ChemStudy

Заключение.

В данном курсовом проекте были рассмотрены процесс очистки полупроводникового вещества – зонная плавка и способ введения примеси в полупроводник – диффузия примеси.

Для процесса зонной плавки произведен расчет для трех очищаемых примесей: фосфор, галлий, сурьма. Результаты расчета представлены в виде таблиц и графиков: распределение удельного сопротивления и распределения каждой примеси вдоль слитка кремния после очистки зонной плавкой (один проход расплавленной зоной).

Эффективность очистки зависит от скорости кристаллизации: чем меньше скорость кристаллизации в донной примеси, тем лучше она очищается, таким образом при Vкр®0 kэфф®k0; Vкр®¥ kэфф®1. Но это не означает, что если мы уменьшим скорость кристаллизации до нуля, то получим исходное вещество в чистом виде – это лишь одно из условий очистки вещества. Определяющим является также равновесный коэффициент сегрегации (К0) , который отражает эффективность перераспределения между жидкой и твердой фазой, он должен отличаться от еденицы в большую или меньшую сторону. В нашем случае k0 Sb<k0 Ga<k0 P<1, соответственно сурьма лучше подвергается очистки по сравнению с галлием, а галлий лучше по сравнению с фосфором. Это все подтверждается результатами расчета – распределением концентраций каждой примеси вдоль слитка кремния после очистки зонной плавкой.

Анализ второй части расчета – метод введения и перераспределения примеси – диффузии показывает, что при условии бесконечного источника примеси на поверхности пластины и одинаковом времени диффузии профиль распределения примеси в полупроводнике будет различен при нескольких температурах. Таким образом изменяя температурный режим можно изменить профиль распределения примеси в глубину полупроводника.

БОЛОТО , избыточно увлажненный участок земной поверхности, заросший влаголюбивыми растениями. В болоте обычно происходит накопление неразложившихся растительных остатков и образование торфа. В основном в Северном полушарии; общая площадь ок. 350 млн. га.

ФОЛЛИКУЛ (от лат . folliculus - мешочек), пузырьковидное образование в органах позвоночных, выполняющее различные функции. Напр., зрелый фолликул яичника содержит яйцеклетку, фолликул щитовидной железы - место окончательного синтеза гормонов.

НЕЗНАНСКИЙ Фридрих Евсеевич (р . 1932), русский писатель. С 1977 в эмиграции в США, затем в Германии. Наиболее известны его остросюжетные романы "Журналист для Брежнева, или Смертельные игры" (1981) и "Красная площадь" (1983; оба совместно с Э. Х. Тополем), а также "Ярмарка в Сокольниках" (1984). Книги: "Операция "Фауст" (1986), "Записки следователя, или Земля преступления" (1989), "Ящик Пандоры. Август в Москве" (1991) и др.