ChemStudy

Следует отметить, что очистке поверхности полупроводниковых пластин путем их обработки в полирующих травителях предшествует обязательное обезжиривание поверхности.

Для ряда травителей энергия активации химической реакции на порядок и более превышает энергию активации, определяющую скорость диффузии реагента. В этом случае скорость травления определяется скоростью химической реакции :

(5)

где и - концентрации реагирующих веществ; R - универсальная газовая постоянная; а и b - показатели, численно равные коэффициентам в уравнении химической реакции.

Поскольку энергия активации химической реакции зависит от неоднородности поверхности, скорость травления чувствительна к состоянию поверхности. Так как различные кристаллографические плоскости структуры кремния имеют разное значение , то скорость травления зависит от ориентации пластин, а также от температуры.

* Травители, для которых контролирующей стадией является химическая реакция, называются селективными.

В качестве селективных травителей пластин кремния используют водные растворы щелочей (например, NaOH, КОН) и гидразин гидрат '.

Для селективных травителей характерная разница скоростей травления в различных кристаллографических направлениях достигает одного порядка и более. Так, для щелочных травителей изменение скорости травления соответствует схеме (100) >(110)> (111).

Травление с большой разницей скоростей травления в различных кристаллографических направлениях называют анизотропным.

АГДАМ , город (с 1828) в Азербайджане. Железнодорожная станция. 39,2 тыс. жителей (1991). Виноделие, металлообработка, ковроткачество. Театр. Основан в 1741.

ДЖОКЬЯКАРТА , город в Индонезии, на о. Ява. Выделен в особую административную единицу. 2,9 млн. жителей (1990, с пригородами). Кустарное производство ткани батик, художественных изделий. Университеты. Дворец султана Джокьякарта (18 в.), в окрестностях - Прамбанан (селение с архитектурными культовыми комплексами 8-9 вв.), святилище Боробудур.

ЗЛАТОГЛАЗИКИ (пестряки) , род мух семейства слепней. Глаза с металлическим отливом (отсюда название). Длина 7-12 мм. Ок. 250 видов, распространены широко. Переносчики возбудителей сибирской язвы, туляремии, инфекционной анемии лошадей и др., а также паразитических червей, напр. филярий.