ChemStudy

Эффективность очистки зависит от температуры, максимальное значение которой ограничено температурой плавления очищаемых материалов и процессами диффузии примесей.

4.3.2. Газовое травление.

Сущность газового травления заключается в химическом взаимодействии материала пластин с газообразными веществами и образовании при этом легко улетучиваемых соединений. В процессе газового травления загрязнения удаляются вместе со стравливаемым приповерхностным слоем пластин.

Газовое травление как метод окончательной очистки применяют в первую очередь непосредственно перед теми технологическими процессами, в которых определяющую роль играет структура поверхностного слоя (например, перед эпитаксиальным наращиванием). В качестве травителей используют смеси водорода или гелия с галогенами (фтор, хлор, бром), галогеноводородами (HBr, HC1), сероводородом, гексафторидом серы.

Молярное содержание этих веществ в водороде или гелии может изменяться от десятых долей процента до единиц процентов. Очистку осуществляют при температурах 800-1300°С в установках термического окисления либо непосредственно в реакторах эпитаксиального наращивания.

Наибольшее распространение получило травление кремниевых пластин хлористым водородом при температурах 1150-1250°С, при этом происходит реакция:

(9)

Скорость травления зависит от температуры и концентрации HC1 в водороде. Аналогично происходит травление кремния в HBr.

Травление кремниевых пластин в парах тетрахлорида кремния сопровождается реакцией

(10)

При хлорном травлении в качестве газоносителя используют гелий. Травление осуществляют при температуре около 1000°С и содержании хлора в гелии не более 0,2% в соответствии с реакцией:

СЕН-ЖЕРМЕНСКИЙ МИРНЫЙ ДОГОВОР 1919 , подписан 10 сентября в г. Сен-Жермен-ан-Ле (Saint-Germain-en-Laye; близ Парижа) странами - победительницами в 1-й мировой войне и Австрией. Подтвердил распад Австро-Венгрии. Запрещал аншлюс, ограничивал вооруженные силы Австрии, обязывал ее выплачивать репарации.

ОПЕРАЦИЯ (от лат . operatio - действие),..1) в военном деле - совокупность ударов, боев, сражений вооруженных сил по единому замыслу и плану для решения оперативных или стратегических задач. Различают: операции общевойсковые, морские, воздушные, противовоздушные, воздушно-десантные и др.; наступательные и оборонительные; стратегические, фронтовые (группы армий), армейские, флота, флотилии и др...2) В вычислительной технике - выполнение вычислительной машиной какого-либо действия над исходными величинами (включая их передачу) по одной из команд программы. Различают операции арифметические, логические, управления и др...3) Законченное действие или ряд связанных между собой действий, направленных на решение определенной задачи (напр., хирургическая операция резекции желудка).

НАНДИН , в индуистской мифологии священный белый бык бога Шивы; он же музыкант Шивы во время его танца.