ChemStudy

Следует отметить, что очистке поверхности полупроводниковых пластин путем их обработки в полирующих травителях предшествует обязательное обезжиривание поверхности.

Для ряда травителей энергия активации химической реакции на порядок и более превышает энергию активации, определяющую скорость диффузии реагента. В этом случае скорость травления определяется скоростью химической реакции :

(5)

где и - концентрации реагирующих веществ; R - универсальная газовая постоянная; а и b - показатели, численно равные коэффициентам в уравнении химической реакции.

Поскольку энергия активации химической реакции зависит от неоднородности поверхности, скорость травления чувствительна к состоянию поверхности. Так как различные кристаллографические плоскости структуры кремния имеют разное значение , то скорость травления зависит от ориентации пластин, а также от температуры.

* Травители, для которых контролирующей стадией является химическая реакция, называются селективными.

В качестве селективных травителей пластин кремния используют водные растворы щелочей (например, NaOH, КОН) и гидразин гидрат '.

Для селективных травителей характерная разница скоростей травления в различных кристаллографических направлениях достигает одного порядка и более. Так, для щелочных травителей изменение скорости травления соответствует схеме (100) >(110)> (111).

Травление с большой разницей скоростей травления в различных кристаллографических направлениях называют анизотропным.

СТЕБНИК город (с 1978) на Украине , Львовская обл. Железнодорожная станция. 22,2 тыс. жителей (1991). Калийный завод.

ОРЛОВ Владимир Митрофанович (1895-1938) , российский военачальник, флагман флота 1-го ранга (1935). В 1926-30 командовал Морскими Силами Черного м., в 1931-37 начальник Морских Сил РККА. В 1931-34 член Реввоенсовета СССР. Репрессирован; реабилитирован посмертно.

ШИМАНОВСКАЯ (Szymanowska) Мария (1789-1831) , польская пианистка и композитор. Фортепианные пьесы (ок. 100), в т. ч. танцы; песни на слова польских поэтов.