ChemStudy

Следует отметить, что очистке поверхности полупроводниковых пластин путем их обработки в полирующих травителях предшествует обязательное обезжиривание поверхности.

Для ряда травителей энергия активации химической реакции на порядок и более превышает энергию активации, определяющую скорость диффузии реагента. В этом случае скорость травления определяется скоростью химической реакции :

(5)

где и - концентрации реагирующих веществ; R - универсальная газовая постоянная; а и b - показатели, численно равные коэффициентам в уравнении химической реакции.

Поскольку энергия активации химической реакции зависит от неоднородности поверхности, скорость травления чувствительна к состоянию поверхности. Так как различные кристаллографические плоскости структуры кремния имеют разное значение , то скорость травления зависит от ориентации пластин, а также от температуры.

* Травители, для которых контролирующей стадией является химическая реакция, называются селективными.

В качестве селективных травителей пластин кремния используют водные растворы щелочей (например, NaOH, КОН) и гидразин гидрат '.

Для селективных травителей характерная разница скоростей травления в различных кристаллографических направлениях достигает одного порядка и более. Так, для щелочных травителей изменение скорости травления соответствует схеме (100) >(110)> (111).

Травление с большой разницей скоростей травления в различных кристаллографических направлениях называют анизотропным.

ЧЕТНОСТЬ , квантовое число, характеризующее симметрию волновой функции физической системы или элементарной частицы при некоторых дискретных преобразованиях: если при таком преобразовании ? не меняет знака, то четность положительна, если меняет, то четность отрицательна. Для абсолютно нейтральных частиц (или систем), которые тождественны своим античастицам, кроме четности пространственной, можно ввести понятия зарядовой четности и комбинированной четности (для остальных частиц замена их античастицами меняет саму волновую функцию).

АКАШЕВ Константин Васильевич (1888-1931) , первый главком авиации СССР. Учился в Италии и в Высшем училище аэронавтики в Париже, в начале 1-й мировой войны вступил добровольцем в ВВС Франции. Вернулся в Россию в 1915, работал на авиационном заводе. В декабре 1917 назначен председателем Всероссийской коллегии по управлению воздушным флотом, в 1918 был командующим воздушными силами 5-й армии, с декабря 1918 назначен начальником авиации воздухоплавания Южного фронта. В последние годы жизни работал на руководящих должностях на авиационных заводах Ленинграда и Москвы. Репрессирован.

СУХИНИЧИ , город (с 1840) в Российской Федерации, Калужская обл. Железнодорожный узел. 18,5 тыс. жителей (1993). Заводы: автоматических линий, радиоламповый; пищевая, легкая промышленность.