Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легированииСтраница 11
Общее решение уравнения (11) для бесконечного твердого тела при заданном в общем, виде начальном распределении примеси N(x,0) = f(x) может быть найдено методом разделения переменных. Оно имеет вид
![]()
, (12)
здесь x - текущая координата интегрирования.
Бесконечным в одномерном представлении называют тело, простирающееся от x=0 до x=- ¥ и до x=+ ¥.
Часто при поиске распределения концентрации примеси в полупроводнике необходимо решение уравнения (11) для полубесконечного твердого тела. Полубесконечным в одномерном представлении называют тело, простирающееся от x=0 до x=+ ¥.
Для этого случая выражение (12) может быть приведено к виду
![]()
(13)
В выражении (13) знак плюс относится к ситуации, когда граница твердого тела (x=0) является непроницаемой для диффундирующего вещества, находящегося в области x>0,
(отражающая граница), а знак минус - к случаю, когда на границе твердого тела в любой момент времени концентрация диффундирующего вещества, также находящегося в области x>0, равна нулю - связывающая граница.
Представленные решения позволяют находить распределения примеси в твердом теле при любых начальных условиях. Решение конкретной задачи сводится к подстановке в (12) или (13) соответствующих ситуации начальных условий с последующими, как правило, очень громоздкими преобразованиями.
НАГАРКОИЛ (Нагеркоил) , город на юге Индии, шт. Тамилнад. 189 тыс. жителей (1991). Пищевая, текстильная промышленность.
ЦЕХИН (итал . zecchino, от zecca - монетный двор), золотая монета, начала чеканиться в Венеции в 1284 весом 3-4 г. С сер. 16 в. чеканились в ряде европейских государств под названием дукатов.
АБАКАН , река в Хакасии, левый приток Енисея (впадает в Красноярское вдхр.). 514 км, площадь бассейна 32 тыс. км2. Средний расход воды 381 м2/с. Сплавная. В Минусинской котловине воды используются для орошения.