Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластин
Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластин
Страница 11

Следует отметить, что очистке поверхности полупроводниковых пластин путем их обработки в полирующих травителях предшествует обязательное обезжиривание поверхности.

Для ряда травителей энергия активации химической реакции на порядок и более превышает энергию активации, определяющую скорость диффузии реагента. В этом случае скорость травления определяется скоростью химической реакции :

(5)

где и - концентрации реагирующих веществ; R - универсальная газовая постоянная; а и b - показатели, численно равные коэффициентам в уравнении химической реакции.

Поскольку энергия активации химической реакции зависит от неоднородности поверхности, скорость травления чувствительна к состоянию поверхности. Так как различные кристаллографические плоскости структуры кремния имеют разное значение , то скорость травления зависит от ориентации пластин, а также от температуры.

* Травители, для которых контролирующей стадией является химическая реакция, называются селективными.

В качестве селективных травителей пластин кремния используют водные растворы щелочей (например, NaOH, КОН) и гидразин гидрат '.

Для селективных травителей характерная разница скоростей травления в различных кристаллографических направлениях достигает одного порядка и более. Так, для щелочных травителей изменение скорости травления соответствует схеме (100) >(110)> (111).

Травление с большой разницей скоростей травления в различных кристаллографических направлениях называют анизотропным.

Страницы: 7 8 9 10 11 12 13 14 15

ЛИПИТ-ИШТАР , царь I династии государства Исин ок. 1934-24 до н. э. При нем составлен свод законов (дошли фрагменты), оказавших, видимо, влияние на законы Хаммурапи.

ДПАУПАДИ , в индуистской мифологии героиня, персонаж "Махабхараты", жена братьев-Пандавов.

ХАРАТЬЯН Дмитрий Вадимович (р . 1960), российский актер. Кумир молодежи на рубеже 80-90-х гг. Дебютировал в фильме В. В. Меньшова "Розыгрыш" (1976). Наибольший успех принесла Харатьяну роль Алеши Корсака в телесериалах "Гардемарины, вперед!" (1987), "Виват, гардемарины!" и "Гардемарины-III". Снимался также в фильмах "Черный квадрат", "Мордашка", "Жених из Майами" и др.