ChemStudy

Следует отметить, что очистке поверхности полупроводниковых пластин путем их обработки в полирующих травителях предшествует обязательное обезжиривание поверхности.

Для ряда травителей энергия активации химической реакции на порядок и более превышает энергию активации, определяющую скорость диффузии реагента. В этом случае скорость травления определяется скоростью химической реакции :

(5)

где и - концентрации реагирующих веществ; R - универсальная газовая постоянная; а и b - показатели, численно равные коэффициентам в уравнении химической реакции.

Поскольку энергия активации химической реакции зависит от неоднородности поверхности, скорость травления чувствительна к состоянию поверхности. Так как различные кристаллографические плоскости структуры кремния имеют разное значение , то скорость травления зависит от ориентации пластин, а также от температуры.

* Травители, для которых контролирующей стадией является химическая реакция, называются селективными.

В качестве селективных травителей пластин кремния используют водные растворы щелочей (например, NaOH, КОН) и гидразин гидрат '.

Для селективных травителей характерная разница скоростей травления в различных кристаллографических направлениях достигает одного порядка и более. Так, для щелочных травителей изменение скорости травления соответствует схеме (100) >(110)> (111).

Травление с большой разницей скоростей травления в различных кристаллографических направлениях называют анизотропным.

ЭКЛЕКТИЗМ (эклектика) (от греч . eklektikos - выбирающий), механическое соединение разнородных, часто противоположных принципов, взглядов, теорий, художественных элементов и т. п.; в архитектуре и изобразительном искусстве сочетание разнородных стилевых элементов или произвольный выбор стилистического оформления для зданий или художественных изделий, имеющих качественно иные смысл и назначение (использование исторических стилей в архитектуре и художественной промышленности 19 в.).

ЭЗОП Клодий , древнеримский актер-трагик (1 в. до н. э.). Друг Цицерона, которого учил дикции. Владел искусством эмоционально-психологического воздействия на зрителя.

ОБЩИННАЯ ТЕОРИЯ , в историографии 19 в. (создатель Г. Л. Маурер). Исходным пунктом аграрной эволюции и всего строя западноевропейского средневековья считала общину (марку).