ChemStudy

(8)

При простейшем анализе структур и в простейших моделях процессов легирования в технологии изготовления ИМС предполагаются именно такие условия диффузии.

Второе уравнение диффузии (второй закон Фика) получается путем сочетания первого закона и принципа сохранения вещества, согласно которому изменение концентрации вещества в данном объеме должно быть равно разности потоков этого вещества на входе в объем и выходе из него.

В общем случае второе уравнение диффузии имеет следующий вид

(9)

Для одномерной диффузии в изотропной среде уравнение (9) можно записать

(10)

Второй закон Фика характеризует процесс изменения концентрации диффундирующей примеси во времени в различных точках среды и является математической моделью нестационарного (развивающегося) состояния системы (описывает период времени от начала процесса до установления стационарного состояния).

При постоянстве коэффициента диффузии D (независимости его от концентрации примеси) уравнение (10) упрощается

(11)

Допущение о постоянстве коэффициента диффузии справедливо в большом количестве случаев, анализируемых в технологии ИМС.

Уравнения диффузии являются чисто феноменологическими, т.е. они не содержат никаких сведений о механизмах диффузии - о диффузионном процессе на атомном, уровне. Кроме того, уравнения (7) - (11) не содержат информации о зарядовом состоянии диффундирующих частиц.

Процессы диффузии, используемые для изготовления интегральных структур, обычно анализируются с помощью частных решений уравнения (11) т.к., в отличие от (8), именно оно содержит важный параметр - время установления некоторого анализируемого состояния системы. Основная цель решения уравнения - найти распределение примеси N(x,t) в полупроводнике после диффузии в течение определенного времени t при различных условиях осуществления процесса.

ГЛИНКА Михаил Иванович (1804-57) , российский композитор, родоначальник русской классической музыки. Оперы "Жизнь за царя" ("Иван Сусанин", 1836) и "Руслан и Людмила" (1842) положили начало двум направлениям русской оперы - народной музыкальной драме и опере-сказке, опере-былине. Симфонические сочинения, в т. ч. "Камаринская" (1848), "Испанские увертюры" ("Арагонская хота", 1845, и "Ночь в Мадриде", 1851), заложили основы русского симфонизма. Классик русского романса. "Патриотическая песня" Глинки стала музыкальной основой государственного гимна Российской Федерации. Учреждены Глинкинские премии (М. П. Беляевым; 1884-1917), Государственная премия РСФСР имени Глинки (в 1965-90); проводится конкурс вокалистов имени Глинки (с 1960).

КОРРЕЛЯЦИЯ языковая ,..1) взаимообусловленность, связь, определенная зависимость языковых элементов...2) Разновидность оппозиции в фонологии (см. Оппозиция в лингвистике).

ЧУБАРЯН Гукас Григорьевич (р . 1923), армянский скульптор, народный художник Армении (1972). Памятник Е. Чаренцу в Ереване (1956), портрет академика Мазманяна (1979).