ChemStudy

(8)

При простейшем анализе структур и в простейших моделях процессов легирования в технологии изготовления ИМС предполагаются именно такие условия диффузии.

Второе уравнение диффузии (второй закон Фика) получается путем сочетания первого закона и принципа сохранения вещества, согласно которому изменение концентрации вещества в данном объеме должно быть равно разности потоков этого вещества на входе в объем и выходе из него.

В общем случае второе уравнение диффузии имеет следующий вид

(9)

Для одномерной диффузии в изотропной среде уравнение (9) можно записать

(10)

Второй закон Фика характеризует процесс изменения концентрации диффундирующей примеси во времени в различных точках среды и является математической моделью нестационарного (развивающегося) состояния системы (описывает период времени от начала процесса до установления стационарного состояния).

При постоянстве коэффициента диффузии D (независимости его от концентрации примеси) уравнение (10) упрощается

(11)

Допущение о постоянстве коэффициента диффузии справедливо в большом количестве случаев, анализируемых в технологии ИМС.

Уравнения диффузии являются чисто феноменологическими, т.е. они не содержат никаких сведений о механизмах диффузии - о диффузионном процессе на атомном, уровне. Кроме того, уравнения (7) - (11) не содержат информации о зарядовом состоянии диффундирующих частиц.

Процессы диффузии, используемые для изготовления интегральных структур, обычно анализируются с помощью частных решений уравнения (11) т.к., в отличие от (8), именно оно содержит важный параметр - время установления некоторого анализируемого состояния системы. Основная цель решения уравнения - найти распределение примеси N(x,t) в полупроводнике после диффузии в течение определенного времени t при различных условиях осуществления процесса.

ИСИКАРИ , низменность на западе о-ва Хоккайдо, важный сельскохозяйственный район Японии (посевы риса, зерновых). На Исикари - г. Саппоро.

ЛЯЛЛЕМАНЦИЯ , род однолетних трав семейства губоцветных, масличная культура. 6 видов. Возделывают ляллеманцию иберийскую и ляллеманцию Ройля; в семенах 35-38% технического масла. Основные площади - в Иране, Индии, Пакистане.

ЯНГ (Ян Чжэньнин) (Yang Chen Ning) (р . 1922), физик-теоретик. По происхождению китаец. С 1945 в США. Заложил основы современной теории калибровочных полей (теория Янга - Миллса, 1954, совместно с Р. Миллсом). Выдвинул (1956, совместно с Ли Цзундао) гипотезу о несохранении четности в слабых взаимодействиях. Нобелевская премия (1957, совместно с Ли Цзундао).