ChemStudy

Следует отметить, что очистке поверхности полупроводниковых пластин путем их обработки в полирующих травителях предшествует обязательное обезжиривание поверхности.

Для ряда травителей энергия активации химической реакции на порядок и более превышает энергию активации, определяющую скорость диффузии реагента. В этом случае скорость травления определяется скоростью химической реакции :

(5)

где и - концентрации реагирующих веществ; R - универсальная газовая постоянная; а и b - показатели, численно равные коэффициентам в уравнении химической реакции.

Поскольку энергия активации химической реакции зависит от неоднородности поверхности, скорость травления чувствительна к состоянию поверхности. Так как различные кристаллографические плоскости структуры кремния имеют разное значение , то скорость травления зависит от ориентации пластин, а также от температуры.

* Травители, для которых контролирующей стадией является химическая реакция, называются селективными.

В качестве селективных травителей пластин кремния используют водные растворы щелочей (например, NaOH, КОН) и гидразин гидрат '.

Для селективных травителей характерная разница скоростей травления в различных кристаллографических направлениях достигает одного порядка и более. Так, для щелочных травителей изменение скорости травления соответствует схеме (100) >(110)> (111).

Травление с большой разницей скоростей травления в различных кристаллографических направлениях называют анизотропным.

НОВОРЖЕВ , город (с 1777) в Российской Федерации, Псковская обл., в 41 км. от ж.-д ст. Сущево. 5,1 тыс. жителей (1992). Льнообрабатывающий, молочно-маслодельный и др. заводы.

ЗАКАНИ Убейд (кон . 13 в. - между 1366-70), персидский поэт. Сатирические трактаты ("Этика аристократии", 1340); сказка "Мышь и кот".

ИСЛАНДСКИЙ ЯЗЫК , официальный язык Исландии, относится к скандинавским языкам, входящим в германскую группу индоевропейской семьи языков. Письменность на основе латинского алфавита.