ChemStudy

Эффективность очистки зависит от температуры, максимальное значение которой ограничено температурой плавления очищаемых материалов и процессами диффузии примесей.

4.3.2. Газовое травление.

Сущность газового травления заключается в химическом взаимодействии материала пластин с газообразными веществами и образовании при этом легко улетучиваемых соединений. В процессе газового травления загрязнения удаляются вместе со стравливаемым приповерхностным слоем пластин.

Газовое травление как метод окончательной очистки применяют в первую очередь непосредственно перед теми технологическими процессами, в которых определяющую роль играет структура поверхностного слоя (например, перед эпитаксиальным наращиванием). В качестве травителей используют смеси водорода или гелия с галогенами (фтор, хлор, бром), галогеноводородами (HBr, HC1), сероводородом, гексафторидом серы.

Молярное содержание этих веществ в водороде или гелии может изменяться от десятых долей процента до единиц процентов. Очистку осуществляют при температурах 800-1300°С в установках термического окисления либо непосредственно в реакторах эпитаксиального наращивания.

Наибольшее распространение получило травление кремниевых пластин хлористым водородом при температурах 1150-1250°С, при этом происходит реакция:

(9)

Скорость травления зависит от температуры и концентрации HC1 в водороде. Аналогично происходит травление кремния в HBr.

Травление кремниевых пластин в парах тетрахлорида кремния сопровождается реакцией

(10)

При хлорном травлении в качестве газоносителя используют гелий. Травление осуществляют при температуре около 1000°С и содержании хлора в гелии не более 0,2% в соответствии с реакцией:

"ЧЕЙЗ МАНХАТТАН БАНК" (The Chase Manhattan Bank , N. A), коммерческий банк США. Основан в 1955 в результате слияния двух крупных банков. Более 240 отделений в стране, широкая сеть отделений, филиалов, дочерних банков, представительств за рубежом (в т. ч. в Москве). Сумма баланса, собственный капитал, прибыль (млрд. дол.): 76,1; 0,776; 3,6 (кон. 1980-х гг.).

ЦЕХИН (итал . zecchino, от zecca - монетный двор), золотая монета, начала чеканиться в Венеции в 1284 весом 3-4 г. С сер. 16 в. чеканились в ряде европейских государств под названием дукатов.

ПНЕВМОФОРМОВАНИЕ , способ изготовления изделий из листовых термопластов. Изделие оформляется под действием сжатого воздуха на лист, закрепленный над полостью формы. Применяется, напр., в производстве ванн, раковин, деталей остекления самолетов.