ChemStudy

Эффективность очистки зависит от температуры, максимальное значение которой ограничено температурой плавления очищаемых материалов и процессами диффузии примесей.

4.3.2. Газовое травление.

Сущность газового травления заключается в химическом взаимодействии материала пластин с газообразными веществами и образовании при этом легко улетучиваемых соединений. В процессе газового травления загрязнения удаляются вместе со стравливаемым приповерхностным слоем пластин.

Газовое травление как метод окончательной очистки применяют в первую очередь непосредственно перед теми технологическими процессами, в которых определяющую роль играет структура поверхностного слоя (например, перед эпитаксиальным наращиванием). В качестве травителей используют смеси водорода или гелия с галогенами (фтор, хлор, бром), галогеноводородами (HBr, HC1), сероводородом, гексафторидом серы.

Молярное содержание этих веществ в водороде или гелии может изменяться от десятых долей процента до единиц процентов. Очистку осуществляют при температурах 800-1300°С в установках термического окисления либо непосредственно в реакторах эпитаксиального наращивания.

Наибольшее распространение получило травление кремниевых пластин хлористым водородом при температурах 1150-1250°С, при этом происходит реакция:

(9)

Скорость травления зависит от температуры и концентрации HC1 в водороде. Аналогично происходит травление кремния в HBr.

Травление кремниевых пластин в парах тетрахлорида кремния сопровождается реакцией

(10)

При хлорном травлении в качестве газоносителя используют гелий. Травление осуществляют при температуре около 1000°С и содержании хлора в гелии не более 0,2% в соответствии с реакцией:

АЮДАГ (Медведь-гора) , горный массив, мыс на Юж. берегу Крыма, к северо-востоку от Гурзуфа. Высота 572 м. У юго-западного подножия - Артек.

СИББЕР (Cibber) Колли (1671-1757) , английский драматург. Комедии "Последняя уловка любви" (1696), "Беззаботный муж" (1705), "Последняя ставка женщин" (1707) и др.

ГОРКИ (Gorky) Аршил (наст . имя и фам. Адоян Возданик) (1904-48), американский художник. По происхождению армянин, псевдоним в честь Максима Горького. В 1920 переехал с родителями из Киликийской Армении в США. Примыкал к абстрактному экспрессионизму. Его темпераментные, красочные полотна сочетают магическую символику с бытовыми воспоминаниями о деревенском детстве.