Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Страница 13

(19)

и (20)

здесь запись erfc-1 обозначает аргумент z функции erfc.

При решении практических задач, связанных с анализом диффузионных процессов необходимо знать количество примеси Q, накопленной в твердом теле при диффузии в течение времени t. Эта величина определяется по формуле

(21)

где J(0,t) - поток диффузанта в объем через плоскость x=0

(22)

отсюда

(23)

Следует обратить внимание на возрастающее со временем значение накопленной в диффузионном слое примеси при диффузии с данными граничными условиями.

Рассмотренная модель диффузионного процесса с постоянным источником описывает процесс диффузионного легирования полупроводникового материала из газовой или паровой фазы. Этот процесс используется при создании сильно легированных диффузионных слоев (например, эмиттерных) с поверхностными концентрациями No близкими к значениям предельной твердой растворимости примеси в данном полупроводниковом материале.

Твердое тело можно считать полубесконечным ( или бесконечным) в том случае, если его размеры в направлении движения диффузанта много больше длины диффузии.

1.3.3 Распределение примеси при диффузии из слоя конечной толщины (диффузия из ограниченного источника) в полубесконечное тело с отражающей границей.

Диффундирующая примесь поступает в полубесконечное тело из источника, который представляет собой примыкающий к границе тела слой толщиной h, примесь в котором распределена равномерно. Такой источник называют ограниченным. Концентрация примеси в источнике - No. Полагается, что в принимающем диффузант твердом теле нет рассматриваемой примеси.

При абсолютно непроницаемой для диффузанта (отражающей) границе поток примеси через поверхность x=0 должен обращаться в нуль при всех t ³0

для t ³0 (24)

Страницы: 9 10 11 12 13 14 15 16 17

АБАКАН , река в Хакасии, левый приток Енисея (впадает в Красноярское вдхр.). 514 км, площадь бассейна 32 тыс. км2. Средний расход воды 381 м2/с. Сплавная. В Минусинской котловине воды используются для орошения.

МЕЛЛОНЫ (Mellon) , финансовая семейная группа США, сложившийся в кон. 19 в. Вместе с богатейшими семьями США Питкерн и Хейц, а также инвестиционным банком "Ферст Бостон корпорейшен" контролируют корпорации "Алюминум компани оф Америка", "Галф ойл", "Вестингауз электрик" и др. Кредитно-финансовый центр "Меллон нэшнл банк траст".

МАЭСТА (итал . maesta - величание), итальянское название иконографии Мадонны с младенцем во славе, окруженных святыми и (или) ангелами, поющими им славу. Наиболее часто встречается в итальянском искусстве 13-14 вв. ("Маэста" работы Дуччо, 1308-11).