ChemStudy

Следует отметить, что очистке поверхности полупроводниковых пластин путем их обработки в полирующих травителях предшествует обязательное обезжиривание поверхности.

Для ряда травителей энергия активации химической реакции на порядок и более превышает энергию активации, определяющую скорость диффузии реагента. В этом случае скорость травления определяется скоростью химической реакции :

(5)

где и - концентрации реагирующих веществ; R - универсальная газовая постоянная; а и b - показатели, численно равные коэффициентам в уравнении химической реакции.

Поскольку энергия активации химической реакции зависит от неоднородности поверхности, скорость травления чувствительна к состоянию поверхности. Так как различные кристаллографические плоскости структуры кремния имеют разное значение , то скорость травления зависит от ориентации пластин, а также от температуры.

* Травители, для которых контролирующей стадией является химическая реакция, называются селективными.

В качестве селективных травителей пластин кремния используют водные растворы щелочей (например, NaOH, КОН) и гидразин гидрат '.

Для селективных травителей характерная разница скоростей травления в различных кристаллографических направлениях достигает одного порядка и более. Так, для щелочных травителей изменение скорости травления соответствует схеме (100) >(110)> (111).

Травление с большой разницей скоростей травления в различных кристаллографических направлениях называют анизотропным.

ЧАГИН Борис Александрович (1899-1987) , российский философ, член-корреспондент АН СССР (1960). Основные труды по истории марксистско-ленинской философии и социологии, историческому материализму.

ЖЕЛЕЗНОВОДСК , город (с 1917) в Российской Федерации, Ставропольский кр. Железнодорожная станция. 29,4 тыс. жителей (1992). Бальнеогрязевой курорт в группе курортов Кавказских Минеральных Вод. Расположен на склонах г. Железной, на высоте 630-660 м. Розлив минеральных вод ("Славяновская", "Смирновская" и др.). Иловая грязь Тамбуканского оз. Как курорт развивается с нач. 19 в.

ЧЕРНОТЕЛКИ , семейство жуков. Длина 2-50 мм. Св. 15 тыс. видов. Распространены широко. Личинки некоторых видов (ложнопроволочники) повреждают культурные растения и продукты.