ChemStudy

(19)

и (20)

здесь запись erfc-1 обозначает аргумент z функции erfc.

При решении практических задач, связанных с анализом диффузионных процессов необходимо знать количество примеси Q, накопленной в твердом теле при диффузии в течение времени t. Эта величина определяется по формуле

(21)

где J(0,t) - поток диффузанта в объем через плоскость x=0

(22)

отсюда

(23)

Следует обратить внимание на возрастающее со временем значение накопленной в диффузионном слое примеси при диффузии с данными граничными условиями.

Рассмотренная модель диффузионного процесса с постоянным источником описывает процесс диффузионного легирования полупроводникового материала из газовой или паровой фазы. Этот процесс используется при создании сильно легированных диффузионных слоев (например, эмиттерных) с поверхностными концентрациями No близкими к значениям предельной твердой растворимости примеси в данном полупроводниковом материале.

Твердое тело можно считать полубесконечным ( или бесконечным) в том случае, если его размеры в направлении движения диффузанта много больше длины диффузии.

1.3.3 Распределение примеси при диффузии из слоя конечной толщины (диффузия из ограниченного источника) в полубесконечное тело с отражающей границей.

Диффундирующая примесь поступает в полубесконечное тело из источника, который представляет собой примыкающий к границе тела слой толщиной h, примесь в котором распределена равномерно. Такой источник называют ограниченным. Концентрация примеси в источнике - No. Полагается, что в принимающем диффузант твердом теле нет рассматриваемой примеси.

При абсолютно непроницаемой для диффузанта (отражающей) границе поток примеси через поверхность x=0 должен обращаться в нуль при всех t ³0

для t ³0 (24)

ЙЕРГЕНСЕН (Jrgensen) Анкер (р . 1922), премьер-министр Дании в 1972-73 и в 1975-1982. В 1973-87 председатель Социал-демократической партии Дании.

ЙИТС (Йетс , Ейтс) (Yeats) Уильям Батлер (1865-1939), ирландский поэт и драматург. Представитель символизма. Вдохновитель культурного движения 90-х гг. "Ирландское возрождение". Поэтические сборники "Странствия Оссиана" (1889), "Кельтские сумерки" (1893), сборник гражданской лирики "Ответственность" (1916), патриотическая пьеса "Кетлин, дочь Хулиэна" (1902), пьесы-маски в традициях японского театра ноо. Нобелевская премия (1923).

ХАЙМЕ I (Jaime) Завоеватель (1208-76) , король Арагона с 1213. Отвоевал у арабов в 1229-35 Балеарские о-ва, в 1238 Валенсию.