Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Страница 11

Общее решение уравнения (11) для бесконечного твердого тела при заданном в общем, виде начальном распределении примеси N(x,0) = f(x) может быть найдено методом разделения переменных. Оно имеет вид

, (12)

здесь x - текущая координата интегрирования.

Бесконечным в одномерном представлении называют тело, простирающееся от x=0 до x=- ¥ и до x=+ ¥.

Часто при поиске распределения концентрации примеси в полупроводнике необходимо решение уравнения (11) для полубесконечного твердого тела. Полубесконечным в одномерном представлении называют тело, простирающееся от x=0 до x=+ ¥.

Для этого случая выражение (12) может быть приведено к виду

(13)

В выражении (13) знак плюс относится к ситуации, когда граница твердого тела (x=0) является непроницаемой для диффундирующего вещества, находящегося в области x>0, (отражающая граница), а знак минус - к случаю, когда на границе твердого тела в любой момент времени концентрация диффундирующего вещества, также находящегося в области x>0, равна нулю - связывающая граница.

Представленные решения позволяют находить распределения примеси в твердом теле при любых начальных условиях. Решение конкретной задачи сводится к подстановке в (12) или (13) соответствующих ситуации начальных условий с последующими, как правило, очень громоздкими преобразованиями.

Страницы: 7 8 9 10 11 12 13 14 15

ГЛИНОЗЕМ , то же, что алюминия оксид.

ШТЕРНФЕЛЬД Арий Абрамович (1905-80) , российский ученый. Заслуженный деятель науки России (1965), один из пионеров космонавтики. До 1935 жил в Польше и Франции, затем переехал в СССР. Труды связаны с расчетом наивыгоднейших траекторий полета космических аппаратов. Автор книги "Введение в космонавтику" (1937), в которой изложены научно-физические основы космического полета.

ДИБ (Dib) Мухаммед (р . 1920), алжирский писатель. Пишет на французском языке. Тема социального и национального освобождения и становления Алжира в реалистической трилогии "Алжир" (1952-57), романах "Кто помнит о море" (1962), "Хозяин охоты" (1973). Влияние модернизма в романах "Танец короля" (1968), "Авель" (1977). Сборник поэм "Omneros" (1975). Рассказы, сказки.