Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легированииСтраница 13
(19)
и
(20)
здесь запись erfc-1 обозначает аргумент z функции erfc.
При решении практических задач, связанных с анализом диффузионных процессов необходимо знать количество примеси Q, накопленной в твердом теле при диффузии в течение времени t. Эта величина определяется по формуле
(21)
где J(0,t) - поток диффузанта в объем через плоскость x=0
(22)
отсюда
(23)
Следует обратить внимание на возрастающее со временем значение накопленной в диффузионном слое примеси при диффузии с данными граничными условиями.
Рассмотренная модель диффузионного процесса с постоянным источником описывает процесс диффузионного легирования полупроводникового материала из газовой или паровой фазы. Этот процесс используется при создании сильно легированных диффузионных слоев (например, эмиттерных) с поверхностными концентрациями No близкими к значениям предельной твердой растворимости примеси в данном полупроводниковом материале.
Твердое тело можно считать полубесконечным ( или бесконечным) в том случае, если его размеры в направлении движения диффузанта много больше длины диффузии.
1.3.3 Распределение примеси при диффузии из слоя конечной толщины (диффузия из ограниченного источника) в полубесконечное тело с отражающей границей.
Диффундирующая примесь поступает в полубесконечное тело из источника, который представляет собой примыкающий к границе тела слой толщиной h, примесь в котором распределена равномерно. Такой источник называют ограниченным. Концентрация примеси в источнике - No. Полагается, что в принимающем диффузант твердом теле нет рассматриваемой примеси.
При абсолютно непроницаемой для диффузанта (отражающей) границе поток примеси через поверхность x=0 должен обращаться в нуль при всех t ³0
для t ³0 (24)
ХОРЕОГРАФИЯ (от греч . choreia - пляска и ...графия), первоначально - запись танца, затем - искусство сочинения танца, балета, с кон. 19 - нач. 20 вв. танцевальное искусство в целом.
ЧЖАН ЦЗЯО (?-184) , руководитель "желтых повязок" восстания в Китае. До этого был даосским монахом. Умер от ран.
АКАШЕВ Константин Васильевич (1888-1931) , первый главком авиации СССР. Учился в Италии и в Высшем училище аэронавтики в Париже, в начале 1-й мировой войны вступил добровольцем в ВВС Франции. Вернулся в Россию в 1915, работал на авиационном заводе. В декабре 1917 назначен председателем Всероссийской коллегии по управлению воздушным флотом, в 1918 был командующим воздушными силами 5-й армии, с декабря 1918 назначен начальником авиации воздухоплавания Южного фронта. В последние годы жизни работал на руководящих должностях на авиационных заводах Ленинграда и Москвы. Репрессирован.