Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Страница 16

,

где предэкспоненциальный множитель (постоянная диффузии) Do и энергия активации диффузии DE - справочные величины.

k - постоянная Больцмана, T - температура процесса в Кельвинах.

Из [5] для галлия Do =0,374 см2/с , DE = 3,41 эВ, при T = 1523 K D = 1,94 × 10-12 см2/с.

Заполняем расчетную таблицу, меняя расстояние от x поверхности с необходимой частотой, до значения при котором значение N(x) имеет порядок не более 1012. В первый столбец записываем выбранные значения x, во второй - . Затем находим значения erfc(z), воспользовавшись таблицей интеграла ошибок в [4], и вносим эти значения в третий столбец. После чего рассчитываем концентрации N(x), соответствующие каждому значению x и результаты записываем в четвертый столбец.

Таблица 4 - Результаты расчета распределения галлия в кремнии

x,

мкм

erfc(z)

N(x),

см-3

x,

мкм

erfc(z)

N(x),

см-3

0

0

1

6×1019

2,5

2,12

0,002716

1,63×1017

0,5

0,42

0,552532

3,32×1019

3

2,54

0,000328

1,968×1016

1

0,85

0,229332

1,376×1019

3,5

2,96

0,000028

1,68×1015

1,5

1,27

0,072486

4,35×1018

4

3,38

0,000001753

1,052×1014

2

1,69

0,016847

1,012×1018

4,5

3,8

0,000000077

4,62×1012

Страницы: 12 13 14 15 16 17 18 19 20

БЭРА ЗАКОН: реки , текущие в направлении меридиана, в Северном полушарии подмывают правый берег, в Южном - левый. Объясняется влиянием суточного вращения Земли на движение частиц воды в реке. Сформулирован К. М. Бэром в 1857.

ФРЕГАТ (нидерл . fregat),..1) в парусном военном флоте - трехмачтовый военный корабль (второй по величине после линейного корабля; имел до 60 пушек) главным образом для крейсерства и разведки (см. Крейсерские операции). В 19 в. появились паровые колесные, (пароходо-фрегаты), затем винтовые фрегаты...2) Современные фрегаты - корабли специальной постройки; предназначены для поиска и уничтожения подводных лодок, противовоздушной и противоракетной обороны кораблей (судов).

АМИРАЛЬД (Амиро) (Amyraldus , Amyraut) Моиз (1596-1664), французский реформатский богослов, профессор в Сомюре. В сочинении "Трактат о предопределении" защищал идею спасения всех верующих. Сочинение "Христианская мораль" (1652-60).