Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластин
Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластин
Страница 14

Эффективность очистки зависит от температуры, максимальное значение которой ограничено температурой плавления очищаемых материалов и процессами диффузии примесей.

4.3.2. Газовое травление.

Сущность газового травления заключается в химическом взаимодействии материала пластин с газообразными веществами и образовании при этом легко улетучиваемых соединений. В процессе газового травления загрязнения удаляются вместе со стравливаемым приповерхностным слоем пластин.

Газовое травление как метод окончательной очистки применяют в первую очередь непосредственно перед теми технологическими процессами, в которых определяющую роль играет структура поверхностного слоя (например, перед эпитаксиальным наращиванием). В качестве травителей используют смеси водорода или гелия с галогенами (фтор, хлор, бром), галогеноводородами (HBr, HC1), сероводородом, гексафторидом серы.

Молярное содержание этих веществ в водороде или гелии может изменяться от десятых долей процента до единиц процентов. Очистку осуществляют при температурах 800-1300°С в установках термического окисления либо непосредственно в реакторах эпитаксиального наращивания.

Наибольшее распространение получило травление кремниевых пластин хлористым водородом при температурах 1150-1250°С, при этом происходит реакция:

(9)

Скорость травления зависит от температуры и концентрации HC1 в водороде. Аналогично происходит травление кремния в HBr.

Травление кремниевых пластин в парах тетрахлорида кремния сопровождается реакцией

(10)

При хлорном травлении в качестве газоносителя используют гелий. Травление осуществляют при температуре около 1000°С и содержании хлора в гелии не более 0,2% в соответствии с реакцией:

Страницы: 10 11 12 13 14 15 16 17

ФЕРРИМАГНИТНЫЙ РЕЗОНАНС , избирательное поглощение ферримагнетиком энергии электромагнитного излучения в диапазоне радиочастот и в инфракрасном диапазоне. Связан с процессией векторов намагниченности подрешеток магнитных ферримагнетика во внешнем магнитном поле.

УРУГВАЙ , Восточная Республика Уругвай, государство в Юж. Америке. Омывается водами Атлантического ок. 178 тыс. км2. Население 3,15 млн. человек (1993), главным образом уругвайцы. Городское население 85,5% (1990). Официальный язык - испанский. Верующие в основном католики. Административно-территориальное деление: 19 департаментов. Столица - Монтевидео. Глава государства и правительства - президент. Законодательный орган - двухпалатный парламент (Сенат и Палата представителей). Поверхность холмисто-равнинная. Климат субтропический океанический. Средние температуры июля 10-12 °С, января 22-24 °С. Осадков 1000-1200 мм в год. Главные рр. Уругвай, Рио-Негро. Травянистые и кустарниковые саванны, на востоке - пальмовые рощи. Ок. 10 национальных парков (Кабо-Полоньо, Санта-Тереса и др.). Коренное население Уругвая - индейцы. С нач. 16 в. испанцы вели борьбу против индейских племен; к кон. 18 в. они установили систему латифундистской собственности на землю с использованием труда ввезенных из Африки рабов, издольщины, отработок. В 1811 в ходе Войны за независимость испанских колоний в Америке 1810-26 Уругвай провозгласил независимость, в 1816 был оккупирован португальцами, в 1821 включен в состав Бразильской империи, в 1825 - в состав Аргентины. С 1828 независимая республика Уругвай, которая была признана Бразилией и Аргентиной. В 1830 принята 1-ая конституция Восточной Республики Уругвай. В 1838 началась продолжительная гражданская война между радикальными либералами ("красные", партия "Колорадо") и консерваторами ("белые", партия "Бланко"), в результате которой вплоть до кон. 1950-х гг. власть в стране сохраняли представители партии "Колорадо". Парламентские выборы 1958 принесли победу партии "Бланко", которая почти 100 лет находилась в оппозиции. В 1966 на всеобщих выборах победу вновь одержала партия "Колорадо". Рост влияния новых организаций, партий и группировок, вошедших в "Широкий фронт", вызвал активизацию вооруженных сил. С их помощью в 1973 был совершен государственный переворот. В 1983 был осуществлен переход от авторитарной формы правления к конституционной. Уругвай - индустриально-аграрная страна с высокоразвитым животноводством экспортного направления. Доля в валовом национальном продукте (1991, %): сельское хозяйство и рыболовство 9,8, промышленность 25,1. Ведущая отрасль сельского хозяйства - разведение мясных пород крупного рогатого скота и шерстных овец. Поголовье (1992, млн.): крупного рогатого скота 9,5, овец 25,7; настриг шерсти 95 тыс. т. Главные сельскохозяйственные культуры: пшеница, рис, сахарный тростник, кукуруза, масличный лен, подсолнечник, кормовые травы. Развиты виноградарство, цитрусоводство. Лесозаготовки. Рыболовство (улов рыбы 144 тыс. т в 1991). Производство электроэнергии 7,4 млрд. кВт. ч (1991), главным образом на ГЭС. Крупная пищевкусовая (мясохладобывающая, винодельческая, консервная), текстильная (преимущественно шерстяная), кожевенно-обувная промышленность. Нефтеперерабатывающие, химические, металлургические, электротехнические, автосборочные предприятия. Длина железных дорог ок. 3 тыс. км, автодорог 52 тыс. км. Тоннаж морского торгового флота 282 тыс. регистровых брутто-тонн. Основной морской порт - Монтевидео. Экспорт мяса и мясопродуктов, шерсти, кож и кожсырья. Основные внешнеторговые партнеры: Бразилия, Аргентина, США, Германия, Италия. Денежная единица - уругвайское песо.

МУХАТОВ Вели (Велимухамед) (р . 1916), туркменский композитор, народный артист СССР (1965), Герой Социалистического Труда (1986). Один из основоположников туркменской профессиональной музыки. Опера "Конец кровавого водораздела" (1967), кантаты и др. Профессор Туркменского педагогического института искусств (с 1982). Государственная премия СССР (1951, 1952).