Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Страница 13

(19)

и (20)

здесь запись erfc-1 обозначает аргумент z функции erfc.

При решении практических задач, связанных с анализом диффузионных процессов необходимо знать количество примеси Q, накопленной в твердом теле при диффузии в течение времени t. Эта величина определяется по формуле

(21)

где J(0,t) - поток диффузанта в объем через плоскость x=0

(22)

отсюда

(23)

Следует обратить внимание на возрастающее со временем значение накопленной в диффузионном слое примеси при диффузии с данными граничными условиями.

Рассмотренная модель диффузионного процесса с постоянным источником описывает процесс диффузионного легирования полупроводникового материала из газовой или паровой фазы. Этот процесс используется при создании сильно легированных диффузионных слоев (например, эмиттерных) с поверхностными концентрациями No близкими к значениям предельной твердой растворимости примеси в данном полупроводниковом материале.

Твердое тело можно считать полубесконечным ( или бесконечным) в том случае, если его размеры в направлении движения диффузанта много больше длины диффузии.

1.3.3 Распределение примеси при диффузии из слоя конечной толщины (диффузия из ограниченного источника) в полубесконечное тело с отражающей границей.

Диффундирующая примесь поступает в полубесконечное тело из источника, который представляет собой примыкающий к границе тела слой толщиной h, примесь в котором распределена равномерно. Такой источник называют ограниченным. Концентрация примеси в источнике - No. Полагается, что в принимающем диффузант твердом теле нет рассматриваемой примеси.

При абсолютно непроницаемой для диффузанта (отражающей) границе поток примеси через поверхность x=0 должен обращаться в нуль при всех t ³0

для t ³0 (24)

Страницы: 9 10 11 12 13 14 15 16 17

ЭЛЕКТРИЧЕСКИЙ ПРИВОД (электропривод) , электромеханическое устройство для приведения в движение механизма или машины, в котором источник механической энергии - электрический двигатель. В электрический привод входят также передаточный механизм, преобразовательное устройство и аппаратура управления. В автоматизированном электрическом приводе управление осуществляется с использованием средств автоматики, в т. ч. микропроцессорной техники.

УШАКОВ Константин Андреевич (1892-1967) , российский физик, аэродинамик, доктор технических наук (1934), профессор (1937). Во время Великой Отечественной войны возглавлял работы ЦАГИ по внутренней аэродинамике самолета, совершенствованию системы охлаждения авиадвигателей и др. В 1946 в ЦИАМ руководил исследованиями осевых компрессоров для газотурбинных двигателей. Премия им. Н. Е. Жуковского (1962). Государственная премия СССР (1943, 1949).

УГОЛЬ в искусстве , материал для рисования, изготовленный из подвергнутых обжигу тонких древесных веток или обструганных палочек (в 19 в. также из угольного порошка с растительным клеем).