ChemStudy

(11)

Травление кремния в парах сероводорода происходит по реакции:

(12)

При этом получаются большие скорости травления (до 15 мкм/мин). Однако сероводород токсичен. Гексафторид серы, наоборот, не токсичен и обеспечивает хорошее качество поверхности при травлении кремния и сапфира. Травление кремния сопровождается реакцией:

(13)

Газовое травление обеспечивает получение более чистых поверхностей по сравнению с жидкостной, обработкой. Однако его применение ограничено из-за высоких температур процессов и необходимости использования газов особой чистоты.

4.3.3. Ионное травление.

Сущность ионного травления состоит в удалении поверхностных слоев материала при его бомбардировке потоком ионов инертных газов высокой энергии. При этом ускоренные ионы при столкновении с поверхностью пластин или подложек передают их атомам свою энергию и импульс.

* Ионное травление - процесс удаления загрязнений вместе с распыляемым в вакууме поверхностным слоем обрабатываемой поверхности при ее бомбардировке ускоренными ионами инертного газа.

Если во время столкновения энергия, передаваемая атому, превышает энергию химической связи атома в решетке, а импульс, сообщаемый атому, направлен наружу от поверхности, то происходит смещение атомов, их отрыв от поверхности - распыление. Для реализации этого процесса требуются определенные вакуумные условия, а ионы должны обладать определенными значениями энергий, достаточными для распыления материалов.

Разновидностью ионного травления является ионно-химическое (реактивное) травление, основанное на введении в плазму химически активного газа, обычно кислорода. При этом изменяется скорость травления вследствие химического взаимодействия между подложкой и добавленным газом.

4.3.4. Плазмохимическое травление.

В отличие от ионного плазмохимическое травление основано на разрушении обрабатываемого материала ионами активных газов, образующимися в плазме газового разряда и вступающими в химическую реакцию с атомами материала при бомбардировке поверхности пластин или подложек. При этом молекулы газа в разряде распадаются на реакционно-способные частицы - электроны, ионы и свободные радикалы, химически взаимодействующие с травящейся поверхностью. В результате химических реакций образуются летучие соединения.

Для травления кремния и его соединений (оксида и нитрида кремния) наиболее часто используют высокочастотную плазму тетрафторида углерода (возможно применение гексафторида серы и фреона-12 - ).

При взаимодействии этих газов с электронами плазмы происходит разложение и образуются ионы фтора и другие радикалы:

(14)

ШЕНГЕЛИ Георгий Аркадьевич (1894-1956) , русский поэт. Поэтические сборники "Розы с кладбища" (1914), "Гонг" (1916), "Еврейские поэмы" (1919), "Раковина" (1922) и др.; драматическая поэма "Броненосец "Потемкин" (1923). Книга поэм "Вихрь железный" (издана в 1988). В советскую эпоху известен в основном как переводчик (из Э. Верхарна, В. Гюго, Дж Байрона, П. Верлена, Ш. Бодлера и др.) и теоретик стиха ("Трактат о русском стихе", 1921; книга "Техника стиха", издана в 1960). Наследие до сих пор в полной мере не опубликовано.

ШАМХОР , Шамкир, Шамкур [в 1928-37 - Аннино (Анненфельд)], город (с 1944) в Азербайджане, близ ж.-д. ст. Долляр. 27,9 тыс. жителей (1989). Предприятия пищевкусовой промышленности. В 652 взят арабами. В 12-13 вв. в составе Грузинского царства. В 1235 разрушен монголо-татарами. Входил в Гянджинское ханство; с 1803 в Российской империи.

