ChemStudy

(8)

При простейшем анализе структур и в простейших моделях процессов легирования в технологии изготовления ИМС предполагаются именно такие условия диффузии.

Второе уравнение диффузии (второй закон Фика) получается путем сочетания первого закона и принципа сохранения вещества, согласно которому изменение концентрации вещества в данном объеме должно быть равно разности потоков этого вещества на входе в объем и выходе из него.

В общем случае второе уравнение диффузии имеет следующий вид

(9)

Для одномерной диффузии в изотропной среде уравнение (9) можно записать

(10)

Второй закон Фика характеризует процесс изменения концентрации диффундирующей примеси во времени в различных точках среды и является математической моделью нестационарного (развивающегося) состояния системы (описывает период времени от начала процесса до установления стационарного состояния).

При постоянстве коэффициента диффузии D (независимости его от концентрации примеси) уравнение (10) упрощается

(11)

Допущение о постоянстве коэффициента диффузии справедливо в большом количестве случаев, анализируемых в технологии ИМС.

Уравнения диффузии являются чисто феноменологическими, т.е. они не содержат никаких сведений о механизмах диффузии - о диффузионном процессе на атомном, уровне. Кроме того, уравнения (7) - (11) не содержат информации о зарядовом состоянии диффундирующих частиц.

Процессы диффузии, используемые для изготовления интегральных структур, обычно анализируются с помощью частных решений уравнения (11) т.к., в отличие от (8), именно оно содержит важный параметр - время установления некоторого анализируемого состояния системы. Основная цель решения уравнения - найти распределение примеси N(x,t) в полупроводнике после диффузии в течение определенного времени t при различных условиях осуществления процесса.

ПОСТОЯННЫЙ ТОК , электрический ток, не изменяющийся во времени.

ЛИМОЖСКАЯ ЭМАЛЬ , французские художественные изделия из меди с росписью непрозрачной эмалью (г. Лимож, расцвет производства - сер. 15 - сер. 17 вв.); складни, реликварии, сосуды, пластины с портретами (Н. Пенико, К. Нуайе, Л. Лимозен).

ЭШКРОФТ (Oshcraft) Пегги (настоящее имя Маргарет) (1907-91) , английская актриса. С 1927 выступала в различных театрах Лондона, в т. ч. в "Олд Вик". В 1934-40 работала с режиссером Ф. Ф. Комиссаржевским. Одна из ведущих английских актрис. С 1961 доктор литературы Оксфордского университета. Театр в г. Кройдон с 1961 носит ее имя.