Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластин Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластинСтраница 11
Следует отметить, что очистке поверхности полупроводниковых пластин путем их обработки в полирующих травителях предшествует обязательное обезжиривание поверхности.
Для ряда травителей энергия активации химической реакции 
на порядок и более превышает энергию активации, определяющую скорость диффузии реагента. В этом случае скорость травления определяется скоростью химической реакции 
:
(5)
где 
и 
- концентрации реагирующих веществ; R - универсальная газовая постоянная; а и b - показатели, численно равные коэффициентам в уравнении химической реакции.
Поскольку энергия активации химической реакции зависит от неоднородности поверхности, скорость травления чувствительна к состоянию поверхности. Так как различные кристаллографические плоскости структуры кремния имеют разное значение , то скорость травления зависит от ориентации пластин, а также от температуры.
* Травители, для которых контролирующей стадией является химическая реакция, называются селективными.
В качестве селективных травителей пластин кремния используют водные растворы щелочей (например, NaOH, КОН) и гидразин гидрат '
.
Для селективных травителей характерная разница скоростей травления в различных кристаллографических направлениях достигает одного порядка и более. Так, для щелочных травителей изменение скорости травления соответствует схеме (100) >(110)> (111).
Травление с большой разницей скоростей травления в различных кристаллографических направлениях называют анизотропным.
ЭБЕРС (Ebers) Георг (1837-98) , немецкий египтолог и писатель. Его именем назван найденный и опубликованный им в 1875 древнеегипетский медицинский трактат ("Папирус Эберс"). Автор исторических романов.
СОЗОПОЛ , приморский климатический курорт в Болгарии, на Черном м., к юго-востоку от г. Бургас. Ок. 4,5 тыс. жителей. База рыболовства и переработки рыбы. Археологический музей. Возник на месте греческой колонии Аполлония. Сохранил старинный облик.
ЕРОФЕЕВА Людмила Васильевна (р . 1937), молдавская певица (лирико-колоратурное сопрано), народная артистка СССР (1976). С 1960 в Молдавском театре оперы и балета.