ChemStudy

Следует отметить, что очистке поверхности полупроводниковых пластин путем их обработки в полирующих травителях предшествует обязательное обезжиривание поверхности.

Для ряда травителей энергия активации химической реакции на порядок и более превышает энергию активации, определяющую скорость диффузии реагента. В этом случае скорость травления определяется скоростью химической реакции :

(5)

где и - концентрации реагирующих веществ; R - универсальная газовая постоянная; а и b - показатели, численно равные коэффициентам в уравнении химической реакции.

Поскольку энергия активации химической реакции зависит от неоднородности поверхности, скорость травления чувствительна к состоянию поверхности. Так как различные кристаллографические плоскости структуры кремния имеют разное значение , то скорость травления зависит от ориентации пластин, а также от температуры.

* Травители, для которых контролирующей стадией является химическая реакция, называются селективными.

В качестве селективных травителей пластин кремния используют водные растворы щелочей (например, NaOH, КОН) и гидразин гидрат '.

Для селективных травителей характерная разница скоростей травления в различных кристаллографических направлениях достигает одного порядка и более. Так, для щелочных травителей изменение скорости травления соответствует схеме (100) >(110)> (111).

Травление с большой разницей скоростей травления в различных кристаллографических направлениях называют анизотропным.

АМПЕЛОПСИС , то же, что виноградовник.

ЦИНИЗМ (от греч . kynismos - учение киников), нигилистическое отношение к человеческой культуре и общепринятым правилам нравственности; см. также Аморализм.

УЗГЕН , город в Киргизии, Ошская обл., на р. Карадарья, в 44 км от ж.-д. ст. Карасу-Узбекский (Кара-Суу). 35,2 тыс. жителей (1991). Заводы: сухого молока, минеральных вод; производство ковров и др. Возник во 2-1 вв. до н. э. Минарет (11 в.) и три купольных мавзолея (11-12 вв.).