ChemStudy

Следует отметить, что очистке поверхности полупроводниковых пластин путем их обработки в полирующих травителях предшествует обязательное обезжиривание поверхности.

Для ряда травителей энергия активации химической реакции на порядок и более превышает энергию активации, определяющую скорость диффузии реагента. В этом случае скорость травления определяется скоростью химической реакции :

(5)

где и - концентрации реагирующих веществ; R - универсальная газовая постоянная; а и b - показатели, численно равные коэффициентам в уравнении химической реакции.

Поскольку энергия активации химической реакции зависит от неоднородности поверхности, скорость травления чувствительна к состоянию поверхности. Так как различные кристаллографические плоскости структуры кремния имеют разное значение , то скорость травления зависит от ориентации пластин, а также от температуры.

* Травители, для которых контролирующей стадией является химическая реакция, называются селективными.

В качестве селективных травителей пластин кремния используют водные растворы щелочей (например, NaOH, КОН) и гидразин гидрат '.

Для селективных травителей характерная разница скоростей травления в различных кристаллографических направлениях достигает одного порядка и более. Так, для щелочных травителей изменение скорости травления соответствует схеме (100) >(110)> (111).

Травление с большой разницей скоростей травления в различных кристаллографических направлениях называют анизотропным.

ПАЙНС (Pines) Дейвид (р . 1924), американский физик, иностранный член РАН (1991; иностранный член АН СССР с 1988). Труды по теории ядра (сверхтекучая модель ядра), твердого тела, плазмы, астрофизике, теории рассеяния, высокотемпературной сверхпроводимости. Автор монографий (3 изданы на русском языке).

ЦВЕТАЕВА Анастасия Ивановна (1894-1993) , русская писательница. Дочь И. В. Цветаева, сестра М. И. Цветаевой. Мемуары (в т. ч. книга "Воспоминания", 1971) воссоздают культурную атмосферу нач. 20 в. Пафос приятия жизни в автобиографической повести ("Моя Сибирь", 1988, о быте репрессированных), рассказах. Книги лирической прозы: "Королевские размышления, 1914 год" (1915), "Дым, дым, и дым" (1916).

ЭКОФИСК (Ekofisk) , газонефтяное месторождение в норвежском секторе Северного м.; входит в Центральноевропейский нефтегазоносный бассейн. Открыто в 1969. Залежи на глубине 3,1-3,3 км. Начальные запасы 230 млн. т. Плотность нефти 0,85 г/см3.