Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легированииСтраница 13
(19)
и
(20)
здесь запись erfc-1 обозначает аргумент z функции erfc.
При решении практических задач, связанных с анализом диффузионных процессов необходимо знать количество примеси Q, накопленной в твердом теле при диффузии в течение времени t. Эта величина определяется по формуле
(21)
где J(0,t) - поток диффузанта в объем через плоскость x=0
(22)
отсюда
(23)
Следует обратить внимание на возрастающее со временем значение накопленной в диффузионном слое примеси при диффузии с данными граничными условиями.
Рассмотренная модель диффузионного процесса с постоянным источником описывает процесс диффузионного легирования полупроводникового материала из газовой или паровой фазы. Этот процесс используется при создании сильно легированных диффузионных слоев (например, эмиттерных) с поверхностными концентрациями No близкими к значениям предельной твердой растворимости примеси в данном полупроводниковом материале.
Твердое тело можно считать полубесконечным ( или бесконечным) в том случае, если его размеры в направлении движения диффузанта много больше длины диффузии.
1.3.3 Распределение примеси при диффузии из слоя конечной толщины (диффузия из ограниченного источника) в полубесконечное тело с отражающей границей.
Диффундирующая примесь поступает в полубесконечное тело из источника, который представляет собой примыкающий к границе тела слой толщиной h, примесь в котором распределена равномерно. Такой источник называют ограниченным. Концентрация примеси в источнике - No. Полагается, что в принимающем диффузант твердом теле нет рассматриваемой примеси.
При абсолютно непроницаемой для диффузанта (отражающей) границе поток примеси через поверхность x=0 должен обращаться в нуль при всех t ³0
для t ³0 (24)
ЩЕЛОЧНОЗЕМЕЛЬНЫЕ МЕТАЛЛЫ , химические элементы Ве, Мg, Ca, Sr, Ba, Ra. Названы так потому, что их оксиды - "земли" (по терминологии алхимиков) - сообщают воде щелочную реакцию.
ИТАЛЬЯНСКИЙ ПОХОД СУВОРОВА , апрель-август 1799, военные действия российских и австрийских войск под командованием генерал-фельдмаршала А. В. Суворова в Сев. Италии против французских войск во время войны Франции со 2-й антифранцузской коалицией (1798-1802). Победы российских войск (на реках Адда и Треббия и при Нови) и российского флота в Средиземноморском походе Ф. Ф. Ушакова 1798-1800 привели к освобождению Италии от французского господства.
ЧАРОИТ , минерал подкласса цепочечных силикатов. Волокнистые массы и длинностолбчатые агрегаты красивого фиолетового цвета. Твердость 5,5; плотность 2,5-2,6 г/см3. Образуется в щелочных сиенитах. Ценный поделочный камень. Единственное месторождение - на р. Чара.