Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластин
Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластин
Страница 1

Содержание

Стр.

1. Введение 2

2. Подложки интегральных микросхем и их назначение 3

2.1. Назначение подложек 3

2.2. Кремний - основной материал полупроводникового производства 4

3. Виды загрязнений поверхности подложек и пластин 5

3.1. Возникновение загрязнений 5

3.2. Источники загрязнений 6

3.3. Виды загрязнений 6

4. Методы удаления загрязнений 8

4.1. Классификация методов очистки пластин и подложек 8

4.2. Способы жидкостной обработки пластин и подложек 9

4.2.1. Обезжиривание 9

4.2.2. Травление 10

4.2.3. Промывание пластин и подложек 13

4.2.4. Интенсификация процессов очистки 13

4.3. Способы сухой очистки пластин и подложек 15

4.3.1. Термообработка 15

4.3.2. Газовое травление 16

4.3.3. Ионное травление 17

4.3.4. Плазмохимическое травление 17

4.4. Типовые процессы очистки пластин и подложек 19

5. Заключение 20

6. Список литературы 20

1. Введение

Современный этап развития радиоэлектроники характеризуется широким применением интегральных микросхем (ИМС) во всех радиотехнических системах и аппаратуре. Это связано со значительным усложнением требований и задач, решаемых радиоэлектронной аппаратурой, что привело к росту числа элементов в ней. За каждое десятилетие число элементов в аппаратуре увеличивается в 5-20 раз. Разрабатываемые сейчас сложные комплексы аппаратуры и системы содержат миллионы и десятки миллионов элементов. В этих условиях исключительно важное значение приобретают проблемы повышения надежности аппаратуры и ее элементов, микроминиатюризации электро-радиокомпонентов и комплексной миниатюризации аппаратуры. Все эти проблемы успешно решает микроэлектроника.

Страницы: 1 2 3 4 5

АЛЕКСАНДРОВ Вениамин Вениаминович (1937-91) , российский спортсмен, заслуженный мастер спорта (1963). Чемпион Олимпийских игр (1964, 1968), мира (1963-68), Европы (1958-60, 1963-68), СССР (1956, 1958-61, 1963-66, 1968) по хоккею с шайбой.

УПРУГАЯ ЛИНИЯ (в сопротивлении материалов) , условное название кривой, форму которой принимает ось стержня (балки) при изгибе.

НАНКИН (Наньцзин) , город в Китае, порт в низовьях р. Янцзы, административный центр пров. Цзянсу. 2,1 млн. жителей (1990). Машиностроение, металлургия, химическая, текстильная, пищевая промышленность. Филиал АН, университет, исторический и городской музеи, обсерватория, ботанический сад. Мавзолей Сунь Ятсена. Нанкин основан в 472 до н. э. В 1368-1421 столица Китая. В 1853-64 столица государства повстанцев-тайпинов. В 1927-37 и 1946-49 местопребывание правительства Китайской республики. В 1937-45 под японской оккупацией. Каменная пагода Шэлита в монастыре. Цисясы (10 в.), "уляндянь" (кирпичный "безбалочный храм"; 1398) в монастыре. Лингусы.