Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластин Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластинСтраница 7
Наиболее трудно удаляются органические и химически связанные с поверхностью загрязнения, а также загрязнения от абразивных материалов, полярные газы и ионы, внедренные в приповерхностный слой пластин.
4. Методы удаления загрязнений.
4.1. Классификация методов очистки пластин и подложек.
Для удаления загрязнений используют различные методы, на физических принципах которых разрабатывают процессы очистки. По механизму протекания процессов все методы очистки классифицируют на физические и химические, а по применяемым средствам - на жидкостные и сухие (рис.2).
В основу каждого способа очистки положен один из трех методов удаления загрязнений с поверхности:
· механическое удаление частиц загрязнителя потоком жидкости или газа;
· растворение в воде;
· химическая реакция.
Рис. 2.
Классификация методов очистки пластин и подложек
К физическим методам удаления загрязнений относят растворение, отжиг, обработку поверхности ускоренными до больших энергий ионами инертных газов. Эти методы используют в основном для удаления загрязнений, расположенных на поверхности. Для удаления загрязнений на поверхности и в приповерхностном слое, в том числе тех, которые находятся в химической связи с материалом пластины или подложки, используют химические методы удаления. Они основаны на переводе путем химической реакции загрязнений в новые соединения, которые затем легко удаляются (травление, обезжиривание).
* Очистка, при которой удаляется приповерхностный слой пластины или подложки, называется травлением.
ЗАРИФЯН Ованес Геворкович (1879-1937) , армянский актер, режиссер. С 1897 работал в Закавказье, в России, Турции, с 1921 в армянских труппах США, Франции, Румынии и др.
УЗГЕН , город в Киргизии, Ошская обл., на р. Карадарья, в 44 км от ж.-д. ст. Карасу-Узбекский (Кара-Суу). 35,2 тыс. жителей (1991). Заводы: сухого молока, минеральных вод; производство ковров и др. Возник во 2-1 вв. до н. э. Минарет (11 в.) и три купольных мавзолея (11-12 вв.).
ШВАРЦКОПФ (Schwarzkopf) Элизабет (р . 1915), немецкая певица (сопрано). Выступала в крупнейших театрах Европы и США. Прославилась в операх Моцарта, Р. Штрауса, а также как концертная певица.