ChemStudy

(8)

При простейшем анализе структур и в простейших моделях процессов легирования в технологии изготовления ИМС предполагаются именно такие условия диффузии.

Второе уравнение диффузии (второй закон Фика) получается путем сочетания первого закона и принципа сохранения вещества, согласно которому изменение концентрации вещества в данном объеме должно быть равно разности потоков этого вещества на входе в объем и выходе из него.

В общем случае второе уравнение диффузии имеет следующий вид

(9)

Для одномерной диффузии в изотропной среде уравнение (9) можно записать

(10)

Второй закон Фика характеризует процесс изменения концентрации диффундирующей примеси во времени в различных точках среды и является математической моделью нестационарного (развивающегося) состояния системы (описывает период времени от начала процесса до установления стационарного состояния).

При постоянстве коэффициента диффузии D (независимости его от концентрации примеси) уравнение (10) упрощается

(11)

Допущение о постоянстве коэффициента диффузии справедливо в большом количестве случаев, анализируемых в технологии ИМС.

Уравнения диффузии являются чисто феноменологическими, т.е. они не содержат никаких сведений о механизмах диффузии - о диффузионном процессе на атомном, уровне. Кроме того, уравнения (7) - (11) не содержат информации о зарядовом состоянии диффундирующих частиц.

Процессы диффузии, используемые для изготовления интегральных структур, обычно анализируются с помощью частных решений уравнения (11) т.к., в отличие от (8), именно оно содержит важный параметр - время установления некоторого анализируемого состояния системы. Основная цель решения уравнения - найти распределение примеси N(x,t) в полупроводнике после диффузии в течение определенного времени t при различных условиях осуществления процесса.

ШАМЯКИН Иван Петрович (р . 1921), белорусский писатель, народный писатель Белоруссии (1972), член-корреспондент АН Белоруссии (1980), Герой Социалистического Труда (1981). Романы "Глубокое течение" (1949; Государственная премия СССР, 1951), "Сердце на ладони" (1964), "Атланты и кариатиды" (1974), "Возьму твою боль" (1980), "Петроград - Брест" (1981). Цикл повестей "Тревожное счастье" (1956-66) посвящен морально-этическим проблемам. Автобиографическая книга "Корни и ветви" (1986).

ШИРРА (Schirra) Уолтер (р . 1923), космонавт США, капитан 1-го ранга в отставке. Полеты на "Меркурии МА-8" (октябрь 1962), "Джемини-6" (декабрь 1965) и "Аполлоне-7" (октябрь 1968).

СТОРК (Storck) Анри (р . 1907), бельгийский кинорежиссер. Фильмы: этнографический "Остров Пасхи" (1935), об изобразительном искусстве "Образы старой Бельгии" (1936) и "Рубенс" (1948, с П. Хасартсом, P. Haesaerts), "Бельгийские праздники" (1972) и др.