ChemStudy

(19)

и (20)

здесь запись erfc-1 обозначает аргумент z функции erfc.

При решении практических задач, связанных с анализом диффузионных процессов необходимо знать количество примеси Q, накопленной в твердом теле при диффузии в течение времени t. Эта величина определяется по формуле

(21)

где J(0,t) - поток диффузанта в объем через плоскость x=0

(22)

отсюда

(23)

Следует обратить внимание на возрастающее со временем значение накопленной в диффузионном слое примеси при диффузии с данными граничными условиями.

Рассмотренная модель диффузионного процесса с постоянным источником описывает процесс диффузионного легирования полупроводникового материала из газовой или паровой фазы. Этот процесс используется при создании сильно легированных диффузионных слоев (например, эмиттерных) с поверхностными концентрациями No близкими к значениям предельной твердой растворимости примеси в данном полупроводниковом материале.

Твердое тело можно считать полубесконечным ( или бесконечным) в том случае, если его размеры в направлении движения диффузанта много больше длины диффузии.

1.3.3 Распределение примеси при диффузии из слоя конечной толщины (диффузия из ограниченного источника) в полубесконечное тело с отражающей границей.

Диффундирующая примесь поступает в полубесконечное тело из источника, который представляет собой примыкающий к границе тела слой толщиной h, примесь в котором распределена равномерно. Такой источник называют ограниченным. Концентрация примеси в источнике - No. Полагается, что в принимающем диффузант твердом теле нет рассматриваемой примеси.

При абсолютно непроницаемой для диффузанта (отражающей) границе поток примеси через поверхность x=0 должен обращаться в нуль при всех t ³0

для t ³0 (24)

РЕТАВАС (Rietavas) , город в Литве, на р. Юра, в 22 км от ж.-д. ст. Плунге. 4,5 тыс. жителей (1990). Деревообрабатывающая промышленность. Известен с 13 в.

РОМАНЦОВ Александр Иванович (р . 1948), российский актер, заслуженный артист России (1994). Играл в ленинградских театрах, с 1980 - в Большом драматическом театре им. М. Горького. Среди театральных работ: 5 ролей в спектакле "Лягушки" по Аристофану, Джим ("Продавец дождя" Р. Нэша) и др. Актерская манера Романцова отличается нервной утонченностью и пластичностью. Снимался в фильмах В. Г. Огородникова ("Бумажные глаза Пришвина", 1989; "Опыт бреда любовного очарования", 1991), А. В. Рогожкина ("Жизнь с идиотом", 1993) и др.

ГУАНАХУАТО (Guanajuato) , город в Мексике, административный центр шт. Гуанахуато. Ок. 70 тыс. жителей. Транспортный узел на высоте 2050 м. Старинный центр горнопромышленного района (золото, серебро, олово и др.). Университет. Родина художника Д. Риверы. Основан в 1548. Музеи. Архитектурные памятники 16-18 вв. Туризм.