Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластин Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластинСтраница 7
Наиболее трудно удаляются органические и химически связанные с поверхностью загрязнения, а также загрязнения от абразивных материалов, полярные газы и ионы, внедренные в приповерхностный слой пластин.
4. Методы удаления загрязнений.
4.1. Классификация методов очистки пластин и подложек.
Для удаления загрязнений используют различные методы, на физических принципах которых разрабатывают процессы очистки. По механизму протекания процессов все методы очистки классифицируют на физические и химические, а по применяемым средствам - на жидкостные и сухие (рис.2).
В основу каждого способа очистки положен один из трех методов удаления загрязнений с поверхности:
· механическое удаление частиц загрязнителя потоком жидкости или газа;
· растворение в воде;
· химическая реакция.
Рис. 2.
Классификация методов очистки пластин и подложек
К физическим методам удаления загрязнений относят растворение, отжиг, обработку поверхности ускоренными до больших энергий ионами инертных газов. Эти методы используют в основном для удаления загрязнений, расположенных на поверхности. Для удаления загрязнений на поверхности и в приповерхностном слое, в том числе тех, которые находятся в химической связи с материалом пластины или подложки, используют химические методы удаления. Они основаны на переводе путем химической реакции загрязнений в новые соединения, которые затем легко удаляются (травление, обезжиривание).
* Очистка, при которой удаляется приповерхностный слой пластины или подложки, называется травлением.
ФУНЕВ Иван (1900-83) , болгарский скульптор. Правдивые произведения на темы из жизни рабочих (рельеф "В вагоне третьего класса", 1935).
МОГИЛЕВСКАЯ ОБЛАСТЬ , в Белоруссии. 29 тыс. км2. Население 1269,4 тыс. человек (1991), городское 67,6%. 13 городов, 11 поселков городского типа (1991). Адм. ц. - Могилев.
ТАФОНОМИЯ (от греч . taphos - могила и ...номия), раздел палеонтологии, изучающий закономерности процессов естественного захоронения организмов и образования местонахождений ископаемых остатков этих организмов. Заложил основы тафономии (и предложил термин) И. А. Ефремов.