ChemStudy

(8)

При простейшем анализе структур и в простейших моделях процессов легирования в технологии изготовления ИМС предполагаются именно такие условия диффузии.

Второе уравнение диффузии (второй закон Фика) получается путем сочетания первого закона и принципа сохранения вещества, согласно которому изменение концентрации вещества в данном объеме должно быть равно разности потоков этого вещества на входе в объем и выходе из него.

В общем случае второе уравнение диффузии имеет следующий вид

(9)

Для одномерной диффузии в изотропной среде уравнение (9) можно записать

(10)

Второй закон Фика характеризует процесс изменения концентрации диффундирующей примеси во времени в различных точках среды и является математической моделью нестационарного (развивающегося) состояния системы (описывает период времени от начала процесса до установления стационарного состояния).

При постоянстве коэффициента диффузии D (независимости его от концентрации примеси) уравнение (10) упрощается

(11)

Допущение о постоянстве коэффициента диффузии справедливо в большом количестве случаев, анализируемых в технологии ИМС.

Уравнения диффузии являются чисто феноменологическими, т.е. они не содержат никаких сведений о механизмах диффузии - о диффузионном процессе на атомном, уровне. Кроме того, уравнения (7) - (11) не содержат информации о зарядовом состоянии диффундирующих частиц.

Процессы диффузии, используемые для изготовления интегральных структур, обычно анализируются с помощью частных решений уравнения (11) т.к., в отличие от (8), именно оно содержит важный параметр - время установления некоторого анализируемого состояния системы. Основная цель решения уравнения - найти распределение примеси N(x,t) в полупроводнике после диффузии в течение определенного времени t при различных условиях осуществления процесса.

ЭССЕКС (Essex) Роберт Девере (1591-1646) , граф, один из лидеров пресвитериан в английской революции 17 в. С 1642 главнокомандующий парламентской армией. Сторонник компромисса с королем. Противился перестройке армии на демократических началах. В 1645 после военных неудач сложил с себя командование.

ИНДИКАТРИСА (франц . indicatrice, букв. - указывающий), в оптике - графическое изображение зависимости характеристик светового поля (яркости, поляризации света) или оптических характеристик среды (показателей преломления, отражательной способности) от направления.

ЯНШИН Михаил Михайлович (1902-76) , российский актер, режиссер, народный артист СССР (1955). С 1924 в Московском Художественном академическом театре. Среди ролей: Лариосик ("Дни Турбиных" М. А. Булгакова), сэр Питер ("Школа злословия" Р. Шеридана), Абель ("Соло для часов с боем" О. Заградника). Возглавлял театр "Ромэн" (1937-41) и Московский драматический театр им. Станиславского (1950-63). Снимался в фильмах: "Свадьба" (1944), "Шведская спичка" (1954) и др. Государственная премия СССР (1975).