ChemStudy

Заключение.

В данном курсовом проекте были рассмотрены процесс очистки полупроводникового вещества – зонная плавка и способ введения примеси в полупроводник – диффузия примеси.

Для процесса зонной плавки произведен расчет для трех очищаемых примесей: фосфор, галлий, сурьма. Результаты расчета представлены в виде таблиц и графиков: распределение удельного сопротивления и распределения каждой примеси вдоль слитка кремния после очистки зонной плавкой (один проход расплавленной зоной).

Эффективность очистки зависит от скорости кристаллизации: чем меньше скорость кристаллизации в донной примеси, тем лучше она очищается, таким образом при Vкр®0 kэфф®k0; Vкр®¥ kэфф®1. Но это не означает, что если мы уменьшим скорость кристаллизации до нуля, то получим исходное вещество в чистом виде – это лишь одно из условий очистки вещества. Определяющим является также равновесный коэффициент сегрегации (К0) , который отражает эффективность перераспределения между жидкой и твердой фазой, он должен отличаться от еденицы в большую или меньшую сторону. В нашем случае k0 Sb<k0 Ga<k0 P<1, соответственно сурьма лучше подвергается очистки по сравнению с галлием, а галлий лучше по сравнению с фосфором. Это все подтверждается результатами расчета – распределением концентраций каждой примеси вдоль слитка кремния после очистки зонной плавкой.

Анализ второй части расчета – метод введения и перераспределения примеси – диффузии показывает, что при условии бесконечного источника примеси на поверхности пластины и одинаковом времени диффузии профиль распределения примеси в полупроводнике будет различен при нескольких температурах. Таким образом изменяя температурный режим можно изменить профиль распределения примеси в глубину полупроводника.

ИЗОТОНИЧЕСКИЕ РАСТВОРЫ (от изо ... и греч. tonos - напряжение), растворы с одинаковым осмотическим давлением. Изотонические растворы, приближающиеся по составу, величине водородного показателя и другим свойствам к сыворотке крови, называются физиологическими растворами; используют в качестве кровезаменителей.

ЧЕРЕМНЫХ Михаил Михайлович (1890-1962) , российский график, народный художник России (1952), действительный член АХ СССР (1958). Один из создателей "Окон РОСТА", "Окон ТАСС", журнала "Крокодил". Карикатуры, плакаты, иллюстрации. Государственная премия СССР (1942).

МЕЖЕРАУП Петр Христофорович (1895-1931) , военачальник. Участвовал в 1-й мировой и Гражданской войнах. В Красной Армии с 1918. С 1923 начальник Военно-воздушных сил Туркестанского фронта. В дальнейшем на командных должностях. Уделял большое внимание организации показательных перелетов и сам принимал в них активное участие. Погиб в авиационной катастрофе.