Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легированииСтраница 7
|
|
1.2.2 Расчет распределения Si-P.
Расчет распределения фосфора в кремнии будем производить аналогично расчету галлия в слитке кремния (пункт 1.2.1), при тех же условиях зонной плавки.
Переведем N0 в см-3. Атомная масса фосфора = 30,97
N0=0,02 % (массовых) = 1,81×10-2 % (атомных) = 9,05×1018 см-3.
Для расчета эффективного коэффициента сегрегации kэфф воспользуемся выражением (4). Для фосфора в кремнии k0=3,5×10-1 [1]. Отношение d/Dж=200 с/см из задания.
Подставляя значения k0, d/Dж, Vкр в (4), вычислим kэфф. Для трех скоростей кристаллизации Vкр=2,5×10-3; 8,33×10-3; 2,5×10-2 см/с соответственно получим kэфф=0,47; 0,74; 0,99.
Заполним расчетную таблицу.
Таблица 2 - Распределение фосфора и удельного сопротивления вдоль слитка кремния после зонной плавки (один проход расплавленной зоной).
| Участок зонной плавки | Участок направленной кристаллизации | ||||
| а | Nтв, см-3 | r , Ом×см (по кривым Ирвина) | g (a=10) | Nтв, см-3 | r , Ом×см (по кривым Ирвина) |
| Vкр=2,5×10-3 см/с | |||||
|
0 | 4,25 1018 |
0,012 |
0 | 9 1018 | 0,0068 |
|
1 | 6,05 1018 |
0,009 |
0,2 | 1,01 1019 |
0,006 |
|
2 | 7,18 1018 |
0,0075 |
0,4 | 1,18 1019 |
0,0058 |
|
3 | 7,88 1018 | 0,0073 | 0,6 | 1,46 1019 |
0,0042 |
| 4 | 8,32 1018 | 0,0071 | 0,8 | 2,11 1019 | 0,0034 |
| 5 | 8,6 1018 | 0,007 | 0,9 | 3,05 1019 | 0,0024 |
| 6 | 8,76 1018 | 0,0069 | 0,99 | 1,03 1020 | 0,00085 |
| 7 | 8,87 1018 | 0,0069 | – | – | – |
| 9 | 9 1018 | 0,0068 | – | – | – |
| Vкр=8,33×10-3 см/с | |||||
|
0 | 6,69 1018 |
0,0085 |
0 | 9,05 1018 | 0,0066 |
|
1 | 7,93 1018 |
0,0075 |
0,2 | 9,59 1018 |
0,0063 |
|
2 | 8,51 1018 |
0,0071 |
0,4 | 1,03 1019 |
0,006 |
|
3 | 8,8 1018 | 0,0069 | 0,6 | 1,15 1019 |
0,0057 |
| 4 | 8,93 1018 | 0,0068 | 0,8 | 1,38 1019 |
0,0052 |
| 5 | 9 1018 | 0,0068 | 0,9 | 1,65 1019 | 0,0045 |
| 7 | 9,03 1018 | 0,0066 | 0,99 | 3 1019 | 0,0024 |
| 8 | 9,04 1018 | 0,0066 | – | – | – |
| 9 | 9,05 1018 | 0,0066 | – | – | – |
| Vкр=2,5×10-2 см/с | |||||
|
0 | 8,96 1018 |
0,0068 |
0 | 9,05 1018 | 0,0066 |
|
1 | 9,01 1018 |
0,0068 |
0,2 | 9,07 1018 | 0,0066 |
|
2 | 9,03 1018 |
0,0066 |
0,4 | 9,1 1018 |
0,0065 |
|
3 | 9,05 1018 | 0,0066 | 0,6 | 9,13 1018 |
0,0065 |
| 4 | – | – | 0,8 | 9,2 1018 |
0,0064 |
| 5 | – | – | 0,9 | 9,26 1018 | 0,0064 |
| 9 | 9,05 1018 | 0,0066 | 0,99 | 9,48 1018 | 0,0063 |
КУЛИКОВСКАЯ БИТВА , русских полков во главе с великим князем московским и владимирским Дмитрием Донским и монголо-татарских войск под началом Мамая 8 сентября 1380 на Куликовом поле. В Куликовской битве участвовали воины многих русских княжеств. Борьбу с врагом возглавило Московское великое княжество. Завершилась разгромом монголо-татар. Начало освобождения русского и других народов от монголо-татарского ига.
ТЕЛЕМЕХАНИКА (от теле ... и механика),..1) наука об управлении и контроле на расстоянии с передачей (по каналу связи) кодированных электрических или радиосигналов, несущих управляющую информацию или данные о состоянии контролируемого объекта. Объектами телемеханического управления и контроля могут служить технологические процессы, машины, устройства, биологические системы и др...2) Отрасль техники, разрабатывающая, создающая и использующая средства кодирования, передачи и приема информации по каналам проводной и радиосвязи. В системах телемеханики информация обычно передается в кодированном виде по одному каналу связи. Средства телемеханики используются для телеизмерений и телеуправления объектами энергосистем, газо- и нефтепроводов, атомных электростанций, некоторых химических предприятий, автоматических метеостанций и др.
ТИССЕРАН (Тisserand) Франсуа (1845-96) , французский астроном, иностранный член-корреспондент Петербургской АН (1883). Труды по теории движения комет, проблеме устойчивости Солнечной системы и др. Автор капитального 4-томного руководства по небесной механике (1889-96).