ChemStudy

Наиболее распространенными и эффективными способами жидкостной обработки в промышленных условиях являются ультразвуковая очистка в растворителях, химико-динамическое травление, анодно-механическое травление.

При ультразвуковой очистке (рис. 3) пластины 1 помещают в ванну с водой (эмульсией) 2, на которую передаются вибрации через вибратор 3 от генератора 4. Механические вибрации способствуют перемешиванию растворителя и тем самым ускоряют процесс.

Рис. 3

Принцип химико-динамического травления заключается в интенсивном перемешивании травителя непосредственно над поверхностью пластин (рис.4). При вращении приводом 1 фторопластового барабана 2 травитель 3 омывает пластины 4, закрепленные на специальном диске 5, чем достигается хорошее перемешивание травителя и равномерное травление.

Рис. 4

В основу анодно-механического травления положено электрохимическое травление, сопровождаемое механическим воздействием (рис. 5). Электролит 2 подается на освещенные мощной лампой 1 (для генерации дырок) пластины 3, которые предварительно закрепляются на аноде 4, и соприкасаются с вращающимся катодным диском 5, содержащим радиальные канавки. При этом скорость электрополировки достигает 400нм/с.

Рис. 5

Особый интерес с точки зрения производительности и качества очистки представляет способ, основанный на возникновении кавитации в пограничном слое очищаемой поверхности. Условия кавитации создают механическим путем (центрифугированием), а в качестве растворителя используют дистиллированную воду с растворенным кислородом.

Способы жидкостной очистки используют на различных стадиях изготовления ИМС.

4.3. Способы сухой очистки пластин и подложек.

Наряду с жидкостной обработкой в технологию изготовления ИМС в последнее время интенсивно внедряются различные способы сухой очистки. Наряду с традиционными термообработкой (отжигом) и газовым травлением успешно используют ионное и |плазмохимическое травление.

4.3.1. Термообработка.

Сущность термообработки состоит в нагреве пластины или подложки до температуры, при которой происходят удаление адсорбированных поверхностью загрязнений, разложение поверхностных загрязнений и испарение летучих соединений.

Отжиг осуществляют в вакуумных или термических установках непосредственно перед проведением основных операций формирования полупроводниковых или пленочных структур.

РОЖАНСКИЙ Николай Аполлинариевич (1884-1957) , российский физиолог, академик АМН (1945). Брат Д. А. Рожанского. Предложил показатель питательной ценности белков. Исследовал физико-химические свойства крови. Труды по физиологии аппетита, труда, кровообращения.

ФАЗОИНВЕРТОР (от фаза и инвертор) , устройство, преобразующее входной электрический сигнал в 2 сигнала, сдвинутых по фазе на 180 °. Выполняется на электронной лампе, транзисторе и др. электронных приборах. Применяется, напр., в радиотехнических устройствах, измерительной аппаратуре.

ЕВФРАТ , река в Турции, Сирии, Ираке. Образуется слиянием рек Мурат и Карасу. Длина (от истока р. Мурат) 3065 км, площадь бассейна 673 тыс. км2. Начало в горах Армянского нагорья, протекает по Месопотамской низм.; в низовьях сливается с р. Тигр, образуя р. Шатт-эль-Араб, впадающую в Персидский зал. Весеннее половодье. Средний расход воды у г. Хит (начало судоходства) 840 м3/с, ниже - уменьшается до 300-400 м3/с. На Евфрате-гидроузлы Кебан (Турция), Табка (Сирия). Междуречье Тигра и Евфрата - один из древнейших центров цивилизации (см. Шумер, Вавилония, Ассирия).