Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Страница 11

Общее решение уравнения (11) для бесконечного твердого тела при заданном в общем, виде начальном распределении примеси N(x,0) = f(x) может быть найдено методом разделения переменных. Оно имеет вид

, (12)

здесь x - текущая координата интегрирования.

Бесконечным в одномерном представлении называют тело, простирающееся от x=0 до x=- ¥ и до x=+ ¥.

Часто при поиске распределения концентрации примеси в полупроводнике необходимо решение уравнения (11) для полубесконечного твердого тела. Полубесконечным в одномерном представлении называют тело, простирающееся от x=0 до x=+ ¥.

Для этого случая выражение (12) может быть приведено к виду

(13)

В выражении (13) знак плюс относится к ситуации, когда граница твердого тела (x=0) является непроницаемой для диффундирующего вещества, находящегося в области x>0, (отражающая граница), а знак минус - к случаю, когда на границе твердого тела в любой момент времени концентрация диффундирующего вещества, также находящегося в области x>0, равна нулю - связывающая граница.

Представленные решения позволяют находить распределения примеси в твердом теле при любых начальных условиях. Решение конкретной задачи сводится к подстановке в (12) или (13) соответствующих ситуации начальных условий с последующими, как правило, очень громоздкими преобразованиями.

Страницы: 7 8 9 10 11 12 13 14 15

ЮРИДИЧЕСКОЕ ЛИЦО , см. Лицо юридическое.

ОБРАСТАНИЯ , поселения водных организмов (животных и растений) на скалах, камнях, подводных частях судов, буев, портовых и других гидротехнических сооружений, на подводных кабелях, а также внутри водозаборных труб. Обрастания составляют бактерии, водоросли, губки, гидроиды, морские желуди, мидии, мшанки, асцидии и др. Обрастание снижает скорость судов, разрушает подводные сооружения, снижает водоток в трубах и т. д. Борьба с обрастаниями ведется путем механической очистки и воздействия ядовитых веществ.

ДОЛИНИНА Наталья Григорьевна (1928-79) , русская писательница. Дочь Г. А. Гуковского. Очерковые книги, акцентирующие нравственные аспекты воспитательного процесса: "Мои ученики и их родители" (1959), "Человек - людям" (1961), "Сколько стоит хлеб" (1963), "Взрослые или дети?" (1965), "Дорогие родители!" (1975) и др. Повести "Мы с Сережкой близнецы" (1962), "Разные люди", (1976); автобиографическая повесть "Отец" (1974). Популярные книги о классике: "Прочитаем "Онегина" вместе" (1968), "Печорин и наше время" (1970) и др.