ChemStudy

(19)

и (20)

здесь запись erfc-1 обозначает аргумент z функции erfc.

При решении практических задач, связанных с анализом диффузионных процессов необходимо знать количество примеси Q, накопленной в твердом теле при диффузии в течение времени t. Эта величина определяется по формуле

(21)

где J(0,t) - поток диффузанта в объем через плоскость x=0

(22)

отсюда

(23)

Следует обратить внимание на возрастающее со временем значение накопленной в диффузионном слое примеси при диффузии с данными граничными условиями.

Рассмотренная модель диффузионного процесса с постоянным источником описывает процесс диффузионного легирования полупроводникового материала из газовой или паровой фазы. Этот процесс используется при создании сильно легированных диффузионных слоев (например, эмиттерных) с поверхностными концентрациями No близкими к значениям предельной твердой растворимости примеси в данном полупроводниковом материале.

Твердое тело можно считать полубесконечным ( или бесконечным) в том случае, если его размеры в направлении движения диффузанта много больше длины диффузии.

1.3.3 Распределение примеси при диффузии из слоя конечной толщины (диффузия из ограниченного источника) в полубесконечное тело с отражающей границей.

Диффундирующая примесь поступает в полубесконечное тело из источника, который представляет собой примыкающий к границе тела слой толщиной h, примесь в котором распределена равномерно. Такой источник называют ограниченным. Концентрация примеси в источнике - No. Полагается, что в принимающем диффузант твердом теле нет рассматриваемой примеси.

При абсолютно непроницаемой для диффузанта (отражающей) границе поток примеси через поверхность x=0 должен обращаться в нуль при всех t ³0

для t ³0 (24)

ЛЬЮИС Карл (р . 1961), американский спортсмен (легкая атлетика). Чемпион Олимпийских игр 1984 (бег 100 и 200 м, эстафета 4 · 100, прыжки в длину), 1988 (бег 100 м, прыжки в длину) и 1992 (прыжки в длину, эстафета 4 · 100 м). Семикратный чемпион мира: 1983 (бег 100 м, прыжки в длину, эсстафета 4 · 100 м), 1987 (прыжки в длину, эстафета 4 · 100 м), 1991 (бег 100 м, эстафета 4 · 100 м). Десятикратный рекордсмен мира.

ЗИНГШПИЛЬ (нем . Singspiel), разновидность комической оперы с разговорными диалогами, сложившаяся в 18 в. в Германии и Австрии ("Похищение из сераля", "Волшебная флейта" Моцарта).

НГУЕНЫ , в 1558-1802 правящий род на территории Центр. и Юж. Вьетнама, в 1802-1945 имп. династии Вьетнама (с 1884 правление под французским протекторатом).