Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластин
Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластин
Страница 7

Наиболее трудно удаляются органические и химически связанные с поверхностью загрязнения, а также загрязнения от абразивных материалов, полярные газы и ионы, внедренные в приповерхностный слой пластин.

4. Методы удаления загрязнений.

4.1. Классификация методов очистки пластин и подложек.

Для удаления загрязнений используют различные методы, на физических принципах которых разрабатывают процессы очистки. По механизму протекания процессов все методы очистки классифицируют на физические и химические, а по применяемым средствам - на жидкостные и сухие (рис.2).

В основу каждого способа очистки положен один из трех методов удаления загрязнений с поверхности:

· механическое удаление частиц загрязнителя потоком жидкости или газа;

· растворение в воде;

· химическая реакция.

Рис. 2.

Классификация методов очистки пластин и подложек

К физическим методам удаления загрязнений относят растворение, отжиг, обработку поверхности ускоренными до больших энергий ионами инертных газов. Эти методы используют в основном для удаления загрязнений, расположенных на поверхности. Для удаления загрязнений на поверхности и в приповерхностном слое, в том числе тех, которые находятся в химической связи с материалом пластины или подложки, используют химические методы удаления. Они основаны на переводе путем химической реакции загрязнений в новые соединения, которые затем легко удаляются (травление, обезжиривание).

* Очистка, при которой удаляется приповерхностный слой пластины или подложки, называется травлением.

Страницы: 3 4 5 6 7 8 9 10 11

У ЦЗЫ-СЮЙ , в китайской мифологии бог приливов, обожествленный сановник (5 в. до н. э.), покончивший с собой по приказу государя и брошенный в воду.

ЖЕМЧУГОВА (наст . фам. Ковалева) Прасковья Ивановна (1768-1803), российская актриса, певица (сопрано). До 1798 крепостная. С 1779 выступала в театре Шереметевых. С 1801 жена графа Н. П. Шереметьева.

РЖЕВСКАЯ Елена Моисеевна (р .1919), русская писательница. В прозе, сочетающей публицистичность и художественно-документальное начало с лирической интонацией, обращается к военной теме, послевоенному городскому быту. Книги: "Весна в шинели" (1961), "Берлин, май 1945" (1965), "Ближние подступы" (1985) и др.