ChemStudy

(19)

и (20)

здесь запись erfc-1 обозначает аргумент z функции erfc.

При решении практических задач, связанных с анализом диффузионных процессов необходимо знать количество примеси Q, накопленной в твердом теле при диффузии в течение времени t. Эта величина определяется по формуле

(21)

где J(0,t) - поток диффузанта в объем через плоскость x=0

(22)

отсюда

(23)

Следует обратить внимание на возрастающее со временем значение накопленной в диффузионном слое примеси при диффузии с данными граничными условиями.

Рассмотренная модель диффузионного процесса с постоянным источником описывает процесс диффузионного легирования полупроводникового материала из газовой или паровой фазы. Этот процесс используется при создании сильно легированных диффузионных слоев (например, эмиттерных) с поверхностными концентрациями No близкими к значениям предельной твердой растворимости примеси в данном полупроводниковом материале.

Твердое тело можно считать полубесконечным ( или бесконечным) в том случае, если его размеры в направлении движения диффузанта много больше длины диффузии.

1.3.3 Распределение примеси при диффузии из слоя конечной толщины (диффузия из ограниченного источника) в полубесконечное тело с отражающей границей.

Диффундирующая примесь поступает в полубесконечное тело из источника, который представляет собой примыкающий к границе тела слой толщиной h, примесь в котором распределена равномерно. Такой источник называют ограниченным. Концентрация примеси в источнике - No. Полагается, что в принимающем диффузант твердом теле нет рассматриваемой примеси.

При абсолютно непроницаемой для диффузанта (отражающей) границе поток примеси через поверхность x=0 должен обращаться в нуль при всех t ³0

для t ³0 (24)

ИКОТА , рефлекторные сокращения диафрагмы, вызывающие внезапные сильные вдохи с характерным звуком. Возникает при различных раздражениях желудка и брюшины, некоторых заболеваниях.

НЕЙГАУЗ Станислав Генрихович (1927-80) , российский пианист, педагог, народный артист России (1978). Выступал как солист и ансамблист, в т. ч. в фортепианном дуэте с отцом - Г. Г. Нейгаузом. Профессор Московской консерватории (с 1975).

ШТЕЙН Александр Петрович (1906-93) , русский драматург. Пьесы: "Флаг адмирала" (1950) о Ф. Ф. Ушакове, "Персональное дело" (1954), "Океан" (1961), "Жил-был Я" (1977), сценарии. Воспоминания. Государственная премия СССР (1949, 1951).