ChemStudy

Эффективность очистки зависит от температуры, максимальное значение которой ограничено температурой плавления очищаемых материалов и процессами диффузии примесей.

4.3.2. Газовое травление.

Сущность газового травления заключается в химическом взаимодействии материала пластин с газообразными веществами и образовании при этом легко улетучиваемых соединений. В процессе газового травления загрязнения удаляются вместе со стравливаемым приповерхностным слоем пластин.

Газовое травление как метод окончательной очистки применяют в первую очередь непосредственно перед теми технологическими процессами, в которых определяющую роль играет структура поверхностного слоя (например, перед эпитаксиальным наращиванием). В качестве травителей используют смеси водорода или гелия с галогенами (фтор, хлор, бром), галогеноводородами (HBr, HC1), сероводородом, гексафторидом серы.

Молярное содержание этих веществ в водороде или гелии может изменяться от десятых долей процента до единиц процентов. Очистку осуществляют при температурах 800-1300°С в установках термического окисления либо непосредственно в реакторах эпитаксиального наращивания.

Наибольшее распространение получило травление кремниевых пластин хлористым водородом при температурах 1150-1250°С, при этом происходит реакция:

(9)

Скорость травления зависит от температуры и концентрации HC1 в водороде. Аналогично происходит травление кремния в HBr.

Травление кремниевых пластин в парах тетрахлорида кремния сопровождается реакцией

(10)

При хлорном травлении в качестве газоносителя используют гелий. Травление осуществляют при температуре около 1000°С и содержании хлора в гелии не более 0,2% в соответствии с реакцией:

МЕЖДУНАРОДНАЯ ОРГАНИЗАЦИЯ ТРУДА (МОТ) , специализированное учреждение ООН. Создана в 1919 при Лиге Наций как Международная комиссия для выработки конвенций и рекомендаций по вопросам трудового законодательства и улучшения условий труда. В 1990 членами были 150 государств. Нобелевская премия мира (1969). Местопребывание - Женева.

ШНИТТ , многолетнее травянистое растение рода лук. В пищу употребляют молодые листья, которые срезают несколько раз за вегетацию.

ХУАРЕС (Juarez) Бенито Пабло (1806-72) , национальный герой Мексики, президент в 1861-72, глава правительства в 1858-61. Провел законы, ограничивающие экономические и политические позиции церкви. Во время Мексиканской экспедиции 1861-67 возглавлял борьбу против интервентов.