Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Страница 8

1.2.3 Расчет распределения Si-Sb.

Расчет распределения сурьмы в кремнии будем производить аналогично расчету галлия в слитке кремния (пункт 1.2.1), при тех же условиях зонной плавки.

Переведем N0 в см-3. Атомная масса сурьмы = 121,7

N0=0,02 % (массовых) = 4,62×10-3 % (атомных) = 2,31×1018 см-3.

Для расчета эффективного коэффициента сегрегации kэфф воспользуемся выражением (4). Для сурьмы в кремнии k0=2,3×10-3 [1]. Отношение d/Dж=200 с/см из задания.

Подставляя значения k0, d/Dж, Vкр в (4), вычислим kэфф. Для трех скоростей кристаллизации Vкр=2,5×10-3; 8,33×10-3; 2,5×10-2 см/с соответственно получим kэфф=3,74×10-2; 0,11; 0,78.

Заполним расчетную таблицу.

Таблица 3 - Распределение сурьмы и удельного сопротивления вдоль слитка кремния после зонной плавки (один проход расплавленной зоной).

Участок зонной

плавки

Участок направленной

Кристаллизации

а

Nтв,

см-3

r , Ом×см

(по кривым Ирвина)

g

(a=10)

Nтв,

см-3

r , Ом×см

(по кривым Ирвина)

Vкр=2,5×10-3 см/с

0

8,64 1016

0,11

0

7,22 1017

0,028

1

1,68 1017

0,075

0,2

8,95 1017

0,023

2

2,47 1017

0,052

0,4

1,18 1018

0,0215

3

3,22 1017

0,047

0,6

1,74 1018

0,0192

4

3,95 1017

0,04

0,8

3,4 1018

0,014

5

4,66 1017

0,038

0,9

6,62 1018

0,0082

6

5,33 1017

0,033

0,99

6 1019

0,00135

7

6 1017

0,031

9

7,22 1017

0,028

Vкр=8,33×10-3 см/с

0

2,54 1017

0,051

0

1,55 1018

0,02

1

4,68 1017

0,038

0,2

1,89 1018

0,018

2

6,6 1017

0,03

0,4

2,44 1018

0,016

3

8,32 1017

0,027

0,6

3,5 1018

0,013

4

9,86 1017

0,024

0,8

6,49 1018

0,0085

5

1,12 1018

0,022

0,9

1,2 1019

0,0055

7

1,36 1018

0,0205

0,99

9,3 1019

0,00088

8

1,46 1018

0,02

9

1,55 1018

0,02

Vкр=2,5×10-2 см/с

0

1,8 1018

0,019

0

2,31 1018

0,0157

1

2,08 1018

0,017

0,2

2,42 1018

0,0156

2

2,2 1018

0,016

0,4

2,58 1018

0,015

3

2,26 1018

0,0158

0,6

2,82 1018

0,014

5

2,3 1018

0,0157

0,8

3,29 1018

0,0137

7

2,31 1018

0,0157

0,9

3,83 1018

0,012

9

2,31 1018

0,0157

0,99

6,36 1018

0,0086

Страницы: 4 5 6 7 8 9 10 11 12

ИЗРАЭЛЬС , см. Исраэлс.

УРЕАЗА , фермент, катализирующий у некоторых животных и растений гидролиз мочевины до аммиака и углекислого газа. Первый фермент, полученный в кристаллическом виде (Дж. Самнер, 1926).

РИБО (Ribot) Теодюль Арман (1839-1916) , французский психолог и психопатолог, родоначальник экспериментальных исследований высших психических процессов во Франции. Директор 1-й Французской психологической лаборатории (1889), основатель и редактор журнала "Ревю филозофик". Труды по проблемам памяти, произвольного внимания, чувств и др.