Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластин Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластинСтраница 7
Наиболее трудно удаляются органические и химически связанные с поверхностью загрязнения, а также загрязнения от абразивных материалов, полярные газы и ионы, внедренные в приповерхностный слой пластин.
4. Методы удаления загрязнений.
4.1. Классификация методов очистки пластин и подложек.
Для удаления загрязнений используют различные методы, на физических принципах которых разрабатывают процессы очистки. По механизму протекания процессов все методы очистки классифицируют на физические и химические, а по применяемым средствам - на жидкостные и сухие (рис.2).
В основу каждого способа очистки положен один из трех методов удаления загрязнений с поверхности:
· механическое удаление частиц загрязнителя потоком жидкости или газа;
· растворение в воде;
· химическая реакция.
Рис. 2.
Классификация методов очистки пластин и подложек
К физическим методам удаления загрязнений относят растворение, отжиг, обработку поверхности ускоренными до больших энергий ионами инертных газов. Эти методы используют в основном для удаления загрязнений, расположенных на поверхности. Для удаления загрязнений на поверхности и в приповерхностном слое, в том числе тех, которые находятся в химической связи с материалом пластины или подложки, используют химические методы удаления. Они основаны на переводе путем химической реакции загрязнений в новые соединения, которые затем легко удаляются (травление, обезжиривание).
* Очистка, при которой удаляется приповерхностный слой пластины или подложки, называется травлением.
ЖУК Сергей Яковлевич (1892-1957) , российский гидротехник, академик АН СССР (1953), генерал-майор инженерно-технической службы (1943), Герой Социалистического Труда (1952). Директор Гидропроекта (с 1942, с 1957 им. Жука). Руководил проектированием и строительством Беломорско-Балтийского канала, канала им. Москвы, Волго-Донского комплекса, Волго-Балтийского водного пути, ГЭС на Волге - Угличской, Рыбинской и др. Государственная премия СССР (1950, 1951).
ЭРОС ,..1) Эрот...2) Любовь; у Платона и в платонизме побудительная сила духовного восхождения, эстетический восторг и экстатическая устремленность к созерцанию идей истинно сущего, добра и красоты.
ГЕДЕОНОВ Степан Александрович (1816-78) , российский историк, театральный деятель, почетный член Петербургской АН (1863). Директор Эрмитажа (1863-78) и императорских театров (1867-75). Труд "Варяги и Русь" (против норманнской теории).