ChemStudy

Эффективность очистки зависит от температуры, максимальное значение которой ограничено температурой плавления очищаемых материалов и процессами диффузии примесей.

4.3.2. Газовое травление.

Сущность газового травления заключается в химическом взаимодействии материала пластин с газообразными веществами и образовании при этом легко улетучиваемых соединений. В процессе газового травления загрязнения удаляются вместе со стравливаемым приповерхностным слоем пластин.

Газовое травление как метод окончательной очистки применяют в первую очередь непосредственно перед теми технологическими процессами, в которых определяющую роль играет структура поверхностного слоя (например, перед эпитаксиальным наращиванием). В качестве травителей используют смеси водорода или гелия с галогенами (фтор, хлор, бром), галогеноводородами (HBr, HC1), сероводородом, гексафторидом серы.

Молярное содержание этих веществ в водороде или гелии может изменяться от десятых долей процента до единиц процентов. Очистку осуществляют при температурах 800-1300°С в установках термического окисления либо непосредственно в реакторах эпитаксиального наращивания.

Наибольшее распространение получило травление кремниевых пластин хлористым водородом при температурах 1150-1250°С, при этом происходит реакция:

(9)

Скорость травления зависит от температуры и концентрации HC1 в водороде. Аналогично происходит травление кремния в HBr.

Травление кремниевых пластин в парах тетрахлорида кремния сопровождается реакцией

(10)

При хлорном травлении в качестве газоносителя используют гелий. Травление осуществляют при температуре около 1000°С и содержании хлора в гелии не более 0,2% в соответствии с реакцией:

НОЗОЛОГИЧЕСКАЯ ФОРМА , определенная болезнь (напр., грипп, рак), которую выделяют как самостоятельную болезненную форму на основе установленной причины (этиология), особенностей развития (патогенез), типичных внешних проявлений и характерного поражения органов и тканей. Ср. Синдром.

НИЛЬСБОРИЙ (лат . Nielsbohrium), Ns, искусственно полученный радиоактивный химический элемент V гр. периодической системы, атомный номер 105. Наиболее устойчивый изотоп 262Ns (период полураспада 40 с). Получен в 1970 в СССР и США. Назван по предложению советских физиков по имени Нильса Бора; американские ученые предложили название "ганий" в честь О. Гана. Название окончательно не принято.

ФИРЮЗА , поселок городского типа в Туркмении, в горах Копетдага, в 38 км к западу от Ашхабада. 2,7 тыс. жителей (1991). Гренажный завод. Климатический курорт.