Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Страница 13

(19)

и (20)

здесь запись erfc-1 обозначает аргумент z функции erfc.

При решении практических задач, связанных с анализом диффузионных процессов необходимо знать количество примеси Q, накопленной в твердом теле при диффузии в течение времени t. Эта величина определяется по формуле

(21)

где J(0,t) - поток диффузанта в объем через плоскость x=0

(22)

отсюда

(23)

Следует обратить внимание на возрастающее со временем значение накопленной в диффузионном слое примеси при диффузии с данными граничными условиями.

Рассмотренная модель диффузионного процесса с постоянным источником описывает процесс диффузионного легирования полупроводникового материала из газовой или паровой фазы. Этот процесс используется при создании сильно легированных диффузионных слоев (например, эмиттерных) с поверхностными концентрациями No близкими к значениям предельной твердой растворимости примеси в данном полупроводниковом материале.

Твердое тело можно считать полубесконечным ( или бесконечным) в том случае, если его размеры в направлении движения диффузанта много больше длины диффузии.

1.3.3 Распределение примеси при диффузии из слоя конечной толщины (диффузия из ограниченного источника) в полубесконечное тело с отражающей границей.

Диффундирующая примесь поступает в полубесконечное тело из источника, который представляет собой примыкающий к границе тела слой толщиной h, примесь в котором распределена равномерно. Такой источник называют ограниченным. Концентрация примеси в источнике - No. Полагается, что в принимающем диффузант твердом теле нет рассматриваемой примеси.

При абсолютно непроницаемой для диффузанта (отражающей) границе поток примеси через поверхность x=0 должен обращаться в нуль при всех t ³0

для t ³0 (24)

Страницы: 9 10 11 12 13 14 15 16 17

ОНЕГА , река в Российской Федерации, Архангельская обл. 416 км, площадь бассейна 56,9 тыс. км2. Вытекает из оз. Лача; при впадении в Онежскую губу Белого м. образует дельту. Средний расход воды 505 м3/с. Сплавная. Судоходна между порогами. На Онеге - г. Каргополь; в устье - г. Онега.

РАДИОГРАФИЯ (от радио ... и ...графия), метод исследования различных объектов, использующий воздействие на слой фотоэмульсии прошедшего через вещество излучения радионуклидов. Нуклиды могут вводиться непосредственно в исследуемый объект (авторадиография). Радиографию используют, напр., для контроля качества сварки, литья и т. д., а также в биологических, медицинских и других исследованиях.

БОБРИЩЕВЫ-ПУШКИНЫ , декабристы, члены Южного общества, поручики, братья: 1) Николай Сергеевич (1800-71), осужден на вечное поселение, в 1827-56 в Среднеколымске, Туруханске...2) Павел Сергеевич (1802-65), осужден на 12 лет каторги, с 1827 в Нерчинских рудниках, в 1832-56 на поселении в Красноярске, Тобольске.