ChemStudy

Наиболее распространенными и эффективными способами жидкостной обработки в промышленных условиях являются ультразвуковая очистка в растворителях, химико-динамическое травление, анодно-механическое травление.

При ультразвуковой очистке (рис. 3) пластины 1 помещают в ванну с водой (эмульсией) 2, на которую передаются вибрации через вибратор 3 от генератора 4. Механические вибрации способствуют перемешиванию растворителя и тем самым ускоряют процесс.

Рис. 3

Принцип химико-динамического травления заключается в интенсивном перемешивании травителя непосредственно над поверхностью пластин (рис.4). При вращении приводом 1 фторопластового барабана 2 травитель 3 омывает пластины 4, закрепленные на специальном диске 5, чем достигается хорошее перемешивание травителя и равномерное травление.

Рис. 4

В основу анодно-механического травления положено электрохимическое травление, сопровождаемое механическим воздействием (рис. 5). Электролит 2 подается на освещенные мощной лампой 1 (для генерации дырок) пластины 3, которые предварительно закрепляются на аноде 4, и соприкасаются с вращающимся катодным диском 5, содержащим радиальные канавки. При этом скорость электрополировки достигает 400нм/с.

Рис. 5

Особый интерес с точки зрения производительности и качества очистки представляет способ, основанный на возникновении кавитации в пограничном слое очищаемой поверхности. Условия кавитации создают механическим путем (центрифугированием), а в качестве растворителя используют дистиллированную воду с растворенным кислородом.

Способы жидкостной очистки используют на различных стадиях изготовления ИМС.

4.3. Способы сухой очистки пластин и подложек.

Наряду с жидкостной обработкой в технологию изготовления ИМС в последнее время интенсивно внедряются различные способы сухой очистки. Наряду с традиционными термообработкой (отжигом) и газовым травлением успешно используют ионное и |плазмохимическое травление.

4.3.1. Термообработка.

Сущность термообработки состоит в нагреве пластины или подложки до температуры, при которой происходят удаление адсорбированных поверхностью загрязнений, разложение поверхностных загрязнений и испарение летучих соединений.

Отжиг осуществляют в вакуумных или термических установках непосредственно перед проведением основных операций формирования полупроводниковых или пленочных структур.

ВОЛЬВОКС , род зеленых водорослей. Подвижные колониальные организмы (шарообразные колонии до 3 мм в диаметре). Ок. 20 видов. Живут в стоячих пресных водах, придавая им зеленую окраску.

"Ю-ТУ" (U2) , ирландская рок-группа, образована в 1976. Состав: Боно (наст. имя Пол Хьюисон) (вокал), Эйдж (наст. имя. Дэйв Эванс) (гитара), Ларри Маллен (ударные), Адам Клейтон (бас-гитара). Приобрели мировую известность в 1980-90-е гг. Исполняли песни в поддержку прав человека. Альбомы "War" (Война) (1983) и "The Joshua Tree" (Дерево Джошуа) (1987) стали лидерами национальных хит-парадов США и Великобритании. Группа была удостоена нескольких премий "Грэмми".

ГОЛОВА , название военных и административных должностей в России 16-17 вв. (стрелецкий голова, обозный голова, письменный голова и др.) и выборных городских и сословных должностей в 18 - нач. 20 вв. (городской голова, волостной голова, ремесленный голова).