Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Страница 11

Общее решение уравнения (11) для бесконечного твердого тела при заданном в общем, виде начальном распределении примеси N(x,0) = f(x) может быть найдено методом разделения переменных. Оно имеет вид

, (12)

здесь x - текущая координата интегрирования.

Бесконечным в одномерном представлении называют тело, простирающееся от x=0 до x=- ¥ и до x=+ ¥.

Часто при поиске распределения концентрации примеси в полупроводнике необходимо решение уравнения (11) для полубесконечного твердого тела. Полубесконечным в одномерном представлении называют тело, простирающееся от x=0 до x=+ ¥.

Для этого случая выражение (12) может быть приведено к виду

(13)

В выражении (13) знак плюс относится к ситуации, когда граница твердого тела (x=0) является непроницаемой для диффундирующего вещества, находящегося в области x>0, (отражающая граница), а знак минус - к случаю, когда на границе твердого тела в любой момент времени концентрация диффундирующего вещества, также находящегося в области x>0, равна нулю - связывающая граница.

Представленные решения позволяют находить распределения примеси в твердом теле при любых начальных условиях. Решение конкретной задачи сводится к подстановке в (12) или (13) соответствующих ситуации начальных условий с последующими, как правило, очень громоздкими преобразованиями.

Страницы: 7 8 9 10 11 12 13 14 15

НЕМЕЦКИЙ ТЕАТР , драматический. Открыт в 1883 в Берлине. В 1905-33 (с перерывами) театр возглавлял М. Рейнхардт. Главные режиссеры: В. Лангхофф (1946-63), Г. Вольфрам (1972-82), Д. Манн (с 1984-90), Т. Лангхофф (с 1990). В репертуаре пьесы Ф. Шиллера, Г. фон Клейста, Г. Гауптмана, Л. Н. Толстого и др.

САЙДА , город в Ливане, административный центр мухафазы Юж. Ливан. 238 тыс. жителей (1990). Порт на Средиземном м. (грузооборот до 20 млн. т). Переработка нефти. Пищевая промышленность. Руины римских портовых сооружений, замка св. Людовика (12 в.), морского замка крестоносцев (13 в.). Большая мечеть (13 в.), караван-сарай (16-17 вв.).

ЕУКАХАЙНЕН , в финской и карельской мифологии герой, младший брат Вяйнямейнену. Традиция противопоставляет его как хвастуна и неудачника мудрому старшему брату.