Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Страница 10

(8)

При простейшем анализе структур и в простейших моделях процессов легирования в технологии изготовления ИМС предполагаются именно такие условия диффузии.

Второе уравнение диффузии (второй закон Фика) получается путем сочетания первого закона и принципа сохранения вещества, согласно которому изменение концентрации вещества в данном объеме должно быть равно разности потоков этого вещества на входе в объем и выходе из него.

В общем случае второе уравнение диффузии имеет следующий вид

(9)

Для одномерной диффузии в изотропной среде уравнение (9) можно записать

(10)

Второй закон Фика характеризует процесс изменения концентрации диффундирующей примеси во времени в различных точках среды и является математической моделью нестационарного (развивающегося) состояния системы (описывает период времени от начала процесса до установления стационарного состояния).

При постоянстве коэффициента диффузии D (независимости его от концентрации примеси) уравнение (10) упрощается

(11)

Допущение о постоянстве коэффициента диффузии справедливо в большом количестве случаев, анализируемых в технологии ИМС.

Уравнения диффузии являются чисто феноменологическими, т.е. они не содержат никаких сведений о механизмах диффузии - о диффузионном процессе на атомном, уровне. Кроме того, уравнения (7) - (11) не содержат информации о зарядовом состоянии диффундирующих частиц.

Процессы диффузии, используемые для изготовления интегральных структур, обычно анализируются с помощью частных решений уравнения (11) т.к., в отличие от (8), именно оно содержит важный параметр - время установления некоторого анализируемого состояния системы. Основная цель решения уравнения - найти распределение примеси N(x,t) в полупроводнике после диффузии в течение определенного времени t при различных условиях осуществления процесса.

Страницы: 6 7 8 9 10 11 12 13 14

РОССИЙСКОЕ ИНФОРМАЦИОННОЕ АГЕНТСТВО "НОВОСТИ" (РИА "Новости") , государственная информационно-аналитическая организация. Основано в 1993. Учредитель - правительство Российской Федерации. Предшественники: Совинформбюро (1941-61), Агентство печати "Новости" (АПН; 1961-90), Информационное агентство "Новости" (ИАН; 1990-93). Распространяет российскую и иностранную информацию. 50 бюро в зарубежных государствах, 17 представительств в странах СНГ, сеть корпунктов. Издает книги и периодику, готовит телевизионные программы и фотоматериалы.

МЕНИСКОВАЯ СИСТЕМА , зеркально-линзовая оптическая система, в которой перед сферическим (реже эллиптическим) зеркалом или перед системой зеркал и линз устанавливается 1 или несколько менисков. Менисковая система имеет малый астигматизм, в ней может быть скомпенсирована сферическая аберрация, сведена к нулю кома. Менисковые системы применяются в астрономии, фотографии и др.

ЛУКИН Владимир Игнатьевич (1737-94) , русский писатель. Комедия "Мот, любовью исправленный" (1765) положила начало сентиментализму в русском театре.