ChemStudy

(8)

При простейшем анализе структур и в простейших моделях процессов легирования в технологии изготовления ИМС предполагаются именно такие условия диффузии.

Второе уравнение диффузии (второй закон Фика) получается путем сочетания первого закона и принципа сохранения вещества, согласно которому изменение концентрации вещества в данном объеме должно быть равно разности потоков этого вещества на входе в объем и выходе из него.

В общем случае второе уравнение диффузии имеет следующий вид

(9)

Для одномерной диффузии в изотропной среде уравнение (9) можно записать

(10)

Второй закон Фика характеризует процесс изменения концентрации диффундирующей примеси во времени в различных точках среды и является математической моделью нестационарного (развивающегося) состояния системы (описывает период времени от начала процесса до установления стационарного состояния).

При постоянстве коэффициента диффузии D (независимости его от концентрации примеси) уравнение (10) упрощается

(11)

Допущение о постоянстве коэффициента диффузии справедливо в большом количестве случаев, анализируемых в технологии ИМС.

Уравнения диффузии являются чисто феноменологическими, т.е. они не содержат никаких сведений о механизмах диффузии - о диффузионном процессе на атомном, уровне. Кроме того, уравнения (7) - (11) не содержат информации о зарядовом состоянии диффундирующих частиц.

Процессы диффузии, используемые для изготовления интегральных структур, обычно анализируются с помощью частных решений уравнения (11) т.к., в отличие от (8), именно оно содержит важный параметр - время установления некоторого анализируемого состояния системы. Основная цель решения уравнения - найти распределение примеси N(x,t) в полупроводнике после диффузии в течение определенного времени t при различных условиях осуществления процесса.

УГЛИЧ , город в Российской Федерации, Ярославская обл. Пристань на Волге. Железнодорожная станция. 39,8 тыс. жителей (1993). ГЭС. Часовой завод "Чайка". НИИ маслоделия и сыроделия. Историко-художественный музей с картинной галереей. Известен с 937, по другим данным - с 1148. Кремль с Тронной палатой княжеского дворца (2-я пол. 15 в.), Успенская ("Дивная") церковь (17 в.), Воскресенский монастырь (17 в.) и др.

РУБНЕР (Rubner) Макс (1854-1932) , немецкий физиолог и гигиенист. Труды по физиологии обмена веществ, гигиене. Доказал применимость закона сохранения энергии к живому организму.

ИРИДИЙ (лат . Iridium), Ir, химический элемент VIII группы периодической системы, атомный номер 77, атомная масса 192,22, относится к платиновым металлам. Плотность 22,65 г/см3, tпл 2447 °С. Применяют для нанесения защитных покрытий. Компонент сплавов с Pt, Os и др. (химическая аппаратура, эталоны мер, детали измерительных приборов, напайка "вечных перьев"). Название от греч. iris - радуга.