ChemStudy

Заключение.

В данном курсовом проекте были рассмотрены процесс очистки полупроводникового вещества – зонная плавка и способ введения примеси в полупроводник – диффузия примеси.

Для процесса зонной плавки произведен расчет для трех очищаемых примесей: фосфор, галлий, сурьма. Результаты расчета представлены в виде таблиц и графиков: распределение удельного сопротивления и распределения каждой примеси вдоль слитка кремния после очистки зонной плавкой (один проход расплавленной зоной).

Эффективность очистки зависит от скорости кристаллизации: чем меньше скорость кристаллизации в донной примеси, тем лучше она очищается, таким образом при Vкр®0 kэфф®k0; Vкр®¥ kэфф®1. Но это не означает, что если мы уменьшим скорость кристаллизации до нуля, то получим исходное вещество в чистом виде – это лишь одно из условий очистки вещества. Определяющим является также равновесный коэффициент сегрегации (К0) , который отражает эффективность перераспределения между жидкой и твердой фазой, он должен отличаться от еденицы в большую или меньшую сторону. В нашем случае k0 Sb<k0 Ga<k0 P<1, соответственно сурьма лучше подвергается очистки по сравнению с галлием, а галлий лучше по сравнению с фосфором. Это все подтверждается результатами расчета – распределением концентраций каждой примеси вдоль слитка кремния после очистки зонной плавкой.

Анализ второй части расчета – метод введения и перераспределения примеси – диффузии показывает, что при условии бесконечного источника примеси на поверхности пластины и одинаковом времени диффузии профиль распределения примеси в полупроводнике будет различен при нескольких температурах. Таким образом изменяя температурный режим можно изменить профиль распределения примеси в глубину полупроводника.

НАКИПЬ , твердые отложения на стенках труб (теплообменников, теплотрасс и т. д.), образующиеся при нагревании воды вследствие выпадения содержащихся в ней примесей (MgCO3, CaSO4 и др.). Ухудшает теплоотдачу.

ФУКО (Foucault) Жан Бернар Леон (1819-68) , французский физик, иностранный член-корреспондент Петербургской АН (1860). Определил (1850) скорость света в воздухе и воде методом, названным его именем. Осуществил (1851) опыт с маятником (т. н. маятником Фуко), подтвердивший суточное вращение Земли. Обнаружил электрические вихревые токи (токи Фуко).

ХАЗАНОВ Юрий Самуилович (р . 1920), русский писатель, переводчик. Сборники повестей и рассказов для детей: "Как я ездил в командировку" (1964), "Кап, иди сюда!" (1965), "Я - Робин Гуд" (1972) и др. Повесть для взрослых "Жизнь и приключения Маэлса Кандидова" (1989). Сборник стихов "Фига, вынутая из кармана" (1991).