Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легированииСтраница 19
Заключение.
В данном курсовом проекте были рассмотрены процесс очистки полупроводникового вещества – зонная плавка и способ введения примеси в полупроводник – диффузия примеси.
Для процесса зонной плавки произведен расчет для трех очищаемых примесей: фосфор, галлий, сурьма. Результаты расчета представлены в виде таблиц и графиков: распределение удельного сопротивления и распределения каждой примеси вдоль слитка кремния после очистки зонной плавкой (один проход расплавленной зоной).
Эффективность очистки зависит от скорости кристаллизации: чем меньше скорость кристаллизации в донной примеси, тем лучше она очищается, таким образом при Vкр®0 kэфф®k0; Vкр®¥ kэфф®1. Но это не означает, что если мы уменьшим скорость кристаллизации до нуля, то получим исходное вещество в чистом виде – это лишь одно из условий очистки вещества. Определяющим является также равновесный коэффициент сегрегации (К0) , который отражает эффективность перераспределения между жидкой и твердой фазой, он должен отличаться от еденицы в большую или меньшую сторону. В нашем случае k0 Sb<k0 Ga<k0 P<1, соответственно сурьма лучше подвергается очистки по сравнению с галлием, а галлий лучше по сравнению с фосфором. Это все подтверждается результатами расчета – распределением концентраций каждой примеси вдоль слитка кремния после очистки зонной плавкой.
Анализ второй части расчета – метод введения и перераспределения примеси – диффузии показывает, что при условии бесконечного источника примеси на поверхности пластины и одинаковом времени диффузии профиль распределения примеси в полупроводнике будет различен при нескольких температурах. Таким образом изменяя температурный режим можно изменить профиль распределения примеси в глубину полупроводника.
ИРРЕДЕНТИЗМ (от итал . irredento - неосвобожденный), политическое и общественное движение в Италии в кон. 19 - нач. 20 вв. за присоединение к Италии пограничных земель Австро-Венгрии с итальянским населением - Триеста, Трентино и др. Вначале ирредентизм был представлен демократической оппозицией, в 20 в. стал использоваться империалистической буржуазией для оправдания широких территориальных притязаний на Балканах и в Адриатике.
ЕРЕМЕНКО Андрей Иванович (1892-1970) , Маршал Советского Союза (1955), Герой Советского Союза (1944). В Великую Отечественную войну командующий войсками Брянского, Юго-Восточного, Сталинградского, Южного, Калининского, 1-го и 2-го Прибалтийского, 4-го Украинского фронтов и ряда армий. В 1945-58 командующий войсками ряда ВО.
АРТЕЗИАНСКИЙ БАССЕЙН , бассейн подземных вод, приуроченный к отрицательной, геологической структуре (синеклизе, мульде, прогибу, межгорной впадине), содержащей напорные пластовые воды. Крупные артезианские бассейны в Российской Федерации - Западно-Сибирский, Московский.