Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластин Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластинСтраница 11
Следует отметить, что очистке поверхности полупроводниковых пластин путем их обработки в полирующих травителях предшествует обязательное обезжиривание поверхности.
Для ряда травителей энергия активации химической реакции 
на порядок и более превышает энергию активации, определяющую скорость диффузии реагента. В этом случае скорость травления определяется скоростью химической реакции 
:
(5)
где 
и 
- концентрации реагирующих веществ; R - универсальная газовая постоянная; а и b - показатели, численно равные коэффициентам в уравнении химической реакции.
Поскольку энергия активации химической реакции зависит от неоднородности поверхности, скорость травления чувствительна к состоянию поверхности. Так как различные кристаллографические плоскости структуры кремния имеют разное значение , то скорость травления зависит от ориентации пластин, а также от температуры.
* Травители, для которых контролирующей стадией является химическая реакция, называются селективными.
В качестве селективных травителей пластин кремния используют водные растворы щелочей (например, NaOH, КОН) и гидразин гидрат '
.
Для селективных травителей характерная разница скоростей травления в различных кристаллографических направлениях достигает одного порядка и более. Так, для щелочных травителей изменение скорости травления соответствует схеме (100) >(110)> (111).
Травление с большой разницей скоростей травления в различных кристаллографических направлениях называют анизотропным.
ЕПАРХИЯ (греч . eparchia), в православных церквах церковно-административная территориальная единица во главе с архиереем (епископом).
ЧАКА (Шака) (ок . 1787-1828), зулусский инкоси (правитель), глава объединения (после 1816) родственных южноафриканских племен. Создал сильное войско, заложил основы государственности у зулу. В последние годы деспотичный правитель. Убит в результате заговора.
ФОТИАДИ Эпаминонд Эпаминондович (1907-87) , геолог и геофизик, член-корреспондент АН СССР (1958). Труды по геофизическим методам разведки нефтяных месторождений, геологические интерпретации геофизических данных.