Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легированииСтраница 19
Заключение.
В данном курсовом проекте были рассмотрены процесс очистки полупроводникового вещества – зонная плавка и способ введения примеси в полупроводник – диффузия примеси.
Для процесса зонной плавки произведен расчет для трех очищаемых примесей: фосфор, галлий, сурьма. Результаты расчета представлены в виде таблиц и графиков: распределение удельного сопротивления и распределения каждой примеси вдоль слитка кремния после очистки зонной плавкой (один проход расплавленной зоной).
Эффективность очистки зависит от скорости кристаллизации: чем меньше скорость кристаллизации в донной примеси, тем лучше она очищается, таким образом при Vкр®0 kэфф®k0; Vкр®¥ kэфф®1. Но это не означает, что если мы уменьшим скорость кристаллизации до нуля, то получим исходное вещество в чистом виде – это лишь одно из условий очистки вещества. Определяющим является также равновесный коэффициент сегрегации (К0) , который отражает эффективность перераспределения между жидкой и твердой фазой, он должен отличаться от еденицы в большую или меньшую сторону. В нашем случае k0 Sb<k0 Ga<k0 P<1, соответственно сурьма лучше подвергается очистки по сравнению с галлием, а галлий лучше по сравнению с фосфором. Это все подтверждается результатами расчета – распределением концентраций каждой примеси вдоль слитка кремния после очистки зонной плавкой.
Анализ второй части расчета – метод введения и перераспределения примеси – диффузии показывает, что при условии бесконечного источника примеси на поверхности пластины и одинаковом времени диффузии профиль распределения примеси в полупроводнике будет различен при нескольких температурах. Таким образом изменяя температурный режим можно изменить профиль распределения примеси в глубину полупроводника.
ХИЛЛ (Hill) Дэмон (р . 1960), английский спортсмен (автомобильный спорт). Чемпион мира в гонках "Формула-1" (1996).
АБДРАШИТОВ Вадим Юсупович (р . 1945), российский кинорежиссер, народный артист России (1992). Фильмы: "Слово для защиты" (1977), "Охота на лис" (1980), "Остановился поезд" (1982), "Парад планет" (1984), "Плюмбум, или Опасная игра" (1987), "Слуга" (1989). Государственная премия СССР (1991).
ПИК (Pieck) Вильгельм (1876-1960) , первый президент Германской Демократической Республики (с 1949). С 1935 председатель ЦК КПГ. В 1943-45 один из руководителей Национального комитета "Свободная Германия". В 1946-54 один из двух председателей СЕПГ.