ChemStudy

Содержание

Стр.

1. Введение 2

2. Подложки интегральных микросхем и их назначение 3

2.1. Назначение подложек 3

2.2. Кремний - основной материал полупроводникового производства 4

3. Виды загрязнений поверхности подложек и пластин 5

3.1. Возникновение загрязнений 5

3.2. Источники загрязнений 6

3.3. Виды загрязнений 6

4. Методы удаления загрязнений 8

4.1. Классификация методов очистки пластин и подложек 8

4.2. Способы жидкостной обработки пластин и подложек 9

4.2.1. Обезжиривание 9

4.2.2. Травление 10

4.2.3. Промывание пластин и подложек 13

4.2.4. Интенсификация процессов очистки 13

4.3. Способы сухой очистки пластин и подложек 15

4.3.1. Термообработка 15

4.3.2. Газовое травление 16

4.3.3. Ионное травление 17

4.3.4. Плазмохимическое травление 17

4.4. Типовые процессы очистки пластин и подложек 19

5. Заключение 20

6. Список литературы 20

1. Введение

Современный этап развития радиоэлектроники характеризуется широким применением интегральных микросхем (ИМС) во всех радиотехнических системах и аппаратуре. Это связано со значительным усложнением требований и задач, решаемых радиоэлектронной аппаратурой, что привело к росту числа элементов в ней. За каждое десятилетие число элементов в аппаратуре увеличивается в 5-20 раз. Разрабатываемые сейчас сложные комплексы аппаратуры и системы содержат миллионы и десятки миллионов элементов. В этих условиях исключительно важное значение приобретают проблемы повышения надежности аппаратуры и ее элементов, микроминиатюризации электро-радиокомпонентов и комплексной миниатюризации аппаратуры. Все эти проблемы успешно решает микроэлектроника.

БАЗИФИКАЦИЯ , 1) природный процесс обогащения горных пород Fe, Mg и Ca с одновременным выносом Si, Na и др.; горные породы, подвергшиеся базификации, отличаются повышенным содержанием цветных минералов (пироксены, амфиболы и др.)...2) базификация, или "океанизация", - гипотетический процесс полной физико-химической переработки "гранитного" слоя земной коры и превращения его в "базальтовый" слой.

КОНДОТЬЕРЫ (итал . condottieri), в Италии 14-16 вв. предводители наемных военных отрядов, находившихся на службе у отдельных государей и римских пап. Вербовались сначала преимущественно из иноземных рыцарей, с кон. 14 в. - из числа итальянских. Нередко кондотьеры захватывали власть в городах, основывая синьории (напр., Франческо Сфорца).

ИВАНОВСКИЙ Евгений Филиппович (1918-91) , генерал армии (1972), Герой Советского Союза (1985). Участник Великой Отечественной войны. С 1968 командующий войсками Московского ВО, с 1972 главнокомандующий Группой советских войск в Германии, с 1980 командующий войсками Белорусского ВО. В 1985-89 главнокомандующий Сухопутными войсками - заместитель министра обороны СССР.