ChemStudy

Следует отметить, что очистке поверхности полупроводниковых пластин путем их обработки в полирующих травителях предшествует обязательное обезжиривание поверхности.

Для ряда травителей энергия активации химической реакции на порядок и более превышает энергию активации, определяющую скорость диффузии реагента. В этом случае скорость травления определяется скоростью химической реакции :

(5)

где и - концентрации реагирующих веществ; R - универсальная газовая постоянная; а и b - показатели, численно равные коэффициентам в уравнении химической реакции.

Поскольку энергия активации химической реакции зависит от неоднородности поверхности, скорость травления чувствительна к состоянию поверхности. Так как различные кристаллографические плоскости структуры кремния имеют разное значение , то скорость травления зависит от ориентации пластин, а также от температуры.

* Травители, для которых контролирующей стадией является химическая реакция, называются селективными.

В качестве селективных травителей пластин кремния используют водные растворы щелочей (например, NaOH, КОН) и гидразин гидрат '.

Для селективных травителей характерная разница скоростей травления в различных кристаллографических направлениях достигает одного порядка и более. Так, для щелочных травителей изменение скорости травления соответствует схеме (100) >(110)> (111).

Травление с большой разницей скоростей травления в различных кристаллографических направлениях называют анизотропным.

РИБО (Ribot) Теодюль Арман (1839-1916) , французский психолог и психопатолог, родоначальник экспериментальных исследований высших психических процессов во Франции. Директор 1-й Французской психологической лаборатории (1889), основатель и редактор журнала "Ревю филозофик". Труды по проблемам памяти, произвольного внимания, чувств и др.

БОЛОТОВ Андрей Тимофеевич (1738-1833) , русский писатель и естествоиспытатель, один из основоположников отечественной агрономической науки. Труд "О разделении полей" (1771) - первое руководство по введению севооборотов и организации сельскохозяйственных территорий. Вывел сорта плодовых культур. Разработал принципы лесоразведения и лесоиспользования. Мемуары "Жизнь и приключения Андрея Болотова..." (т. 1-4, 1870-73).

ЕФИМОК (польск . joachymik), 1) русское название западноевропейского серебряного талера, из которого в 17 - нач. 18 вв. в России чеканились серебряные монеты; в 1704 принят за весовую (массы) единицу серебряного рубля. 2) Русский серебряный рубль, чеканенный в 1654.