Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Страница 11

Общее решение уравнения (11) для бесконечного твердого тела при заданном в общем, виде начальном распределении примеси N(x,0) = f(x) может быть найдено методом разделения переменных. Оно имеет вид

, (12)

здесь x - текущая координата интегрирования.

Бесконечным в одномерном представлении называют тело, простирающееся от x=0 до x=- ¥ и до x=+ ¥.

Часто при поиске распределения концентрации примеси в полупроводнике необходимо решение уравнения (11) для полубесконечного твердого тела. Полубесконечным в одномерном представлении называют тело, простирающееся от x=0 до x=+ ¥.

Для этого случая выражение (12) может быть приведено к виду

(13)

В выражении (13) знак плюс относится к ситуации, когда граница твердого тела (x=0) является непроницаемой для диффундирующего вещества, находящегося в области x>0, (отражающая граница), а знак минус - к случаю, когда на границе твердого тела в любой момент времени концентрация диффундирующего вещества, также находящегося в области x>0, равна нулю - связывающая граница.

Представленные решения позволяют находить распределения примеси в твердом теле при любых начальных условиях. Решение конкретной задачи сводится к подстановке в (12) или (13) соответствующих ситуации начальных условий с последующими, как правило, очень громоздкими преобразованиями.

Страницы: 7 8 9 10 11 12 13 14 15

ЭЛЕКТРОДИНАМИЧЕСКИЙ ПРИБОР , позволяет измерять электрическое напряжение, силу тока, мощность в цепях переменного тока; основан на взаимодействии магнитных полей двух (или более) контуров с током.

ФЕОФИЛ Печерский (12-13 вв .), христианский монах-затворник, погребен в Ближних (Антониевых) пещерах Киево-Печерской лавры. Память в Православной церкви 28 сентября (11 октября), 24 октября (6 ноября) и во 2-е воскресенье Великого поста (собор Киево-Печерских отцов).

ВАСЬКОВ Семен Тимофеевич (р . 1934), российский ученый, член-корреспондент РАН (1991; член-корреспондент АН СССР с 1990). Труды по разработке научных основ создания прецизионных систем ввода-вывода изобразительной информации в ЭВМ.