ChemStudy

(8)

При простейшем анализе структур и в простейших моделях процессов легирования в технологии изготовления ИМС предполагаются именно такие условия диффузии.

Второе уравнение диффузии (второй закон Фика) получается путем сочетания первого закона и принципа сохранения вещества, согласно которому изменение концентрации вещества в данном объеме должно быть равно разности потоков этого вещества на входе в объем и выходе из него.

В общем случае второе уравнение диффузии имеет следующий вид

(9)

Для одномерной диффузии в изотропной среде уравнение (9) можно записать

(10)

Второй закон Фика характеризует процесс изменения концентрации диффундирующей примеси во времени в различных точках среды и является математической моделью нестационарного (развивающегося) состояния системы (описывает период времени от начала процесса до установления стационарного состояния).

При постоянстве коэффициента диффузии D (независимости его от концентрации примеси) уравнение (10) упрощается

(11)

Допущение о постоянстве коэффициента диффузии справедливо в большом количестве случаев, анализируемых в технологии ИМС.

Уравнения диффузии являются чисто феноменологическими, т.е. они не содержат никаких сведений о механизмах диффузии - о диффузионном процессе на атомном, уровне. Кроме того, уравнения (7) - (11) не содержат информации о зарядовом состоянии диффундирующих частиц.

Процессы диффузии, используемые для изготовления интегральных структур, обычно анализируются с помощью частных решений уравнения (11) т.к., в отличие от (8), именно оно содержит важный параметр - время установления некоторого анализируемого состояния системы. Основная цель решения уравнения - найти распределение примеси N(x,t) в полупроводнике после диффузии в течение определенного времени t при различных условиях осуществления процесса.

БИРОН Эрнст Иоганн (1690-1772) , граф, фаворит императрицы Анны Ивановны, обер-камергер ее двора; герцог Курляндский (с 1737). В 1730-40 пользовался неограниченным доверием императрицы Анны Ивановны. Проводимая Бироном политика привела к засилью иностранцев, разграблению богатств страны, жестокому преследованию недовольных и т. д. После дворцового переворота 1740 арестован и сослан. В 1761 помилован императором Петром III.

ЖУКОВ Георгий Константинович (1896-1974) , Маршал Советского Союза (1943), четырежды Герой Советского Союза (1939, 1944, 1945, 1956). Участник сражения на р. Халхин-Гол (1939). С 1940 командующий войсками Киевского ВО. В январе - июле 1941 начальник Генштаба - заместитель наркома обороны СССР. В Великую Отечественную войну проявил себя как талантливый полководец, сыгравший важнейшую роль в разгроме немецко-фашистских войск в Ленинградской и Московской битвах (1941-42), при прорыве блокады Ленинграда, в Сталинградской и Курской битвах (1942-43), при наступлении на Правобережной Украине и в Белорусской операции (1943-44), в Висло-Одерской и Берлинской операциях (1944-45). С августа 1942 заместитель наркома обороны СССР и заместитель Верховного Главнокомандующего. От имени Верховного Главнокомандования 8 мая 1945 принял капитуляцию фашистской Германии. В 1945-46 главнокомандующий Группой советских войск и глава Советской военной администрации в Германии. С марта 1946 главнокомандующий Сухопутными войсками и заместитель министра Вооруженных Сил СССР. В том же году отстранен от должности И. В. Сталиным. С июня 1946 командующий войсками Одесского, с 1948 - Уральского ВО. С 1953 1-й заместитель министра, с 1955 министр обороны СССР. В октябре 1957 освобожден от обязанностей министра по распоряжению Н. С. Хрущева, в 1958 уволен из Вооруженных Сил. Автор книги "Воспоминания и размышления" (1-е изд., 1969; 10-е изд. дополнено по рукописи автора, т. 1-3, 1990).

КОСЫГИН Юрий Александрович (1911-94) , российский геолог, академик РАН (1991; академик АН СССР с 1970), Герой Социалистического Труда (1981). Труды по геологии нефтеносных областей СССР, теоретической и экспериментальной тектонике, применению математических методов и ЭВМ в геологии. Ленинская премия (1988).