ChemStudy

Следует отметить, что очистке поверхности полупроводниковых пластин путем их обработки в полирующих травителях предшествует обязательное обезжиривание поверхности.

Для ряда травителей энергия активации химической реакции на порядок и более превышает энергию активации, определяющую скорость диффузии реагента. В этом случае скорость травления определяется скоростью химической реакции :

(5)

где и - концентрации реагирующих веществ; R - универсальная газовая постоянная; а и b - показатели, численно равные коэффициентам в уравнении химической реакции.

Поскольку энергия активации химической реакции зависит от неоднородности поверхности, скорость травления чувствительна к состоянию поверхности. Так как различные кристаллографические плоскости структуры кремния имеют разное значение , то скорость травления зависит от ориентации пластин, а также от температуры.

* Травители, для которых контролирующей стадией является химическая реакция, называются селективными.

В качестве селективных травителей пластин кремния используют водные растворы щелочей (например, NaOH, КОН) и гидразин гидрат '.

Для селективных травителей характерная разница скоростей травления в различных кристаллографических направлениях достигает одного порядка и более. Так, для щелочных травителей изменение скорости травления соответствует схеме (100) >(110)> (111).

Травление с большой разницей скоростей травления в различных кристаллографических направлениях называют анизотропным.

ЭШКРОФТ (Oshcraft) Пегги (настоящее имя Маргарет) (1907-91) , английская актриса. С 1927 выступала в различных театрах Лондона, в т. ч. в "Олд Вик". В 1934-40 работала с режиссером Ф. Ф. Комиссаржевским. Одна из ведущих английских актрис. С 1961 доктор литературы Оксфордского университета. Театр в г. Кройдон с 1961 носит ее имя.

КАЗАКОВ Юрий Иванович (р . 1924), российский баянист, народный артист СССР (1985). С 1958 солист Москонцерта. Исполнитель-виртуоз, способствовал утверждению баяна как сольного инструмента.

ТЕКСТОЛОГИЯ (от текст и ...логия), отрасль филологии, литературоведческая дисциплина, изучающая произведения письменности, литературы и фольклора в целях критической проверки, установления и организации их текстов для дальнейшего исследования и публикации. Важнейшую задачу текстологии представляет установление, т. е. диахроническое, исторически осмысленное и критическое прочтение текста на основе изучения источников (рукописей, печатных изданий, исторических свидетельств), выявления их генеалогии и интерпретации переработок (редакций и вариантов), определения искажений (редакторами, цензурой). Важнейшее прикладное применение текстологии - издание текста произведения (эдиция). Методы изучения истории текста, сложившиеся в филологической текстологии, используются также в музыкальной текстологии.