ChemStudy

Следует отметить, что очистке поверхности полупроводниковых пластин путем их обработки в полирующих травителях предшествует обязательное обезжиривание поверхности.

Для ряда травителей энергия активации химической реакции на порядок и более превышает энергию активации, определяющую скорость диффузии реагента. В этом случае скорость травления определяется скоростью химической реакции :

(5)

где и - концентрации реагирующих веществ; R - универсальная газовая постоянная; а и b - показатели, численно равные коэффициентам в уравнении химической реакции.

Поскольку энергия активации химической реакции зависит от неоднородности поверхности, скорость травления чувствительна к состоянию поверхности. Так как различные кристаллографические плоскости структуры кремния имеют разное значение , то скорость травления зависит от ориентации пластин, а также от температуры.

* Травители, для которых контролирующей стадией является химическая реакция, называются селективными.

В качестве селективных травителей пластин кремния используют водные растворы щелочей (например, NaOH, КОН) и гидразин гидрат '.

Для селективных травителей характерная разница скоростей травления в различных кристаллографических направлениях достигает одного порядка и более. Так, для щелочных травителей изменение скорости травления соответствует схеме (100) >(110)> (111).

Травление с большой разницей скоростей травления в различных кристаллографических направлениях называют анизотропным.

ХОД ЧАСОВ , изменение поправки часов за определенный промежуток времени (напр., за сутки). При отрицательном ходе часы уходят вперед, при положительном - все более отстают.

ЦОЦИЛИ (социль) , индейский народ группы майя в Мексике (шт. Чьяпас). 125 тыс. человек (1992). Верующие - католики.

"СОЦИАЛ-ДЕМОКРАТ" ,1) литературно-политическое обозрение, издание группы "Освобождение труда", 1890-92, Лондон, Женева, 4 книги.2) Нелегальная газета, орган ЦК РСДРП, фактически была органом меньшевиков; 17(30).9 - 18.11(1.12). 1906, Санкт-Петербург, 7 номеров.3) Нелегальная газета, Центральный орган РСДРП, с 1912 - Центральный орган большевиков, февраль 1908 - январь 1917, Вильно, Санкт-Петербург, Париж, Женева, 58 номеров. Фактический руководитель и с декабря 1911 редактор - В. И. Ленин.4) Ежедневная газета, орган Московского областного бюро, Московского комитета, позднее Московского окружкома РСДРП(б), март 1917 - март 1918, Москва. Слилась с газетой "Правда".