ChemStudy

Наиболее распространенными и эффективными способами жидкостной обработки в промышленных условиях являются ультразвуковая очистка в растворителях, химико-динамическое травление, анодно-механическое травление.

При ультразвуковой очистке (рис. 3) пластины 1 помещают в ванну с водой (эмульсией) 2, на которую передаются вибрации через вибратор 3 от генератора 4. Механические вибрации способствуют перемешиванию растворителя и тем самым ускоряют процесс.

Рис. 3

Принцип химико-динамического травления заключается в интенсивном перемешивании травителя непосредственно над поверхностью пластин (рис.4). При вращении приводом 1 фторопластового барабана 2 травитель 3 омывает пластины 4, закрепленные на специальном диске 5, чем достигается хорошее перемешивание травителя и равномерное травление.

Рис. 4

В основу анодно-механического травления положено электрохимическое травление, сопровождаемое механическим воздействием (рис. 5). Электролит 2 подается на освещенные мощной лампой 1 (для генерации дырок) пластины 3, которые предварительно закрепляются на аноде 4, и соприкасаются с вращающимся катодным диском 5, содержащим радиальные канавки. При этом скорость электрополировки достигает 400нм/с.

Рис. 5

Особый интерес с точки зрения производительности и качества очистки представляет способ, основанный на возникновении кавитации в пограничном слое очищаемой поверхности. Условия кавитации создают механическим путем (центрифугированием), а в качестве растворителя используют дистиллированную воду с растворенным кислородом.

Способы жидкостной очистки используют на различных стадиях изготовления ИМС.

4.3. Способы сухой очистки пластин и подложек.

Наряду с жидкостной обработкой в технологию изготовления ИМС в последнее время интенсивно внедряются различные способы сухой очистки. Наряду с традиционными термообработкой (отжигом) и газовым травлением успешно используют ионное и |плазмохимическое травление.

4.3.1. Термообработка.

Сущность термообработки состоит в нагреве пластины или подложки до температуры, при которой происходят удаление адсорбированных поверхностью загрязнений, разложение поверхностных загрязнений и испарение летучих соединений.

Отжиг осуществляют в вакуумных или термических установках непосредственно перед проведением основных операций формирования полупроводниковых или пленочных структур.

ЕВАНГЕЛИЯ (от греч . euangelion - благая весть), раннехристианские сочинения, повествующие о земной жизни Иисуса Христа. Разделяются на канонические - Марка, Матфея, Луки, Иоанна (включенные церковью в состав Нового Завета) - и апокрифические. Церковь приписывает авторство Евангелий апостолам либо их ученикам. Вероятно, Евангелия складывались в кон. 1 - нач. 2 вв.

ХРОМОВЫЕ КВАСЦЫ , кристаллогидраты двойных солей типа MeCr(SO4)2 . 12Н2О, где Ме - одновалентный катион (напр., K+ , Na+, NH4+ и др.). Хорошо растворимы в воде. Применяют при дублении кож (отсюда название кожи "хром"), в текстильной промышленности, в фотографии.

СОПДЕТ (Сотис) , в египетской мифологии богиня нового года и разливов Нила, начало которых связано с появлением звезды Сириус; считалась ее персонификацией. Изображалась в виде коровы или женщины с коровьими рогами, отождествлялась с Исидой.