ChemStudy

Следует отметить, что очистке поверхности полупроводниковых пластин путем их обработки в полирующих травителях предшествует обязательное обезжиривание поверхности.

Для ряда травителей энергия активации химической реакции на порядок и более превышает энергию активации, определяющую скорость диффузии реагента. В этом случае скорость травления определяется скоростью химической реакции :

(5)

где и - концентрации реагирующих веществ; R - универсальная газовая постоянная; а и b - показатели, численно равные коэффициентам в уравнении химической реакции.

Поскольку энергия активации химической реакции зависит от неоднородности поверхности, скорость травления чувствительна к состоянию поверхности. Так как различные кристаллографические плоскости структуры кремния имеют разное значение , то скорость травления зависит от ориентации пластин, а также от температуры.

* Травители, для которых контролирующей стадией является химическая реакция, называются селективными.

В качестве селективных травителей пластин кремния используют водные растворы щелочей (например, NaOH, КОН) и гидразин гидрат '.

Для селективных травителей характерная разница скоростей травления в различных кристаллографических направлениях достигает одного порядка и более. Так, для щелочных травителей изменение скорости травления соответствует схеме (100) >(110)> (111).

Травление с большой разницей скоростей травления в различных кристаллографических направлениях называют анизотропным.

ЗИМИН Михаил Николаевич (1930-91) , российский актер, народный артист СССР (1991). С 1954 (с перерывом) в Московском Художественном академическом театре. С 1987 на сцене Московского Художественного академического театра им. Максима Горького. Роли: Бахирев ("Битва в пути" по роману Г. Е. Николаевой), Лопахин ("Вишневый сад" А. П. Чехова) и др.

ЯКУШИН Михаил Иосифович (р . 1910), российский спортсмен, заслуженный мастер спорта (1940), заслуженный тренер СССР (1957). В 1935-47 неоднократный чемпион СССР по футболу, хоккею (с мячом и с шайбой).

ЮХНИН Василий Васильевич (1906/07-60) , коми писатель. Повесть "Динъельский лесопункт" (1938), роман "Алая лента" (1941) о дореволюционной коми деревне, "Огни тундры" (ч. 1-3, 1949-57) о жизни и труде горняков Воркуты. Пьесы.