ChemStudy

Наиболее трудно удаляются органические и химически связанные с поверхностью загрязнения, а также загрязнения от абразивных материалов, полярные газы и ионы, внедренные в приповерхностный слой пластин.

4. Методы удаления загрязнений.

4.1. Классификация методов очистки пластин и подложек.

Для удаления загрязнений используют различные методы, на физических принципах которых разрабатывают процессы очистки. По механизму протекания процессов все методы очистки классифицируют на физические и химические, а по применяемым средствам - на жидкостные и сухие (рис.2).

В основу каждого способа очистки положен один из трех методов удаления загрязнений с поверхности:

· механическое удаление частиц загрязнителя потоком жидкости или газа;

· растворение в воде;

· химическая реакция.

Рис. 2.

Классификация методов очистки пластин и подложек

К физическим методам удаления загрязнений относят растворение, отжиг, обработку поверхности ускоренными до больших энергий ионами инертных газов. Эти методы используют в основном для удаления загрязнений, расположенных на поверхности. Для удаления загрязнений на поверхности и в приповерхностном слое, в том числе тех, которые находятся в химической связи с материалом пластины или подложки, используют химические методы удаления. Они основаны на переводе путем химической реакции загрязнений в новые соединения, которые затем легко удаляются (травление, обезжиривание).

* Очистка, при которой удаляется приповерхностный слой пластины или подложки, называется травлением.

ХЭВИ-МЕТАЛ (англ . Heavy metal, букв. тяжелый металл), одно из ответвлений хард-рока, получившее широкое распространение в начале 1980-х гг. Элемент импровизации в истинном "металле" практически сведен к нулю, точнее, он отсутствует в традиционном смысле этого слова, однако опытные "металлические" группы часто вводят в свои композиции очень сложные изменения ритма, и у неподготовленного слушателя может возникнуть ощущение какофонии, хотя речь идет о ритмической импровизации.

ШАМШИЕВ Болотбек (р . 1941), киргизский кинорежиссер, сценарист, народный артист СССР (1991). Документальные фильмы: "Манасчи" (1965), "Чабан" (1966); художественные фильмы: "Выстрел на перевале Караш" (1970), "Алые маки Иссык-Куля" (1972), "Белый пароход" (1977; Государственная премия СССР, 1977), "Ранние журавли" (1980), "Волчья яма" (1984).

МАЛАЙЗИЙСКИЙ ЯЗЫК , название официального языка Малайзии, применяемое с 1969 наряду с названием малайский язык.