ChemStudy

(8)

При простейшем анализе структур и в простейших моделях процессов легирования в технологии изготовления ИМС предполагаются именно такие условия диффузии.

Второе уравнение диффузии (второй закон Фика) получается путем сочетания первого закона и принципа сохранения вещества, согласно которому изменение концентрации вещества в данном объеме должно быть равно разности потоков этого вещества на входе в объем и выходе из него.

В общем случае второе уравнение диффузии имеет следующий вид

(9)

Для одномерной диффузии в изотропной среде уравнение (9) можно записать

(10)

Второй закон Фика характеризует процесс изменения концентрации диффундирующей примеси во времени в различных точках среды и является математической моделью нестационарного (развивающегося) состояния системы (описывает период времени от начала процесса до установления стационарного состояния).

При постоянстве коэффициента диффузии D (независимости его от концентрации примеси) уравнение (10) упрощается

(11)

Допущение о постоянстве коэффициента диффузии справедливо в большом количестве случаев, анализируемых в технологии ИМС.

Уравнения диффузии являются чисто феноменологическими, т.е. они не содержат никаких сведений о механизмах диффузии - о диффузионном процессе на атомном, уровне. Кроме того, уравнения (7) - (11) не содержат информации о зарядовом состоянии диффундирующих частиц.

Процессы диффузии, используемые для изготовления интегральных структур, обычно анализируются с помощью частных решений уравнения (11) т.к., в отличие от (8), именно оно содержит важный параметр - время установления некоторого анализируемого состояния системы. Основная цель решения уравнения - найти распределение примеси N(x,t) в полупроводнике после диффузии в течение определенного времени t при различных условиях осуществления процесса.

ИОАНН СОЛСБЕРИЙСКИЙ (Joannes Saresberiennsis) (ок . 1120-1180), средневековый философ, представитель шартрской школы. Учился во Франции у Абеляра, Гильома из Конша (в Шартре) и Жильбера Порретанского. Вернувшись в Англию (1153-54), был секретарем архиепископов кентерберийских Теобальда и Томаса Бекета вплоть до убийства последнего (1170). С 1176 епископ Шартрский.

ЗАЙЦЕВ Варфоломей Александрович (1842-82) , российский публицист и критик. Сотрудник журнала "Русское слово"; в 60-е гг. участвовал в полемике с "Современником", получившей название "раскол в нигилистах".

ДАУКША (Dauksa) Микалоюс (между 1527 и 1538-1613) , один из создателей литовской письменности. Перевел с польского языка "Катехизис" (1595), первую книгу, изданную на территории Литвы на литовском языке.