Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легированииСтраница 7
|
|
1.2.2 Расчет распределения Si-P.
Расчет распределения фосфора в кремнии будем производить аналогично расчету галлия в слитке кремния (пункт 1.2.1), при тех же условиях зонной плавки.
Переведем N0 в см-3. Атомная масса фосфора = 30,97
N0=0,02 % (массовых) = 1,81×10-2 % (атомных) = 9,05×1018 см-3.
Для расчета эффективного коэффициента сегрегации kэфф воспользуемся выражением (4). Для фосфора в кремнии k0=3,5×10-1 [1]. Отношение d/Dж=200 с/см из задания.
Подставляя значения k0, d/Dж, Vкр в (4), вычислим kэфф. Для трех скоростей кристаллизации Vкр=2,5×10-3; 8,33×10-3; 2,5×10-2 см/с соответственно получим kэфф=0,47; 0,74; 0,99.
Заполним расчетную таблицу.
Таблица 2 - Распределение фосфора и удельного сопротивления вдоль слитка кремния после зонной плавки (один проход расплавленной зоной).
| Участок зонной плавки | Участок направленной кристаллизации | ||||
| а | Nтв, см-3 | r , Ом×см (по кривым Ирвина) | g (a=10) | Nтв, см-3 | r , Ом×см (по кривым Ирвина) |
| Vкр=2,5×10-3 см/с | |||||
|
0 | 4,25 1018 |
0,012 |
0 | 9 1018 | 0,0068 |
|
1 | 6,05 1018 |
0,009 |
0,2 | 1,01 1019 |
0,006 |
|
2 | 7,18 1018 |
0,0075 |
0,4 | 1,18 1019 |
0,0058 |
|
3 | 7,88 1018 | 0,0073 | 0,6 | 1,46 1019 |
0,0042 |
| 4 | 8,32 1018 | 0,0071 | 0,8 | 2,11 1019 | 0,0034 |
| 5 | 8,6 1018 | 0,007 | 0,9 | 3,05 1019 | 0,0024 |
| 6 | 8,76 1018 | 0,0069 | 0,99 | 1,03 1020 | 0,00085 |
| 7 | 8,87 1018 | 0,0069 | – | – | – |
| 9 | 9 1018 | 0,0068 | – | – | – |
| Vкр=8,33×10-3 см/с | |||||
|
0 | 6,69 1018 |
0,0085 |
0 | 9,05 1018 | 0,0066 |
|
1 | 7,93 1018 |
0,0075 |
0,2 | 9,59 1018 |
0,0063 |
|
2 | 8,51 1018 |
0,0071 |
0,4 | 1,03 1019 |
0,006 |
|
3 | 8,8 1018 | 0,0069 | 0,6 | 1,15 1019 |
0,0057 |
| 4 | 8,93 1018 | 0,0068 | 0,8 | 1,38 1019 |
0,0052 |
| 5 | 9 1018 | 0,0068 | 0,9 | 1,65 1019 | 0,0045 |
| 7 | 9,03 1018 | 0,0066 | 0,99 | 3 1019 | 0,0024 |
| 8 | 9,04 1018 | 0,0066 | – | – | – |
| 9 | 9,05 1018 | 0,0066 | – | – | – |
| Vкр=2,5×10-2 см/с | |||||
|
0 | 8,96 1018 |
0,0068 |
0 | 9,05 1018 | 0,0066 |
|
1 | 9,01 1018 |
0,0068 |
0,2 | 9,07 1018 | 0,0066 |
|
2 | 9,03 1018 |
0,0066 |
0,4 | 9,1 1018 |
0,0065 |
|
3 | 9,05 1018 | 0,0066 | 0,6 | 9,13 1018 |
0,0065 |
| 4 | – | – | 0,8 | 9,2 1018 |
0,0064 |
| 5 | – | – | 0,9 | 9,26 1018 | 0,0064 |
| 9 | 9,05 1018 | 0,0066 | 0,99 | 9,48 1018 | 0,0063 |
ШАБО (Chabod) Федерико (1901-60) , итальянский историк, последователь Б. Кроче. Участник Движения Сопротивления. Труды по эпохе Возрождения, новой и новейшей истории Италии.
"ЦЕССНА" (Cessna Aircraft Co .), американская самолетостроительная фирма. Основана в 1911. Специализируется на производстве легких самолетов авиации общего назначения, в т. ч. административных, т. е. предназначенных для перевозки официальных лиц государственных учреждений, фирм и компаний, а также принадлежащих этим организациям грузов.
УАЙЛЕР (Wyler) Уильям (1902-81) , американский кинорежиссер. Фильмы: "Тупик" (1937), "Лисички" (1941), "Лучшие годы нашей жизни" (1946), "Римские каникулы" (1953), "Бен Гур" (1959), "Как украсть миллион" (1966), "Смешная девочка" (1968), "Освобождение Л. Б. Джонса" (1970) и др.