Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Страница 19

Заключение.

В данном курсовом проекте были рассмотрены процесс очистки полупроводникового вещества – зонная плавка и способ введения примеси в полупроводник – диффузия примеси.

Для процесса зонной плавки произведен расчет для трех очищаемых примесей: фосфор, галлий, сурьма. Результаты расчета представлены в виде таблиц и графиков: распределение удельного сопротивления и распределения каждой примеси вдоль слитка кремния после очистки зонной плавкой (один проход расплавленной зоной).

Эффективность очистки зависит от скорости кристаллизации: чем меньше скорость кристаллизации в донной примеси, тем лучше она очищается, таким образом при Vкр®0 kэфф®k0; Vкр®¥ kэфф®1. Но это не означает, что если мы уменьшим скорость кристаллизации до нуля, то получим исходное вещество в чистом виде – это лишь одно из условий очистки вещества. Определяющим является также равновесный коэффициент сегрегации (К0) , который отражает эффективность перераспределения между жидкой и твердой фазой, он должен отличаться от еденицы в большую или меньшую сторону. В нашем случае k0 Sb<k0 Ga<k0 P<1, соответственно сурьма лучше подвергается очистки по сравнению с галлием, а галлий лучше по сравнению с фосфором. Это все подтверждается результатами расчета – распределением концентраций каждой примеси вдоль слитка кремния после очистки зонной плавкой.

Анализ второй части расчета – метод введения и перераспределения примеси – диффузии показывает, что при условии бесконечного источника примеси на поверхности пластины и одинаковом времени диффузии профиль распределения примеси в полупроводнике будет различен при нескольких температурах. Таким образом изменяя температурный режим можно изменить профиль распределения примеси в глубину полупроводника.

Страницы: 15 16 17 18 19 20

ЦИКЛ МОЧЕВИНЫ , то же, что орнитиновый цикл.

ВЕНДЕРС (Wenders) Вим (р . 1945), немецкий кинокритик, сценарист, режиссер, продюсер. Один из лидеров т. н. "молодого немецкого кино", фильмы которого неоднократно отмечались премиями международных кинофестивалей ("Страх вратаря перед одиннадцатиметровым", 1972; "Алиса в городах", 1974; "С течением времени", 1977; "Небо над Берлином", 1987; "Так далеко, так близко", 1993.) Стремясь к обновлению киноязыка, обращался к классическому голливудскому кино. Под эгидой Ф.-Ф. Копполы поставил цикл "американских" фильмов: "Хэммет", 1982; "Париж - Техас", 1985 ("Золотая пальмовая ветвь" Каннского кинофестиваля) и др.

БЕЙСБОЛ (англ . baseball), спортивная игра с мячом и битой, напоминающая лапту, на площадке 175 х 125 м, в которой участвуют 2 команды по 9 (североамериканский бейсбол) или по 11 (уэльский бейсбол) игроков каждая. Родина бейсбола - Англия; современные правила игры с 1845 (см. также Софтбол, Крикет). В Международной федерации бейсбола (IBF; основана в 1921) 71 страна (1991). Чемпионаты мира с 1938. В программе Олимпийских игр с 1992.