Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Страница 11

Общее решение уравнения (11) для бесконечного твердого тела при заданном в общем, виде начальном распределении примеси N(x,0) = f(x) может быть найдено методом разделения переменных. Оно имеет вид

, (12)

здесь x - текущая координата интегрирования.

Бесконечным в одномерном представлении называют тело, простирающееся от x=0 до x=- ¥ и до x=+ ¥.

Часто при поиске распределения концентрации примеси в полупроводнике необходимо решение уравнения (11) для полубесконечного твердого тела. Полубесконечным в одномерном представлении называют тело, простирающееся от x=0 до x=+ ¥.

Для этого случая выражение (12) может быть приведено к виду

(13)

В выражении (13) знак плюс относится к ситуации, когда граница твердого тела (x=0) является непроницаемой для диффундирующего вещества, находящегося в области x>0, (отражающая граница), а знак минус - к случаю, когда на границе твердого тела в любой момент времени концентрация диффундирующего вещества, также находящегося в области x>0, равна нулю - связывающая граница.

Представленные решения позволяют находить распределения примеси в твердом теле при любых начальных условиях. Решение конкретной задачи сводится к подстановке в (12) или (13) соответствующих ситуации начальных условий с последующими, как правило, очень громоздкими преобразованиями.

Страницы: 7 8 9 10 11 12 13 14 15

ЖАЛАУЛЫ , бессточное соленое озеро на северо-востоке Казахстана. 144 км2. Впадает р. Карасу.

ЭРИДАН , в греческой мифологии река в стране гипербореев, на севере или западе Европы. В Эридан упал сраженный молнией Зевса Фаэтон, слезы оплакивавших его сестер - Гелиад превратились в водах реки в янтарь. Эридан часто отождествлялся с реками крайнего запада (Пор, Рона и др.).

ПЕРЕС ГАЛЬДОС (Peres Galdos) Бенито (1843-1920) , испанский писатель. Реалистическая историческая эпопея "Национальные эпизоды" (1873-1912, в т. ч. романы "Сарагоса", "Хуан Мартин эль Эмпесинадо", оба 1874). Социальный роман "Донья Перфекта" (1876). В цикле "Современные романы" (1881-1915) - панорама испанской действительности на рубеже 19-20 вв.