Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Страница 13

(19)

и (20)

здесь запись erfc-1 обозначает аргумент z функции erfc.

При решении практических задач, связанных с анализом диффузионных процессов необходимо знать количество примеси Q, накопленной в твердом теле при диффузии в течение времени t. Эта величина определяется по формуле

(21)

где J(0,t) - поток диффузанта в объем через плоскость x=0

(22)

отсюда

(23)

Следует обратить внимание на возрастающее со временем значение накопленной в диффузионном слое примеси при диффузии с данными граничными условиями.

Рассмотренная модель диффузионного процесса с постоянным источником описывает процесс диффузионного легирования полупроводникового материала из газовой или паровой фазы. Этот процесс используется при создании сильно легированных диффузионных слоев (например, эмиттерных) с поверхностными концентрациями No близкими к значениям предельной твердой растворимости примеси в данном полупроводниковом материале.

Твердое тело можно считать полубесконечным ( или бесконечным) в том случае, если его размеры в направлении движения диффузанта много больше длины диффузии.

1.3.3 Распределение примеси при диффузии из слоя конечной толщины (диффузия из ограниченного источника) в полубесконечное тело с отражающей границей.

Диффундирующая примесь поступает в полубесконечное тело из источника, который представляет собой примыкающий к границе тела слой толщиной h, примесь в котором распределена равномерно. Такой источник называют ограниченным. Концентрация примеси в источнике - No. Полагается, что в принимающем диффузант твердом теле нет рассматриваемой примеси.

При абсолютно непроницаемой для диффузанта (отражающей) границе поток примеси через поверхность x=0 должен обращаться в нуль при всех t ³0

для t ³0 (24)

Страницы: 9 10 11 12 13 14 15 16 17

ЛЕЧЕБНАЯ ФИЗКУЛЬТУРА (ЛФК) , раздел медицины, изучающий лечение и профилактику заболеваний методами физкультуры (обычно в сочетании с физиотерапевтическими процедурами и массажем). Основной терапевтический метод - лечебная гимнастика (специально подобранные упражнения). С профилактической целью применяют гигиеническую гимнастику, дозированные спортивные упражнения, игры.

МУРАВЬЕВ-АПОСТОЛ Матвей Иванович (1793-1886) , декабрист, подполковник в отставке. Брат И. И. и С. И. Муравьевых-Апостолов. Участник Отечественной войны 1812 и заграничных походов. Один из основателей "Союза спасения" и "Союза благоденствия", член Южного общества. Участник восстания Черниговского полка. Приговорен к 20 годам каторги. С 1826 на поселении в Вилюйске, Ялуторовске; с 1856 в Твери.

АНДРЕЕВ Михаил Степанович (1873-1948) , российский этнограф и лингвист, член-корреспондент АН СССР (1929), академик АН Узбекистана (1943). Труды по быту, народному искусству, традиционным верованиям таджиков; по восточно-иранским языкам.