ChemStudy

Следует отметить, что очистке поверхности полупроводниковых пластин путем их обработки в полирующих травителях предшествует обязательное обезжиривание поверхности.

Для ряда травителей энергия активации химической реакции на порядок и более превышает энергию активации, определяющую скорость диффузии реагента. В этом случае скорость травления определяется скоростью химической реакции :

(5)

где и - концентрации реагирующих веществ; R - универсальная газовая постоянная; а и b - показатели, численно равные коэффициентам в уравнении химической реакции.

Поскольку энергия активации химической реакции зависит от неоднородности поверхности, скорость травления чувствительна к состоянию поверхности. Так как различные кристаллографические плоскости структуры кремния имеют разное значение , то скорость травления зависит от ориентации пластин, а также от температуры.

* Травители, для которых контролирующей стадией является химическая реакция, называются селективными.

В качестве селективных травителей пластин кремния используют водные растворы щелочей (например, NaOH, КОН) и гидразин гидрат '.

Для селективных травителей характерная разница скоростей травления в различных кристаллографических направлениях достигает одного порядка и более. Так, для щелочных травителей изменение скорости травления соответствует схеме (100) >(110)> (111).

Травление с большой разницей скоростей травления в различных кристаллографических направлениях называют анизотропным.

СЕВЕРО-ВОСТОЧНАЯ РУСЬ , в исторической литературе название Владимиро-Суздальской и Муромо-Рязанской земель, а затем Московского великого княжества до нач. 16 в.

РОМАНЬЯ (Romagna) , историческая область в Сев. Италии. Название Романья появилось в 6 в., относилось к византийским владениям на Апеннинском п-ове, прежде всего к Равеннскому экзархату. В 16-18 вв. в основном входила в Папскую обл. В Итальянской Республике часть административной области Эмилия-Романья.

"ЛЕТУЧИЙ ГОЛЛАНДЕЦ" , 1) по средневековой легенде - призрачный корабль, обреченный никогда не приставать к берегу; среди моряков было распространено поверье, что встреча с ним предвещает гибель в море. 2) Яхта-швертбот олимпийского класса, экипаж 2 человека; с 1960 в программе Олимпийских игр.