ChemStudy

Однако при изготовлении ИМС возможные виды загрязнений проявляются комплексно, а на различных стадиях изготовления к качеству чистоты поверхности предъявляются различные требования. Поэтому для качественной и эффективной очистки пластин и подложек разрабатывают типовые процессы очистки, представляющие собой комбинирование различных способов очистки, выполняемых в определенной последовательности. В составе таких процессов основными операциями являются обезжиривание, травление, промывка, сушка.

На протяжении всех этапов изготовления кристаллов полупроводниковых ИМС очистку полупроводниковых пластин проводят многократно - после механической обработки пластин и перед основными операциями формирования структур: окислением, эпитаксиальным наращиванием, диффузией, металлизацией, фотолитографией (и после нее), защитой.

5. Заключение.

В заключении своего реферата приведу пример типового процесса обработки пластин кремния перед термическим окислением, который включает следующие операции:

1) обезжиривание в горячем (75-80°С) перекисно-аммиачном растворе;

2) промывание в проточной деионизованной воде (удаление продуктов реакции предыдущей обработки);

3) обработка в горячей (90-100°С) концентрированной азотной кислоте (удаление ионов металлов);

4) промывание в проточной деионизованной воде (удаление остатков кислот);

5) гидродинамическая обработка пластин бельичими кистями в струе деионизованной воды;

6) сушка пластин с помощью центрифуги в струе очищенного сухого воздуха;

7) травление в растворе фтористоводородной кислоты (снятие поверхностного слоя и удаление загрязнений).

6. Список литературы.

1. Ефимов И.Е., Козырь И.Я., Горбунов Ю.И. Микроэлектроника. Учебное пособие для ВУЗов. М., "Высшая школа", 1986.

2. Зи Ф.М. Технология СБИС. М., "Мир", 1986.

АВТОМАТ , индивидуальное стрелковое автоматическое оружие. Действительный огонь до 400 м, скорострельность может достигать 1000 выстрелов в минуту.

ЩЕРБАТОВ Михаил Михайлович (1733-90) , князь, историк, публицист, почетный член Петербургской АН (1776). Идеолог корпоративных устремлений дворянства. Труды: "О повреждении нравов в России", (1858), утопический роман "Путешествие в землю Офирскую" (Cочинение, т. 1, 1896), "История Российская с древнейших времен" (т. 1-7, 1901-04).

ЕРМОЛЬЕВА Зинаида Виссарионовна (1898-1974) , российский микробиолог, академик АМН (1963). Получила первые отечественные образцы антибиотиков - пенициллина (1942), стрептомицина (1947) и др.; интерферона. Государственная премия СССР (1943).