Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Страница 11

Общее решение уравнения (11) для бесконечного твердого тела при заданном в общем, виде начальном распределении примеси N(x,0) = f(x) может быть найдено методом разделения переменных. Оно имеет вид

, (12)

здесь x - текущая координата интегрирования.

Бесконечным в одномерном представлении называют тело, простирающееся от x=0 до x=- ¥ и до x=+ ¥.

Часто при поиске распределения концентрации примеси в полупроводнике необходимо решение уравнения (11) для полубесконечного твердого тела. Полубесконечным в одномерном представлении называют тело, простирающееся от x=0 до x=+ ¥.

Для этого случая выражение (12) может быть приведено к виду

(13)

В выражении (13) знак плюс относится к ситуации, когда граница твердого тела (x=0) является непроницаемой для диффундирующего вещества, находящегося в области x>0, (отражающая граница), а знак минус - к случаю, когда на границе твердого тела в любой момент времени концентрация диффундирующего вещества, также находящегося в области x>0, равна нулю - связывающая граница.

Представленные решения позволяют находить распределения примеси в твердом теле при любых начальных условиях. Решение конкретной задачи сводится к подстановке в (12) или (13) соответствующих ситуации начальных условий с последующими, как правило, очень громоздкими преобразованиями.

Страницы: 7 8 9 10 11 12 13 14 15

АКТУАЛИЗМ , сравнительно-исторический метод в геологии, согласно которому, изучая современные геологические процессы, можно судить об аналогичных процессах далекого прошлого. Применяется с учетом хода развития Земли и изменяющейся геологической обстановки. Как научный принцип актуализм выдвинут в 1-й пол. 19 в. английским геологом Ч. Лайелем.

ЖУКОВА (Зевакина) Мария Семеновна (1805-55) , русская писательница. В повестях ("Самопожертвование", 1840; "Дача на петергофской дороге", 1845; "Наденька", 1853; сборник "Вечера на Карповке", 1837-38) - романтические сюжетные коллизии, перипетии женских судеб, часто окрашенные собственным опытом автора. Путевые заметки "Очерки южной Франции и Ниццы" (1844).

ИНФАРКТ (от лат . infarctus - набитый), очаг омертвления в тканях вследствие нарушения их кровоснабжения при спазме, тромбозе, эмболии сосудов (инфаркт миокарда, почки и т. д.).