Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Страница 11

Общее решение уравнения (11) для бесконечного твердого тела при заданном в общем, виде начальном распределении примеси N(x,0) = f(x) может быть найдено методом разделения переменных. Оно имеет вид

, (12)

здесь x - текущая координата интегрирования.

Бесконечным в одномерном представлении называют тело, простирающееся от x=0 до x=- ¥ и до x=+ ¥.

Часто при поиске распределения концентрации примеси в полупроводнике необходимо решение уравнения (11) для полубесконечного твердого тела. Полубесконечным в одномерном представлении называют тело, простирающееся от x=0 до x=+ ¥.

Для этого случая выражение (12) может быть приведено к виду

(13)

В выражении (13) знак плюс относится к ситуации, когда граница твердого тела (x=0) является непроницаемой для диффундирующего вещества, находящегося в области x>0, (отражающая граница), а знак минус - к случаю, когда на границе твердого тела в любой момент времени концентрация диффундирующего вещества, также находящегося в области x>0, равна нулю - связывающая граница.

Представленные решения позволяют находить распределения примеси в твердом теле при любых начальных условиях. Решение конкретной задачи сводится к подстановке в (12) или (13) соответствующих ситуации начальных условий с последующими, как правило, очень громоздкими преобразованиями.

Страницы: 7 8 9 10 11 12 13 14 15

СИББЕР (Cibber) Колли (1671-1757) , английский драматург. Комедии "Последняя уловка любви" (1696), "Беззаботный муж" (1705), "Последняя ставка женщин" (1707) и др.

МУХАТОВ Вели (Велимухамед) (р . 1916), туркменский композитор, народный артист СССР (1965), Герой Социалистического Труда (1986). Один из основоположников туркменской профессиональной музыки. Опера "Конец кровавого водораздела" (1967), кантаты и др. Профессор Туркменского педагогического института искусств (с 1982). Государственная премия СССР (1951, 1952).

ХАНТАЙКА , река на северо-западе Вост. Сибири, правый приток Енисея. 174 км, площадь бассейна 30,7 тыс. км2. Средний расход воды 590 м3/с. Судоходна от Хантайской ГЭС (63 км).