Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластин Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластинСтраница 7
Наиболее трудно удаляются органические и химически связанные с поверхностью загрязнения, а также загрязнения от абразивных материалов, полярные газы и ионы, внедренные в приповерхностный слой пластин.
4. Методы удаления загрязнений.
4.1. Классификация методов очистки пластин и подложек.
Для удаления загрязнений используют различные методы, на физических принципах которых разрабатывают процессы очистки. По механизму протекания процессов все методы очистки классифицируют на физические и химические, а по применяемым средствам - на жидкостные и сухие (рис.2).
В основу каждого способа очистки положен один из трех методов удаления загрязнений с поверхности:
· механическое удаление частиц загрязнителя потоком жидкости или газа;
· растворение в воде;
· химическая реакция.
Рис. 2.
Классификация методов очистки пластин и подложек
К физическим методам удаления загрязнений относят растворение, отжиг, обработку поверхности ускоренными до больших энергий ионами инертных газов. Эти методы используют в основном для удаления загрязнений, расположенных на поверхности. Для удаления загрязнений на поверхности и в приповерхностном слое, в том числе тех, которые находятся в химической связи с материалом пластины или подложки, используют химические методы удаления. Они основаны на переводе путем химической реакции загрязнений в новые соединения, которые затем легко удаляются (травление, обезжиривание).
* Очистка, при которой удаляется приповерхностный слой пластины или подложки, называется травлением.
ГАНДХАРВЫ , в индуистской мифологии небесные музыканты, ублажающие богов; возлюбленные апсар.
ЖЕРЛЯНКИ (уки) , род бесхвостых земноводных. Длина до 6-7 см. 5 видов, в Европе и Азии (на Дальнем Востоке и в Китае). При опасности показывают яркую предупреждающую окраску нижней стороны тела; при раздражении кожа жерлянки выделяет едкий пенистый секрет.
БОГАТЫРЕВ Анатолий Васильевич (р . 1913), белорусский композитор, народный артист Белоруссии (1968), народный артист России (1981). Один из создателей белорусской оперы ("В пущах Полесья", 1939; "Надежда Дурова", 1946). Государственная премия СССР (1941).