Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Страница 13

(19)

и (20)

здесь запись erfc-1 обозначает аргумент z функции erfc.

При решении практических задач, связанных с анализом диффузионных процессов необходимо знать количество примеси Q, накопленной в твердом теле при диффузии в течение времени t. Эта величина определяется по формуле

(21)

где J(0,t) - поток диффузанта в объем через плоскость x=0

(22)

отсюда

(23)

Следует обратить внимание на возрастающее со временем значение накопленной в диффузионном слое примеси при диффузии с данными граничными условиями.

Рассмотренная модель диффузионного процесса с постоянным источником описывает процесс диффузионного легирования полупроводникового материала из газовой или паровой фазы. Этот процесс используется при создании сильно легированных диффузионных слоев (например, эмиттерных) с поверхностными концентрациями No близкими к значениям предельной твердой растворимости примеси в данном полупроводниковом материале.

Твердое тело можно считать полубесконечным ( или бесконечным) в том случае, если его размеры в направлении движения диффузанта много больше длины диффузии.

1.3.3 Распределение примеси при диффузии из слоя конечной толщины (диффузия из ограниченного источника) в полубесконечное тело с отражающей границей.

Диффундирующая примесь поступает в полубесконечное тело из источника, который представляет собой примыкающий к границе тела слой толщиной h, примесь в котором распределена равномерно. Такой источник называют ограниченным. Концентрация примеси в источнике - No. Полагается, что в принимающем диффузант твердом теле нет рассматриваемой примеси.

При абсолютно непроницаемой для диффузанта (отражающей) границе поток примеси через поверхность x=0 должен обращаться в нуль при всех t ³0

для t ³0 (24)

Страницы: 9 10 11 12 13 14 15 16 17

УМБРИЙСКАЯ ШКОЛА , итальянская школа живописи 13-16 вв. с центром в г. Перуджа. В 13 в. - расцвет изысканной миниатюры, в 14 - 15 вв. - поздней готики (Джентиле да Фабриано). Во 2-й пол. 15 - 16 вв. утвердились принципы реалистического искусства Возрождения (П. Перуджино, Л. Синьорелли, Пинтуриккьо); характерные черты - лиричность образов, поэтизация природы, мягкость колорита.

КОНКОРС (от англ . concourse - площадь, к которой сходится несколько улиц), распределительный зал для пассажиров в крупных общественных, преимущественно транспортных, сооружениях (на вокзалах, станциях метрополитена). Конкорсом также называется главный вестибюль вокзала.

САССЕТА (Sasseta) Стефано ди Джованни (ок .1400, возможно, 1392-1450), итальянский художник. Продолжил традиции сиенской школы 14 в., наряду с Джованни ди Паоло крупнейший ее представитель в 1-й пол. 15 в. На творчество Сассетты оказала воздействие живопись интернациональной готики, искусство Мазолино и Джентиле да Фабриано.