Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Страница 11

Общее решение уравнения (11) для бесконечного твердого тела при заданном в общем, виде начальном распределении примеси N(x,0) = f(x) может быть найдено методом разделения переменных. Оно имеет вид

, (12)

здесь x - текущая координата интегрирования.

Бесконечным в одномерном представлении называют тело, простирающееся от x=0 до x=- ¥ и до x=+ ¥.

Часто при поиске распределения концентрации примеси в полупроводнике необходимо решение уравнения (11) для полубесконечного твердого тела. Полубесконечным в одномерном представлении называют тело, простирающееся от x=0 до x=+ ¥.

Для этого случая выражение (12) может быть приведено к виду

(13)

В выражении (13) знак плюс относится к ситуации, когда граница твердого тела (x=0) является непроницаемой для диффундирующего вещества, находящегося в области x>0, (отражающая граница), а знак минус - к случаю, когда на границе твердого тела в любой момент времени концентрация диффундирующего вещества, также находящегося в области x>0, равна нулю - связывающая граница.

Представленные решения позволяют находить распределения примеси в твердом теле при любых начальных условиях. Решение конкретной задачи сводится к подстановке в (12) или (13) соответствующих ситуации начальных условий с последующими, как правило, очень громоздкими преобразованиями.

Страницы: 7 8 9 10 11 12 13 14 15

ИНОСТРАННЫЕ ВОЕННЫЕ ФОРМИРОВАНИЯ в СССР , чехословацкие, польские, румынские, югославские, французские части, соединения и объединения, сформированные на территории и с помощью СССР в годы Великой Отечественной войны и участвовавшие в вооруженной борьбе на советско-германском фронте. Всего было сформировано 2 армии, 3 армейских, танковый и авиционный корпуса, 30 различных дивизий, 31 бригада, 182 полка и др. (общей численностью св. 550 тыс. человек).

ЦИСТОИДЕИ (морские пузыри) , группа вымерших морских беспозвоночных типа иглокожих. Жили в ордовике - девоне. Прикрепленные и свободнолежащие на дне формы. Ок. 400 видов.

"ФИНН" , яхта-швербот олимпийского класса, экипаж 1 чел. С 1952 в программе Олимпийских игр.