Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легированииСтраница 13
(19)
и (20)
здесь запись erfc-1 обозначает аргумент z функции erfc.
При решении практических задач, связанных с анализом диффузионных процессов необходимо знать количество примеси Q, накопленной в твердом теле при диффузии в течение времени t. Эта величина определяется по формуле
(21)
где J(0,t) - поток диффузанта в объем через плоскость x=0
(22)
отсюда
(23)
Следует обратить внимание на возрастающее со временем значение накопленной в диффузионном слое примеси при диффузии с данными граничными условиями.
Рассмотренная модель диффузионного процесса с постоянным источником описывает процесс диффузионного легирования полупроводникового материала из газовой или паровой фазы. Этот процесс используется при создании сильно легированных диффузионных слоев (например, эмиттерных) с поверхностными концентрациями No близкими к значениям предельной твердой растворимости примеси в данном полупроводниковом материале.
Твердое тело можно считать полубесконечным ( или бесконечным) в том случае, если его размеры в направлении движения диффузанта много больше длины диффузии.
1.3.3 Распределение примеси при диффузии из слоя конечной толщины (диффузия из ограниченного источника) в полубесконечное тело с отражающей границей.
Диффундирующая примесь поступает в полубесконечное тело из источника, который представляет собой примыкающий к границе тела слой толщиной h, примесь в котором распределена равномерно. Такой источник называют ограниченным. Концентрация примеси в источнике - No. Полагается, что в принимающем диффузант твердом теле нет рассматриваемой примеси.
При абсолютно непроницаемой для диффузанта (отражающей) границе поток примеси через поверхность x=0 должен обращаться в нуль при всех t ³0
для t ³0 (24)
ЖЕЛТУХИН Николай Алексеевич (1915-94) , российский ученый, член-корреспондент РАН (1991; член-корреспондент АН СССР с 1968). Основные труды по газовой динамике, рабочим процессам в тепловых двигателях. Ленинская премия (1957).
"МАШИНА ВРЕМЕНИ" , российская рок-группа, образована в 1968 в Москве. Состав: А. Макаревич, А. Кутиков, Зайцев, Ефремов, Маргулис, Подгородецкий. Первыми вложили в тексты песен социально-этическое содержание. Лучшие песни конца 1970-х гг. - "Пока горит свеча", "Кафе Лира", "Кого ты хотел удивить?", "Девятый вал" и др. Из песен 1980-90 гг. наибольший успех имели "Музыка под снегом", "Она идет по жизни смеясь", "Герои вчерашних дней" и др.
КОНЕК (конь , князь, князек), в русском деревянном зодчестве скульптурное завершение охлупня в виде коня или птицы.