ChemStudy

(19)

и (20)

здесь запись erfc-1 обозначает аргумент z функции erfc.

При решении практических задач, связанных с анализом диффузионных процессов необходимо знать количество примеси Q, накопленной в твердом теле при диффузии в течение времени t. Эта величина определяется по формуле

(21)

где J(0,t) - поток диффузанта в объем через плоскость x=0

(22)

отсюда

(23)

Следует обратить внимание на возрастающее со временем значение накопленной в диффузионном слое примеси при диффузии с данными граничными условиями.

Рассмотренная модель диффузионного процесса с постоянным источником описывает процесс диффузионного легирования полупроводникового материала из газовой или паровой фазы. Этот процесс используется при создании сильно легированных диффузионных слоев (например, эмиттерных) с поверхностными концентрациями No близкими к значениям предельной твердой растворимости примеси в данном полупроводниковом материале.

Твердое тело можно считать полубесконечным ( или бесконечным) в том случае, если его размеры в направлении движения диффузанта много больше длины диффузии.

1.3.3 Распределение примеси при диффузии из слоя конечной толщины (диффузия из ограниченного источника) в полубесконечное тело с отражающей границей.

Диффундирующая примесь поступает в полубесконечное тело из источника, который представляет собой примыкающий к границе тела слой толщиной h, примесь в котором распределена равномерно. Такой источник называют ограниченным. Концентрация примеси в источнике - No. Полагается, что в принимающем диффузант твердом теле нет рассматриваемой примеси.

При абсолютно непроницаемой для диффузанта (отражающей) границе поток примеси через поверхность x=0 должен обращаться в нуль при всех t ³0

для t ³0 (24)

ВЕРМЕХО , см. Бермехо.

МАГОМАЕВ Абдул Муслим Магометович (1885-1937) , азербайджанский композитор, дирижер, заслуженный деятель искусств Азербайджана (1935). Один из создателей азербайджанского музыкального театра. Оперы "Шах Исмаил" (1919), "Нэргиз" (1935) и др.

ЛЬВОВ Николай Александрович (1751-1803/04) , российский архитектор, художник, поэт, музыкант, член Российской АН (1783). Представитель классицизма: почтамт в Санкт-Петербурге (1782-89), собор в Торжке (1785-96), усадебные ансамбли (с. Никольское, близ Торжка, 1789-1804). Издал нотное собрание русских народных песен (1790, совместно с И. Прачем). Стихи, поэмы в духе сентиментализма, переводы.