ChemStudy

4) Гетероэпитаксиальные структуры типа кремний на сапфире.

Однослойные пластины кремния р- и n-типов получают резкой слитков монокристаллического кремния диаметром 50-150 мм на пластины толщиной 0,25-0,4 мм. Промышленностью выпускаются слитки монокристаллического кремния, которые в зависимости от типа электропроводности и значения удельного сопротивления подразделяются на пять групп.

Подготовка пластин, получаемых из слитков монокристаллического кремния, является одним из важнейших этапов производства ИМС и включает в себя следующие операции: ориентацию слитков по кристаллографическим осям, резку слитков на пластины, шлифование, полирование, травление и очистку поверхностей от загрязнений различных типов, приобретённых на предыдущих этапах обработки.

3. Виды загрязнений поверхности подложек и пластин.

3.1. Возникновение загрязнений.

Электрические характеристики ИМС и их надежность во многом обусловливаются степенью совершенства кристаллической решетки и чистотой обрабатываемой поверхности пластин и подложек. Поэтому обязательным условием получения бездефектных полупроводниковых и пленочных структур является отсутствие на поверхности пластин и подложек нарушенного слоя и каких-либо загрязнений.

Как известно, нарушенный приповерхностный слой полупроводниковых пластин является следствием их механической обработки. Используемые при подготовке пластин методы шлифования, полирования и травления позволяют удалить нарушенный слой (рис. 1).

Рис. 1.

Изменение толщины нарушенного слоя при механической обработке монокристаллических полупроводниковых пластин:

1) после резки; 2) после шлифования; 3)после полирования; 4) после травления.

Однако атомы материала пластины (подложки), расположенные на ее поверхности, имеют намного больше ненасыщенных связей, чем атомы в объеме. Этим объясняются высокие адсорбционные свойства и химическая активность поверхности пластин.

В условиях производства ИМС пластины и подложки соприкасаются с различными средами, и полностью защитить их от адсорбции различного рода примесей невозможно. В то же время получить идеально чистую поверхность (без посторонних примесей) тоже практически невозможно. Поэтому применяемое в технике понятие «чистая поверхность» имеет относительный характер. Технологически чистой считают поверхность, которая имеет концентрацию примесей, не препятствующую воспроизводимому получению заданных значений и стабильности параметров ИМС. Допустимая концентрация примесей на поверхности пластин зависит от сложности ИМС и способа ее формирования, в худшем случае она не должна превышать .

ЗАРНИЦКАЯ (наст . фам. Азгуриди) Ефросинья Филипповна (1867-1936), украинская актриса. На сцене с 1889, в труппах М. Л. Кропивницкого и др. В 1919-24 в Петроградском украинском театре им. Шевченко, в 1927-30 в харьковском Краснозаводском театре.

"ИЗОБРАЗИТЕЛЬНОЕ ИСКУССТВО" , издательство, Москва. Основано в 1930. Художественно-изобразительная продукция (репродукции, альбомы, открытки и пр.), книги по искусству.

ОСТЕР Григорий Бенционович (р . 1947), русский детский писатель. Сказки "Как хорошо дарить подарки" (1975), "Котенок по имени Гав", "38 попугаев" (обе 1978), "Бабушка удава", "Зарядка для хвоста" (обе 1993), "Остров Эскадо" (1994) и др., многие из которых легли в основу мультфильмов. В стихотворном сборнике "Вредные советы" (1990) - пародийное "перевертывание" расхожих стереотипов, постулатов педагогической морали. Тематически нетрадиционные задачники по математике и физике для детей и взрослых. Пьесы для кукольных театров.