ChemStudy

(19)

и (20)

здесь запись erfc-1 обозначает аргумент z функции erfc.

При решении практических задач, связанных с анализом диффузионных процессов необходимо знать количество примеси Q, накопленной в твердом теле при диффузии в течение времени t. Эта величина определяется по формуле

(21)

где J(0,t) - поток диффузанта в объем через плоскость x=0

(22)

отсюда

(23)

Следует обратить внимание на возрастающее со временем значение накопленной в диффузионном слое примеси при диффузии с данными граничными условиями.

Рассмотренная модель диффузионного процесса с постоянным источником описывает процесс диффузионного легирования полупроводникового материала из газовой или паровой фазы. Этот процесс используется при создании сильно легированных диффузионных слоев (например, эмиттерных) с поверхностными концентрациями No близкими к значениям предельной твердой растворимости примеси в данном полупроводниковом материале.

Твердое тело можно считать полубесконечным ( или бесконечным) в том случае, если его размеры в направлении движения диффузанта много больше длины диффузии.

1.3.3 Распределение примеси при диффузии из слоя конечной толщины (диффузия из ограниченного источника) в полубесконечное тело с отражающей границей.

Диффундирующая примесь поступает в полубесконечное тело из источника, который представляет собой примыкающий к границе тела слой толщиной h, примесь в котором распределена равномерно. Такой источник называют ограниченным. Концентрация примеси в источнике - No. Полагается, что в принимающем диффузант твердом теле нет рассматриваемой примеси.

При абсолютно непроницаемой для диффузанта (отражающей) границе поток примеси через поверхность x=0 должен обращаться в нуль при всех t ³0

для t ³0 (24)

ДУБРОВИЦА (до 1940 Домбровица) , город на Украине, Ровенская обл., на р. Горынь, близ ж.-д. ст. Домбровица. 10,7 тыс. жителей (1991). Льноперерабатывающий завод, хлопкопрядильная фабрика. Музей Дубровицкого вооруженного восстания 1918-19. Известен с 12 в.

АЛЬБЕРТИНА (Albertina) , графическое собрание в Вене: рисунки, миниатюры, плакаты, гравюры, литографии западноевропейских мастеров. Основано в 1776 как коллекция герцога Альберта.

ЕГЕР Сергей Михайлович (1914-87) , российский ученый, член-корреспондент АН СССР (1984), Герой Социалистического Труда (1972). Участник создания ряда самолетов КБ А. Н. Туполева. Ленинская премия (1958), Государственная премия СССР (1949, 1952, 1986).