ChemStudy

Наиболее распространенными и эффективными способами жидкостной обработки в промышленных условиях являются ультразвуковая очистка в растворителях, химико-динамическое травление, анодно-механическое травление.

При ультразвуковой очистке (рис. 3) пластины 1 помещают в ванну с водой (эмульсией) 2, на которую передаются вибрации через вибратор 3 от генератора 4. Механические вибрации способствуют перемешиванию растворителя и тем самым ускоряют процесс.

Рис. 3

Принцип химико-динамического травления заключается в интенсивном перемешивании травителя непосредственно над поверхностью пластин (рис.4). При вращении приводом 1 фторопластового барабана 2 травитель 3 омывает пластины 4, закрепленные на специальном диске 5, чем достигается хорошее перемешивание травителя и равномерное травление.

Рис. 4

В основу анодно-механического травления положено электрохимическое травление, сопровождаемое механическим воздействием (рис. 5). Электролит 2 подается на освещенные мощной лампой 1 (для генерации дырок) пластины 3, которые предварительно закрепляются на аноде 4, и соприкасаются с вращающимся катодным диском 5, содержащим радиальные канавки. При этом скорость электрополировки достигает 400нм/с.

Рис. 5

Особый интерес с точки зрения производительности и качества очистки представляет способ, основанный на возникновении кавитации в пограничном слое очищаемой поверхности. Условия кавитации создают механическим путем (центрифугированием), а в качестве растворителя используют дистиллированную воду с растворенным кислородом.

Способы жидкостной очистки используют на различных стадиях изготовления ИМС.

4.3. Способы сухой очистки пластин и подложек.

Наряду с жидкостной обработкой в технологию изготовления ИМС в последнее время интенсивно внедряются различные способы сухой очистки. Наряду с традиционными термообработкой (отжигом) и газовым травлением успешно используют ионное и |плазмохимическое травление.

4.3.1. Термообработка.

Сущность термообработки состоит в нагреве пластины или подложки до температуры, при которой происходят удаление адсорбированных поверхностью загрязнений, разложение поверхностных загрязнений и испарение летучих соединений.

Отжиг осуществляют в вакуумных или термических установках непосредственно перед проведением основных операций формирования полупроводниковых или пленочных структур.

РОССИЙСКОЕ ИНФОРМАЦИОННОЕ АГЕНТСТВО "НОВОСТИ" (РИА "Новости") , государственная информационно-аналитическая организация. Основано в 1993. Учредитель - правительство Российской Федерации. Предшественники: Совинформбюро (1941-61), Агентство печати "Новости" (АПН; 1961-90), Информационное агентство "Новости" (ИАН; 1990-93). Распространяет российскую и иностранную информацию. 50 бюро в зарубежных государствах, 17 представительств в странах СНГ, сеть корпунктов. Издает книги и периодику, готовит телевизионные программы и фотоматериалы.

ТУПАЙИ , семейство полуобезьян отряда приматов (выделяются также в самостоятельный отряд). Длина тела до 25 см, хвоста до 20 см. Близки к лемурам. 18 видов, в тропических и горных дождевых лесах Юго-Вост. Азии.

ХАРДВЕР (англ . hardware от hard - жесткий, твердый и ware - изделие, продукт), конструктивная, материальная часть компьютера, "железо", в противоположность компьютерной программе - софтвера.