Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Страница 5

Условие полного перемешивания на практике реализовать невозможно. Процессы массопереноса в расплавленной зоне при реальных скоростях кристаллизации и разумной интенсивности перемешивании всегда приводят к образованию диффузионного слоя на границе раздела фаз в области кристаллизации. Наличие слоя жидкости с концентрационным пиком, из которого и происходит кристаллизация, влияние его на условия разделения компонентов учитывается введением в выражения (1) и (2) эффективного коэффициента распределения kэфф вместо равновесного ko.

Равновесный коэффициент сегрегации связан с эффективным соотношением Бартона-Прима-Слихтера:

(4)

где Vкр - скорость перемещения расплавленной зоны (скорость кристаллизации);

d - толщина диффузионного слоя;

Dж - коэффициент диффузии примеси в жидкой фазе.

Эта замена является лишь более или менее удачным приближением к реальной ситуации, и не соответствует требованию условия постоянства концентрации.

Распределение примеси после зонной плавки для реальных процессов описывается выражением

(5)

Данное выражение позволяет анализировать влияние на сегрегационные процессы скорости перемещения зоны и условий перемешивания жидкой фазы.

Условие 3 справедливо только для сильно разбавленных растворов, т.е. при малых концентрациях примеси в системе. Кроме того, условие малости концентрации должно соблюдаться на протяжении всего процесса зонной плавки. Для того, чтобы допущение 3 оказалось состоятельным, требуется использовать при кристаллизационной очистке исходные материалы прошедшие предварительную очистку.

1.2 Расчет распределения примеси вдоль слитка кремния после зонной плавки (один проход расплавленной зоной)

1.2.1 Расчет распределения Si-Ga.

Рассчитаем распределение галия в слитке кремния для трех скоростей перемещения зоны Vкр =1,5 ; 5 и 15 мм/мин.N0=0.02% (массовых). Длина зоны l составляет 10% от длины слитка L. Испарением примеси при переплавке пренебречь.

Распределение сурьмы вдоль слитка определяется уравнением (5) на длине слитка a = (L - l)/l = A-1, т.е. при 0 £ a £ 9.

При a > 9 распределение примеси представляется уравнением (3). Доля закристаллизовавшегося расплава g на этом участке изменяется от нуля до величины, близкой к единице. Для g = 1 уравнение (3) не имеет смысла.

Прежде чем приступить к расчету переведем N0 из % (массовых) в % (атомные), а затем в см-3. Для этого воспользуемся формулой перевода.

(6)

где А1, А2­­–атомные массы компонентов;

N2–второй компонент смеси.

Атомная масса–для галлия = 69,72 [3]

–для кремния = 28,08 [3]

Концентрация собственных атомов в кристаллической решетке кремния Nсоб=5×1022 см-3. Следовательно, исходная концентрация галлия в слитке: N0=8,06×10-5×5×1022=4,03×1018 см-3

Страницы: 1 2 3 4 5 6 7 8 9

ХЛОРИРОВАНИЕ ,..1) введение в молекулы органического соединения атомов хлора, напр.: СН4 + Сl2 ? СН3Сl + НСl. О применении продуктов хлорирования см. в ст. Галогенирование...2) Технологические процессы в цветной металлургии - нагрев материалов в атмосфере хлора, хлорсодержащих газов или в присутствии хлоридов металлов (виды хлорирования - хлорирующий обжиг, хлоридовозгонка, сегрегация). Из образующихся хлоридов извлекают цветные металлы...3) Обеззараживание питьевой воды, сточных вод, мест скопления нечистот и отбросов путем обработки газообразным хлором, хлорной известью или др. хлорсодержащими соединениями. Хлорирование используется также для обесцвечивания, дезодорации воды и др. целей.

КУЛИКОВСКАЯ БИТВА , русских полков во главе с великим князем московским и владимирским Дмитрием Донским и монголо-татарских войск под началом Мамая 8 сентября 1380 на Куликовом поле. В Куликовской битве участвовали воины многих русских княжеств. Борьбу с врагом возглавило Московское великое княжество. Завершилась разгромом монголо-татар. Начало освобождения русского и других народов от монголо-татарского ига.

ИЛЮМЖИНОВ Кирсан Николаевич (р . 1962), российский государственный деятель, президент Республики Калмыкия (1994). В 1990-93 президент корпорации "Сан". В 1991-93 народный депутат Российской Федерации, член Верховного Совета. В 1993-95 депутат Совета Федерации Федерального Собрания Российской Федерации. С 1995 член Совета Федерации. С 1996 президент ФИДЕ.