Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Страница 13

(19)

и (20)

здесь запись erfc-1 обозначает аргумент z функции erfc.

При решении практических задач, связанных с анализом диффузионных процессов необходимо знать количество примеси Q, накопленной в твердом теле при диффузии в течение времени t. Эта величина определяется по формуле

(21)

где J(0,t) - поток диффузанта в объем через плоскость x=0

(22)

отсюда

(23)

Следует обратить внимание на возрастающее со временем значение накопленной в диффузионном слое примеси при диффузии с данными граничными условиями.

Рассмотренная модель диффузионного процесса с постоянным источником описывает процесс диффузионного легирования полупроводникового материала из газовой или паровой фазы. Этот процесс используется при создании сильно легированных диффузионных слоев (например, эмиттерных) с поверхностными концентрациями No близкими к значениям предельной твердой растворимости примеси в данном полупроводниковом материале.

Твердое тело можно считать полубесконечным ( или бесконечным) в том случае, если его размеры в направлении движения диффузанта много больше длины диффузии.

1.3.3 Распределение примеси при диффузии из слоя конечной толщины (диффузия из ограниченного источника) в полубесконечное тело с отражающей границей.

Диффундирующая примесь поступает в полубесконечное тело из источника, который представляет собой примыкающий к границе тела слой толщиной h, примесь в котором распределена равномерно. Такой источник называют ограниченным. Концентрация примеси в источнике - No. Полагается, что в принимающем диффузант твердом теле нет рассматриваемой примеси.

При абсолютно непроницаемой для диффузанта (отражающей) границе поток примеси через поверхность x=0 должен обращаться в нуль при всех t ³0

для t ³0 (24)

Страницы: 9 10 11 12 13 14 15 16 17

КАРСТ (Крас) (Kras) , плато в Словении (западная оконечность в Италии), сложенное известняками. Высота до 643 м. Типичные формы карстового рельефа [воронки, пещеры (в т. ч. Постойнска-Яма), полья и др.].

НАВМАХИЯ (греч . морское сражение), в Др. Риме морская битва на затопленных аренах, в бассейнах или естественных водоемах. В сражениях принимали участие пленные, рабы, гладиаторы. Впервые такое представление дал в 1 в. до н. э. Юлий Цезарь.

ЦИНКОГРАФИЯ (от цинк и ...графия),..1) способ изготовления клише. Негатив воспроизводимого оригинала копируют на металлическую (цинковую, магниевую и др.) пластину, которую затем подвергают травлению для получения рельефных печатающих элементов...2) Название цеха (отделения, участка) типографии, где изготовляются клише способом цинкографии.