ChemStudy

Следует отметить, что очистке поверхности полупроводниковых пластин путем их обработки в полирующих травителях предшествует обязательное обезжиривание поверхности.

Для ряда травителей энергия активации химической реакции на порядок и более превышает энергию активации, определяющую скорость диффузии реагента. В этом случае скорость травления определяется скоростью химической реакции :

(5)

где и - концентрации реагирующих веществ; R - универсальная газовая постоянная; а и b - показатели, численно равные коэффициентам в уравнении химической реакции.

Поскольку энергия активации химической реакции зависит от неоднородности поверхности, скорость травления чувствительна к состоянию поверхности. Так как различные кристаллографические плоскости структуры кремния имеют разное значение , то скорость травления зависит от ориентации пластин, а также от температуры.

* Травители, для которых контролирующей стадией является химическая реакция, называются селективными.

В качестве селективных травителей пластин кремния используют водные растворы щелочей (например, NaOH, КОН) и гидразин гидрат '.

Для селективных травителей характерная разница скоростей травления в различных кристаллографических направлениях достигает одного порядка и более. Так, для щелочных травителей изменение скорости травления соответствует схеме (100) >(110)> (111).

Травление с большой разницей скоростей травления в различных кристаллографических направлениях называют анизотропным.

ЦЕНА , количество денег (или других товаров и услуг), уплачиваемое и получаемое за единицу товара или услуги. В рыночной экономике конкретные цены складываются в зависимости от спроса и предложения, а также др. факторов конъюнктуры.

ЛИБЕРМАН (Liebermann) Макс (1847-1935) , немецкий живописец. Продолжая демократические традиции немецкого реализма, изображал сцены труда ("Консервщицы", 1879); с 1890-х гг. писал преимущественно импрессионистические пейзажи ("Капустное поле", 1912).

ГАЛФВИНД (нидерл . halfwind, букв. - полветра), курс парусного судна, при котором его продольная ось перпендикулярна направлению ветра.