Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Страница 13

(19)

и (20)

здесь запись erfc-1 обозначает аргумент z функции erfc.

При решении практических задач, связанных с анализом диффузионных процессов необходимо знать количество примеси Q, накопленной в твердом теле при диффузии в течение времени t. Эта величина определяется по формуле

(21)

где J(0,t) - поток диффузанта в объем через плоскость x=0

(22)

отсюда

(23)

Следует обратить внимание на возрастающее со временем значение накопленной в диффузионном слое примеси при диффузии с данными граничными условиями.

Рассмотренная модель диффузионного процесса с постоянным источником описывает процесс диффузионного легирования полупроводникового материала из газовой или паровой фазы. Этот процесс используется при создании сильно легированных диффузионных слоев (например, эмиттерных) с поверхностными концентрациями No близкими к значениям предельной твердой растворимости примеси в данном полупроводниковом материале.

Твердое тело можно считать полубесконечным ( или бесконечным) в том случае, если его размеры в направлении движения диффузанта много больше длины диффузии.

1.3.3 Распределение примеси при диффузии из слоя конечной толщины (диффузия из ограниченного источника) в полубесконечное тело с отражающей границей.

Диффундирующая примесь поступает в полубесконечное тело из источника, который представляет собой примыкающий к границе тела слой толщиной h, примесь в котором распределена равномерно. Такой источник называют ограниченным. Концентрация примеси в источнике - No. Полагается, что в принимающем диффузант твердом теле нет рассматриваемой примеси.

При абсолютно непроницаемой для диффузанта (отражающей) границе поток примеси через поверхность x=0 должен обращаться в нуль при всех t ³0

для t ³0 (24)

Страницы: 9 10 11 12 13 14 15 16 17

ЛИТЕРАТУРА [лат . lit(t)eratura, букв. - написанное], произведения письменности, имеющие общественное значение (напр., художественная литература, научная литература, эпистолярная литература). Чаще под литературой понимают художественную литературную продукцию (художественная литература; соответствие в 19 в. - "изящная словесность"). В этом значении литература - явление искусства ("искусство слова"), эстетически выражающее общественное сознание и в свою очередь формирующее его. Материальный носитель образности в литературе - речь - позволяет ей необычайно широко осваивать и активно истолковывать жизненные процессы во всей их сложности, в т. ч. внутренний мир людей и их общение, воплощаемые в высказываниях (см. Монолог и Диалог). Художественная литература как вид искусства возникает на почве мифологии и устно-поэтического народного творчества. Художественная литература хранит, накапливает и передает от поколения к поколению эстетические, нравственные, философские, социальные ценности. Литература представляет собой формирующуюся на протяжении тысячелетий динамическую систему литературных родов (эпос, лирика, драма), жанров, мотивов, сюжетов, образов, стиховых и прозаических форм (см. Проза и Поэзия), изобразительных средств языка (см. Речь художественная), приемов композиции. Существуют виды письменных произведений., смыкающиеся с художественной литературой, - мемуарная, эпистолярная, документальная литература. Древнейшие произведения писались в стихах, проза - относительно более поздняя область художественной литературы. Только в 18-19 вв. эти две области сравнялись по значению. Для 20 в. характерны связи художественной литературы с другими преимущественно новыми видами искусства - кино, радио, телевидением. Творчество выдающихся деятелей художественной литературы знаменует важнейшие фазы развития мировой и национальной культуры. Литература изучается филологией, по преимуществу литературоведением.

ТЕРКА (радула; от лат . radula - скребок), в зоологии - аппарат для соскребывания и размельчения пищи, находящийся в глотке моллюсков (кроме двустворчатых). Состоит из многочисленных хитиновых зубков, покрывающих мускулистый язык.

АРАНХУЭС (Aranjuez) , город в Испании, на р. Тахо, пригород Мадрида. Св. 35 тыс. жителей. Металлообрабатывающие, фотохимические и фармацевтические предприятия. Центр туризма. Бывшая резиденция испанских королей. Архитектурный памятник 18-19 вв.