ChemStudy

Эффективность очистки зависит от температуры, максимальное значение которой ограничено температурой плавления очищаемых материалов и процессами диффузии примесей.

4.3.2. Газовое травление.

Сущность газового травления заключается в химическом взаимодействии материала пластин с газообразными веществами и образовании при этом легко улетучиваемых соединений. В процессе газового травления загрязнения удаляются вместе со стравливаемым приповерхностным слоем пластин.

Газовое травление как метод окончательной очистки применяют в первую очередь непосредственно перед теми технологическими процессами, в которых определяющую роль играет структура поверхностного слоя (например, перед эпитаксиальным наращиванием). В качестве травителей используют смеси водорода или гелия с галогенами (фтор, хлор, бром), галогеноводородами (HBr, HC1), сероводородом, гексафторидом серы.

Молярное содержание этих веществ в водороде или гелии может изменяться от десятых долей процента до единиц процентов. Очистку осуществляют при температурах 800-1300°С в установках термического окисления либо непосредственно в реакторах эпитаксиального наращивания.

Наибольшее распространение получило травление кремниевых пластин хлористым водородом при температурах 1150-1250°С, при этом происходит реакция:

(9)

Скорость травления зависит от температуры и концентрации HC1 в водороде. Аналогично происходит травление кремния в HBr.

Травление кремниевых пластин в парах тетрахлорида кремния сопровождается реакцией

(10)

При хлорном травлении в качестве газоносителя используют гелий. Травление осуществляют при температуре около 1000°С и содержании хлора в гелии не более 0,2% в соответствии с реакцией:

МОЛЕКУЛЯРНО-МАССОВОЕ РАСПРЕДЕЛЕНИЕ , соотношение количеств молекул различной длины (массы) в данном образце полимера. Одна из важнейших характеристик синтетических полимеров, определяющая многие их свойства, в частности механическую прочность.

НИДЕРЛАНДЫ (Nederland) , Королевство Нидерландов (Koninkrijk der Nederlanden) (неофициальное название Голландия), государство в Зап. Европе, у берегов Северного м. 41,5 тыс. км2. Население 15,3 млн. человек (1993), большая часть- голландцы. Городское население 89% (1992). Официальный язык - нидерландский. Большая часть верующих - католики и протестанты. Административно-территориальное деление: 12 провинций. Столица - Амстердам. Резиденция правительства - Гаага. Владения - Нидерландские Антильские острова, о. Аруба. Нидерланды - конституционная монархия. Глава государства - король (королева). Законодательный орган - двухпалатный парламент (Генеральные штаты). Поверхность - низменность (2/5 территории ниже уровня м.). Месторождения природного газа, нефти, соли. Климат морской, умеренный. Средние температуры января 1-3 °С, июля 16-17 °С. Осадков 650-750 мм в год. Густая речная сеть (дельты рек Рейн, Маас, Шельда). Озеро-залив Эйсселмер. Ок. 70% территории Нидерландов - культурные ландшафты (поселения, пашни, сеянные луга). Национальные парки - Велюзом, Кеннемерские дюны, Де-Хоге-Велюве; заповедники. В 1 в. до н. э. часть территории Нидерландов (заселенная германскими племенами) завоевана Римом. В средние века нидерландские земли (Голландия, Зеландия, Фрисландия и др.) - в составе Нидерландов исторических. В результате Нидерландской революции 16 в. на территории Нидерландов, освободившейся от испанского господства, образовалась Республика Соединенных провинций. В 17 в. Нидерланды - одна из наиболее передовых европейских держав с развитыми торговлей и мореплаванием - приступили к широким колониальным захватам, главным образом в Юго-Вост. Азии ("Нидерландская Индия" - Индонезия), Америке (Гвиана, М. Антильские о-ва и др.), Африке (Капская колония). В 1795-1806 на территории Нидерландов, занятой французскими войсками, существовала Батавская республика, в 1806-10 Голландское королевство (во главе с братом Наполеона I), в 1810-13 Нидерланды в составе Франции. В 1815 Нидерланды объединены с Бельгией в Нидерландское королевство (до 1830), в котором Нидерланды занимали господствующее положение. В 1881 образован Социал-демократический союз Нидерландов, в 1894 - Социал-демократическая рабочая партия (в 1946 на ее основе создана Партия труда). В 1918-39 у власти стояли правые коалиционные правительства, возглавлявшиеся лидерами Римско-католической государственной партии (основана в 1901, на ее базе с декабря 1945 - Католическая народная партия), протестантской Антиреволюционной партии (основана в 1878) и Христианско-исторического союза. С нач. 2-й мировой войны (как и в 1-й мировой войне) правительство Нидерландов заявило о нейтралитете, но в мае 1940 Нидерланды были оккупированы немецкими войсками (правительство Нидерландов в годы войны находилось в Лондоне). Освобождены от немецкой оккупации в сентябре 1944 - мае 1945. После войны начался распад нидерландской колониальной империи. Попытка в 1947-49 удержать в колониальной зависимости Индонезию окончилась провалом. С 1989 у власти коалиционное правительство в составе Христианско-демократического призыва (ХДП, основан в 1976) и Партии труда. Нидерланды - высокоразвитая индустриальная страна с интенсивным высокопродуктивным сельским хозяйством. Важную роль играет вывоз капитала, внешняя торговля и морской транспорт. Наиболее развиты наукоемкие высокотехнологичные отрасли, а также отрасли, работающие на импортном сырье с последующим экспортом готовой продукции. Доля в ВВП (1991,%): промышленности 24,4, сельского хозяйства 4,3. Добыча природного газа (89,9 млрд. м3 в 1991), нефти. Производство электроэнергии 74,2 млрд. квт.ч (1991), главным образом на ТЭС. Ведущие отрасли промышленности - машиностроение (наиболее развиты электротехника и радиоэлектроника, судостроение, авто- и авиастроение), химическая (до 1/10 мирового экспорта химической продукции, в т. ч. азотные удобрения, синтетический каучук), нефтеперерабатывающая и нефтехимическая. Крупная пищевкусовая промышленность (мясо-молочная, переработка импортных какао-бобов, сахарная). Развиты черная и цветная металлургия, текстильная, швейная промышленность, алмазогранильное дело. Ок. 2/3 стоимости сельскохозяйственной продукции дают животноводство и птицеводство. Поголовье (1991, млн.) крупного рогатого скота 14,2, свиней 4,9, овец 1,9. Ок. 60% стоимости растениеводства дают плодоводство, овощеводство и цветоводство. Теплично-парниковое хозяйство. Нидерланды - крупный производитель и экспортер цветов (тюльпаны, гиацинты, нарциссы). Рыболовство. Длина (1992 тыс. км) железных дорог 2,8, автодорог 118,2. Тоннаж морского торгового флота 4,2 млн. т дедвейт (включая суда, приписанные к портам Кюрасао, Арубы и др.). Крупнейший порт страны и мира - Роттердам. Экспорт: машины и оборудование, продовольственные и химические товары, газ, нефтепродукты, сельскохозяйственная продукция. Основные внешнеторговые партнеры: Германия, Бельгия и Люксембург, Великобритания, Франция, США. Иностранный туризм (св. 3 млн. туристов в год). Денежная единица - гульден (флорин).

ЮНУСОВ Сабир Юнусович (р . 1909), узбекский химик-органик, член-корреспондент РАН (1991; член-корреспондент АН СССР с 1958), академик АН Узбекистана (1952), Герой Социалистического Труда (1969). Труды по химии алкалоидов растений Ср. Азии.