ChemStudy

Наиболее трудно удаляются органические и химически связанные с поверхностью загрязнения, а также загрязнения от абразивных материалов, полярные газы и ионы, внедренные в приповерхностный слой пластин.

4. Методы удаления загрязнений.

4.1. Классификация методов очистки пластин и подложек.

Для удаления загрязнений используют различные методы, на физических принципах которых разрабатывают процессы очистки. По механизму протекания процессов все методы очистки классифицируют на физические и химические, а по применяемым средствам - на жидкостные и сухие (рис.2).

В основу каждого способа очистки положен один из трех методов удаления загрязнений с поверхности:

· механическое удаление частиц загрязнителя потоком жидкости или газа;

· растворение в воде;

· химическая реакция.

Рис. 2.

Классификация методов очистки пластин и подложек

К физическим методам удаления загрязнений относят растворение, отжиг, обработку поверхности ускоренными до больших энергий ионами инертных газов. Эти методы используют в основном для удаления загрязнений, расположенных на поверхности. Для удаления загрязнений на поверхности и в приповерхностном слое, в том числе тех, которые находятся в химической связи с материалом пластины или подложки, используют химические методы удаления. Они основаны на переводе путем химической реакции загрязнений в новые соединения, которые затем легко удаляются (травление, обезжиривание).

* Очистка, при которой удаляется приповерхностный слой пластины или подложки, называется травлением.

ЦЮРУПИНСК (до 1928 Алешки) , город на Украине, Херсонская обл., в 9 км от ж.-д. ст. Цюрупинск, пристань на р. Конка (рукав Днепра). 26 тыс. жителей (1991). Целлюлозно-бумажные, маслодельные заводы и др. предприятия. Назван по имени А. Д. Цюрупы. Основан в 1784.

ДРЕВНЯЯ РУСЬ , общее собирательное название восточно-славянских княжеств 9-13 вв.

"ЕР-ТАРГЫН" , казахская героическая поэма, соотнесенная с историческими событиями 15 в.; ее герой Ер-Таргын - защитник народа, противник ханских междоусобиц.