ChemStudy

Наиболее распространенными и эффективными способами жидкостной обработки в промышленных условиях являются ультразвуковая очистка в растворителях, химико-динамическое травление, анодно-механическое травление.

При ультразвуковой очистке (рис. 3) пластины 1 помещают в ванну с водой (эмульсией) 2, на которую передаются вибрации через вибратор 3 от генератора 4. Механические вибрации способствуют перемешиванию растворителя и тем самым ускоряют процесс.

Рис. 3

Принцип химико-динамического травления заключается в интенсивном перемешивании травителя непосредственно над поверхностью пластин (рис.4). При вращении приводом 1 фторопластового барабана 2 травитель 3 омывает пластины 4, закрепленные на специальном диске 5, чем достигается хорошее перемешивание травителя и равномерное травление.

Рис. 4

В основу анодно-механического травления положено электрохимическое травление, сопровождаемое механическим воздействием (рис. 5). Электролит 2 подается на освещенные мощной лампой 1 (для генерации дырок) пластины 3, которые предварительно закрепляются на аноде 4, и соприкасаются с вращающимся катодным диском 5, содержащим радиальные канавки. При этом скорость электрополировки достигает 400нм/с.

Рис. 5

Особый интерес с точки зрения производительности и качества очистки представляет способ, основанный на возникновении кавитации в пограничном слое очищаемой поверхности. Условия кавитации создают механическим путем (центрифугированием), а в качестве растворителя используют дистиллированную воду с растворенным кислородом.

Способы жидкостной очистки используют на различных стадиях изготовления ИМС.

4.3. Способы сухой очистки пластин и подложек.

Наряду с жидкостной обработкой в технологию изготовления ИМС в последнее время интенсивно внедряются различные способы сухой очистки. Наряду с традиционными термообработкой (отжигом) и газовым травлением успешно используют ионное и |плазмохимическое травление.

4.3.1. Термообработка.

Сущность термообработки состоит в нагреве пластины или подложки до температуры, при которой происходят удаление адсорбированных поверхностью загрязнений, разложение поверхностных загрязнений и испарение летучих соединений.

Отжиг осуществляют в вакуумных или термических установках непосредственно перед проведением основных операций формирования полупроводниковых или пленочных структур.

ЧАСЫ , прибор для отсчета времени. В часах используются постоянные периодические процессы: вращение Земли (солнечные часы), колебания маятника (механические и электромагнитные часы), камертона (камертонные часы), пластинки кварца (кварцевые часы), переход атомов из одного энергетического состояния в другое (квантовые часы). Измерение времени часами сводится к измерению числа периодов используемого процесса (напр., качания маятника). Часы условно подразделяют на бытовые (наручные, карманные, настольные, настенные и др.) и специальные (напр., секундомеры, хронометры). Первыми часами были солнечные; во 2-м тыс. до н. э. появились водяные часы; первые упоминания о механических часах относятся к кон. 6 в.; современные механические часы созданы Х. Гюйгенсом в 1657; в 70-х гг. 20 в. получили распространение электронные кварцевые часы с цифровой индикацией, напр. на жидких кристаллах.

ЕМЬ (Ямь) (фин . Hame), прибалтийско-финское племя, с сер. 1-го тыс. н. э. во внутренних районах Финляндии. Платило дань Руси, с 13 в. под властью Швеции. Вошло в состав финской народности.

ВАД , минерал группы псиломелана, собирательное название землистых и сажистых агрегатов водного MnO2 с переменным содержанием примесей K, Ba, Cu, Zn, Fe, Pb, W, Li, Co, Ni. Разновидность вада - асболан (до 17% CoO наряду с Ni и Cu). Твердость 1-4; плотность 2,8-4,4 г/см3. Гипергенный. Руда марганца, кобальта и никеля.