Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластин Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластинСтраница 11
Следует отметить, что очистке поверхности полупроводниковых пластин путем их обработки в полирующих травителях предшествует обязательное обезжиривание поверхности.
Для ряда травителей энергия активации химической реакции 
на порядок и более превышает энергию активации, определяющую скорость диффузии реагента. В этом случае скорость травления определяется скоростью химической реакции 
:
(5)
где 
и 
- концентрации реагирующих веществ; R - универсальная газовая постоянная; а и b - показатели, численно равные коэффициентам в уравнении химической реакции.
Поскольку энергия активации химической реакции зависит от неоднородности поверхности, скорость травления чувствительна к состоянию поверхности. Так как различные кристаллографические плоскости структуры кремния имеют разное значение , то скорость травления зависит от ориентации пластин, а также от температуры.
* Травители, для которых контролирующей стадией является химическая реакция, называются селективными.
В качестве селективных травителей пластин кремния используют водные растворы щелочей (например, NaOH, КОН) и гидразин гидрат '
.
Для селективных травителей характерная разница скоростей травления в различных кристаллографических направлениях достигает одного порядка и более. Так, для щелочных травителей изменение скорости травления соответствует схеме (100) >(110)> (111).
Травление с большой разницей скоростей травления в различных кристаллографических направлениях называют анизотропным.
ЧЕРДЫНСКАЯ ДОРОГА , путь в Сибирь в 16 в. через Ср. Урал (от г. Чердынь по р. Вишера, далее волоком к рекам Ивдель - Лозьва - Тавда - Тобол). Заменен Бабиновской дорогой.
СПОРТКОМПЛЕКС "ОЛИМПИЙСКИЙ" , комплекс спортивных сооружений в Москве (1980; архитекторы М. В. Посохин, Б. И. Тхор; Ленинская премия 1982). Включает крупнейший в России крытый стадион (трибуны на 45 тыс. мест) и крытый бассейн (15 тыс. мест). Построен с учетом требований к олимпийским стадионам.
ЦИКЛОПИЯ (от греч . Kyklops - циклоп, одноглазый великан), порок развития; оба глазных яблока полностью или частично слиты и помещаются в одной глазнице.