ChemStudy

(19)

и (20)

здесь запись erfc-1 обозначает аргумент z функции erfc.

При решении практических задач, связанных с анализом диффузионных процессов необходимо знать количество примеси Q, накопленной в твердом теле при диффузии в течение времени t. Эта величина определяется по формуле

(21)

где J(0,t) - поток диффузанта в объем через плоскость x=0

(22)

отсюда

(23)

Следует обратить внимание на возрастающее со временем значение накопленной в диффузионном слое примеси при диффузии с данными граничными условиями.

Рассмотренная модель диффузионного процесса с постоянным источником описывает процесс диффузионного легирования полупроводникового материала из газовой или паровой фазы. Этот процесс используется при создании сильно легированных диффузионных слоев (например, эмиттерных) с поверхностными концентрациями No близкими к значениям предельной твердой растворимости примеси в данном полупроводниковом материале.

Твердое тело можно считать полубесконечным ( или бесконечным) в том случае, если его размеры в направлении движения диффузанта много больше длины диффузии.

1.3.3 Распределение примеси при диффузии из слоя конечной толщины (диффузия из ограниченного источника) в полубесконечное тело с отражающей границей.

Диффундирующая примесь поступает в полубесконечное тело из источника, который представляет собой примыкающий к границе тела слой толщиной h, примесь в котором распределена равномерно. Такой источник называют ограниченным. Концентрация примеси в источнике - No. Полагается, что в принимающем диффузант твердом теле нет рассматриваемой примеси.

При абсолютно непроницаемой для диффузанта (отражающей) границе поток примеси через поверхность x=0 должен обращаться в нуль при всех t ³0

для t ³0 (24)

ЗАВИТИНСК (до 1954 пос . Завитая), город в Российской Федерации, Амурская обл. Железнодорожный узел (Завитая). 22,3 тыс. жителей (1992). Маслозавод.

ШОГЕНЦУКОВ Али Асхадович (1900-41) , кабардинский поэт. Поэмы "Мадина" (1933), "Вчерашние дни Тембота" (1935), роман в стихах "Камбот и Ляца" (1938) - художественная летопись жизни кабардинского народа. Погиб в фашистском концлагере.

ШАДРИН Владимир Николаевич (р . 1948), российский спортсмен, заслуженный мастер спорта (1971). Чемпион Олимпийских игр (1972, 1976), неоднократный чемпион мира и Европы (в 1970-75), СССР (в 1967-76) по хоккею с шайбой.