ChemStudy

(8)

При простейшем анализе структур и в простейших моделях процессов легирования в технологии изготовления ИМС предполагаются именно такие условия диффузии.

Второе уравнение диффузии (второй закон Фика) получается путем сочетания первого закона и принципа сохранения вещества, согласно которому изменение концентрации вещества в данном объеме должно быть равно разности потоков этого вещества на входе в объем и выходе из него.

В общем случае второе уравнение диффузии имеет следующий вид

(9)

Для одномерной диффузии в изотропной среде уравнение (9) можно записать

(10)

Второй закон Фика характеризует процесс изменения концентрации диффундирующей примеси во времени в различных точках среды и является математической моделью нестационарного (развивающегося) состояния системы (описывает период времени от начала процесса до установления стационарного состояния).

При постоянстве коэффициента диффузии D (независимости его от концентрации примеси) уравнение (10) упрощается

(11)

Допущение о постоянстве коэффициента диффузии справедливо в большом количестве случаев, анализируемых в технологии ИМС.

Уравнения диффузии являются чисто феноменологическими, т.е. они не содержат никаких сведений о механизмах диффузии - о диффузионном процессе на атомном, уровне. Кроме того, уравнения (7) - (11) не содержат информации о зарядовом состоянии диффундирующих частиц.

Процессы диффузии, используемые для изготовления интегральных структур, обычно анализируются с помощью частных решений уравнения (11) т.к., в отличие от (8), именно оно содержит важный параметр - время установления некоторого анализируемого состояния системы. Основная цель решения уравнения - найти распределение примеси N(x,t) в полупроводнике после диффузии в течение определенного времени t при различных условиях осуществления процесса.

КИРОВАКАН (до 1935 Караклис) , город в Армении. Железнодорожная станция. 75,6 тыс. жителей (1991). Химическая, машиностроительная, пищевая, легкая промышленность. Педагогический институт. Театр. Горноклиматический курорт. Основан в 1826. Назван по имени С. М. Кирова. Сильно пострадал в результате катастрофического землетрясения в декабре 1988.

ДРАДЕДАМ (франц . drap des dames - дамское сукно), очень легкое сукно полотняного переплетения. В 19 в. имел широкое распространение.

РУВУМА (Ровума) (Ruvuma , Rovuma), река в Вост. Африке, между Танзанией и Мозамбиком. Ок. 800 км, площадь бассейна ок. 150 тыс. км2 . Впадает в Индийский ок. Средний расход воды ок 700 м3/с. Судоходна на отдельных участках в нижнем течении.