ChemStudy

Следует отметить, что очистке поверхности полупроводниковых пластин путем их обработки в полирующих травителях предшествует обязательное обезжиривание поверхности.

Для ряда травителей энергия активации химической реакции на порядок и более превышает энергию активации, определяющую скорость диффузии реагента. В этом случае скорость травления определяется скоростью химической реакции :

(5)

где и - концентрации реагирующих веществ; R - универсальная газовая постоянная; а и b - показатели, численно равные коэффициентам в уравнении химической реакции.

Поскольку энергия активации химической реакции зависит от неоднородности поверхности, скорость травления чувствительна к состоянию поверхности. Так как различные кристаллографические плоскости структуры кремния имеют разное значение , то скорость травления зависит от ориентации пластин, а также от температуры.

* Травители, для которых контролирующей стадией является химическая реакция, называются селективными.

В качестве селективных травителей пластин кремния используют водные растворы щелочей (например, NaOH, КОН) и гидразин гидрат '.

Для селективных травителей характерная разница скоростей травления в различных кристаллографических направлениях достигает одного порядка и более. Так, для щелочных травителей изменение скорости травления соответствует схеме (100) >(110)> (111).

Травление с большой разницей скоростей травления в различных кристаллографических направлениях называют анизотропным.

ГАУЯ (Gauja) , река в Латвии. 460 км, площадь бассейна 8,9 тыс. км2. Средний расход воды 78 м3/с. Впадает в Рижский зал. На Гауйе - города Стренчи, Валмиера, Цесис, Сигулда.

БОЛЬШОЙ МЕНДЕРЕС (Buyuk Menderes) , река на западе Турции. 380 км, площадь бассейна 23,9 тыс. км2. Начинается на Анатолийском плоскогорье, впадает в Эгейское м., образуя дельту. Средний расход воды ок. 90 м3/с. В нижнем течении русло извилисто, поэтому древнегреческое название Большого Мендереса - Меандр стало синонимом речных излучин.

ШУМАУСКАС (Sumauskas) Мотеюс Юозович (1905-82) , литовский политический деятель, Герой Социалистического Труда (1975). В 1925-40 на подпольной работе в Литве. С 1956 председатель Совета Министров Литовской ССР.