ChemStudy

(8)

При простейшем анализе структур и в простейших моделях процессов легирования в технологии изготовления ИМС предполагаются именно такие условия диффузии.

Второе уравнение диффузии (второй закон Фика) получается путем сочетания первого закона и принципа сохранения вещества, согласно которому изменение концентрации вещества в данном объеме должно быть равно разности потоков этого вещества на входе в объем и выходе из него.

В общем случае второе уравнение диффузии имеет следующий вид

(9)

Для одномерной диффузии в изотропной среде уравнение (9) можно записать

(10)

Второй закон Фика характеризует процесс изменения концентрации диффундирующей примеси во времени в различных точках среды и является математической моделью нестационарного (развивающегося) состояния системы (описывает период времени от начала процесса до установления стационарного состояния).

При постоянстве коэффициента диффузии D (независимости его от концентрации примеси) уравнение (10) упрощается

(11)

Допущение о постоянстве коэффициента диффузии справедливо в большом количестве случаев, анализируемых в технологии ИМС.

Уравнения диффузии являются чисто феноменологическими, т.е. они не содержат никаких сведений о механизмах диффузии - о диффузионном процессе на атомном, уровне. Кроме того, уравнения (7) - (11) не содержат информации о зарядовом состоянии диффундирующих частиц.

Процессы диффузии, используемые для изготовления интегральных структур, обычно анализируются с помощью частных решений уравнения (11) т.к., в отличие от (8), именно оно содержит важный параметр - время установления некоторого анализируемого состояния системы. Основная цель решения уравнения - найти распределение примеси N(x,t) в полупроводнике после диффузии в течение определенного времени t при различных условиях осуществления процесса.

ЛОМБАРДЫ , кредитные учреждения, предоставляющие ссуды под залог движимого имущества; впервые учреждены в 15 в. во Франции ростовщиками, выходцами из Ломбардии.

ШТРАУС Иоганн (Штраус-сын) (1825-99) , австрийский композитор, скрипач и дирижер. Создал классический тип венского вальса ("На прекрасном голубом Дунае", 1867, "Сказки Венского леса", 1868, "Весенние голоса", 1883, и др.). 16 оперетт, в т. ч. "Летучая мышь" (1874), "Цыганский барон" (1885) и др. Выступал как дирижер во многих странах, в т. ч. неоднократно в России в 1856-69.

ЯЩЕРИЦЫ , подотряд пресмыкающихся отряда чешуйчатых. Тело длиной от нескольких см до 3 м и более (комодский варан), покрыто ороговелыми чешуйками. У большинства хорошо развиты конечности. Более 3900 видов, на всех континентах, кроме Антарктиды, преимущественно в тропиках и субтропиках; обитают в степях, пустынях и лесах. Многие способны отбрасывать хвост (автотомия). Некоторые ядовиты (ядозубы). Истребляют насекомых-вредителей. Мясо некоторых видов съедобно, кожа используется для различных поделок.