Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легированииСтраница 19
Заключение.
В данном курсовом проекте были рассмотрены процесс очистки полупроводникового вещества – зонная плавка и способ введения примеси в полупроводник – диффузия примеси.
Для процесса зонной плавки произведен расчет для трех очищаемых примесей: фосфор, галлий, сурьма. Результаты расчета представлены в виде таблиц и графиков: распределение удельного сопротивления и распределения каждой примеси вдоль слитка кремния после очистки зонной плавкой (один проход расплавленной зоной).
Эффективность очистки зависит от скорости кристаллизации: чем меньше скорость кристаллизации в донной примеси, тем лучше она очищается, таким образом при Vкр®0 kэфф®k0; Vкр®¥ kэфф®1. Но это не означает, что если мы уменьшим скорость кристаллизации до нуля, то получим исходное вещество в чистом виде – это лишь одно из условий очистки вещества. Определяющим является также равновесный коэффициент сегрегации (К0) , который отражает эффективность перераспределения между жидкой и твердой фазой, он должен отличаться от еденицы в большую или меньшую сторону. В нашем случае k0 Sb<k0 Ga<k0 P<1, соответственно сурьма лучше подвергается очистки по сравнению с галлием, а галлий лучше по сравнению с фосфором. Это все подтверждается результатами расчета – распределением концентраций каждой примеси вдоль слитка кремния после очистки зонной плавкой.
Анализ второй части расчета – метод введения и перераспределения примеси – диффузии показывает, что при условии бесконечного источника примеси на поверхности пластины и одинаковом времени диффузии профиль распределения примеси в полупроводнике будет различен при нескольких температурах. Таким образом изменяя температурный режим можно изменить профиль распределения примеси в глубину полупроводника.
ТРИХИНА (трихинелла) , червь класса нематод, паразитирующий в стенках кишок и мышцах преимущественно плотоядных или всеядных млекопитающих и человека. Длина самцов 0,6-1,6 мм, самок до 4,4 мм. Вызывают трихинеллез. Личинки трихины в инкапсулированном состоянии в мышцах хозяина сохраняют жизнеспособность до 1 года и более.
ДВОЙНАЯ СПИРАЛЬ , в биологии - см. в ст. Уотсона - Крика гипотеза.
ШТРАУС Иоганн (Штраус-сын) (1825-99) , австрийский композитор, скрипач и дирижер. Создал классический тип венского вальса ("На прекрасном голубом Дунае", 1867, "Сказки Венского леса", 1868, "Весенние голоса", 1883, и др.). 16 оперетт, в т. ч. "Летучая мышь" (1874), "Цыганский барон" (1885) и др. Выступал как дирижер во многих странах, в т. ч. неоднократно в России в 1856-69.