Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Страница 11

Общее решение уравнения (11) для бесконечного твердого тела при заданном в общем, виде начальном распределении примеси N(x,0) = f(x) может быть найдено методом разделения переменных. Оно имеет вид

, (12)

здесь x - текущая координата интегрирования.

Бесконечным в одномерном представлении называют тело, простирающееся от x=0 до x=- ¥ и до x=+ ¥.

Часто при поиске распределения концентрации примеси в полупроводнике необходимо решение уравнения (11) для полубесконечного твердого тела. Полубесконечным в одномерном представлении называют тело, простирающееся от x=0 до x=+ ¥.

Для этого случая выражение (12) может быть приведено к виду

(13)

В выражении (13) знак плюс относится к ситуации, когда граница твердого тела (x=0) является непроницаемой для диффундирующего вещества, находящегося в области x>0, (отражающая граница), а знак минус - к случаю, когда на границе твердого тела в любой момент времени концентрация диффундирующего вещества, также находящегося в области x>0, равна нулю - связывающая граница.

Представленные решения позволяют находить распределения примеси в твердом теле при любых начальных условиях. Решение конкретной задачи сводится к подстановке в (12) или (13) соответствующих ситуации начальных условий с последующими, как правило, очень громоздкими преобразованиями.

Страницы: 7 8 9 10 11 12 13 14 15

ЛИПИТ-ИШТАР , царь I династии государства Исин ок. 1934-24 до н. э. При нем составлен свод законов (дошли фрагменты), оказавших, видимо, влияние на законы Хаммурапи.

ЧЕНДЛЕР (Chandler) Сет Карло (1846-1913) , американский астроном. Труды по исследованию изменения широт и движению полюсов Земли. Нашел, что в изменениях широт имеются 2 периода, один из которых назван его именем.

РЕКВИЕМ (по начальному слову лат . текста "Requiem aeternam dona eis, Domine" - "Вечный покой даруй им, Господи"), заупокойная месса. На традиционный латинский текст реквиема писали музыку многие композиторы (В. А. Моцарт, Г. Берлиоз, Ф. Лист, Дж. Верди); с 17 в. реквиемы создаются и на немецкие тексты из лютеранской Библии (Г. Щютц, И. Брамс), в 20 в. - на неканонические тексты (Б. Бриттен, Д. Б. Кабалевский).