ChemStudy

Наиболее трудно удаляются органические и химически связанные с поверхностью загрязнения, а также загрязнения от абразивных материалов, полярные газы и ионы, внедренные в приповерхностный слой пластин.

4. Методы удаления загрязнений.

4.1. Классификация методов очистки пластин и подложек.

Для удаления загрязнений используют различные методы, на физических принципах которых разрабатывают процессы очистки. По механизму протекания процессов все методы очистки классифицируют на физические и химические, а по применяемым средствам - на жидкостные и сухие (рис.2).

В основу каждого способа очистки положен один из трех методов удаления загрязнений с поверхности:

· механическое удаление частиц загрязнителя потоком жидкости или газа;

· растворение в воде;

· химическая реакция.

Рис. 2.

Классификация методов очистки пластин и подложек

К физическим методам удаления загрязнений относят растворение, отжиг, обработку поверхности ускоренными до больших энергий ионами инертных газов. Эти методы используют в основном для удаления загрязнений, расположенных на поверхности. Для удаления загрязнений на поверхности и в приповерхностном слое, в том числе тех, которые находятся в химической связи с материалом пластины или подложки, используют химические методы удаления. Они основаны на переводе путем химической реакции загрязнений в новые соединения, которые затем легко удаляются (травление, обезжиривание).

* Очистка, при которой удаляется приповерхностный слой пластины или подложки, называется травлением.

ДОРЗАЛЬНЫЙ , то же, что дорсальный.

ТРИФОНОВ Юрий Валентинович (1925-8 ..1), русский писатель. Роман "Студенты" (1950; Государственная премия СССР, 195..1); исторический роман "Нетерпение" (1973) о народовольцах. Проблема нравственного выбора в атмосфере 60-70-х гг., тема революции, Гражданской войны, сталинских репрессий как основы современных общественных аномалий в повести "Обмен" (1969); "Другая жизнь" (1975); "Дом на набережной" (1976); "Старик" (1978), документально-мемуарная книга "Отблеск костра" (1965). В романе "Время и место" (198..1) - тема творчества, истории, постигаемой как судьба писателя.

ДЕССАУ (Dessau) Пауль (1894-1979) , немецкий композитор. Вице-президент Немецкой академии искусств (1957-62). Писал политические песни для рабочих хоров, оперы. С 1933 в эмиграции (с 1939 в США). С 1948 в Берлине. Сотрудничал с Б. Брехтом (музыка к его пьесам; оперы, в т. ч. "Осуждение Лукулла", 1949, "Ланцелот", 1969).