ChemStudy

Эффективность очистки зависит от температуры, максимальное значение которой ограничено температурой плавления очищаемых материалов и процессами диффузии примесей.

4.3.2. Газовое травление.

Сущность газового травления заключается в химическом взаимодействии материала пластин с газообразными веществами и образовании при этом легко улетучиваемых соединений. В процессе газового травления загрязнения удаляются вместе со стравливаемым приповерхностным слоем пластин.

Газовое травление как метод окончательной очистки применяют в первую очередь непосредственно перед теми технологическими процессами, в которых определяющую роль играет структура поверхностного слоя (например, перед эпитаксиальным наращиванием). В качестве травителей используют смеси водорода или гелия с галогенами (фтор, хлор, бром), галогеноводородами (HBr, HC1), сероводородом, гексафторидом серы.

Молярное содержание этих веществ в водороде или гелии может изменяться от десятых долей процента до единиц процентов. Очистку осуществляют при температурах 800-1300°С в установках термического окисления либо непосредственно в реакторах эпитаксиального наращивания.

Наибольшее распространение получило травление кремниевых пластин хлористым водородом при температурах 1150-1250°С, при этом происходит реакция:

(9)

Скорость травления зависит от температуры и концентрации HC1 в водороде. Аналогично происходит травление кремния в HBr.

Травление кремниевых пластин в парах тетрахлорида кремния сопровождается реакцией

(10)

При хлорном травлении в качестве газоносителя используют гелий. Травление осуществляют при температуре около 1000°С и содержании хлора в гелии не более 0,2% в соответствии с реакцией:

"ТОЕТА МОТОР" , японская автомобильная компания. Основана в 1937. Объем продаж 50,8 млрд. дол., чистая прибыль 2,3 млрд. дол., выпуск автомобилей 3,6 млн. штук - 30% производства в стране, число занятых 86 тыс. человек (кон. 1980-х гг.).

ОЗЕРОВ (наст . фам. Гольдберг) Лев Адольфович (1914-96), русский поэт. Лирические сборники "Ливень" (1947), "Светотень" (1961), "Далекая слышимость" (1975), "Земная ось" (1986). Книги о поэзии "Мастерство и волшебство" (1973), "Биография стихотворения" (1981).

ВАЛЮТНЫЕ ОПЕРАЦИИ , банковские операции на валютных рынках, связанные с куплей-продажей иностранной валюты. Валютная операция осуществляется на условиях немедленной поставки валют ("спот") и в форме срочных сделок, т. е. поставка валюты в будущем по курсу, существовавшему на момент заключения сделки ("форвард"). Срочные валютные операции проводятся как для страхования от валютных рисков, так и для спекуляции на разнице между фактическими и ожидаемыми курсами. Ряд валютных операций представляет собой сочетание сделок "спот" и "форвард".