ChemStudy

Наиболее трудно удаляются органические и химически связанные с поверхностью загрязнения, а также загрязнения от абразивных материалов, полярные газы и ионы, внедренные в приповерхностный слой пластин.

4. Методы удаления загрязнений.

4.1. Классификация методов очистки пластин и подложек.

Для удаления загрязнений используют различные методы, на физических принципах которых разрабатывают процессы очистки. По механизму протекания процессов все методы очистки классифицируют на физические и химические, а по применяемым средствам - на жидкостные и сухие (рис.2).

В основу каждого способа очистки положен один из трех методов удаления загрязнений с поверхности:

· механическое удаление частиц загрязнителя потоком жидкости или газа;

· растворение в воде;

· химическая реакция.

Рис. 2.

Классификация методов очистки пластин и подложек

К физическим методам удаления загрязнений относят растворение, отжиг, обработку поверхности ускоренными до больших энергий ионами инертных газов. Эти методы используют в основном для удаления загрязнений, расположенных на поверхности. Для удаления загрязнений на поверхности и в приповерхностном слое, в том числе тех, которые находятся в химической связи с материалом пластины или подложки, используют химические методы удаления. Они основаны на переводе путем химической реакции загрязнений в новые соединения, которые затем легко удаляются (травление, обезжиривание).

* Очистка, при которой удаляется приповерхностный слой пластины или подложки, называется травлением.

ВЕКТОРНАЯ ДИАГРАММА , графическое изображение значений физических величин, изменяющихся по гармоническому закону, и соотношений между ними в виде векторов. Применяется при расчетах в электротехнике, акустике, оптике и т. д.

ХИРАНЬЯКША (санскр . имеющий золотой глаз), в индуистской мифологии асура, противопоставивший себя богам. Повержен богом Вишну, принявшим облик вепря. Сын Кашьяпы и Дити, брат Хираньякашипу.

ЯКОПОНЕ ДА ТОДИ (Jacopone da Todi) , Якопо Бенедетти (Jacopo Benedetti) (ок. 1230-1306), итальянский поэт. Лауры (духовные песни) и стихи религиозно-мистического характера на народном итальянском языке; гимны на латинском языке; антиклерикальные, сатирические стихи.