ChemStudy

Эффективность очистки зависит от температуры, максимальное значение которой ограничено температурой плавления очищаемых материалов и процессами диффузии примесей.

4.3.2. Газовое травление.

Сущность газового травления заключается в химическом взаимодействии материала пластин с газообразными веществами и образовании при этом легко улетучиваемых соединений. В процессе газового травления загрязнения удаляются вместе со стравливаемым приповерхностным слоем пластин.

Газовое травление как метод окончательной очистки применяют в первую очередь непосредственно перед теми технологическими процессами, в которых определяющую роль играет структура поверхностного слоя (например, перед эпитаксиальным наращиванием). В качестве травителей используют смеси водорода или гелия с галогенами (фтор, хлор, бром), галогеноводородами (HBr, HC1), сероводородом, гексафторидом серы.

Молярное содержание этих веществ в водороде или гелии может изменяться от десятых долей процента до единиц процентов. Очистку осуществляют при температурах 800-1300°С в установках термического окисления либо непосредственно в реакторах эпитаксиального наращивания.

Наибольшее распространение получило травление кремниевых пластин хлористым водородом при температурах 1150-1250°С, при этом происходит реакция:

(9)

Скорость травления зависит от температуры и концентрации HC1 в водороде. Аналогично происходит травление кремния в HBr.

Травление кремниевых пластин в парах тетрахлорида кремния сопровождается реакцией

(10)

При хлорном травлении в качестве газоносителя используют гелий. Травление осуществляют при температуре около 1000°С и содержании хлора в гелии не более 0,2% в соответствии с реакцией:

РОССИЙСКИЙ НАЦИОНАЛЬНЫЙ СИМФОНИЧЕСКИЙ ОРКЕСТР , основан в 1991 в Москве. Главный дирижер - М. В. Плетнев.

ХАЗАНОВ Юрий Самуилович (р . 1920), русский писатель, переводчик. Сборники повестей и рассказов для детей: "Как я ездил в командировку" (1964), "Кап, иди сюда!" (1965), "Я - Робин Гуд" (1972) и др. Повесть для взрослых "Жизнь и приключения Маэлса Кандидова" (1989). Сборник стихов "Фига, вынутая из кармана" (1991).

"ЦАРЬ-КОЛОКОЛ" , памятник литейного искусства 18 в., установлен в Московском Кремле; масса свыше 200 т (высота с ушками 6,14 м, диаметр 6,6 м); отлит в 1733-35 русскими мастерами И. Ф. и М. И. Маториными. Во время пожара 1737 от "Царя-колокола" отвалился кусок в 11,5 т.