Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластин Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластинСтраница 11
Следует отметить, что очистке поверхности полупроводниковых пластин путем их обработки в полирующих травителях предшествует обязательное обезжиривание поверхности.
Для ряда травителей энергия активации химической реакции 
на порядок и более превышает энергию активации, определяющую скорость диффузии реагента. В этом случае скорость травления определяется скоростью химической реакции 
:
(5)
где 
и 
- концентрации реагирующих веществ; R - универсальная газовая постоянная; а и b - показатели, численно равные коэффициентам в уравнении химической реакции.
Поскольку энергия активации химической реакции зависит от неоднородности поверхности, скорость травления чувствительна к состоянию поверхности. Так как различные кристаллографические плоскости структуры кремния имеют разное значение , то скорость травления зависит от ориентации пластин, а также от температуры.
* Травители, для которых контролирующей стадией является химическая реакция, называются селективными.
В качестве селективных травителей пластин кремния используют водные растворы щелочей (например, NaOH, КОН) и гидразин гидрат '
.
Для селективных травителей характерная разница скоростей травления в различных кристаллографических направлениях достигает одного порядка и более. Так, для щелочных травителей изменение скорости травления соответствует схеме (100) >(110)> (111).
Травление с большой разницей скоростей травления в различных кристаллографических направлениях называют анизотропным.
ИСКУССТВЕННАЯ РАДИОАКТИВНОСТЬ , радиоактивность, наблюдаемая у нуклидов, образующихся в результате ядерных реакций. Открыта И. и Ф. Жолио-Кюри в 1934.
НАЛКОВСКАЯ (Nalkowska) Зофья (1884-1954) , польская писательница. Социально-психологический роман "Граница" (1935), "Узлы жизни" (1948); "Дневники периода войны" (изд. 1970).
КОНТРОЛЬНЫЙ ФИЛЬМ , кинофильм для испытания и регулировки кинокопировальных и кинопроекционных аппаратов. Контрольные фильмы содержат кадры с изображением испытательных таблиц, штриховых и радиальных мир, а также контрольные фотографические и магнитные фонограммы.