ChemStudy

Следует отметить, что очистке поверхности полупроводниковых пластин путем их обработки в полирующих травителях предшествует обязательное обезжиривание поверхности.

Для ряда травителей энергия активации химической реакции на порядок и более превышает энергию активации, определяющую скорость диффузии реагента. В этом случае скорость травления определяется скоростью химической реакции :

(5)

где и - концентрации реагирующих веществ; R - универсальная газовая постоянная; а и b - показатели, численно равные коэффициентам в уравнении химической реакции.

Поскольку энергия активации химической реакции зависит от неоднородности поверхности, скорость травления чувствительна к состоянию поверхности. Так как различные кристаллографические плоскости структуры кремния имеют разное значение , то скорость травления зависит от ориентации пластин, а также от температуры.

* Травители, для которых контролирующей стадией является химическая реакция, называются селективными.

В качестве селективных травителей пластин кремния используют водные растворы щелочей (например, NaOH, КОН) и гидразин гидрат '.

Для селективных травителей характерная разница скоростей травления в различных кристаллографических направлениях достигает одного порядка и более. Так, для щелочных травителей изменение скорости травления соответствует схеме (100) >(110)> (111).

Травление с большой разницей скоростей травления в различных кристаллографических направлениях называют анизотропным.

ДАЛЬСКИЙ (наст . фам. Нестеренко) Владимир Михайлович (р. 1912), украинский актер, народный артист СССР (1960). На сцене с 1931. С 1957 в Украинском театре им. Франко (Киев).

ЦАНДЕР Фридрих Артурович (1887-1933) , ученый и изобретатель, один из пионеров ракетной техники в СССР. Создал реактивные двигатели ОР-1 и ОР-2. Разрабатывал проект ракеты "ГИРД-Х".

ЦЫБИН Павел Владимирович (р . 1905), конструктор авиационной и ракетно-космической техники. В 1940-48 главный конструктор ряда авиационных заводов. Создатель т. н. "летающих лабораторий" ЛЛ-1 и ЛЛ-2 для исследования аэродинамики самолетов на трансзвуковых скоростях, разрабатывал конструкцию сверхзвукового дальнего бомбардировщика. С 1961 заместитель С. П. Королева.