ChemStudy

(8)

При простейшем анализе структур и в простейших моделях процессов легирования в технологии изготовления ИМС предполагаются именно такие условия диффузии.

Второе уравнение диффузии (второй закон Фика) получается путем сочетания первого закона и принципа сохранения вещества, согласно которому изменение концентрации вещества в данном объеме должно быть равно разности потоков этого вещества на входе в объем и выходе из него.

В общем случае второе уравнение диффузии имеет следующий вид

(9)

Для одномерной диффузии в изотропной среде уравнение (9) можно записать

(10)

Второй закон Фика характеризует процесс изменения концентрации диффундирующей примеси во времени в различных точках среды и является математической моделью нестационарного (развивающегося) состояния системы (описывает период времени от начала процесса до установления стационарного состояния).

При постоянстве коэффициента диффузии D (независимости его от концентрации примеси) уравнение (10) упрощается

(11)

Допущение о постоянстве коэффициента диффузии справедливо в большом количестве случаев, анализируемых в технологии ИМС.

Уравнения диффузии являются чисто феноменологическими, т.е. они не содержат никаких сведений о механизмах диффузии - о диффузионном процессе на атомном, уровне. Кроме того, уравнения (7) - (11) не содержат информации о зарядовом состоянии диффундирующих частиц.

Процессы диффузии, используемые для изготовления интегральных структур, обычно анализируются с помощью частных решений уравнения (11) т.к., в отличие от (8), именно оно содержит важный параметр - время установления некоторого анализируемого состояния системы. Основная цель решения уравнения - найти распределение примеси N(x,t) в полупроводнике после диффузии в течение определенного времени t при различных условиях осуществления процесса.

КИЕВСКИЙ ПОЛИТЕХНИЧЕСКИЙ ИНСТИТУТ , один из крупнейших вузов Украины, центр технических наук. Основан в 1898. Готовит кадры по машино- и приборостроительным, энергетическим, химическим, технологическим и др. специальностям. В 1990 св. 26 тыс. студентов.

"ЧИСЛА" , русский журнал литературы, искусства и философии, 1930-34, Париж. Редактор - Н. А. Оцуп. Ориентировался на русский и европейский модернизм; иллюстрировался Н. С. Гончаровой, М. Ф. Ларионовым, И. Пуни, М. Шагалом.

КАПП Эуген (р . 1908), эстонский композитор, народный артист СССР (1956), Герой Социалистического Труда (1978). Сын А. Каппа. Автор первых эстонских современных опер "Огни мщения" (1945) и балета "Калевипоэг" (1947). Опера "Рембрандт" (1975), кантаты, оркестровые произведения, песни и др. Профессор Таллинской консерватории (с 1947). Государственная премия СССР (1946, 1949, 1952).