ChemStudy

Следует отметить, что очистке поверхности полупроводниковых пластин путем их обработки в полирующих травителях предшествует обязательное обезжиривание поверхности.

Для ряда травителей энергия активации химической реакции на порядок и более превышает энергию активации, определяющую скорость диффузии реагента. В этом случае скорость травления определяется скоростью химической реакции :

(5)

где и - концентрации реагирующих веществ; R - универсальная газовая постоянная; а и b - показатели, численно равные коэффициентам в уравнении химической реакции.

Поскольку энергия активации химической реакции зависит от неоднородности поверхности, скорость травления чувствительна к состоянию поверхности. Так как различные кристаллографические плоскости структуры кремния имеют разное значение , то скорость травления зависит от ориентации пластин, а также от температуры.

* Травители, для которых контролирующей стадией является химическая реакция, называются селективными.

В качестве селективных травителей пластин кремния используют водные растворы щелочей (например, NaOH, КОН) и гидразин гидрат '.

Для селективных травителей характерная разница скоростей травления в различных кристаллографических направлениях достигает одного порядка и более. Так, для щелочных травителей изменение скорости травления соответствует схеме (100) >(110)> (111).

Травление с большой разницей скоростей травления в различных кристаллографических направлениях называют анизотропным.

ОСА (Объединение современных архитекторов) , в 1925-31, всероссийское общество (А. А. Веснин, А. К. Буров, М. Я. Гинзбург, А. С. Никольский, Г. М. Орлов, И. И. Леонидов, И. А. Голосов), выступавшее под лозунгами конструктивизма и функционализма; пропагандировало использование новейших конструкций и материалов, типизацию и индустриализацию строительства.

АНДО-ЦЕЗСКИЕ НАРОДЫ (андо-дидойские народы) , группа народов в Российской Федерации, на западе Дагестана - андийцы, ахвахцы, багулалы, ботлихцы, годоберинцы, каратины, тиндалы, чамалалы, цезы (дидойцы), бежтины, гунзебцы, гинухцы, хваршины. Языки дагестанской ветви. Верующие - мусульмане-сунниты.

ЕГИПТОЛОГИЯ , область востоковедения, изучающая язык и письмо, историю, культуру и археологические памятники Др. Египта.