Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легированииСтраница 7
|
|
1.2.2 Расчет распределения Si-P.
Расчет распределения фосфора в кремнии будем производить аналогично расчету галлия в слитке кремния (пункт 1.2.1), при тех же условиях зонной плавки.
Переведем N0 в см-3. Атомная масса фосфора = 30,97
N0=0,02 % (массовых) = 1,81×10-2 % (атомных) = 9,05×1018 см-3.
Для расчета эффективного коэффициента сегрегации kэфф воспользуемся выражением (4). Для фосфора в кремнии k0=3,5×10-1 [1]. Отношение d/Dж=200 с/см из задания.
Подставляя значения k0, d/Dж, Vкр в (4), вычислим kэфф. Для трех скоростей кристаллизации Vкр=2,5×10-3; 8,33×10-3; 2,5×10-2 см/с соответственно получим kэфф=0,47; 0,74; 0,99.
Заполним расчетную таблицу.
Таблица 2 - Распределение фосфора и удельного сопротивления вдоль слитка кремния после зонной плавки (один проход расплавленной зоной).
| Участок зонной плавки | Участок направленной кристаллизации | ||||
| а | Nтв, см-3 | r , Ом×см (по кривым Ирвина) | g (a=10) | Nтв, см-3 | r , Ом×см (по кривым Ирвина) |
| Vкр=2,5×10-3 см/с | |||||
|
0 | 4,25 1018 |
0,012 |
0 | 9 1018 | 0,0068 |
|
1 | 6,05 1018 |
0,009 |
0,2 | 1,01 1019 |
0,006 |
|
2 | 7,18 1018 |
0,0075 |
0,4 | 1,18 1019 |
0,0058 |
|
3 | 7,88 1018 | 0,0073 | 0,6 | 1,46 1019 |
0,0042 |
| 4 | 8,32 1018 | 0,0071 | 0,8 | 2,11 1019 | 0,0034 |
| 5 | 8,6 1018 | 0,007 | 0,9 | 3,05 1019 | 0,0024 |
| 6 | 8,76 1018 | 0,0069 | 0,99 | 1,03 1020 | 0,00085 |
| 7 | 8,87 1018 | 0,0069 | – | – | – |
| 9 | 9 1018 | 0,0068 | – | – | – |
| Vкр=8,33×10-3 см/с | |||||
|
0 | 6,69 1018 |
0,0085 |
0 | 9,05 1018 | 0,0066 |
|
1 | 7,93 1018 |
0,0075 |
0,2 | 9,59 1018 |
0,0063 |
|
2 | 8,51 1018 |
0,0071 |
0,4 | 1,03 1019 |
0,006 |
|
3 | 8,8 1018 | 0,0069 | 0,6 | 1,15 1019 |
0,0057 |
| 4 | 8,93 1018 | 0,0068 | 0,8 | 1,38 1019 |
0,0052 |
| 5 | 9 1018 | 0,0068 | 0,9 | 1,65 1019 | 0,0045 |
| 7 | 9,03 1018 | 0,0066 | 0,99 | 3 1019 | 0,0024 |
| 8 | 9,04 1018 | 0,0066 | – | – | – |
| 9 | 9,05 1018 | 0,0066 | – | – | – |
| Vкр=2,5×10-2 см/с | |||||
|
0 | 8,96 1018 |
0,0068 |
0 | 9,05 1018 | 0,0066 |
|
1 | 9,01 1018 |
0,0068 |
0,2 | 9,07 1018 | 0,0066 |
|
2 | 9,03 1018 |
0,0066 |
0,4 | 9,1 1018 |
0,0065 |
|
3 | 9,05 1018 | 0,0066 | 0,6 | 9,13 1018 |
0,0065 |
| 4 | – | – | 0,8 | 9,2 1018 |
0,0064 |
| 5 | – | – | 0,9 | 9,26 1018 | 0,0064 |
| 9 | 9,05 1018 | 0,0066 | 0,99 | 9,48 1018 | 0,0063 |
УГАНДА , Республика Уганда (Republic of Uganda), государство в Вост. Африке. 236 тыс. км2. Население 17,7 млн. человек (1993); ганда, сога, ньянколе, тесо и др. Городское население 11,3% (1991). Официальный язык - английский и суахили. 75% верующих - католики и протестанты, 5-6% - мусульмане, остальные придерживаются местных традиционных верований. Административно-территориальное деление: 38 округов. Столица - Кампала. Входит в Содружество. Глава государства и правительства - президент. Временный законодательный орган - Национальный совет сопротивления. Уганда расположена в пределах Вост.-Африканского плоскогорья. В рельефе преобладают возвышенные равнины высота 1100-1500 м. На западе - горный массив Рувензори (высота до 5109 м). Климат субэкваториальный. Средние месячные температуры от 18 до 25 °С. Осадков от 750 мм до 1500 мм в год. Крупные озера: Мобуту-Сесе-Секо, Кьога и Виктория. Речная сеть относится к бас. р. Нил. Преобладают высокотравные саванны. Национальные парки - Рувензори и Кабарега. В средние века на территории Уганды существовали государства Китара, позже Уньоро, Нкоре, Торо. К сер. 19 в. усилилось образовавшееся в 14 в. государство Буганда. В 90-х гг. 19 - нач. 20 вв. над этими государствами был установлен британский протекторат, они стали автономными провинциями протектората Уганда. С октября 1962 Уганда - независимое государство, в котором автономные права получили прежние королевства. Главой государства стал кабака (наследственный правитель) Мутеса II. В 1967 принята республиканская конституция, королевство Буганда было упразднено. Президентом Уганды стал М. Оботе, начавший проводить политику "африканизации" экономики. В 1971 совершен военный переворот. Главой государства стал И. Амин Дада, установивший диктаторский режим. Массовым репрессиям подвергались целые народы Уганды. В 1979 с помощью танзаннийских войск режим Амина был свергнут. После выборов 1980 президентом вновь стал М. Оботе; смещен в 1985 после военного переворота. Высшим органом государственной власти стал Военный совет. В 1986 к власти пришли силы Национальной армии сопротивления. Высшим законодательным органом провозглашен Национальный совет сопротивления (Военный совет был распущен). Уганда - экономически слаборазвитая аграрная страна. Доля в валовом внутреннем продукте (1990, %): сельское хозяйство 35,4, промышленность 6,8. Главные товарные сельскохозяйственные культуры: кофе, хлопчатник, чай, табак; выращивают просо, сорго, кукурузу, батат, маниок, ямс. Экстенсивное животноводство. Озерное рыболовство. Лесозаготовки. Добыча медной и вольфрамовой руд, апатитов. Переработка сельскохозяйственного сырья. Текстильные, медеплавильные, цементные и другие предприятия. Производство электроэнергии 783 млн. кВт·ч (1991). Длина (тыс. км) железных дорог 1,3, автодорог 28 (1990). Экспорт: сельскохозяйственная продукция (св. 95% стоимости). Основные внешнеторговые партнеры: страны Европейского Сообщества, США и др. Денежная единица - угандийский шиллинг.
ШЕЛК , натуральная текстильная нить животного происхождения; продукт, выделяемый железами гусениц шелкопрядов. При совместной размотке нескольких коконов получают шелк-сырец, из которого вырабатывают крученый шелк, применяемый для изготовления тканей, трикотажа, швейных ниток. Отходы перерабатывают в пряжу для технических и других тканей.
ТРИНИДАД (Trinidad) , остров в Атлантическом ок. в составе государства Тринидад и Тобаго. Площадь 4,8 тыс. км2. Высота до 940 м. На Тринидаде - столица госдарства - Порт-оф-Спейн.