Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Страница 11

Общее решение уравнения (11) для бесконечного твердого тела при заданном в общем, виде начальном распределении примеси N(x,0) = f(x) может быть найдено методом разделения переменных. Оно имеет вид

, (12)

здесь x - текущая координата интегрирования.

Бесконечным в одномерном представлении называют тело, простирающееся от x=0 до x=- ¥ и до x=+ ¥.

Часто при поиске распределения концентрации примеси в полупроводнике необходимо решение уравнения (11) для полубесконечного твердого тела. Полубесконечным в одномерном представлении называют тело, простирающееся от x=0 до x=+ ¥.

Для этого случая выражение (12) может быть приведено к виду

(13)

В выражении (13) знак плюс относится к ситуации, когда граница твердого тела (x=0) является непроницаемой для диффундирующего вещества, находящегося в области x>0, (отражающая граница), а знак минус - к случаю, когда на границе твердого тела в любой момент времени концентрация диффундирующего вещества, также находящегося в области x>0, равна нулю - связывающая граница.

Представленные решения позволяют находить распределения примеси в твердом теле при любых начальных условиях. Решение конкретной задачи сводится к подстановке в (12) или (13) соответствующих ситуации начальных условий с последующими, как правило, очень громоздкими преобразованиями.

Страницы: 7 8 9 10 11 12 13 14 15

РЕМКЕ (Rehmke) Йоханнес (1848-1930) , немецкий философ, представитель имманентной философии; утверждал, что познаваемая реальность не существует независимо от сознания, находится в его сфере (т. е. имманентна ему).

ПЛОТНИКОВ Павел Артемьевич (р . 1920), генерал-майор авиации (1966), дважды Герой Советского Союза (1944, 1945). В Великую Отечественную войну в бомбардировочной авиации, командир эскадрильи; 343 боевых вылета.

ЭЛЕКТРОТЕХНИКА , отрасль науки и техники, связанная с получением, преобразованием и использованием электрической энергии и охватывающая вопросы применения электрических и магнитных явлений в промышленности, связи, на транспорте и др.