ChemStudy

Следует отметить, что очистке поверхности полупроводниковых пластин путем их обработки в полирующих травителях предшествует обязательное обезжиривание поверхности.

Для ряда травителей энергия активации химической реакции на порядок и более превышает энергию активации, определяющую скорость диффузии реагента. В этом случае скорость травления определяется скоростью химической реакции :

(5)

где и - концентрации реагирующих веществ; R - универсальная газовая постоянная; а и b - показатели, численно равные коэффициентам в уравнении химической реакции.

Поскольку энергия активации химической реакции зависит от неоднородности поверхности, скорость травления чувствительна к состоянию поверхности. Так как различные кристаллографические плоскости структуры кремния имеют разное значение , то скорость травления зависит от ориентации пластин, а также от температуры.

* Травители, для которых контролирующей стадией является химическая реакция, называются селективными.

В качестве селективных травителей пластин кремния используют водные растворы щелочей (например, NaOH, КОН) и гидразин гидрат '.

Для селективных травителей характерная разница скоростей травления в различных кристаллографических направлениях достигает одного порядка и более. Так, для щелочных травителей изменение скорости травления соответствует схеме (100) >(110)> (111).

Травление с большой разницей скоростей травления в различных кристаллографических направлениях называют анизотропным.

АПОЛЛОНИЙ ПЕРГСКИЙ (ок . 260 - 170 до н. э.), древнегреческий математик и астроном, ученик Евклида. В основном труде "Конические сечения" (8 книг) дал полное изложение их теории. Для объяснения видимого движения планет построил теорию эпициклов. Идеи Аполлона Пергского оказали большое влияние на развитие естествознания нового времени.

ЧЕЛЕК , город (с 1981) в Узбекистане, Самаркандская обл., в 36 км от ж.-д. узла Самарканд. 13,11 тыс. жителей (1990). Хлопкоочистительный завод.

КРАСНОВСКИЙ Александр Абрамович (1913-93) , российский биохимик и биофизик, академик РАН (1991; академик АН СССР с 1976). Исследовал первичные стадии фотосинтеза, открыл реакцию обратимого фотохимического восстановления хлорофилла (реакция Красновского). Государственная премия СССР (1991).