ChemStudy

Наиболее трудно удаляются органические и химически связанные с поверхностью загрязнения, а также загрязнения от абразивных материалов, полярные газы и ионы, внедренные в приповерхностный слой пластин.

4. Методы удаления загрязнений.

4.1. Классификация методов очистки пластин и подложек.

Для удаления загрязнений используют различные методы, на физических принципах которых разрабатывают процессы очистки. По механизму протекания процессов все методы очистки классифицируют на физические и химические, а по применяемым средствам - на жидкостные и сухие (рис.2).

В основу каждого способа очистки положен один из трех методов удаления загрязнений с поверхности:

· механическое удаление частиц загрязнителя потоком жидкости или газа;

· растворение в воде;

· химическая реакция.

Рис. 2.

Классификация методов очистки пластин и подложек

К физическим методам удаления загрязнений относят растворение, отжиг, обработку поверхности ускоренными до больших энергий ионами инертных газов. Эти методы используют в основном для удаления загрязнений, расположенных на поверхности. Для удаления загрязнений на поверхности и в приповерхностном слое, в том числе тех, которые находятся в химической связи с материалом пластины или подложки, используют химические методы удаления. Они основаны на переводе путем химической реакции загрязнений в новые соединения, которые затем легко удаляются (травление, обезжиривание).

* Очистка, при которой удаляется приповерхностный слой пластины или подложки, называется травлением.

ФРЕГАТ (нидерл . fregat),..1) в парусном военном флоте - трехмачтовый военный корабль (второй по величине после линейного корабля; имел до 60 пушек) главным образом для крейсерства и разведки (см. Крейсерские операции). В 19 в. появились паровые колесные, (пароходо-фрегаты), затем винтовые фрегаты...2) Современные фрегаты - корабли специальной постройки; предназначены для поиска и уничтожения подводных лодок, противовоздушной и противоракетной обороны кораблей (судов).

ЭЛЕКТРОФРЕЗА , сельскохозяйственная машина для сплошной обработки почвы в теплицах, парниках и на припарниковых участках; используется также для заделки удобрений. Оборудована ротором с ножами, приводимым в действие электродвигателем.

ЧЕРТОВ МОСТ , через узкое ущелье реки Рейс, в швейцарских Альпах. Во время Швейцарского похода А. В. Суворова русские войска 14(25).9.1799 с боем преодолели Чертов мост, проявив при этом массовый героизм.