Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легированииСтраница 13
(19)
и
(20)
здесь запись erfc-1 обозначает аргумент z функции erfc.
При решении практических задач, связанных с анализом диффузионных процессов необходимо знать количество примеси Q, накопленной в твердом теле при диффузии в течение времени t. Эта величина определяется по формуле
(21)
где J(0,t) - поток диффузанта в объем через плоскость x=0
(22)
отсюда
(23)
Следует обратить внимание на возрастающее со временем значение накопленной в диффузионном слое примеси при диффузии с данными граничными условиями.
Рассмотренная модель диффузионного процесса с постоянным источником описывает процесс диффузионного легирования полупроводникового материала из газовой или паровой фазы. Этот процесс используется при создании сильно легированных диффузионных слоев (например, эмиттерных) с поверхностными концентрациями No близкими к значениям предельной твердой растворимости примеси в данном полупроводниковом материале.
Твердое тело можно считать полубесконечным ( или бесконечным) в том случае, если его размеры в направлении движения диффузанта много больше длины диффузии.
1.3.3 Распределение примеси при диффузии из слоя конечной толщины (диффузия из ограниченного источника) в полубесконечное тело с отражающей границей.
Диффундирующая примесь поступает в полубесконечное тело из источника, который представляет собой примыкающий к границе тела слой толщиной h, примесь в котором распределена равномерно. Такой источник называют ограниченным. Концентрация примеси в источнике - No. Полагается, что в принимающем диффузант твердом теле нет рассматриваемой примеси.
При абсолютно непроницаемой для диффузанта (отражающей) границе поток примеси через поверхность x=0 должен обращаться в нуль при всех t ³0
для t ³0 (24)
ФРИДМАН (Friedman) Херберт (р . 1916), американский астроном, один из основоположников внеатмосферной астрономии. Впервые измерил излучение звезд в далекой ультрафиолетовой области. Провел многочисленные исследования космических излучений: рентгеновского и гамма-, зарегистрированных с помощью ракет и спутников.
ИКРАМОВ Камил Акмалевич (1927-89) , русский писатель, народный писатель Узбекистана (1987). Сын А. И. Икрамова. Трагическая история семьи, ставшей жертвой сталинских репрессий, в книге воспоминаний "Дело моего отца" (1989). Исторические романы (в т. ч. "Караваны уходят - пути остаются", 1960), повести об Амангельды Иманове "Все возможное счастье" (1979). Роман "Ход вещей" (1982), повесть "Все будет хорошо" (1988). Книги для детей. Рассказы, очерки. Киносценарии.
РАЗВЕРТКА во времени , способ отображения изменений физической величины во времени посредством однозначного преобразования ее в другую величину, изменения которой можно визуально наблюдать по отклонению т. н. развертывающего элемента (напр., электронного или светового луча, пишущего стержня) на экране электронно-лучевого прибора (в телевизорах, осциллографах), бумажной ленте (в измерительных самопишущих приборах) или фотоматериале (в светолучевом осциллографе).