ChemStudy

Следует отметить, что очистке поверхности полупроводниковых пластин путем их обработки в полирующих травителях предшествует обязательное обезжиривание поверхности.

Для ряда травителей энергия активации химической реакции на порядок и более превышает энергию активации, определяющую скорость диффузии реагента. В этом случае скорость травления определяется скоростью химической реакции :

(5)

где и - концентрации реагирующих веществ; R - универсальная газовая постоянная; а и b - показатели, численно равные коэффициентам в уравнении химической реакции.

Поскольку энергия активации химической реакции зависит от неоднородности поверхности, скорость травления чувствительна к состоянию поверхности. Так как различные кристаллографические плоскости структуры кремния имеют разное значение , то скорость травления зависит от ориентации пластин, а также от температуры.

* Травители, для которых контролирующей стадией является химическая реакция, называются селективными.

В качестве селективных травителей пластин кремния используют водные растворы щелочей (например, NaOH, КОН) и гидразин гидрат '.

Для селективных травителей характерная разница скоростей травления в различных кристаллографических направлениях достигает одного порядка и более. Так, для щелочных травителей изменение скорости травления соответствует схеме (100) >(110)> (111).

Травление с большой разницей скоростей травления в различных кристаллографических направлениях называют анизотропным.

ТЕЛЕГРАФНАЯ СЕТЬ , комплекс технических сооружений и оборудования, предназначенный для осуществления телеграфной связи и состоящий из телеграфных предприятий (узлов связи), соединяющих их каналов связи и телеграфных станций, служащих для коммутации этих каналов. В Российской Федерации телеграфная сеть включает в себя сети: общего пользования, абонентского телеграфирования и факсимильной связи. Вся территория России разделена на несколько зон, в каждой из которых имеется свой главный узел, областные и районные узлы.

ПЕРЛЮСТРАЦИЯ (от лат . perlustro - обозреваю), тайное вскрытие государственными или иными органами, лицами пересылаемой по почте корреспонденции.

ШАН-ДИ , в китайской мифологии верховное божество эпохи Инь.