Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Страница 13

(19)

и (20)

здесь запись erfc-1 обозначает аргумент z функции erfc.

При решении практических задач, связанных с анализом диффузионных процессов необходимо знать количество примеси Q, накопленной в твердом теле при диффузии в течение времени t. Эта величина определяется по формуле

(21)

где J(0,t) - поток диффузанта в объем через плоскость x=0

(22)

отсюда

(23)

Следует обратить внимание на возрастающее со временем значение накопленной в диффузионном слое примеси при диффузии с данными граничными условиями.

Рассмотренная модель диффузионного процесса с постоянным источником описывает процесс диффузионного легирования полупроводникового материала из газовой или паровой фазы. Этот процесс используется при создании сильно легированных диффузионных слоев (например, эмиттерных) с поверхностными концентрациями No близкими к значениям предельной твердой растворимости примеси в данном полупроводниковом материале.

Твердое тело можно считать полубесконечным ( или бесконечным) в том случае, если его размеры в направлении движения диффузанта много больше длины диффузии.

1.3.3 Распределение примеси при диффузии из слоя конечной толщины (диффузия из ограниченного источника) в полубесконечное тело с отражающей границей.

Диффундирующая примесь поступает в полубесконечное тело из источника, который представляет собой примыкающий к границе тела слой толщиной h, примесь в котором распределена равномерно. Такой источник называют ограниченным. Концентрация примеси в источнике - No. Полагается, что в принимающем диффузант твердом теле нет рассматриваемой примеси.

При абсолютно непроницаемой для диффузанта (отражающей) границе поток примеси через поверхность x=0 должен обращаться в нуль при всех t ³0

для t ³0 (24)

Страницы: 9 10 11 12 13 14 15 16 17

ЧИСЕЛ ТЕОРИЯ , часть математики, посвященная изучению свойств целых чисел и их обобщений (напр., целых алгебраических чисел). В теорию чисел входят теории сравнений, диофантовых уравнений, непрерывных дробей, диофантовых приближений, трансцендентных чисел.

БАВАРИЯ (Bayern) , земля в Германии. 70,6 тыс. км2. Население 11,4 млн. человек (1991). Адм. ц. - Мюнхен. В средние века герцогство (образовано в 6 в. баварами), с 1623 курфюршество, в 1806-1918 королевство, затем земля. В 1180-1918 в Баварии правили Виттельсбахи.

"БЕЛАРУСЬФИЛЬМ" , киностудия художественных фильмов. Организована в 1924, с 1928 в Ленинграде, с 1939 в Минске. До 1946 - "Советская Беларусь". Среди фильмов: "Кастусь Калиновский" (1928), "В огне рожденная" (1930), "Константин Заслонов" (1949), "Часы остановились в полночь" (1959), "Рудобельская республика" (1972), "Время ее сыновей" (1976), "Культпоход в театр" (1983), "Знак беды" (1987), "Филиал" (1988), "Птицам крылья не в тягость" (1989).