ChemStudy

Наиболее распространенными и эффективными способами жидкостной обработки в промышленных условиях являются ультразвуковая очистка в растворителях, химико-динамическое травление, анодно-механическое травление.

При ультразвуковой очистке (рис. 3) пластины 1 помещают в ванну с водой (эмульсией) 2, на которую передаются вибрации через вибратор 3 от генератора 4. Механические вибрации способствуют перемешиванию растворителя и тем самым ускоряют процесс.

Рис. 3

Принцип химико-динамического травления заключается в интенсивном перемешивании травителя непосредственно над поверхностью пластин (рис.4). При вращении приводом 1 фторопластового барабана 2 травитель 3 омывает пластины 4, закрепленные на специальном диске 5, чем достигается хорошее перемешивание травителя и равномерное травление.

Рис. 4

В основу анодно-механического травления положено электрохимическое травление, сопровождаемое механическим воздействием (рис. 5). Электролит 2 подается на освещенные мощной лампой 1 (для генерации дырок) пластины 3, которые предварительно закрепляются на аноде 4, и соприкасаются с вращающимся катодным диском 5, содержащим радиальные канавки. При этом скорость электрополировки достигает 400нм/с.

Рис. 5

Особый интерес с точки зрения производительности и качества очистки представляет способ, основанный на возникновении кавитации в пограничном слое очищаемой поверхности. Условия кавитации создают механическим путем (центрифугированием), а в качестве растворителя используют дистиллированную воду с растворенным кислородом.

Способы жидкостной очистки используют на различных стадиях изготовления ИМС.

4.3. Способы сухой очистки пластин и подложек.

Наряду с жидкостной обработкой в технологию изготовления ИМС в последнее время интенсивно внедряются различные способы сухой очистки. Наряду с традиционными термообработкой (отжигом) и газовым травлением успешно используют ионное и |плазмохимическое травление.

4.3.1. Термообработка.

Сущность термообработки состоит в нагреве пластины или подложки до температуры, при которой происходят удаление адсорбированных поверхностью загрязнений, разложение поверхностных загрязнений и испарение летучих соединений.

Отжиг осуществляют в вакуумных или термических установках непосредственно перед проведением основных операций формирования полупроводниковых или пленочных структур.

БИСК Александр Акимович (1883-1973) , русский поэт. Отец французского поэта Алена Боске. Стихи (сборники "Рассыпанное ожерелье", 1912; "Чужое и свое", 1962), отмеченные музыкальностью звучания и строгостью формы, тяготеют к традициям символизма. Переводы из Р. М. Рильке (первые переводы на русский язык), Ж. М. Эредиа, Э. Верхарна и др. Мемуары "Русский Париж 1906-1908 гг." (1963). С 1919 в эмиграции (Болгария, Бельгия, США).

"РУССКАЯ ИСТОРИЧЕСКАЯ БИБЛИОТЕКА" (РИБ) , серия сборников документов и литературных памятников (39 т.). Издавалась Археографической комиссией в 1872-1927. Сочинения А. М. Курбского, Аввакума, документы государственных учреждений, церковных и монастырских архивов до 17 в. включительно и др. Некоторые тома переизданы.

ЯНО-ОЙМЯКОНСКОЕ НАГОРЬЕ , на северо-востоке Сибири, в Якутии; ограничено на юге и западе Верхоянским хр., на северо-востоке системой хр. Черского. Ок. 1100 км. Высота от 400 до 200 м. Месторождения золота, полиметаллических руд.