах, оптических дисках), из которых необходимая информация вводится в ЭВМ в процессе выполнения той или иной программы.
СТАРКОВ Владислав Андреевич (р . 1940), российский журналист. В 1970-е гг. работал в издательствах "Знание", "Международные отношения". С 1980 главный редактор еженедельника "Аргументы и факты".
ФИНЛЕЙ (Финлей-и-Баррес) (Finlay y Barres) Карлос Хуан (1833-1915) , кубинский врач и организатор здравоохранения. Первый руководитель (1902-09) службы общественного здравоохранения. Открыл (1881) переносчика желтой лихорадки и разработал систему борьбы с ней. Под руководством Финлея составлен первый санитарный кодекс Кубы.