ChemStudy

(8)

При простейшем анализе структур и в простейших моделях процессов легирования в технологии изготовления ИМС предполагаются именно такие условия диффузии.

Второе уравнение диффузии (второй закон Фика) получается путем сочетания первого закона и принципа сохранения вещества, согласно которому изменение концентрации вещества в данном объеме должно быть равно разности потоков этого вещества на входе в объем и выходе из него.

В общем случае второе уравнение диффузии имеет следующий вид

(9)

Для одномерной диффузии в изотропной среде уравнение (9) можно записать

(10)

Второй закон Фика характеризует процесс изменения концентрации диффундирующей примеси во времени в различных точках среды и является математической моделью нестационарного (развивающегося) состояния системы (описывает период времени от начала процесса до установления стационарного состояния).

При постоянстве коэффициента диффузии D (независимости его от концентрации примеси) уравнение (10) упрощается

(11)

Допущение о постоянстве коэффициента диффузии справедливо в большом количестве случаев, анализируемых в технологии ИМС.

Уравнения диффузии являются чисто феноменологическими, т.е. они не содержат никаких сведений о механизмах диффузии - о диффузионном процессе на атомном, уровне. Кроме того, уравнения (7) - (11) не содержат информации о зарядовом состоянии диффундирующих частиц.

Процессы диффузии, используемые для изготовления интегральных структур, обычно анализируются с помощью частных решений уравнения (11) т.к., в отличие от (8), именно оно содержит важный параметр - время установления некоторого анализируемого состояния системы. Основная цель решения уравнения - найти распределение примеси N(x,t) в полупроводнике после диффузии в течение определенного времени t при различных условиях осуществления процесса.

ЛЕЙК-ЧАРЛЗ (Lake Charles) , город на юге США, шт. Луизиана. 71 тыс. жителей (1990), с пригородами 172 тыс. жителей Порт на р. Калкашу и Береговом канале, близ Мексиканского зал. Нефтеперерабатывающая, нефтехимическая промышленность.

ЕЛЕЦКИЙ УСПЕНСКИЙ МОНАСТЫРЬ , мужской, в Чернигове. Основан в 11 в. Упразднен после Октябрьской революции. Архитектурный памятник 12-18 вв. (собор, палаты, колокольня и др.).

ЛАНЩИКОВ Анатолий Петрович (р . 1929), российский критик. Основные работы посвящены русской литературе 19 в. и литературе советского периода. Книги: "Времен возвышенная связь" (1969), "Вопросы и время" (1978), "Н. Г. Чернышевский" (1982), "Чувство пути" (1983) и др.