Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластин
Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластин
Страница 1

Содержание

Стр.

1. Введение 2

2. Подложки интегральных микросхем и их назначение 3

2.1. Назначение подложек 3

2.2. Кремний - основной материал полупроводникового производства 4

3. Виды загрязнений поверхности подложек и пластин 5

3.1. Возникновение загрязнений 5

3.2. Источники загрязнений 6

3.3. Виды загрязнений 6

4. Методы удаления загрязнений 8

4.1. Классификация методов очистки пластин и подложек 8

4.2. Способы жидкостной обработки пластин и подложек 9

4.2.1. Обезжиривание 9

4.2.2. Травление 10

4.2.3. Промывание пластин и подложек 13

4.2.4. Интенсификация процессов очистки 13

4.3. Способы сухой очистки пластин и подложек 15

4.3.1. Термообработка 15

4.3.2. Газовое травление 16

4.3.3. Ионное травление 17

4.3.4. Плазмохимическое травление 17

4.4. Типовые процессы очистки пластин и подложек 19

5. Заключение 20

6. Список литературы 20

1. Введение

Современный этап развития радиоэлектроники характеризуется широким применением интегральных микросхем (ИМС) во всех радиотехнических системах и аппаратуре. Это связано со значительным усложнением требований и задач, решаемых радиоэлектронной аппаратурой, что привело к росту числа элементов в ней. За каждое десятилетие число элементов в аппаратуре увеличивается в 5-20 раз. Разрабатываемые сейчас сложные комплексы аппаратуры и системы содержат миллионы и десятки миллионов элементов. В этих условиях исключительно важное значение приобретают проблемы повышения надежности аппаратуры и ее элементов, микроминиатюризации электро-радиокомпонентов и комплексной миниатюризации аппаратуры. Все эти проблемы успешно решает микроэлектроника.

Страницы: 1 2 3 4 5

ЧЕРЕМУХИН Алексей Михайлович (1895-1958) , российский ученый. Конструктор и испытатель первых отечественных вертолетов (1927-35). Руководил расчетами прочности самолетов в КБ А. Н. Туполева (с 1938). Ленинская премия (1957). Государственная премия СССР (1949, 1952).

ЗВЕРООБРАЗНЫЕ ПРЕСМЫКАЮЩИЕСЯ (тероморфы , синапсиды), подкласс вымерших пресмыкающихся. Длина до 6 м. Жили в позднем карбоне - средней юре; были широко распространены. Ок. 60 семейств, ок. 1000 видов. Руководящие ископаемые.

ЕВРОПЕЙСКИЙ ИНВЕСТИЦИОННЫЙ БАНК , (European Investment Bank), межправительственная кредитная организация Европейского сообщества. Основана в 1958. Правление в Люксембурге. Оплаченный капитал и резервы 15,3 млрд. ЭКЮ (1991). 4 представительства за рубежом. Сумма баланса 14,3 млрд. ЭКЮ (1991).