ChemStudy

Заключение.

В данном курсовом проекте были рассмотрены процесс очистки полупроводникового вещества – зонная плавка и способ введения примеси в полупроводник – диффузия примеси.

Для процесса зонной плавки произведен расчет для трех очищаемых примесей: фосфор, галлий, сурьма. Результаты расчета представлены в виде таблиц и графиков: распределение удельного сопротивления и распределения каждой примеси вдоль слитка кремния после очистки зонной плавкой (один проход расплавленной зоной).

Эффективность очистки зависит от скорости кристаллизации: чем меньше скорость кристаллизации в донной примеси, тем лучше она очищается, таким образом при Vкр®0 kэфф®k0; Vкр®¥ kэфф®1. Но это не означает, что если мы уменьшим скорость кристаллизации до нуля, то получим исходное вещество в чистом виде – это лишь одно из условий очистки вещества. Определяющим является также равновесный коэффициент сегрегации (К0) , который отражает эффективность перераспределения между жидкой и твердой фазой, он должен отличаться от еденицы в большую или меньшую сторону. В нашем случае k0 Sb<k0 Ga<k0 P<1, соответственно сурьма лучше подвергается очистки по сравнению с галлием, а галлий лучше по сравнению с фосфором. Это все подтверждается результатами расчета – распределением концентраций каждой примеси вдоль слитка кремния после очистки зонной плавкой.

Анализ второй части расчета – метод введения и перераспределения примеси – диффузии показывает, что при условии бесконечного источника примеси на поверхности пластины и одинаковом времени диффузии профиль распределения примеси в полупроводнике будет различен при нескольких температурах. Таким образом изменяя температурный режим можно изменить профиль распределения примеси в глубину полупроводника.

АНЕМО ... (от греч. anemos - ветер), часть сложных слов, соответствующая по значению слову "ветер" (напр., анемометр).

ОСА (Объединение современных архитекторов) , в 1925-31, всероссийское общество (А. А. Веснин, А. К. Буров, М. Я. Гинзбург, А. С. Никольский, Г. М. Орлов, И. И. Леонидов, И. А. Голосов), выступавшее под лозунгами конструктивизма и функционализма; пропагандировало использование новейших конструкций и материалов, типизацию и индустриализацию строительства.

КАПП Эуген (р . 1908), эстонский композитор, народный артист СССР (1956), Герой Социалистического Труда (1978). Сын А. Каппа. Автор первых эстонских современных опер "Огни мщения" (1945) и балета "Калевипоэг" (1947). Опера "Рембрандт" (1975), кантаты, оркестровые произведения, песни и др. Профессор Таллинской консерватории (с 1947). Государственная премия СССР (1946, 1949, 1952).