Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластин Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластинСтраница 11
Следует отметить, что очистке поверхности полупроводниковых пластин путем их обработки в полирующих травителях предшествует обязательное обезжиривание поверхности.
Для ряда травителей энергия активации химической реакции 
на порядок и более превышает энергию активации, определяющую скорость диффузии реагента. В этом случае скорость травления определяется скоростью химической реакции 
:
(5)
где 
и 
- концентрации реагирующих веществ; R - универсальная газовая постоянная; а и b - показатели, численно равные коэффициентам в уравнении химической реакции.
Поскольку энергия активации химической реакции зависит от неоднородности поверхности, скорость травления чувствительна к состоянию поверхности. Так как различные кристаллографические плоскости структуры кремния имеют разное значение , то скорость травления зависит от ориентации пластин, а также от температуры.
* Травители, для которых контролирующей стадией является химическая реакция, называются селективными.
В качестве селективных травителей пластин кремния используют водные растворы щелочей (например, NaOH, КОН) и гидразин гидрат '
.
Для селективных травителей характерная разница скоростей травления в различных кристаллографических направлениях достигает одного порядка и более. Так, для щелочных травителей изменение скорости травления соответствует схеме (100) >(110)> (111).
Травление с большой разницей скоростей травления в различных кристаллографических направлениях называют анизотропным.
ГОЛУБКОВ Василий Васильевич (1880-1968) , российский педагог, действительный член АПН России (1950). Труды по методике преподавания литературы, учебники и учебные пособия по литературе для общеобразовательной школы.
ЦЗЯМУСЫ , город в Северо-Вост. Китае, на р. Сунгари, пров. Хэйлунцзян. 493 тыс. жителей (1990). Целлюлозно-бумажная, бумажная промышленность, машиностроение.
ИМПРЕСАРИО (итал . impresario, от imprendere - предпринимать, затевать), в некоторых странах частный предприниматель, организатор зрелищных предприятий или агент какого-либо артиста, действующий от его имени, заключающий для него контракты и т. п.