КРОМВЕЛЬ (Cromwell) Оливер (1599-1658) , деятель Английской революции 17 в., руководитель индепендентов. В 1640 избран в Долгий парламент. Один из главных организаторов парламентской армии, одержавшей победы над королевской армией в 1-й (1642-46) и 2-й (1648) гражданских войнах. Опираясь на армию, изгнал из парламента пресвитериан (1648), содействовал казни короля и провозглашению республики (1649), власть в которой была сосредоточена в руках сторонников Кромвеля. С 1650 лорд-генерал (главнокомандующий всеми вооруженными силами). Подавил движения левеллеров и диггеров, освободительные движения в Ирландии и Шотландии. В 1653 установил режим единоличной военной диктатуры - протекторат.КРОМВЕЛЬ (Cromwell) Оливер (25 апреля 1599, Хантингдон - 3 сентября 1658, Лондон), вождь Английской революции, выдающийся военачальник и полководец, государственный деятель, в 1653-58 лорд-протектор Англии. Родился в семье небогатого пуританского землевладельца Роберта Кромвеля. Учился в городской школе Хантингдона, затем в 1616-17 в Кембриджском университете. В 1619-20 обучался праву в Лондоне. 22 августа 1620 женился на пуританке Элизабет Буршье.Начало парламентской и военной карьеры В 1620-28 живет с семьей в Хантингдоне, занимается сельским хозяйством. В 1628 избран в парламент от Хантингдона. В феврале 1629 впервые выступает в парламенте в защиту пуританских проповедников. В марте 1629 Карл I распускает парламент, и Кромвель в течение 11 лет ведет жизнь сельского хозяина: арендует пастбища, разводит скот, в 1636-38 участвует в народном движении в защиту общинных прав крестьян. В апреле 1640 избран депутатом в Короткий, а в ноябре 1640 в Долгий парламент от Кембриджа. В августе 1642 с началом гражданской войны между парламентом и королем вступает в парламентскую армию в чине капитана и начинает собирать отряд добровольцев. В феврале 1643 назначен полковником войск Восточной ассоциации графств. Создает и обучает Армию Нового образца - "железнобоких". Участвует в ряде битв. В августе 1643 становится заместителем главнокомандующего парламентским войском графа Манчестера; в октябре 1643 наносит первое поражение роялистам при Уинсби. В 1644 назначен лейтенант-генералом парламентских войск, в июле 1644 одерживает победу при Марстон-Муре. В ноябре-декабре 1644 в парламенте обвиняет графа Манчестера в бездействии и требует коренной реформы армии. В 1645 продолжает формировать и обучать армейские отряды, 14 июня одерживает окончательную победу над роялистами при Нейзби. Установление республики В 1647 начинается демократическое движение левеллеров, требующих продолжения революции. Армия захватывает в плен короля. Кромвель переходит на ее сторону и 6 августа 1647 во главе ее вступает в Лондон. Однако затем Кромвель и высшие офицеры начинают переговоры с королем, и левеллеры объявляют его предателем. В октябре - ноябре в Петни на заседании Совета армии Кромвель участвует в обсуждении левеллерской демократической конституции "Народного соглашения" и отвергает ее. В ноябре он подавляет выступление левеллеров в Уэре. Весной 1648 он сражается против роялистов - сначала в Уэльсе, затем одерживает победу при Престоне. В сентябре-октябре воюет с шотландскими роялистами на севере, в начале октября вступает в Эдинбург и заключает мир. В январе 1649 начинается суд над Карлом I. Кромвель добивается осуждения и казни короля. Подавление освободительных движений. Разгон парламента После установления республики Кромвель становится фактически ее правителем. В мае 1649 он подавляет восстание левеллеров в Бэрфорде, потом высаживается с армией в мятежной Ирландии и завоевывает ее с невиданной жестокостью. В мае 1650 отправляется подавлять роялистов в Шотландии. В сентябре 1650 он одерживает крупную победу при Денбаре, в сентябре 1651 - при Вустере. В апреле 1653, поддержанный широким недовольством народных масс, Кромвель силой разгоняет "охвостье" Долгого парламента и собирает Малый, или Бэрбонский парламент из представителей религиозных конгрегаций. Попытки парламента провести ряд демократических реформ вызывают недовольство имущих классов, и после его самороспуска под давлением офицеров Кромвель 16 декабря 1653 устанавливает новую конституцию "Орудие управления", которая дает ему диктаторские полномочия в качестве лорда-протектора Англии, Шотландии и Ирландии.Деятельность в роли лорда-протектораВ качестве протектора Кромвель ведет успешную внешнюю и колониальную политику: заключает выгодный мир с Голландией, подписывает торговый договор со Швецией, его флот захватывает остров Ямайку. Внутренняя политика менее удачна из-за продолжающегося экономического кризиса и нерешенности ряда важных социальных проблем. Парламент, созванный в сентябре 1654, ставит под вопрос неограниченные полномочия протектора, и Кромвель распускает его в январе 1655. В августе 1655 он разделяет Англию и Уэльс на 11 военно-административных округов во главе с майор-генералами, наделенными всей полнотой полицейской власти. Эта мера приводит к росту финансового дефицита и всеобщему недовольству режимом. В феврале 1657 в парламент вносится "Смиренная петиция и совет": Кромвелю предлагают королевский титул. 8 мая он под нажимом офицеров отказывается от него, но принимает новую конституцию, которая наделяет его монархической властью. 3 сентября 1658 Кромвель умирает. Преемником на посту лорда-протектора объявляется его старший сын Ричард.Литература:Барг М. А. Кромвель и его время. М., 1960.Павлова Т. А. Кромвель. М., 1980.Барг М. А. Великая английская революция в портретах ее деятелей. М., 1991.Abbott W. C. The Writings and Speeches of Oliver Cromwell. Cambridge (USA), 1937. V. 1-4.Firth C. H. Oliver Cromwell and the rule of the putitans in England. London, 1947.Ashley M. Oliver Cromwell and his world. London, 1972.Fraser A. Cromwell. The Lord Protector. New York, 1975.Hill Ch. God's Englishman. Oliver Cromwell and the English Revolution. London, 1975.Т. А. Павлова