Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Страница 19

Заключение.

В данном курсовом проекте были рассмотрены процесс очистки полупроводникового вещества – зонная плавка и способ введения примеси в полупроводник – диффузия примеси.

Для процесса зонной плавки произведен расчет для трех очищаемых примесей: фосфор, галлий, сурьма. Результаты расчета представлены в виде таблиц и графиков: распределение удельного сопротивления и распределения каждой примеси вдоль слитка кремния после очистки зонной плавкой (один проход расплавленной зоной).

Эффективность очистки зависит от скорости кристаллизации: чем меньше скорость кристаллизации в донной примеси, тем лучше она очищается, таким образом при Vкр®0 kэфф®k0; Vкр®¥ kэфф®1. Но это не означает, что если мы уменьшим скорость кристаллизации до нуля, то получим исходное вещество в чистом виде – это лишь одно из условий очистки вещества. Определяющим является также равновесный коэффициент сегрегации (К0) , который отражает эффективность перераспределения между жидкой и твердой фазой, он должен отличаться от еденицы в большую или меньшую сторону. В нашем случае k0 Sb<k0 Ga<k0 P<1, соответственно сурьма лучше подвергается очистки по сравнению с галлием, а галлий лучше по сравнению с фосфором. Это все подтверждается результатами расчета – распределением концентраций каждой примеси вдоль слитка кремния после очистки зонной плавкой.

Анализ второй части расчета – метод введения и перераспределения примеси – диффузии показывает, что при условии бесконечного источника примеси на поверхности пластины и одинаковом времени диффузии профиль распределения примеси в полупроводнике будет различен при нескольких температурах. Таким образом изменяя температурный режим можно изменить профиль распределения примеси в глубину полупроводника.

Страницы: 15 16 17 18 19 20

БИТОВ Андрей Георгиевич (р . 1937), русский писатель. Аналитическая проза (сборник рассказов "Аптекарский остров", 1969; повесть "Человек в пейзаже", 1987; роман "Улетающий Монахов", 1990), отмеченная нравственным максимализмом авторской позиции воссоздает духовный облик и психологию интеллигента 1960-80-х гг., одинокого искателя абсолютных истин. В романе "Пушкинский дом" (1978, в России опубликован в 1987) - преемственность и несходство судеб разных поколений русской интеллигенции в драматическом контексте советской истории. Повести-путешествия "Одна страна" (1961), "Уроки Армении" (1969) и др. Сборники повестей "Дни человека" (1976), "Воскресный день" (1980). В качестве актера сыграл в фильме "Чужая белая и рябой" одну из главных ролей (1986). Государственная премия Российской Федерации (1992).

ПЕВЦОВ Дмитрий Анатольевич (р . 1963), российский актер. Артист Московского театра "Ленком" и театра Аллы Демидовой ("А"). На сцене и на экране создает образы ярких, сильных личностей, романтических героев (Васька Пепел в спектакле "На дне", Павел Власов - "Мать" по М. Горькому, Генрих Наваррский в телесериалах "Королева Марго" и "Графиня де Монсоро" и др.).

АБДУРРАХМАН МОМАНД (1632-1707) , афганский поэт-суфий (см. Суфизм). Газели и касыды Абдуррахмана Моманда популярны у афганцев.