ChemStudy

Следует отметить, что очистке поверхности полупроводниковых пластин путем их обработки в полирующих травителях предшествует обязательное обезжиривание поверхности.

Для ряда травителей энергия активации химической реакции на порядок и более превышает энергию активации, определяющую скорость диффузии реагента. В этом случае скорость травления определяется скоростью химической реакции :

(5)

где и - концентрации реагирующих веществ; R - универсальная газовая постоянная; а и b - показатели, численно равные коэффициентам в уравнении химической реакции.

Поскольку энергия активации химической реакции зависит от неоднородности поверхности, скорость травления чувствительна к состоянию поверхности. Так как различные кристаллографические плоскости структуры кремния имеют разное значение , то скорость травления зависит от ориентации пластин, а также от температуры.

* Травители, для которых контролирующей стадией является химическая реакция, называются селективными.

В качестве селективных травителей пластин кремния используют водные растворы щелочей (например, NaOH, КОН) и гидразин гидрат '.

Для селективных травителей характерная разница скоростей травления в различных кристаллографических направлениях достигает одного порядка и более. Так, для щелочных травителей изменение скорости травления соответствует схеме (100) >(110)> (111).

Травление с большой разницей скоростей травления в различных кристаллографических направлениях называют анизотропным.

ХОСКИНС (Hoskins) Боб (р . 1942), английский актер. Играл в лондонских театрах и на Бродвее. В кино мировую известность приобрел после фильма Д. Маккензи "Долгая Страстная пятница" (1980). В 1986 получил премию Британской киноакадемии за картину Н. Джордана "Мона Лиза". Сыграл главную роль в фильме Р. Земекиса "Кто подставил Кролика Роджера?", Л. Берию в "Ближнем круге" А. С. Михалкова-Кончаловского и др.

ГРИГОРОВИЧ Константин Петрович (1886-1943) , российский металлург, один из основателей отечественной научной школы электрометаллургов, профессор (1921). Основные труды по производству электростали и ферросплавов.

БАКТРА , город (6 в. до н. э. - 16 в. н. э.), столица Бактрии, затем Кушанского царства. Ныне городище Балх у одноименного города в Сев. Афганистане.