Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легированииСтраница 13
(19)
и
(20)
здесь запись erfc-1 обозначает аргумент z функции erfc.
При решении практических задач, связанных с анализом диффузионных процессов необходимо знать количество примеси Q, накопленной в твердом теле при диффузии в течение времени t. Эта величина определяется по формуле
(21)
где J(0,t) - поток диффузанта в объем через плоскость x=0
(22)
отсюда
(23)
Следует обратить внимание на возрастающее со временем значение накопленной в диффузионном слое примеси при диффузии с данными граничными условиями.
Рассмотренная модель диффузионного процесса с постоянным источником описывает процесс диффузионного легирования полупроводникового материала из газовой или паровой фазы. Этот процесс используется при создании сильно легированных диффузионных слоев (например, эмиттерных) с поверхностными концентрациями No близкими к значениям предельной твердой растворимости примеси в данном полупроводниковом материале.
Твердое тело можно считать полубесконечным ( или бесконечным) в том случае, если его размеры в направлении движения диффузанта много больше длины диффузии.
1.3.3 Распределение примеси при диффузии из слоя конечной толщины (диффузия из ограниченного источника) в полубесконечное тело с отражающей границей.
Диффундирующая примесь поступает в полубесконечное тело из источника, который представляет собой примыкающий к границе тела слой толщиной h, примесь в котором распределена равномерно. Такой источник называют ограниченным. Концентрация примеси в источнике - No. Полагается, что в принимающем диффузант твердом теле нет рассматриваемой примеси.
При абсолютно непроницаемой для диффузанта (отражающей) границе поток примеси через поверхность x=0 должен обращаться в нуль при всех t ³0
для t ³0 (24)
АГРИППИНА Римляныня (ум . между 253-260), христианская мученица, пострадавшая в Риме в гонение императора Валериана. Память в Православной и в Католической церкви 23 июня.
"ЮРИДИЧЕСКИЙ ВЕСТНИК" , ежемесячный журнал, орган либеральной профессуры юридического факультета Московского университета в 1867-92. Редакторы - С. А. Муромцев, М. М. Ковальский, В. А. Гольцев и др. Материалы по вопросам права, народного хозяйства, самоуправления.
ЖЕНЕ (Genet) Жан (1910-86) , французский писатель. В первую половину жизни - бродяга и вор, в 1948 приговорен к пожизненному заключению, отмененному по ходатайству литераторов. В автобиографических романах "Богородица в цветах" (1942), "Чудо розы" (1946), документальном "Дневнике вора" (1949-50) - своеобразная, через обращение к приемам "черного" гротеска, героизация преступления; мотивы тотального разрушения и поругания в драмах "Служанки" (1947), "Балкон" (1956), "Ширмы" (1961), построенных в духе абсурда драмы.