ChemStudy

Следует отметить, что очистке поверхности полупроводниковых пластин путем их обработки в полирующих травителях предшествует обязательное обезжиривание поверхности.

Для ряда травителей энергия активации химической реакции на порядок и более превышает энергию активации, определяющую скорость диффузии реагента. В этом случае скорость травления определяется скоростью химической реакции :

(5)

где и - концентрации реагирующих веществ; R - универсальная газовая постоянная; а и b - показатели, численно равные коэффициентам в уравнении химической реакции.

Поскольку энергия активации химической реакции зависит от неоднородности поверхности, скорость травления чувствительна к состоянию поверхности. Так как различные кристаллографические плоскости структуры кремния имеют разное значение , то скорость травления зависит от ориентации пластин, а также от температуры.

* Травители, для которых контролирующей стадией является химическая реакция, называются селективными.

В качестве селективных травителей пластин кремния используют водные растворы щелочей (например, NaOH, КОН) и гидразин гидрат '.

Для селективных травителей характерная разница скоростей травления в различных кристаллографических направлениях достигает одного порядка и более. Так, для щелочных травителей изменение скорости травления соответствует схеме (100) >(110)> (111).

Травление с большой разницей скоростей травления в различных кристаллографических направлениях называют анизотропным.

ЛИВР (франц . livre, от лат. libra - римский фунт), 1) денежная единица Франции до введения в 1799 франка. Ливр обращался также в других странах, в т. ч. в Великобритании. 2) Мера массы во Франции до введения метрической системы (1 ливр - 489,5 г).

КОРНУОЛЛ (Cornwall) , полуостров на юго-западе Великобритании. Омывается проливом Ла-Манш и Бристольским заливом. Длина ок. 150 км. Высота до 621 м. Берега сильно изрезаны. Леса, верещатники, торфяники. Порт Плимут.

ТАДЖ-МАХАЛ , памятник индийской архитектуры, мавзолей султана Шах-Джахана и его жены Мумтаз-Махал (ок. 1630-52, архитектор, вероятно, Устад Иса и др.) на берегу р. Джамна, в г. Агра, 5-купольное сооружение (высота 74 м) на платформе, с 4 минаретами по углам. Стены выложены белым мрамором с инкрустацией из самоцветов. К Тадж-Махалу примыкает сад с фонтанами и бассейном.