ChemStudy

Заключение.

В данном курсовом проекте были рассмотрены процесс очистки полупроводникового вещества – зонная плавка и способ введения примеси в полупроводник – диффузия примеси.

Для процесса зонной плавки произведен расчет для трех очищаемых примесей: фосфор, галлий, сурьма. Результаты расчета представлены в виде таблиц и графиков: распределение удельного сопротивления и распределения каждой примеси вдоль слитка кремния после очистки зонной плавкой (один проход расплавленной зоной).

Эффективность очистки зависит от скорости кристаллизации: чем меньше скорость кристаллизации в донной примеси, тем лучше она очищается, таким образом при Vкр®0 kэфф®k0; Vкр®¥ kэфф®1. Но это не означает, что если мы уменьшим скорость кристаллизации до нуля, то получим исходное вещество в чистом виде – это лишь одно из условий очистки вещества. Определяющим является также равновесный коэффициент сегрегации (К0) , который отражает эффективность перераспределения между жидкой и твердой фазой, он должен отличаться от еденицы в большую или меньшую сторону. В нашем случае k0 Sb<k0 Ga<k0 P<1, соответственно сурьма лучше подвергается очистки по сравнению с галлием, а галлий лучше по сравнению с фосфором. Это все подтверждается результатами расчета – распределением концентраций каждой примеси вдоль слитка кремния после очистки зонной плавкой.

Анализ второй части расчета – метод введения и перераспределения примеси – диффузии показывает, что при условии бесконечного источника примеси на поверхности пластины и одинаковом времени диффузии профиль распределения примеси в полупроводнике будет различен при нескольких температурах. Таким образом изменяя температурный режим можно изменить профиль распределения примеси в глубину полупроводника.

ЮГОРСК , город (1992) в Российской Федерации, Ханты-Мансийский а. о. Ж.-д. ст. 26,5 тыс. жителей. (1993). Центр нефтедобычи.

РОТШТЕЙН Федор Аронович (1871-1953) , российский историк, дипломат, академик АН СССР (1939). В 1890-1920 в эмиграции в Великобритании. В 1895-1911 член английской социал-демократической федерации, с 1911 один из лидеров левого крыла Британской социалистической партии. Участник создания КП Великобритании (1920). В 1921-30 на советской дипломатической, с 1922 на научной работе. Труды по истории рабочего движения, колониальной политики и международных отношений.

УЛИЧИ , союз восточно-славянских племен в Н. Поднепровье, Побужье и на побережье Черного м. В сер. 10 в. - в составе Древнерусского государства.