Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Страница 16

,

где предэкспоненциальный множитель (постоянная диффузии) Do и энергия активации диффузии DE - справочные величины.

k - постоянная Больцмана, T - температура процесса в Кельвинах.

Из [5] для галлия Do =0,374 см2/с , DE = 3,41 эВ, при T = 1523 K D = 1,94 × 10-12 см2/с.

Заполняем расчетную таблицу, меняя расстояние от x поверхности с необходимой частотой, до значения при котором значение N(x) имеет порядок не более 1012. В первый столбец записываем выбранные значения x, во второй - . Затем находим значения erfc(z), воспользовавшись таблицей интеграла ошибок в [4], и вносим эти значения в третий столбец. После чего рассчитываем концентрации N(x), соответствующие каждому значению x и результаты записываем в четвертый столбец.

Таблица 4 - Результаты расчета распределения галлия в кремнии

x,

мкм

erfc(z)

N(x),

см-3

x,

мкм

erfc(z)

N(x),

см-3

0

0

1

6×1019

2,5

2,12

0,002716

1,63×1017

0,5

0,42

0,552532

3,32×1019

3

2,54

0,000328

1,968×1016

1

0,85

0,229332

1,376×1019

3,5

2,96

0,000028

1,68×1015

1,5

1,27

0,072486

4,35×1018

4

3,38

0,000001753

1,052×1014

2

1,69

0,016847

1,012×1018

4,5

3,8

0,000000077

4,62×1012

Страницы: 12 13 14 15 16 17 18 19 20

ГУРТОВОЙ Тимофей Иванович (1919-81) , дирижер, народный артист СССР (1967). Художественный руководитель и главный дирижер (в 1953-79) симфонического оркестра Молдавской филармонии. Профессор Кишиневского института искусств (с 1977).

ВАШКА , река на севере Европейской части Российской Федерации, левый приток Мезени. 605 км, площадь бассейна 21 тыс. км2. Средний расход воды ок. 203 м3/с. Судоходна на 288 км от пристани Усть-Вачерга.

ЛЫСЕНКО Михаил Григорьевич (1906-72) , российский скульптор, народный художник СССР (1963), действительный член АХ СССР (1970). Монументальная и станковая скульптура, в т. ч. группы на "Холме Славы" во Львове (1947), памятник Н. А. Щорсу в Киеве (1949-54) - с коллективом авторов.