ChemStudy

Содержание

Стр.

1. Введение 2

2. Подложки интегральных микросхем и их назначение 3

2.1. Назначение подложек 3

2.2. Кремний - основной материал полупроводникового производства 4

3. Виды загрязнений поверхности подложек и пластин 5

3.1. Возникновение загрязнений 5

3.2. Источники загрязнений 6

3.3. Виды загрязнений 6

4. Методы удаления загрязнений 8

4.1. Классификация методов очистки пластин и подложек 8

4.2. Способы жидкостной обработки пластин и подложек 9

4.2.1. Обезжиривание 9

4.2.2. Травление 10

4.2.3. Промывание пластин и подложек 13

4.2.4. Интенсификация процессов очистки 13

4.3. Способы сухой очистки пластин и подложек 15

4.3.1. Термообработка 15

4.3.2. Газовое травление 16

4.3.3. Ионное травление 17

4.3.4. Плазмохимическое травление 17

4.4. Типовые процессы очистки пластин и подложек 19

5. Заключение 20

6. Список литературы 20

1. Введение

Современный этап развития радиоэлектроники характеризуется широким применением интегральных микросхем (ИМС) во всех радиотехнических системах и аппаратуре. Это связано со значительным усложнением требований и задач, решаемых радиоэлектронной аппаратурой, что привело к росту числа элементов в ней. За каждое десятилетие число элементов в аппаратуре увеличивается в 5-20 раз. Разрабатываемые сейчас сложные комплексы аппаратуры и системы содержат миллионы и десятки миллионов элементов. В этих условиях исключительно важное значение приобретают проблемы повышения надежности аппаратуры и ее элементов, микроминиатюризации электро-радиокомпонентов и комплексной миниатюризации аппаратуры. Все эти проблемы успешно решает микроэлектроника.

БРЮХОНОГИЕ (улитки) , класс моллюсков. Голова обычно с щупальцами и парой глаз. Раковина (высота от 0,5 мм до 70 см) спирально закручена, у некоторых отсутствует. 3 подкласса: переднежаберные, легочные, заднежаберные; ок. 90 тыс. видов. Морские, пресноводные и наземные формы. Многие брюхоногие промежуточные хозяева паразитических червей, ряд наземных форм повреждают садовые и огородные культуры, некоторые - объект промысла.

НИНГИРСУ (шумерск . владыка Гирсу), в шумерской мифологии один из богов-покровителей земледелия; образ Нингирсу сливался с образом бога Нинурты.

ЕКАБПИЛС (Jekabpils) (до 1917 официальное название Якобштадт) , город в Латвии, на р. Даугава. Железнодорожный узел (Крустпилс). 31,4 тыс. жителей (1989). Пищевая, легкая промышленность. Производство стройматериалов. Филиал Рижского завода "Автоэлектроприбор". Краеведческий и художественный музей. Известен с 13 в.