Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Страница 11

Общее решение уравнения (11) для бесконечного твердого тела при заданном в общем, виде начальном распределении примеси N(x,0) = f(x) может быть найдено методом разделения переменных. Оно имеет вид

, (12)

здесь x - текущая координата интегрирования.

Бесконечным в одномерном представлении называют тело, простирающееся от x=0 до x=- ¥ и до x=+ ¥.

Часто при поиске распределения концентрации примеси в полупроводнике необходимо решение уравнения (11) для полубесконечного твердого тела. Полубесконечным в одномерном представлении называют тело, простирающееся от x=0 до x=+ ¥.

Для этого случая выражение (12) может быть приведено к виду

(13)

В выражении (13) знак плюс относится к ситуации, когда граница твердого тела (x=0) является непроницаемой для диффундирующего вещества, находящегося в области x>0, (отражающая граница), а знак минус - к случаю, когда на границе твердого тела в любой момент времени концентрация диффундирующего вещества, также находящегося в области x>0, равна нулю - связывающая граница.

Представленные решения позволяют находить распределения примеси в твердом теле при любых начальных условиях. Решение конкретной задачи сводится к подстановке в (12) или (13) соответствующих ситуации начальных условий с последующими, как правило, очень громоздкими преобразованиями.

Страницы: 7 8 9 10 11 12 13 14 15

ДЕЙСТВИЕ , 1) законченная часть спектакля, пьесы (то же, что и акт). 2) В драме и эпосе - развитие событий, составляющее основу, "плоть" сюжета (фабулы). 3) В театре основное средство воплощения сценического образа.

ФРАКАСТОРО (Fracastoro) Джироламо (1478-1553) , итальянский ученый. В основном труде "О контагии, о контагиозных болезнях и лечении" (1546) впервые изложил систематическое учение об инфекции и путях ее передачи.

ЭРИТРОЦИТЫ (от греч . erythros - красный и ...цит), безъядерные клетки крови животных и человека, содержащие гемоглобин. Переносят кислород от легких к тканям и двуокись углерода от тканей к органам дыхания. Образуются в костном мозге. В 1 мм3 крови здорового человека содержится 3,9-5,0 млн. эритроцитов.