ChemStudy

Следует отметить, что очистке поверхности полупроводниковых пластин путем их обработки в полирующих травителях предшествует обязательное обезжиривание поверхности.

Для ряда травителей энергия активации химической реакции на порядок и более превышает энергию активации, определяющую скорость диффузии реагента. В этом случае скорость травления определяется скоростью химической реакции :

(5)

где и - концентрации реагирующих веществ; R - универсальная газовая постоянная; а и b - показатели, численно равные коэффициентам в уравнении химической реакции.

Поскольку энергия активации химической реакции зависит от неоднородности поверхности, скорость травления чувствительна к состоянию поверхности. Так как различные кристаллографические плоскости структуры кремния имеют разное значение , то скорость травления зависит от ориентации пластин, а также от температуры.

* Травители, для которых контролирующей стадией является химическая реакция, называются селективными.

В качестве селективных травителей пластин кремния используют водные растворы щелочей (например, NaOH, КОН) и гидразин гидрат '.

Для селективных травителей характерная разница скоростей травления в различных кристаллографических направлениях достигает одного порядка и более. Так, для щелочных травителей изменение скорости травления соответствует схеме (100) >(110)> (111).

Травление с большой разницей скоростей травления в различных кристаллографических направлениях называют анизотропным.

ЧУБУК ,..1) то же, что снежный баран...2) Полый стержень (обычно деревянный), на который насаживается курительная трубка.

"ПРОЦЕСС 50-ти" , 21.2-14.3.1877 над членами группы "москвичей" (в т. ч. 14 рабочих, 16 женщин). Яркие, обличительные речи П. А. Алексеева, С. И. Бардиной. Приговор: 10 человек к различным срокам каторги, 26 к сибирской ссылке, 11 к тюремному заключению.

ШЕСТОПЕР , древнерусское оружие (15-17 вв.), род булавы с головкой из 6 металлических ребер-пластин ("перьев").