ChemStudy

Следует отметить, что очистке поверхности полупроводниковых пластин путем их обработки в полирующих травителях предшествует обязательное обезжиривание поверхности.

Для ряда травителей энергия активации химической реакции на порядок и более превышает энергию активации, определяющую скорость диффузии реагента. В этом случае скорость травления определяется скоростью химической реакции :

(5)

где и - концентрации реагирующих веществ; R - универсальная газовая постоянная; а и b - показатели, численно равные коэффициентам в уравнении химической реакции.

Поскольку энергия активации химической реакции зависит от неоднородности поверхности, скорость травления чувствительна к состоянию поверхности. Так как различные кристаллографические плоскости структуры кремния имеют разное значение , то скорость травления зависит от ориентации пластин, а также от температуры.

* Травители, для которых контролирующей стадией является химическая реакция, называются селективными.

В качестве селективных травителей пластин кремния используют водные растворы щелочей (например, NaOH, КОН) и гидразин гидрат '.

Для селективных травителей характерная разница скоростей травления в различных кристаллографических направлениях достигает одного порядка и более. Так, для щелочных травителей изменение скорости травления соответствует схеме (100) >(110)> (111).

Травление с большой разницей скоростей травления в различных кристаллографических направлениях называют анизотропным.

ХАНТЕР (Гунтер) (Hunter) , английские врачи и анатомы, братья:..1) Уильям (1718-83), труд по анатомии и физиологии матки в различные периоды беременности (опубликован в 1774), предложил операцию при аневризме аорты...2) Джон (1728-93), один из основоположников экспериментальной патологии и анатомо-физиологического направления в хирургии, основатель научной школы; описал твердый шанкр (1786), различие между врожденной и приобретенной грыжами.

ЖЕНЕВСКИЕ КОНВЕНЦИИ 1949 , международные конвенции о защите жертв войны, подписанные 12.8.1949: 1) об улучшении участи раненых и больных в действующих армиях; 2) об улучшении участи раненых, больных и лиц, потерпевших кораблекрушение, из состава вооруженных сил на море; 3) об обращении с военнопленными; 4) о защите гражданского населения во время войны.

ГУДРАЙК (Goodrike) Джон (1764-86) , английский астроном-любитель. Открыл несколько переменных звезд, в т. ч. первую затменно-переменную - Алголь (1782), правильно объяснил природу ее переменности.