Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Страница 13

(19)

и (20)

здесь запись erfc-1 обозначает аргумент z функции erfc.

При решении практических задач, связанных с анализом диффузионных процессов необходимо знать количество примеси Q, накопленной в твердом теле при диффузии в течение времени t. Эта величина определяется по формуле

(21)

где J(0,t) - поток диффузанта в объем через плоскость x=0

(22)

отсюда

(23)

Следует обратить внимание на возрастающее со временем значение накопленной в диффузионном слое примеси при диффузии с данными граничными условиями.

Рассмотренная модель диффузионного процесса с постоянным источником описывает процесс диффузионного легирования полупроводникового материала из газовой или паровой фазы. Этот процесс используется при создании сильно легированных диффузионных слоев (например, эмиттерных) с поверхностными концентрациями No близкими к значениям предельной твердой растворимости примеси в данном полупроводниковом материале.

Твердое тело можно считать полубесконечным ( или бесконечным) в том случае, если его размеры в направлении движения диффузанта много больше длины диффузии.

1.3.3 Распределение примеси при диффузии из слоя конечной толщины (диффузия из ограниченного источника) в полубесконечное тело с отражающей границей.

Диффундирующая примесь поступает в полубесконечное тело из источника, который представляет собой примыкающий к границе тела слой толщиной h, примесь в котором распределена равномерно. Такой источник называют ограниченным. Концентрация примеси в источнике - No. Полагается, что в принимающем диффузант твердом теле нет рассматриваемой примеси.

При абсолютно непроницаемой для диффузанта (отражающей) границе поток примеси через поверхность x=0 должен обращаться в нуль при всех t ³0

для t ³0 (24)

Страницы: 9 10 11 12 13 14 15 16 17

ХОРЕОГРАФИЯ (от греч . choreia - пляска и ...графия), первоначально - запись танца, затем - искусство сочинения танца, балета, с кон. 19 - нач. 20 вв. танцевальное искусство в целом.

ЧЖАН ЦЗЯО (?-184) , руководитель "желтых повязок" восстания в Китае. До этого был даосским монахом. Умер от ран.

АКАШЕВ Константин Васильевич (1888-1931) , первый главком авиации СССР. Учился в Италии и в Высшем училище аэронавтики в Париже, в начале 1-й мировой войны вступил добровольцем в ВВС Франции. Вернулся в Россию в 1915, работал на авиационном заводе. В декабре 1917 назначен председателем Всероссийской коллегии по управлению воздушным флотом, в 1918 был командующим воздушными силами 5-й армии, с декабря 1918 назначен начальником авиации воздухоплавания Южного фронта. В последние годы жизни работал на руководящих должностях на авиационных заводах Ленинграда и Москвы. Репрессирован.