ChemStudy

Наиболее трудно удаляются органические и химически связанные с поверхностью загрязнения, а также загрязнения от абразивных материалов, полярные газы и ионы, внедренные в приповерхностный слой пластин.

4. Методы удаления загрязнений.

4.1. Классификация методов очистки пластин и подложек.

Для удаления загрязнений используют различные методы, на физических принципах которых разрабатывают процессы очистки. По механизму протекания процессов все методы очистки классифицируют на физические и химические, а по применяемым средствам - на жидкостные и сухие (рис.2).

В основу каждого способа очистки положен один из трех методов удаления загрязнений с поверхности:

· механическое удаление частиц загрязнителя потоком жидкости или газа;

· растворение в воде;

· химическая реакция.

Рис. 2.

Классификация методов очистки пластин и подложек

К физическим методам удаления загрязнений относят растворение, отжиг, обработку поверхности ускоренными до больших энергий ионами инертных газов. Эти методы используют в основном для удаления загрязнений, расположенных на поверхности. Для удаления загрязнений на поверхности и в приповерхностном слое, в том числе тех, которые находятся в химической связи с материалом пластины или подложки, используют химические методы удаления. Они основаны на переводе путем химической реакции загрязнений в новые соединения, которые затем легко удаляются (травление, обезжиривание).

* Очистка, при которой удаляется приповерхностный слой пластины или подложки, называется травлением.

ВНЕШНЯЯ ПАМЯТЬ ЭВМ , запоминающие устройства большой (до нескольких Гбайт) емкости (преимущественно на магнитных лентах, дисках, барабанах, оптических дисках), из которых необходимая информация вводится в ЭВМ в процессе выполнения той или иной программы.

СТАРКОВ Владислав Андреевич (р . 1940), российский журналист. В 1970-е гг. работал в издательствах "Знание", "Международные отношения". С 1980 главный редактор еженедельника "Аргументы и факты".

ФИНЛЕЙ (Финлей-и-Баррес) (Finlay y Barres) Карлос Хуан (1833-1915) , кубинский врач и организатор здравоохранения. Первый руководитель (1902-09) службы общественного здравоохранения. Открыл (1881) переносчика желтой лихорадки и разработал систему борьбы с ней. Под руководством Финлея составлен первый санитарный кодекс Кубы.