ChemStudy

Следует отметить, что очистке поверхности полупроводниковых пластин путем их обработки в полирующих травителях предшествует обязательное обезжиривание поверхности.

Для ряда травителей энергия активации химической реакции на порядок и более превышает энергию активации, определяющую скорость диффузии реагента. В этом случае скорость травления определяется скоростью химической реакции :

(5)

где и - концентрации реагирующих веществ; R - универсальная газовая постоянная; а и b - показатели, численно равные коэффициентам в уравнении химической реакции.

Поскольку энергия активации химической реакции зависит от неоднородности поверхности, скорость травления чувствительна к состоянию поверхности. Так как различные кристаллографические плоскости структуры кремния имеют разное значение , то скорость травления зависит от ориентации пластин, а также от температуры.

* Травители, для которых контролирующей стадией является химическая реакция, называются селективными.

В качестве селективных травителей пластин кремния используют водные растворы щелочей (например, NaOH, КОН) и гидразин гидрат '.

Для селективных травителей характерная разница скоростей травления в различных кристаллографических направлениях достигает одного порядка и более. Так, для щелочных травителей изменение скорости травления соответствует схеме (100) >(110)> (111).

Травление с большой разницей скоростей травления в различных кристаллографических направлениях называют анизотропным.

УГОРСКАЯ РУСЬ , историческое название Закарпатской Украины, бывшей с кон. 11 в. под властью Венгрии.

ШАБО (Chabod) Федерико (1901-60) , итальянский историк, последователь Б. Кроче. Участник Движения Сопротивления. Труды по эпохе Возрождения, новой и новейшей истории Италии.

ЯПОНЦЫ (самоназвание - нихондзин) , нация, основное население Японии (123,6 млн. человек). Общая численность 125,6 млн. человек (1992). Язык японский. Верующие в основном синтоисты и буддисты, есть христиане и последователи синкретических культов.