ChemStudy

Следует отметить, что очистке поверхности полупроводниковых пластин путем их обработки в полирующих травителях предшествует обязательное обезжиривание поверхности.

Для ряда травителей энергия активации химической реакции на порядок и более превышает энергию активации, определяющую скорость диффузии реагента. В этом случае скорость травления определяется скоростью химической реакции :

(5)

где и - концентрации реагирующих веществ; R - универсальная газовая постоянная; а и b - показатели, численно равные коэффициентам в уравнении химической реакции.

Поскольку энергия активации химической реакции зависит от неоднородности поверхности, скорость травления чувствительна к состоянию поверхности. Так как различные кристаллографические плоскости структуры кремния имеют разное значение , то скорость травления зависит от ориентации пластин, а также от температуры.

* Травители, для которых контролирующей стадией является химическая реакция, называются селективными.

В качестве селективных травителей пластин кремния используют водные растворы щелочей (например, NaOH, КОН) и гидразин гидрат '.

Для селективных травителей характерная разница скоростей травления в различных кристаллографических направлениях достигает одного порядка и более. Так, для щелочных травителей изменение скорости травления соответствует схеме (100) >(110)> (111).

Травление с большой разницей скоростей травления в различных кристаллографических направлениях называют анизотропным.

ВЛАСТАРЬ Матфей (ум . ок. 1360), византийский канонист, монах в Фессалониках. Автор Синтагмы - наиболее полного свода канонического права Восточной церкви, появившегося в 1335 и вскоре переведенного на сербский язык.

ЭРИТРОДЕРМИЯ (от греч . erythros - красный и derma - кожа), воспаление значительной части кожного покрова (покраснение, отечность, шелушение, зуд), развивающееся первично или на фоне имеющегося дерматоза (экземы и др.).

ТАНДЕМ (англ . tandem),..1) расположение однородных устройств (цилиндров поршневых машин, насосов и т. д.) последовательно по одной оси. Напр., в 2- или 3-цилиндровой паровой тандем-машине все поршни связаны с одним общим штоком и шатуном и работают на один общий кривошип...2) Двухместный 2-колесный велосипед с двойной сблокированной передачей...3) То же, что перезарядный ускоритель.