ChemStudy

(19)

и (20)

здесь запись erfc-1 обозначает аргумент z функции erfc.

При решении практических задач, связанных с анализом диффузионных процессов необходимо знать количество примеси Q, накопленной в твердом теле при диффузии в течение времени t. Эта величина определяется по формуле

(21)

где J(0,t) - поток диффузанта в объем через плоскость x=0

(22)

отсюда

(23)

Следует обратить внимание на возрастающее со временем значение накопленной в диффузионном слое примеси при диффузии с данными граничными условиями.

Рассмотренная модель диффузионного процесса с постоянным источником описывает процесс диффузионного легирования полупроводникового материала из газовой или паровой фазы. Этот процесс используется при создании сильно легированных диффузионных слоев (например, эмиттерных) с поверхностными концентрациями No близкими к значениям предельной твердой растворимости примеси в данном полупроводниковом материале.

Твердое тело можно считать полубесконечным ( или бесконечным) в том случае, если его размеры в направлении движения диффузанта много больше длины диффузии.

1.3.3 Распределение примеси при диффузии из слоя конечной толщины (диффузия из ограниченного источника) в полубесконечное тело с отражающей границей.

Диффундирующая примесь поступает в полубесконечное тело из источника, который представляет собой примыкающий к границе тела слой толщиной h, примесь в котором распределена равномерно. Такой источник называют ограниченным. Концентрация примеси в источнике - No. Полагается, что в принимающем диффузант твердом теле нет рассматриваемой примеси.

При абсолютно непроницаемой для диффузанта (отражающей) границе поток примеси через поверхность x=0 должен обращаться в нуль при всех t ³0

для t ³0 (24)

ДОНОСО (Donoso) Хосе (р . 1924), чилийский писатель. Психологические романы "Коронация" (1957), "Непристойная птица ночи" (1970), "Сад по соседству" (1981); рассказы об одиночестве человека во враждебному ему мире.

ДАЛЬСКИЙ (наст . фам. Нестеренко) Владимир Михайлович (р. 1912), украинский актер, народный артист СССР (1960). На сцене с 1931. С 1957 в Украинском театре им. Франко (Киев).

ЖУКОВА (Зевакина) Мария Семеновна (1805-55) , русская писательница. В повестях ("Самопожертвование", 1840; "Дача на петергофской дороге", 1845; "Наденька", 1853; сборник "Вечера на Карповке", 1837-38) - романтические сюжетные коллизии, перипетии женских судеб, часто окрашенные собственным опытом автора. Путевые заметки "Очерки южной Франции и Ниццы" (1844).