Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Страница 7

1.2.2 Расчет распределения Si-P.

Расчет распределения фосфора в кремнии будем производить аналогично расчету галлия в слитке кремния (пункт 1.2.1), при тех же условиях зонной плавки.

Переведем N0 в см-3. Атомная масса фосфора = 30,97

N0=0,02 % (массовых) = 1,81×10-2 % (атомных) = 9,05×1018 см-3.

Для расчета эффективного коэффициента сегрегации kэфф воспользуемся выражением (4). Для фосфора в кремнии k0=3,5×10-1 [1]. Отношение d/Dж=200 с/см из задания.

Подставляя значения k0, d/Dж, Vкр в (4), вычислим kэфф. Для трех скоростей кристаллизации Vкр=2,5×10-3; 8,33×10-3; 2,5×10-2 см/с соответственно получим kэфф=0,47; 0,74; 0,99.

Заполним расчетную таблицу.

Таблица 2 - Распределение фосфора и удельного сопротивления вдоль слитка кремния после зонной плавки (один проход расплавленной зоной).

Участок зонной

плавки

Участок направленной

кристаллизации

а

Nтв,

см-3

r , Ом×см

(по кривым Ирвина)

g

(a=10)

Nтв,

см-3

r , Ом×см

(по кривым Ирвина)

Vкр=2,5×10-3 см/с

0

4,25 1018

0,012

0

9 1018

0,0068

1

6,05 1018

0,009

0,2

1,01 1019

0,006

2

7,18 1018

0,0075

0,4

1,18 1019

0,0058

3

7,88 1018

0,0073

0,6

1,46 1019

0,0042

4

8,32 1018

0,0071

0,8

2,11 1019

0,0034

5

8,6 1018

0,007

0,9

3,05 1019

0,0024

6

8,76 1018

0,0069

0,99

1,03 1020

0,00085

7

8,87 1018

0,0069

9

9 1018

0,0068

Vкр=8,33×10-3 см/с

0

6,69 1018

0,0085

0

9,05 1018

0,0066

1

7,93 1018

0,0075

0,2

9,59 1018

0,0063

2

8,51 1018

0,0071

0,4

1,03 1019

0,006

3

8,8 1018

0,0069

0,6

1,15 1019

0,0057

4

8,93 1018

0,0068

0,8

1,38 1019

0,0052

5

9 1018

0,0068

0,9

1,65 1019

0,0045

7

9,03 1018

0,0066

0,99

3 1019

0,0024

8

9,04 1018

0,0066

9

9,05 1018

0,0066

Vкр=2,5×10-2 см/с

0

8,96 1018

0,0068

0

9,05 1018

0,0066

1

9,01 1018

0,0068

0,2

9,07 1018

0,0066

2

9,03 1018

0,0066

0,4

9,1 1018

0,0065

3

9,05 1018

0,0066

0,6

9,13 1018

0,0065

4

0,8

9,2 1018

0,0064

5

0,9

9,26 1018

0,0064

9

9,05 1018

0,0066

0,99

9,48 1018

0,0063

Страницы: 3 4 5 6 7 8 9 10 11

ОЛДРИН (Aldrin) Эдвин (р . 1930), космонавт США, доктор наук, полковник ВВС в отставке. Полет на "Джемини-12" (ноябрь 1966). Первый в истории полет на Луну на "Аполлоне-11" и выход на ее поверхность (июль 1969).

БОГЕМИЯ (лат . Bohemia, от Boiohaemum - страна бойев), 1) первоначальное название территории, на которой образовалось государство Чехия...2) Официальное название в 1526-1918 Чехии (без Моравии) в составе Габсбургской империи.

ИДОМЕНЕЙ , в греческой мифологии царь о. Крит, внук легендарного царя Миноса. Участник Троянской войны. Во время бури пообещал Посейдону за возвращение домой принести в жертву первого встреченного им человека. Им оказался его собственный сын. За неугодную жертву боги покарали Крит моровой язвой, и Идоменея изгнали.