Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластин Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластинСтраница 7
Наиболее трудно удаляются органические и химически связанные с поверхностью загрязнения, а также загрязнения от абразивных материалов, полярные газы и ионы, внедренные в приповерхностный слой пластин.
4. Методы удаления загрязнений.
4.1. Классификация методов очистки пластин и подложек.
Для удаления загрязнений используют различные методы, на физических принципах которых разрабатывают процессы очистки. По механизму протекания процессов все методы очистки классифицируют на физические и химические, а по применяемым средствам - на жидкостные и сухие (рис.2).
В основу каждого способа очистки положен один из трех методов удаления загрязнений с поверхности:
· механическое удаление частиц загрязнителя потоком жидкости или газа;
· растворение в воде;
· химическая реакция.
Рис. 2.
Классификация методов очистки пластин и подложек
К физическим методам удаления загрязнений относят растворение, отжиг, обработку поверхности ускоренными до больших энергий ионами инертных газов. Эти методы используют в основном для удаления загрязнений, расположенных на поверхности. Для удаления загрязнений на поверхности и в приповерхностном слое, в том числе тех, которые находятся в химической связи с материалом пластины или подложки, используют химические методы удаления. Они основаны на переводе путем химической реакции загрязнений в новые соединения, которые затем легко удаляются (травление, обезжиривание).
* Очистка, при которой удаляется приповерхностный слой пластины или подложки, называется травлением.
ЭКЗОТИКА (от греч . exotikos - чужой, иноземный), причудливые, необычайные особенности (природы, обычаев, искусства и прочее) отдаленных стран.
ЧЖЭНЬЦЗЯН (Даньту) , город в восточной части Китая, пров. Цзянсу, порт на р. Янцзы и Великом канале. 368 тыс. жителей (1990). Шелкообрабатывающая, бумажная и пищевая промышленность; машиностроение.
ТИССЕРАН (Тisserand) Франсуа (1845-96) , французский астроном, иностранный член-корреспондент Петербургской АН (1883). Труды по теории движения комет, проблеме устойчивости Солнечной системы и др. Автор капитального 4-томного руководства по небесной механике (1889-96).