ChemStudy

Следует отметить, что очистке поверхности полупроводниковых пластин путем их обработки в полирующих травителях предшествует обязательное обезжиривание поверхности.

Для ряда травителей энергия активации химической реакции на порядок и более превышает энергию активации, определяющую скорость диффузии реагента. В этом случае скорость травления определяется скоростью химической реакции :

(5)

где и - концентрации реагирующих веществ; R - универсальная газовая постоянная; а и b - показатели, численно равные коэффициентам в уравнении химической реакции.

Поскольку энергия активации химической реакции зависит от неоднородности поверхности, скорость травления чувствительна к состоянию поверхности. Так как различные кристаллографические плоскости структуры кремния имеют разное значение , то скорость травления зависит от ориентации пластин, а также от температуры.

* Травители, для которых контролирующей стадией является химическая реакция, называются селективными.

В качестве селективных травителей пластин кремния используют водные растворы щелочей (например, NaOH, КОН) и гидразин гидрат '.

Для селективных травителей характерная разница скоростей травления в различных кристаллографических направлениях достигает одного порядка и более. Так, для щелочных травителей изменение скорости травления соответствует схеме (100) >(110)> (111).

Травление с большой разницей скоростей травления в различных кристаллографических направлениях называют анизотропным.

ЧЕНЦОВ Николай Гаврилович (1882-1968) , российский конструктор, инженер, профессор (1950). Ученик Н. Е. Жуковского, один из основателей ЦАГИ. Труды по динамике воздушного винта, разработка графического метода построения эпюра изгибающих моментов для сжатоизогнутых балок ("круги Ченцова"), оптического метода определения напряжений в упругих телах сложной формы.

ТРАНСПОНИРОВАННАЯ МАТРИЦА , матрица, получающаяся из данной (прямоугольной или квадратной) матрицы после замены строк, соответствующими столбцами. Обозначение транспонированной матрицы , где a'ik=aki для любых i и k.

ТЕРАПИЯ (от греч . therapeia - лечение) (внутренние болезни), область медицины, изучающая внутренние болезни, одна из древнейших и основных врачебных специальностей. Научная терапия развивается с 19 в. на основе достижений главным образом патологической анатомии, физиологии, бактериологии, применения объективных методов исследования больного, научно-педагогической деятельности Ж. Корвизара, Р. Лаэннека (Франция), Р. Брайта (Великобритания), И. Л. Шенлейна, Й. Шкоды, Л. Траубе (Германия, Австрия), С. П. Боткина, Г. А. Захарьина (Россия) и др. В 20 в. усилился процесс дифференциации терапии с выделением самостоятельных разделов (гастроэнтерология, нефрология и др.). Терапией называют также консервативные (в отличие от хирургических) методы лечения.