Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Страница 11

Общее решение уравнения (11) для бесконечного твердого тела при заданном в общем, виде начальном распределении примеси N(x,0) = f(x) может быть найдено методом разделения переменных. Оно имеет вид

, (12)

здесь x - текущая координата интегрирования.

Бесконечным в одномерном представлении называют тело, простирающееся от x=0 до x=- ¥ и до x=+ ¥.

Часто при поиске распределения концентрации примеси в полупроводнике необходимо решение уравнения (11) для полубесконечного твердого тела. Полубесконечным в одномерном представлении называют тело, простирающееся от x=0 до x=+ ¥.

Для этого случая выражение (12) может быть приведено к виду

(13)

В выражении (13) знак плюс относится к ситуации, когда граница твердого тела (x=0) является непроницаемой для диффундирующего вещества, находящегося в области x>0, (отражающая граница), а знак минус - к случаю, когда на границе твердого тела в любой момент времени концентрация диффундирующего вещества, также находящегося в области x>0, равна нулю - связывающая граница.

Представленные решения позволяют находить распределения примеси в твердом теле при любых начальных условиях. Решение конкретной задачи сводится к подстановке в (12) или (13) соответствующих ситуации начальных условий с последующими, как правило, очень громоздкими преобразованиями.

Страницы: 7 8 9 10 11 12 13 14 15

АКАШЕВ Константин Васильевич (1888-1931) , первый главком авиации СССР. Учился в Италии и в Высшем училище аэронавтики в Париже, в начале 1-й мировой войны вступил добровольцем в ВВС Франции. Вернулся в Россию в 1915, работал на авиационном заводе. В декабре 1917 назначен председателем Всероссийской коллегии по управлению воздушным флотом, в 1918 был командующим воздушными силами 5-й армии, с декабря 1918 назначен начальником авиации воздухоплавания Южного фронта. В последние годы жизни работал на руководящих должностях на авиационных заводах Ленинграда и Москвы. Репрессирован.

МАГНЕТИТ (магнитный железняк) , минерал подкласса сложных оксидов, FeFe2O4. Железо-черные кристаллы, зернистые массы. Твердость 5,5-6,0; плотность 5,2 г/см3. Ферримагнетик. По происхождению метаморфический (встречается в кварцитах и кристаллических сланцах), контактово-метасоматический, магматический (крупные скопления в основных породах). Главная руда железа.

ШЕВРО (франц . chevreau), кожа хромового дубления, выделанная из шкур коз. Из шевро изготовляют верх обуви.