ChemStudy

Следует отметить, что очистке поверхности полупроводниковых пластин путем их обработки в полирующих травителях предшествует обязательное обезжиривание поверхности.

Для ряда травителей энергия активации химической реакции на порядок и более превышает энергию активации, определяющую скорость диффузии реагента. В этом случае скорость травления определяется скоростью химической реакции :

(5)

где и - концентрации реагирующих веществ; R - универсальная газовая постоянная; а и b - показатели, численно равные коэффициентам в уравнении химической реакции.

Поскольку энергия активации химической реакции зависит от неоднородности поверхности, скорость травления чувствительна к состоянию поверхности. Так как различные кристаллографические плоскости структуры кремния имеют разное значение , то скорость травления зависит от ориентации пластин, а также от температуры.

* Травители, для которых контролирующей стадией является химическая реакция, называются селективными.

В качестве селективных травителей пластин кремния используют водные растворы щелочей (например, NaOH, КОН) и гидразин гидрат '.

Для селективных травителей характерная разница скоростей травления в различных кристаллографических направлениях достигает одного порядка и более. Так, для щелочных травителей изменение скорости травления соответствует схеме (100) >(110)> (111).

Травление с большой разницей скоростей травления в различных кристаллографических направлениях называют анизотропным.

ЩЕРБИНА Николай Федорович (1821-69) , русский поэт. В стихах на античные темы - культ радости, красоты (сборник "Греческие стихотворения", 1850). Сатирические стихи.

РЕДИНГ , город на северо-востоке США, шт. Пенсильвания. 78 тыс. жителей (1990). Черная металлургия, металлообработка, машиностроение, химическая, трикотажная промышленность.

АНГЛИЧАНЕ (самоназвание - инглиш) , народ, основное население Великобритании. Общая численность 48,5 млн. человек (1992), в т. ч. в Великобритании 44,7 млн. человек, Канаде 1 млн. человек, Австралии 940 тыс. человек, США 650 тыс. человек, ЮАР 230 тыс. человек, Индии 200 тыс. человек, Нов. Зеландии 188 тыс. человек. Язык английский. Верующие - в основном англикане.