ChemStudy

Следует отметить, что очистке поверхности полупроводниковых пластин путем их обработки в полирующих травителях предшествует обязательное обезжиривание поверхности.

Для ряда травителей энергия активации химической реакции на порядок и более превышает энергию активации, определяющую скорость диффузии реагента. В этом случае скорость травления определяется скоростью химической реакции :

(5)

где и - концентрации реагирующих веществ; R - универсальная газовая постоянная; а и b - показатели, численно равные коэффициентам в уравнении химической реакции.

Поскольку энергия активации химической реакции зависит от неоднородности поверхности, скорость травления чувствительна к состоянию поверхности. Так как различные кристаллографические плоскости структуры кремния имеют разное значение , то скорость травления зависит от ориентации пластин, а также от температуры.

* Травители, для которых контролирующей стадией является химическая реакция, называются селективными.

В качестве селективных травителей пластин кремния используют водные растворы щелочей (например, NaOH, КОН) и гидразин гидрат '.

Для селективных травителей характерная разница скоростей травления в различных кристаллографических направлениях достигает одного порядка и более. Так, для щелочных травителей изменение скорости травления соответствует схеме (100) >(110)> (111).

Травление с большой разницей скоростей травления в различных кристаллографических направлениях называют анизотропным.

ТРИНИДАД (Trinidad) , остров в Атлантическом ок. в составе государства Тринидад и Тобаго. Площадь 4,8 тыс. км2. Высота до 940 м. На Тринидаде - столица госдарства - Порт-оф-Спейн.

СОКОЛЬНИКИ , город (с 1958) в Российской Федерации, Тульская обл., в 18 км от ж.-д. ст. Новомосковская I. 11,7 тыс. человек (1993). Добыча бурого угля (Подмосковный бас.). Швейная фабрика.

СОСТЯЗАТЕЛЬНОСТЬ , в праве - демократический принцип судопроизводства, согласно которому разбирательство дела происходит в форме спора сторон в судебном заседании. Все участники процесса наделены равными процессуальными правами; суд обязан принимать все предусмотренные законом меры для всестороннего, полного и объективного исследования обстоятельств дела, установления истины, с тем чтобы вынести законное и обоснованное решение (приговор).