Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Страница 11

Общее решение уравнения (11) для бесконечного твердого тела при заданном в общем, виде начальном распределении примеси N(x,0) = f(x) может быть найдено методом разделения переменных. Оно имеет вид

, (12)

здесь x - текущая координата интегрирования.

Бесконечным в одномерном представлении называют тело, простирающееся от x=0 до x=- ¥ и до x=+ ¥.

Часто при поиске распределения концентрации примеси в полупроводнике необходимо решение уравнения (11) для полубесконечного твердого тела. Полубесконечным в одномерном представлении называют тело, простирающееся от x=0 до x=+ ¥.

Для этого случая выражение (12) может быть приведено к виду

(13)

В выражении (13) знак плюс относится к ситуации, когда граница твердого тела (x=0) является непроницаемой для диффундирующего вещества, находящегося в области x>0, (отражающая граница), а знак минус - к случаю, когда на границе твердого тела в любой момент времени концентрация диффундирующего вещества, также находящегося в области x>0, равна нулю - связывающая граница.

Представленные решения позволяют находить распределения примеси в твердом теле при любых начальных условиях. Решение конкретной задачи сводится к подстановке в (12) или (13) соответствующих ситуации начальных условий с последующими, как правило, очень громоздкими преобразованиями.

Страницы: 7 8 9 10 11 12 13 14 15

ЭМЭ (Aimee; наст . имя Франсуаза Сориа, Sorya) Анук (р. 1932), французская киноактриса. В кон. 1950-х - нач. 1960-х гг. была одной из популярнейших романтических актрис Европы. Славу принесла ей картина К. Лелуша "Мужчина и женщина" (1966), успех которой автор решил впоследствии повторить, сняв фильм "Мужчина и женщина 20 лет спустя" с теми же актерами.

ОМ , единица электрического сопротивления СИ; сопротивление проводника, между концами которого при силе тока 1А возникает напряжение 1В. Обозначается Ом, назван по имени Г. С. Ома. 1 Ом = 1,11·10-12 ед. СГСЭ (электростатическая система СГС) = 109 ед. СГСМ (электромагнитная система СГС) (см. СГС система единиц).

ЦИКЛ МОЧЕВИНЫ , то же, что орнитиновый цикл.