ChemStudy

Эффективность очистки зависит от температуры, максимальное значение которой ограничено температурой плавления очищаемых материалов и процессами диффузии примесей.

4.3.2. Газовое травление.

Сущность газового травления заключается в химическом взаимодействии материала пластин с газообразными веществами и образовании при этом легко улетучиваемых соединений. В процессе газового травления загрязнения удаляются вместе со стравливаемым приповерхностным слоем пластин.

Газовое травление как метод окончательной очистки применяют в первую очередь непосредственно перед теми технологическими процессами, в которых определяющую роль играет структура поверхностного слоя (например, перед эпитаксиальным наращиванием). В качестве травителей используют смеси водорода или гелия с галогенами (фтор, хлор, бром), галогеноводородами (HBr, HC1), сероводородом, гексафторидом серы.

Молярное содержание этих веществ в водороде или гелии может изменяться от десятых долей процента до единиц процентов. Очистку осуществляют при температурах 800-1300°С в установках термического окисления либо непосредственно в реакторах эпитаксиального наращивания.

Наибольшее распространение получило травление кремниевых пластин хлористым водородом при температурах 1150-1250°С, при этом происходит реакция:

(9)

Скорость травления зависит от температуры и концентрации HC1 в водороде. Аналогично происходит травление кремния в HBr.

Травление кремниевых пластин в парах тетрахлорида кремния сопровождается реакцией

(10)

При хлорном травлении в качестве газоносителя используют гелий. Травление осуществляют при температуре около 1000°С и содержании хлора в гелии не более 0,2% в соответствии с реакцией:

ЮКАТАНСКИЙ ПРОЛИВ , между п-овом Юкатан и о. Куба. Ширина 200 км, наименьшая глубина судоходной части 1269 м. Через Юкатанский прол. из Карибского м. в Мексиканский зал. в течение всего года происходит мощный нагон воды, способствующий образованию Гольфстрима.

МЕЖДУНАРОДНАЯ ОРГАНИЗАЦИЯ ТРУДА (МОТ) , специализированное учреждение ООН. Создана в 1919 при Лиге Наций как Международная комиссия для выработки конвенций и рекомендаций по вопросам трудового законодательства и улучшения условий труда. В 1990 членами были 150 государств. Нобелевская премия мира (1969). Местопребывание - Женева.

КОЛЫМА , река на северо-востоке Российской Федерации. 2129 км, площадь бассейна 643 тыс. км2. Образуется слиянием рр. Кулу и Аян-Юрях. Впадает в Восточно-Сибирское м. В верховьях имеет горный характер, ниже течет по Колымской низм. Главные притоки: Ясачная, Ожогина - слева; Коркодон, Омолон - справа. Средний расход воды 3900 м3/с. Регулярное судоходство от Усть-Среднекана. На Колыме - г. Среднеколымск.