ChemStudy

Следует отметить, что очистке поверхности полупроводниковых пластин путем их обработки в полирующих травителях предшествует обязательное обезжиривание поверхности.

Для ряда травителей энергия активации химической реакции на порядок и более превышает энергию активации, определяющую скорость диффузии реагента. В этом случае скорость травления определяется скоростью химической реакции :

(5)

где и - концентрации реагирующих веществ; R - универсальная газовая постоянная; а и b - показатели, численно равные коэффициентам в уравнении химической реакции.

Поскольку энергия активации химической реакции зависит от неоднородности поверхности, скорость травления чувствительна к состоянию поверхности. Так как различные кристаллографические плоскости структуры кремния имеют разное значение , то скорость травления зависит от ориентации пластин, а также от температуры.

* Травители, для которых контролирующей стадией является химическая реакция, называются селективными.

В качестве селективных травителей пластин кремния используют водные растворы щелочей (например, NaOH, КОН) и гидразин гидрат '.

Для селективных травителей характерная разница скоростей травления в различных кристаллографических направлениях достигает одного порядка и более. Так, для щелочных травителей изменение скорости травления соответствует схеме (100) >(110)> (111).

Травление с большой разницей скоростей травления в различных кристаллографических направлениях называют анизотропным.

ЦУСИМСКОЕ ТЕЧЕНИЕ , теплое течение в Тихом ок., проходящее с юга на север в восточной части Японского м.; ветвь течения Куросио.

ВЕРХОВНОЕ ГЛАВНОКОМАНДОВАНИЕ (Верховное Командование) , высший орган стратегического руководства вооруженными силами государства (коалиции государств), создаваемый обычно в военное время и возглавляемый Верховным главнокомандующим (Верховным командующим). В годы Великой Отечественной войны Верховное Главнокомандование Вооруженных Сил СССР именовалось Ставкой Верховного Главнокомандования.

ЭНДЖОМЕН (перс . - собрание, общество), орган местной власти, городского или областного самоуправления в Иране. Демократические энджомены возникли в Тебризе во время Иранской революции 1905-11; действовали также в 1918-21 и 1945-46.