Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластин
Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластин
Страница 1

Содержание

Стр.

1. Введение 2

2. Подложки интегральных микросхем и их назначение 3

2.1. Назначение подложек 3

2.2. Кремний - основной материал полупроводникового производства 4

3. Виды загрязнений поверхности подложек и пластин 5

3.1. Возникновение загрязнений 5 Смотрите как подключить принтер hp laserjet 1018 на сайте.

3.2. Источники загрязнений 6

3.3. Виды загрязнений 6

4. Методы удаления загрязнений 8

4.1. Классификация методов очистки пластин и подложек 8

4.2. Способы жидкостной обработки пластин и подложек 9

4.2.1. Обезжиривание 9

4.2.2. Травление 10

4.2.3. Промывание пластин и подложек 13

4.2.4. Интенсификация процессов очистки 13

4.3. Способы сухой очистки пластин и подложек 15

4.3.1. Термообработка 15

4.3.2. Газовое травление 16

4.3.3. Ионное травление 17

4.3.4. Плазмохимическое травление 17

4.4. Типовые процессы очистки пластин и подложек 19

5. Заключение 20

6. Список литературы 20

1. Введение

Современный этап развития радиоэлектроники характеризуется широким применением интегральных микросхем (ИМС) во всех радиотехнических системах и аппаратуре. Это связано со значительным усложнением требований и задач, решаемых радиоэлектронной аппаратурой, что привело к росту числа элементов в ней. За каждое десятилетие число элементов в аппаратуре увеличивается в 5-20 раз. Разрабатываемые сейчас сложные комплексы аппаратуры и системы содержат миллионы и десятки миллионов элементов. В этих условиях исключительно важное значение приобретают проблемы повышения надежности аппаратуры и ее элементов, микроминиатюризации электро-радиокомпонентов и комплексной миниатюризации аппаратуры. Все эти проблемы успешно решает микроэлектроника.

Страницы: 1 2 3 4 5

"ТОЕТА МОТОР" , японская автомобильная компания. Основана в 1937. Объем продаж 50,8 млрд. дол., чистая прибыль 2,3 млрд. дол., выпуск автомобилей 3,6 млн. штук - 30% производства в стране, число занятых 86 тыс. человек (кон. 1980-х гг.).

ПОНТИФИКАТ (лат . pontificatus), в католической церкви власть и период правления римского папы. Один из титулов папы - понтифекс (pontifex - первосвященник).

БРОМИДЫ ПРИРОДНЫЕ , группа редких минералов, галогенные соединения серебра. Главные минералы: бромаргирит (AgBr), эмболит Ag(Cl, Br). Зерна желтого или желто-зеленого цвета, кристаллы с ярким алмазным блеском. Твердость 2-2,5; плотность от 5,7 (эмболит) до 6,4 г/см3 (бромаргирит). Встречаются в сульфидных серебросодержащих месторождениях.