ChemStudy

(19)

и (20)

здесь запись erfc-1 обозначает аргумент z функции erfc.

При решении практических задач, связанных с анализом диффузионных процессов необходимо знать количество примеси Q, накопленной в твердом теле при диффузии в течение времени t. Эта величина определяется по формуле

(21)

где J(0,t) - поток диффузанта в объем через плоскость x=0

(22)

отсюда

(23)

Следует обратить внимание на возрастающее со временем значение накопленной в диффузионном слое примеси при диффузии с данными граничными условиями.

Рассмотренная модель диффузионного процесса с постоянным источником описывает процесс диффузионного легирования полупроводникового материала из газовой или паровой фазы. Этот процесс используется при создании сильно легированных диффузионных слоев (например, эмиттерных) с поверхностными концентрациями No близкими к значениям предельной твердой растворимости примеси в данном полупроводниковом материале.

Твердое тело можно считать полубесконечным ( или бесконечным) в том случае, если его размеры в направлении движения диффузанта много больше длины диффузии.

1.3.3 Распределение примеси при диффузии из слоя конечной толщины (диффузия из ограниченного источника) в полубесконечное тело с отражающей границей.

Диффундирующая примесь поступает в полубесконечное тело из источника, который представляет собой примыкающий к границе тела слой толщиной h, примесь в котором распределена равномерно. Такой источник называют ограниченным. Концентрация примеси в источнике - No. Полагается, что в принимающем диффузант твердом теле нет рассматриваемой примеси.

При абсолютно непроницаемой для диффузанта (отражающей) границе поток примеси через поверхность x=0 должен обращаться в нуль при всех t ³0

для t ³0 (24)

ЗАКОНОДАТЕЛЬНОЕ СОБРАНИЕ , 1) название парламентов в ряде зарубежных государств. 2) Во Франции высшее законодательное учреждение в период Великой французской революции 1789-94 и в 1849-51 при Второй республике.

ЖЕЛЕЗНЕНИЕ , электролитическое нанесение слоя железа на поверхность металлических изделий. Применяется, напр., для повышения износостойкости деталей, изготовления клише, восстановления изношенных деталей машин.

"НОРМАНДИЯ-НЕМАН" , название истребительного авиационного полка "Сражающейся Франции"; действовал на советско-германском фронте в 1943-45. Летчики полка уничтожили ок. 280 и повредили 80 немецких самолетов. В ноябре 1944 за отличия в боях по освобождению Литвы и при форсировании р. Неман полку присвоено почетное наименование "Неманский".