ChemStudy

Следует отметить, что очистке поверхности полупроводниковых пластин путем их обработки в полирующих травителях предшествует обязательное обезжиривание поверхности.

Для ряда травителей энергия активации химической реакции на порядок и более превышает энергию активации, определяющую скорость диффузии реагента. В этом случае скорость травления определяется скоростью химической реакции :

(5)

где и - концентрации реагирующих веществ; R - универсальная газовая постоянная; а и b - показатели, численно равные коэффициентам в уравнении химической реакции.

Поскольку энергия активации химической реакции зависит от неоднородности поверхности, скорость травления чувствительна к состоянию поверхности. Так как различные кристаллографические плоскости структуры кремния имеют разное значение , то скорость травления зависит от ориентации пластин, а также от температуры.

* Травители, для которых контролирующей стадией является химическая реакция, называются селективными.

В качестве селективных травителей пластин кремния используют водные растворы щелочей (например, NaOH, КОН) и гидразин гидрат '.

Для селективных травителей характерная разница скоростей травления в различных кристаллографических направлениях достигает одного порядка и более. Так, для щелочных травителей изменение скорости травления соответствует схеме (100) >(110)> (111).

Травление с большой разницей скоростей травления в различных кристаллографических направлениях называют анизотропным.

ЭКВИВАЛЕНТ (от позднелат . aequivalens - равнозначный, равноценный), предмет или количество, равноценные, равнозначные или соответствующие в каком-либо отношении другим и могущие служить им выражением или заменой.

ЮРАЙ ДАЛМАТИНЕЦ (Juraj Dalmatinac) Джорджо да Себенико (Giorgio dа Sebenico) (1410-е гг . - 1473), далматинский архитектор и скульптор Раннего Возрождения. Главная работа - строительство (1444-73) и скульптурный декор собора в Шибенике.

ПЕСТРЯНКИ , семейство дневных или сумеречных бабочек. Крылья в размахе до 5 см, передние - обычно пестрые. Ок. 1000 видов. Распространены широко. Гусеницы питаются листьями трав, реже деревьев; некоторые, напр. виноградная пестрянка, вредят культурным растениям.