ChemStudy

Следует отметить, что очистке поверхности полупроводниковых пластин путем их обработки в полирующих травителях предшествует обязательное обезжиривание поверхности.

Для ряда травителей энергия активации химической реакции на порядок и более превышает энергию активации, определяющую скорость диффузии реагента. В этом случае скорость травления определяется скоростью химической реакции :

(5)

где и - концентрации реагирующих веществ; R - универсальная газовая постоянная; а и b - показатели, численно равные коэффициентам в уравнении химической реакции.

Поскольку энергия активации химической реакции зависит от неоднородности поверхности, скорость травления чувствительна к состоянию поверхности. Так как различные кристаллографические плоскости структуры кремния имеют разное значение , то скорость травления зависит от ориентации пластин, а также от температуры.

* Травители, для которых контролирующей стадией является химическая реакция, называются селективными.

В качестве селективных травителей пластин кремния используют водные растворы щелочей (например, NaOH, КОН) и гидразин гидрат '.

Для селективных травителей характерная разница скоростей травления в различных кристаллографических направлениях достигает одного порядка и более. Так, для щелочных травителей изменение скорости травления соответствует схеме (100) >(110)> (111).

Травление с большой разницей скоростей травления в различных кристаллографических направлениях называют анизотропным.

ОБЛИЦОВКА , покрытие поверхностей конструктивных элементов зданий и сооружений, выполненное из природных или искусственных материалов, которые обычно отличаются высокими защитными и декоративными качествами.

ДОС ПАССОС (Dos Passos) Джон (1896-1970) , американский писатель. В 20-е гг. представитель "потерянного поколения". Социальная эпопея-трилогия "США" об Америке 1900-30-х гг. ("42-я параллель", 1930; "1919", 1932; "Большие деньги", 1936), экспериментально сочетающая по принципу кинематографического монтажа документальную, биографическую и лирическую прозу. В трилогии "Округ Колумбия" (1939-48) порывает с левыми идеями.

ТУРКЕСТАНО-СИБИРСКАЯ ЖЕЛЕЗНАЯ ДОРОГА (Турксиб) , соединяет районы Ср. Азии с районами Сибири. Проходит по территории Казахстана, от Семипалатинска через Алма-Ату до ст. Луговая. Длина 1452 км. Сооружена в 1927-31.