Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Страница 13

(19)

и (20)

здесь запись erfc-1 обозначает аргумент z функции erfc.

При решении практических задач, связанных с анализом диффузионных процессов необходимо знать количество примеси Q, накопленной в твердом теле при диффузии в течение времени t. Эта величина определяется по формуле

(21)

где J(0,t) - поток диффузанта в объем через плоскость x=0

(22)

отсюда

(23)

Следует обратить внимание на возрастающее со временем значение накопленной в диффузионном слое примеси при диффузии с данными граничными условиями.

Рассмотренная модель диффузионного процесса с постоянным источником описывает процесс диффузионного легирования полупроводникового материала из газовой или паровой фазы. Этот процесс используется при создании сильно легированных диффузионных слоев (например, эмиттерных) с поверхностными концентрациями No близкими к значениям предельной твердой растворимости примеси в данном полупроводниковом материале.

Твердое тело можно считать полубесконечным ( или бесконечным) в том случае, если его размеры в направлении движения диффузанта много больше длины диффузии.

1.3.3 Распределение примеси при диффузии из слоя конечной толщины (диффузия из ограниченного источника) в полубесконечное тело с отражающей границей.

Диффундирующая примесь поступает в полубесконечное тело из источника, который представляет собой примыкающий к границе тела слой толщиной h, примесь в котором распределена равномерно. Такой источник называют ограниченным. Концентрация примеси в источнике - No. Полагается, что в принимающем диффузант твердом теле нет рассматриваемой примеси.

При абсолютно непроницаемой для диффузанта (отражающей) границе поток примеси через поверхность x=0 должен обращаться в нуль при всех t ³0

для t ³0 (24)

Страницы: 9 10 11 12 13 14 15 16 17

ЖУК Станислав Алексеевич (р . 1935), российский спортсмен и тренер (фигурное катание на коньках), мастер спорта (1957), заслуженный тренер СССР (1965). Чемпион СССР (1957-59, 1961) в парном катании.

УЧЕТНЫЙ ПРОЦЕНТ , плата, взимаемая банками при учете векселей, покупке ценных бумаг, купонов и др. до наступления сроков оплаты (центральными эмиссионными банками - официальный учетный процент). Величина учетного процента определяется средним уровнем ссудного процента, сроком и обеспеченностью учитываемого долгового обязательства.

ЖУБАНОВ Ахмет Куанович (1906-68) , музыковед, композитор, дирижер, народный артист Казахстана (1944), академик АН Казахстана (1946). Один из основоположников казахского профессионального музыкального искусства и музыковедения. Опера "Абай" (совместно с Л. А. Хамиди; 1944) инструментальные и вокальные произведения, музыка к спектаклям и фильмам. Организатор и дирижер Государственного оркестра им. Курмангазы (в 1934-45). Профессор Алма-Атинской консерватории (с 1947).