Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Страница 11

Общее решение уравнения (11) для бесконечного твердого тела при заданном в общем, виде начальном распределении примеси N(x,0) = f(x) может быть найдено методом разделения переменных. Оно имеет вид

, (12)

здесь x - текущая координата интегрирования.

Бесконечным в одномерном представлении называют тело, простирающееся от x=0 до x=- ¥ и до x=+ ¥.

Часто при поиске распределения концентрации примеси в полупроводнике необходимо решение уравнения (11) для полубесконечного твердого тела. Полубесконечным в одномерном представлении называют тело, простирающееся от x=0 до x=+ ¥.

Для этого случая выражение (12) может быть приведено к виду

(13)

В выражении (13) знак плюс относится к ситуации, когда граница твердого тела (x=0) является непроницаемой для диффундирующего вещества, находящегося в области x>0, (отражающая граница), а знак минус - к случаю, когда на границе твердого тела в любой момент времени концентрация диффундирующего вещества, также находящегося в области x>0, равна нулю - связывающая граница.

Представленные решения позволяют находить распределения примеси в твердом теле при любых начальных условиях. Решение конкретной задачи сводится к подстановке в (12) или (13) соответствующих ситуации начальных условий с последующими, как правило, очень громоздкими преобразованиями.

Страницы: 7 8 9 10 11 12 13 14 15

ШИШКОВ Вячеслав Яковлевич (1873-1945) , русский писатель. Главная тема творчества - настоящее и прошлое Сибири. Роман "Ватага" (1923) - о Гражданской войне. В романе "Угрюм-река" (т. 1-2, 1933) драматические судьбы людей на рубеже 19 - нач. 20 вв., втянутых в мир наживы и стяжательства; колоритные картины купеческого быта, жизни тунгусов. Историческая эпопея "Емельян Пугачев" (кн. 1-3, 1938-45; Государственная премия СССР, 1946, посмертно), повести, рассказы.

ЖУК Станислав Алексеевич (р . 1935), российский спортсмен и тренер (фигурное катание на коньках), мастер спорта (1957), заслуженный тренер СССР (1965). Чемпион СССР (1957-59, 1961) в парном катании.

БУРУНЫ , морские волны, разрушающиеся на некотором удалении от берега (в отличие от прибоя). Образуются над подводными валами, рифами, отмелями.