Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Страница 11

Общее решение уравнения (11) для бесконечного твердого тела при заданном в общем, виде начальном распределении примеси N(x,0) = f(x) может быть найдено методом разделения переменных. Оно имеет вид

, (12)

здесь x - текущая координата интегрирования.

Бесконечным в одномерном представлении называют тело, простирающееся от x=0 до x=- ¥ и до x=+ ¥.

Часто при поиске распределения концентрации примеси в полупроводнике необходимо решение уравнения (11) для полубесконечного твердого тела. Полубесконечным в одномерном представлении называют тело, простирающееся от x=0 до x=+ ¥.

Для этого случая выражение (12) может быть приведено к виду

(13)

В выражении (13) знак плюс относится к ситуации, когда граница твердого тела (x=0) является непроницаемой для диффундирующего вещества, находящегося в области x>0, (отражающая граница), а знак минус - к случаю, когда на границе твердого тела в любой момент времени концентрация диффундирующего вещества, также находящегося в области x>0, равна нулю - связывающая граница.

Представленные решения позволяют находить распределения примеси в твердом теле при любых начальных условиях. Решение конкретной задачи сводится к подстановке в (12) или (13) соответствующих ситуации начальных условий с последующими, как правило, очень громоздкими преобразованиями.

Страницы: 7 8 9 10 11 12 13 14 15

ЗАПАДНАЯ ВИРГИНИЯ (West Virginia) , штат на востоке Соединенных Штатов Америки. 62,6 тыс. км2. Население 1,8 млн. человек (1993). Адм. ц. - Чарлстон.

ГОЛОВКИН Гавриил Иванович (1660-1734) , граф, российский государственный деятель. Один из воспитателей и сподвижников Петра I. Руководитель внешней политики, с 1709 государственный канцлер, с 1718 президент Коллегии иностранных дел. В 1726-30 член Верховного тайного совета, поддерживал императрицу Анну Ивановну.

ИММУННАЯ РЕАКЦИЯ , взаимодействие антитела с соответствующим антигеном. Может происходить в организме при внедрении или введении в него антигенов и в пробирке. Дает возможность идентифицировать антиген (напр., выявить возбудителя болезни), определить степень иммунитета организма.