Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Страница 13

(19)

и (20)

здесь запись erfc-1 обозначает аргумент z функции erfc.

При решении практических задач, связанных с анализом диффузионных процессов необходимо знать количество примеси Q, накопленной в твердом теле при диффузии в течение времени t. Эта величина определяется по формуле

(21)

где J(0,t) - поток диффузанта в объем через плоскость x=0

(22)

отсюда

(23)

Следует обратить внимание на возрастающее со временем значение накопленной в диффузионном слое примеси при диффузии с данными граничными условиями.

Рассмотренная модель диффузионного процесса с постоянным источником описывает процесс диффузионного легирования полупроводникового материала из газовой или паровой фазы. Этот процесс используется при создании сильно легированных диффузионных слоев (например, эмиттерных) с поверхностными концентрациями No близкими к значениям предельной твердой растворимости примеси в данном полупроводниковом материале.

Твердое тело можно считать полубесконечным ( или бесконечным) в том случае, если его размеры в направлении движения диффузанта много больше длины диффузии.

1.3.3 Распределение примеси при диффузии из слоя конечной толщины (диффузия из ограниченного источника) в полубесконечное тело с отражающей границей.

Диффундирующая примесь поступает в полубесконечное тело из источника, который представляет собой примыкающий к границе тела слой толщиной h, примесь в котором распределена равномерно. Такой источник называют ограниченным. Концентрация примеси в источнике - No. Полагается, что в принимающем диффузант твердом теле нет рассматриваемой примеси.

При абсолютно непроницаемой для диффузанта (отражающей) границе поток примеси через поверхность x=0 должен обращаться в нуль при всех t ³0

для t ³0 (24)

Страницы: 9 10 11 12 13 14 15 16 17

ВЕСЕННИЙ КАТАР , хроническое воспаление конъюнктивы глаз, обостряющееся весной и летом (зуд и покраснение век, светобоязнь и слезотечение).

"ЗЕЛЕНАЯ РЕВОЛЮЦИЯ" , термин, появившийся в 60-х гг. 20 в. в связи с начавшимся во многих странах процессом внедрения новых высокоурожайных сортов зерновых культур (пшеница, рис) с целью резкого увеличения продовольственных ресурсов. "Зеленая революция" предусматривает также необходимое орошение земель, химизацию и механизацию сельского хозяйства; наибольшее значение имеет для развивающихся стран (Индия и др.).

ЛАПЕРУЗ (La P-erouse) Жан Франсуа (1741-1788) , французский мореплаватель. В 1785-88 руководитель кругосветной экспедиции, исследовал острова Тихого ок., берега Cеверо-Зап. Америки, Вост. Азии и Татарского прол., открыл пролив, названный его именем. Экспедиция пропала без вести, выйдя из Сиднея (Австралия) на север; ее остатки найдены в 1826, 1828 и 1964 на о. Ваникоро (из о-вов Санта-Крус).