Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Страница 11

Общее решение уравнения (11) для бесконечного твердого тела при заданном в общем, виде начальном распределении примеси N(x,0) = f(x) может быть найдено методом разделения переменных. Оно имеет вид

, (12)

здесь x - текущая координата интегрирования.

Бесконечным в одномерном представлении называют тело, простирающееся от x=0 до x=- ¥ и до x=+ ¥.

Часто при поиске распределения концентрации примеси в полупроводнике необходимо решение уравнения (11) для полубесконечного твердого тела. Полубесконечным в одномерном представлении называют тело, простирающееся от x=0 до x=+ ¥.

Для этого случая выражение (12) может быть приведено к виду

(13)

В выражении (13) знак плюс относится к ситуации, когда граница твердого тела (x=0) является непроницаемой для диффундирующего вещества, находящегося в области x>0, (отражающая граница), а знак минус - к случаю, когда на границе твердого тела в любой момент времени концентрация диффундирующего вещества, также находящегося в области x>0, равна нулю - связывающая граница.

Представленные решения позволяют находить распределения примеси в твердом теле при любых начальных условиях. Решение конкретной задачи сводится к подстановке в (12) или (13) соответствующих ситуации начальных условий с последующими, как правило, очень громоздкими преобразованиями.

Страницы: 7 8 9 10 11 12 13 14 15

НАДЫРОВА (Захарова) Татьяна Павловна (р . 1954), российская спортсменка (баскетбол), заслуженный мастер спорта (1976). Нападающая команды "Спартак" (Московская область; в 1972-83). Чемпионка Олимпийских игр (1976 и 1980), мира (1975) и СССР (1975).

ТАЙМ-АУТ (англ . time out), перерыв в спортивных играх (напр., в баскетболе) по просьбе команды, ее тренера или спортсмена (напр., в матчах на первенство мира по шахматам), предусмотренный правилами.

ПЕКИ (от нидерл . pek - смола), твердые или вязкие черные остатки перегонки дегтей или смол, образующихся при термической переработке твердых топлив (углей, торфа, горючих сланцев, древесины) или при пиролизе нефти (пек нефтяной). Используются для изготовления электродов и пекового лака, как связующие при брикетировании твердых топлив, как гидроизоляционный материал, в производстве толя и рубероида.