ChemStudy

(19)

и (20)

здесь запись erfc-1 обозначает аргумент z функции erfc.

При решении практических задач, связанных с анализом диффузионных процессов необходимо знать количество примеси Q, накопленной в твердом теле при диффузии в течение времени t. Эта величина определяется по формуле

(21)

где J(0,t) - поток диффузанта в объем через плоскость x=0

(22)

отсюда

(23)

Следует обратить внимание на возрастающее со временем значение накопленной в диффузионном слое примеси при диффузии с данными граничными условиями.

Рассмотренная модель диффузионного процесса с постоянным источником описывает процесс диффузионного легирования полупроводникового материала из газовой или паровой фазы. Этот процесс используется при создании сильно легированных диффузионных слоев (например, эмиттерных) с поверхностными концентрациями No близкими к значениям предельной твердой растворимости примеси в данном полупроводниковом материале.

Твердое тело можно считать полубесконечным ( или бесконечным) в том случае, если его размеры в направлении движения диффузанта много больше длины диффузии.

1.3.3 Распределение примеси при диффузии из слоя конечной толщины (диффузия из ограниченного источника) в полубесконечное тело с отражающей границей.

Диффундирующая примесь поступает в полубесконечное тело из источника, который представляет собой примыкающий к границе тела слой толщиной h, примесь в котором распределена равномерно. Такой источник называют ограниченным. Концентрация примеси в источнике - No. Полагается, что в принимающем диффузант твердом теле нет рассматриваемой примеси.

При абсолютно непроницаемой для диффузанта (отражающей) границе поток примеси через поверхность x=0 должен обращаться в нуль при всех t ³0

для t ³0 (24)

ЩУРОВСКИЙ Григорий Ефимович (1803-84) , российский геолог, профессор Московского университета (с 1835), первым читал курс геологии и минералогии. Один из основателей и первый президент (с 1863) Общества любителей естествознания, антропологии и этнографии.

"СОЮЗА МАРКСИСТОВ-ЛЕНИНЦЕВ" ДЕЛА , сфабрикованные в 1930-е гг. дела по обвинению ряда лиц в создании контрреволюционной организации "Союз марксистов-ленинцев" в целях борьбы с Советской властью и восстановления капитализма в СССР, подготовке программного документа этой организации и активной антисоветской деятельности. Постановлениями коллегии ОГПУ в 1932-33 в несудебном порядке были привлечены к уголовной ответственности с назначением различных мер наказания 30 человек, среди них М. Н. Рютин, В. Н. Каюров, Л. Б. Каменев, Г. Е. Зиновьев. В 1937 трое из привлеченных (среди них Рютин) были вновь привлечены к уголовной ответственности и расстреляны.

ТРАУБЕРГ Леонид Захарович (1902-90) , российский кинорежиссер, народный артист России (1987). Поставил с Г. М. Козинцевым: "Шинель" (1926), "Новый Вавилон" (1929), кинотрилогию о Максиме (1935-39) и другие фильмы: "Актриса" (1943), "Шли солдаты" (1959), "Вольный ветер" (196..1) и др. Государственная премия СССР (194..1).