ChemStudy

Однако при изготовлении ИМС возможные виды загрязнений проявляются комплексно, а на различных стадиях изготовления к качеству чистоты поверхности предъявляются различные требования. Поэтому для качественной и эффективной очистки пластин и подложек разрабатывают типовые процессы очистки, представляющие собой комбинирование различных способов очистки, выполняемых в определенной последовательности. В составе таких процессов основными операциями являются обезжиривание, травление, промывка, сушка.

На протяжении всех этапов изготовления кристаллов полупроводниковых ИМС очистку полупроводниковых пластин проводят многократно - после механической обработки пластин и перед основными операциями формирования структур: окислением, эпитаксиальным наращиванием, диффузией, металлизацией, фотолитографией (и после нее), защитой.

5. Заключение.

В заключении своего реферата приведу пример типового процесса обработки пластин кремния перед термическим окислением, который включает следующие операции:

1) обезжиривание в горячем (75-80°С) перекисно-аммиачном растворе;

2) промывание в проточной деионизованной воде (удаление продуктов реакции предыдущей обработки);

3) обработка в горячей (90-100°С) концентрированной азотной кислоте (удаление ионов металлов);

4) промывание в проточной деионизованной воде (удаление остатков кислот);

5) гидродинамическая обработка пластин бельичими кистями в струе деионизованной воды;

6) сушка пластин с помощью центрифуги в струе очищенного сухого воздуха;

7) травление в растворе фтористоводородной кислоты (снятие поверхностного слоя и удаление загрязнений).

6. Список литературы.

1. Ефимов И.Е., Козырь И.Я., Горбунов Ю.И. Микроэлектроника. Учебное пособие для ВУЗов. М., "Высшая школа", 1986.

2. Зи Ф.М. Технология СБИС. М., "Мир", 1986.

"СОЮЗА МАРКСИСТОВ-ЛЕНИНЦЕВ" ДЕЛА , сфабрикованные в 1930-е гг. дела по обвинению ряда лиц в создании контрреволюционной организации "Союз марксистов-ленинцев" в целях борьбы с Советской властью и восстановления капитализма в СССР, подготовке программного документа этой организации и активной антисоветской деятельности. Постановлениями коллегии ОГПУ в 1932-33 в несудебном порядке были привлечены к уголовной ответственности с назначением различных мер наказания 30 человек, среди них М. Н. Рютин, В. Н. Каюров, Л. Б. Каменев, Г. Е. Зиновьев. В 1937 трое из привлеченных (среди них Рютин) были вновь привлечены к уголовной ответственности и расстреляны.

АСТРОИДА (от греч . astron - звезда и eidos - вид), плоская кривая, описываемая точкой окружности, которая касается изнутри неподвижной окружности вчетверо большего радиуса и катится по ней без скольжения. Принадлежит к гипоциклоидам. Астроида - алгебраическая кривая 6-го порядка.

ЧУБИНАШВИЛИ Георгий Николаевич (1885-1973) , грузинский искусствовед, академик АН Грузии (1941). Исследование грузинской архитектуры и изобразительного искусства.