ChemStudy

Следует отметить, что очистке поверхности полупроводниковых пластин путем их обработки в полирующих травителях предшествует обязательное обезжиривание поверхности.

Для ряда травителей энергия активации химической реакции на порядок и более превышает энергию активации, определяющую скорость диффузии реагента. В этом случае скорость травления определяется скоростью химической реакции :

(5)

где и - концентрации реагирующих веществ; R - универсальная газовая постоянная; а и b - показатели, численно равные коэффициентам в уравнении химической реакции.

Поскольку энергия активации химической реакции зависит от неоднородности поверхности, скорость травления чувствительна к состоянию поверхности. Так как различные кристаллографические плоскости структуры кремния имеют разное значение , то скорость травления зависит от ориентации пластин, а также от температуры.

* Травители, для которых контролирующей стадией является химическая реакция, называются селективными.

В качестве селективных травителей пластин кремния используют водные растворы щелочей (например, NaOH, КОН) и гидразин гидрат '.

Для селективных травителей характерная разница скоростей травления в различных кристаллографических направлениях достигает одного порядка и более. Так, для щелочных травителей изменение скорости травления соответствует схеме (100) >(110)> (111).

Травление с большой разницей скоростей травления в различных кристаллографических направлениях называют анизотропным.

БАВАРИЯ (Bayern) , земля в Германии. 70,6 тыс. км2. Население 11,4 млн. человек (1991). Адм. ц. - Мюнхен. В средние века герцогство (образовано в 6 в. баварами), с 1623 курфюршество, в 1806-1918 королевство, затем земля. В 1180-1918 в Баварии правили Виттельсбахи.

ЭЛЕКТРОФОРЕЗ (от электро ... и греч. phoresis - несение, перенесение) (катафорез), движение частиц, находящихся во взвешенном состоянии в жидкой или газообразной среде, под действием внешнего электрического поля. Одно из электрокинетических явлений, на котором основано, напр., улавливание частиц дыма или пыли. Явление, обратное электрофорезу, - возникновение т. н. потенциала осаждения, т. е. разности электрических потенциалов при оседании содержащихся в среде заряженных дисперсных частиц.

ЛАБИАЛИЗАЦИЯ (от средневековой . лат. labialis - губной) (огубление), произнесение звуков речи с округлением вытянутых вперед губ.