Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легированииСтраница 13
(19)
и
(20)
здесь запись erfc-1 обозначает аргумент z функции erfc.
При решении практических задач, связанных с анализом диффузионных процессов необходимо знать количество примеси Q, накопленной в твердом теле при диффузии в течение времени t. Эта величина определяется по формуле
(21)
где J(0,t) - поток диффузанта в объем через плоскость x=0
(22)
отсюда
(23)
Следует обратить внимание на возрастающее со временем значение накопленной в диффузионном слое примеси при диффузии с данными граничными условиями.
Рассмотренная модель диффузионного процесса с постоянным источником описывает процесс диффузионного легирования полупроводникового материала из газовой или паровой фазы. Этот процесс используется при создании сильно легированных диффузионных слоев (например, эмиттерных) с поверхностными концентрациями No близкими к значениям предельной твердой растворимости примеси в данном полупроводниковом материале.
Твердое тело можно считать полубесконечным ( или бесконечным) в том случае, если его размеры в направлении движения диффузанта много больше длины диффузии.
1.3.3 Распределение примеси при диффузии из слоя конечной толщины (диффузия из ограниченного источника) в полубесконечное тело с отражающей границей.
Диффундирующая примесь поступает в полубесконечное тело из источника, который представляет собой примыкающий к границе тела слой толщиной h, примесь в котором распределена равномерно. Такой источник называют ограниченным. Концентрация примеси в источнике - No. Полагается, что в принимающем диффузант твердом теле нет рассматриваемой примеси.
При абсолютно непроницаемой для диффузанта (отражающей) границе поток примеси через поверхность x=0 должен обращаться в нуль при всех t ³0
для t ³0 (24)
ВЕСЕННИЙ КАТАР , хроническое воспаление конъюнктивы глаз, обостряющееся весной и летом (зуд и покраснение век, светобоязнь и слезотечение).
"ЗЕЛЕНАЯ РЕВОЛЮЦИЯ" , термин, появившийся в 60-х гг. 20 в. в связи с начавшимся во многих странах процессом внедрения новых высокоурожайных сортов зерновых культур (пшеница, рис) с целью резкого увеличения продовольственных ресурсов. "Зеленая революция" предусматривает также необходимое орошение земель, химизацию и механизацию сельского хозяйства; наибольшее значение имеет для развивающихся стран (Индия и др.).
ЛАПЕРУЗ (La P-erouse) Жан Франсуа (1741-1788) , французский мореплаватель. В 1785-88 руководитель кругосветной экспедиции, исследовал острова Тихого ок., берега Cеверо-Зап. Америки, Вост. Азии и Татарского прол., открыл пролив, названный его именем. Экспедиция пропала без вести, выйдя из Сиднея (Австралия) на север; ее остатки найдены в 1826, 1828 и 1964 на о. Ваникоро (из о-вов Санта-Крус).