ChemStudy

Наиболее трудно удаляются органические и химически связанные с поверхностью загрязнения, а также загрязнения от абразивных материалов, полярные газы и ионы, внедренные в приповерхностный слой пластин.

4. Методы удаления загрязнений.

4.1. Классификация методов очистки пластин и подложек.

Для удаления загрязнений используют различные методы, на физических принципах которых разрабатывают процессы очистки. По механизму протекания процессов все методы очистки классифицируют на физические и химические, а по применяемым средствам - на жидкостные и сухие (рис.2).

В основу каждого способа очистки положен один из трех методов удаления загрязнений с поверхности:

· механическое удаление частиц загрязнителя потоком жидкости или газа;

· растворение в воде;

· химическая реакция.

Рис. 2.

Классификация методов очистки пластин и подложек

К физическим методам удаления загрязнений относят растворение, отжиг, обработку поверхности ускоренными до больших энергий ионами инертных газов. Эти методы используют в основном для удаления загрязнений, расположенных на поверхности. Для удаления загрязнений на поверхности и в приповерхностном слое, в том числе тех, которые находятся в химической связи с материалом пластины или подложки, используют химические методы удаления. Они основаны на переводе путем химической реакции загрязнений в новые соединения, которые затем легко удаляются (травление, обезжиривание).

* Очистка, при которой удаляется приповерхностный слой пластины или подложки, называется травлением.

ЕЖОВ Валентин Иванович (р . 1921), российский сценарист, заслуженный деятель искусств России (1976). Фильмы: "Баллада о солдате" (1959, с Г. Н. Чухраем), "Крылья" (1966, с Н. Б. Рязанцевой), "Белое солнце пустыни" (1970, с Р. Ибрагимбековым), "Это сладкое слово - свобода" (1973, с В. П. Жалакявичюсом), "Красные колокола" (1982, с С. Ф. Бондарчуком) и др. Ленинская премия (1961).

ФРЕЙД (Фройд) (Freud) Зигмунд (1856-1939) , австрийский врач-психиатр и психолог, основатель психоанализа. С 1938 в Великобритании. Развил теорию психосексуального развития индивида, в формировании характера и его патологии главную роль отводил переживаниям раннего детства. От разработанного совместно с Й. Брейером "катартического" метода (отреагирование с помощью гипноза забытых психических травм) перешел к методу свободных ассоциаций как основе психоаналитической терапии. Принципы психоанализа распространил на различные области человеческой культуры - мифологию, фольклор, художественное творчество, религию и т. д. Основные труды: "Толкование сновидений" (1900), "Психопатология обыденной жизни" (1904), "Лекции по введению в психоанализ" (1910), "Тотем и табу" (1913), "Я и Оно" (1923).

ПЛАСТИНКИ ФОТОГРАФИЧЕСКИЕ (фотопластинки) , светочувствительные материалы - стеклянные пластинки, покрытые слоем фотографической эмульсии.