Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластин Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластинСтраница 7
Наиболее трудно удаляются органические и химически связанные с поверхностью загрязнения, а также загрязнения от абразивных материалов, полярные газы и ионы, внедренные в приповерхностный слой пластин.
4. Методы удаления загрязнений.
4.1. Классификация методов очистки пластин и подложек.
Для удаления загрязнений используют различные методы, на физических принципах которых разрабатывают процессы очистки. По механизму протекания процессов все методы очистки классифицируют на физические и химические, а по применяемым средствам - на жидкостные и сухие (рис.2).
В основу каждого способа очистки положен один из трех методов удаления загрязнений с поверхности:
· механическое удаление частиц загрязнителя потоком жидкости или газа;
· растворение в воде;
· химическая реакция.
Рис. 2.
Классификация методов очистки пластин и подложек
К физическим методам удаления загрязнений относят растворение, отжиг, обработку поверхности ускоренными до больших энергий ионами инертных газов. Эти методы используют в основном для удаления загрязнений, расположенных на поверхности. Для удаления загрязнений на поверхности и в приповерхностном слое, в том числе тех, которые находятся в химической связи с материалом пластины или подложки, используют химические методы удаления. Они основаны на переводе путем химической реакции загрязнений в новые соединения, которые затем легко удаляются (травление, обезжиривание).
* Очистка, при которой удаляется приповерхностный слой пластины или подложки, называется травлением.
ОБЫЧНОЕ ПРАВО , совокупность неписаных правил поведения (обычаев), сложившихся в обществе в результате их неоднократного традиционного применения и санкционированных государством.
ШИЛАЛЕ (Silale) (до 1917 официальное название Шилели) , город (с 1952) в Литве, в 30 км от ж.-д. ст. Таураге. 6,6 тыс. жителей (1990). Швейная фабрика, пищевые предприятия.
МЕНИСКОВАЯ СИСТЕМА , зеркально-линзовая оптическая система, в которой перед сферическим (реже эллиптическим) зеркалом или перед системой зеркал и линз устанавливается 1 или несколько менисков. Менисковая система имеет малый астигматизм, в ней может быть скомпенсирована сферическая аберрация, сведена к нулю кома. Менисковые системы применяются в астрономии, фотографии и др.