Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластин
Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластин
Страница 1

Содержание

Стр.

1. Введение 2

2. Подложки интегральных микросхем и их назначение 3

2.1. Назначение подложек 3

2.2. Кремний - основной материал полупроводникового производства 4

3. Виды загрязнений поверхности подложек и пластин 5

3.1. Возникновение загрязнений 5 Таблетки для слуха Отовикс healthlist.ru.

3.2. Источники загрязнений 6

3.3. Виды загрязнений 6

4. Методы удаления загрязнений 8

4.1. Классификация методов очистки пластин и подложек 8

4.2. Способы жидкостной обработки пластин и подложек 9

4.2.1. Обезжиривание 9

4.2.2. Травление 10

4.2.3. Промывание пластин и подложек 13

4.2.4. Интенсификация процессов очистки 13

4.3. Способы сухой очистки пластин и подложек 15

4.3.1. Термообработка 15

4.3.2. Газовое травление 16

4.3.3. Ионное травление 17

4.3.4. Плазмохимическое травление 17

4.4. Типовые процессы очистки пластин и подложек 19

5. Заключение 20

6. Список литературы 20

1. Введение

Современный этап развития радиоэлектроники характеризуется широким применением интегральных микросхем (ИМС) во всех радиотехнических системах и аппаратуре. Это связано со значительным усложнением требований и задач, решаемых радиоэлектронной аппаратурой, что привело к росту числа элементов в ней. За каждое десятилетие число элементов в аппаратуре увеличивается в 5-20 раз. Разрабатываемые сейчас сложные комплексы аппаратуры и системы содержат миллионы и десятки миллионов элементов. В этих условиях исключительно важное значение приобретают проблемы повышения надежности аппаратуры и ее элементов, микроминиатюризации электро-радиокомпонентов и комплексной миниатюризации аппаратуры. Все эти проблемы успешно решает микроэлектроника.

Страницы: 1 2 3 4 5

ЕВАНГЕЛИЯ (от греч . euangelion - благая весть), раннехристианские сочинения, повествующие о земной жизни Иисуса Христа. Разделяются на канонические - Марка, Матфея, Луки, Иоанна (включенные церковью в состав Нового Завета) - и апокрифические. Церковь приписывает авторство Евангелий апостолам либо их ученикам. Вероятно, Евангелия складывались в кон. 1 - нач. 2 вв.

ХОЛЬБЕЙН (Гольбейн) (Holbein) Ханс Младший (1497 или 1498-1543) , немецкий живописец и график. Представитель Возрождения. Точным, четким по характеристике портретам (живопись и рисунок), картинам на религиозные темы, гравюрам свойственны реализм, ясность и величие искусства Ренессанса, монументальная цельность композиции ("Мертвый Христос", 1521; "Моретт", ок. 1534-35).

ШТУР (Stur) Людовит (1815-56) , идеолог и руководитель словацкого национального движения 40-х гг., поэт, филолог. Участник Пражского восстания 1848. В 1848 перешел на позиции австрославизма. Разработал (вместе с Й. Гурбаном и М. Годжей) нормы словацкого литературного языка, его грамматику. Один из авторов концепции "славянской взаимности". Воззрения Штура стали идейно-художественой основой словацкого романтизма 40-70-х гг. 19 в. Философско-политические трактаты, труды по славянскому фольклору; патриотическая лирика и эпика.