Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Страница 19

Заключение.

В данном курсовом проекте были рассмотрены процесс очистки полупроводникового вещества – зонная плавка и способ введения примеси в полупроводник – диффузия примеси.

Для процесса зонной плавки произведен расчет для трех очищаемых примесей: фосфор, галлий, сурьма. Результаты расчета представлены в виде таблиц и графиков: распределение удельного сопротивления и распределения каждой примеси вдоль слитка кремния после очистки зонной плавкой (один проход расплавленной зоной).

Эффективность очистки зависит от скорости кристаллизации: чем меньше скорость кристаллизации в донной примеси, тем лучше она очищается, таким образом при Vкр®0 kэфф®k0; Vкр®¥ kэфф®1. Но это не означает, что если мы уменьшим скорость кристаллизации до нуля, то получим исходное вещество в чистом виде – это лишь одно из условий очистки вещества. Определяющим является также равновесный коэффициент сегрегации (К0) , который отражает эффективность перераспределения между жидкой и твердой фазой, он должен отличаться от еденицы в большую или меньшую сторону. В нашем случае k0 Sb<k0 Ga<k0 P<1, соответственно сурьма лучше подвергается очистки по сравнению с галлием, а галлий лучше по сравнению с фосфором. Это все подтверждается результатами расчета – распределением концентраций каждой примеси вдоль слитка кремния после очистки зонной плавкой.

Анализ второй части расчета – метод введения и перераспределения примеси – диффузии показывает, что при условии бесконечного источника примеси на поверхности пластины и одинаковом времени диффузии профиль распределения примеси в полупроводнике будет различен при нескольких температурах. Таким образом изменяя температурный режим можно изменить профиль распределения примеси в глубину полупроводника.

Страницы: 15 16 17 18 19 20

ПРИТЧА , малый дидактико-аллегорический литературный жанр, заключающий в себе моральное или религиозное поучение ("премудрость"). Близка к басне; в своих модификациях - универсальное явление в мировом фольклоре и литературе (напр., притчи Евангелий, в т. ч. о блудном сыне).

ГЛИНКА Михаил Иванович (1804-57) , российский композитор, родоначальник русской классической музыки. Оперы "Жизнь за царя" ("Иван Сусанин", 1836) и "Руслан и Людмила" (1842) положили начало двум направлениям русской оперы - народной музыкальной драме и опере-сказке, опере-былине. Симфонические сочинения, в т. ч. "Камаринская" (1848), "Испанские увертюры" ("Арагонская хота", 1845, и "Ночь в Мадриде", 1851), заложили основы русского симфонизма. Классик русского романса. "Патриотическая песня" Глинки стала музыкальной основой государственного гимна Российской Федерации. Учреждены Глинкинские премии (М. П. Беляевым; 1884-1917), Государственная премия РСФСР имени Глинки (в 1965-90); проводится конкурс вокалистов имени Глинки (с 1960).

ЛАБИАЛИЗАЦИЯ (от средневековой . лат. labialis - губной) (огубление), произнесение звуков речи с округлением вытянутых вперед губ.