Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легированииСтраница 13
(19)
и (20)
здесь запись erfc-1 обозначает аргумент z функции erfc.
При решении практических задач, связанных с анализом диффузионных процессов необходимо знать количество примеси Q, накопленной в твердом теле при диффузии в течение времени t. Эта величина определяется по формуле
(21)
где J(0,t) - поток диффузанта в объем через плоскость x=0
(22)
отсюда
(23)
Следует обратить внимание на возрастающее со временем значение накопленной в диффузионном слое примеси при диффузии с данными граничными условиями.
Рассмотренная модель диффузионного процесса с постоянным источником описывает процесс диффузионного легирования полупроводникового материала из газовой или паровой фазы. Этот процесс используется при создании сильно легированных диффузионных слоев (например, эмиттерных) с поверхностными концентрациями No близкими к значениям предельной твердой растворимости примеси в данном полупроводниковом материале.
Твердое тело можно считать полубесконечным ( или бесконечным) в том случае, если его размеры в направлении движения диффузанта много больше длины диффузии.
1.3.3 Распределение примеси при диффузии из слоя конечной толщины (диффузия из ограниченного источника) в полубесконечное тело с отражающей границей.
Диффундирующая примесь поступает в полубесконечное тело из источника, который представляет собой примыкающий к границе тела слой толщиной h, примесь в котором распределена равномерно. Такой источник называют ограниченным. Концентрация примеси в источнике - No. Полагается, что в принимающем диффузант твердом теле нет рассматриваемой примеси.
При абсолютно непроницаемой для диффузанта (отражающей) границе поток примеси через поверхность x=0 должен обращаться в нуль при всех t ³0
для t ³0 (24)
СКОПЬЕ УНИВЕРСИТЕТ им . Кирилла и Мефодия, Македония, основан в 1949. В 1991 ок. 28 тыс. студентов.
ЧЕМУЛЬПО ,..1) залив, см. Канхваман...2) Город в Юж. Корее, см. Инчхон.
СТУДИИ МХАТ , создавались для проведения экспериментальной работы и подготовки актеров. 1-я Студия открыта в 1913 (с 1924 МХАТ 2-й), 2-я - в 1916 (в 1924 ее воспитанники А. К. Тарасова, О. Н. Андровская, М. П. Хмелев, М. М. Яншин и др. вошли в труппу МХАТ). В 1921 название 3-й Студии МХАТ получила Студия Вахтангова (на ее основе возник Театр им. Е. Вахтангова в 1926). В 1921 открылась 4-я Студия (с 1927 Реалистический театр), в 1919 - Музыкальная студия МХТ под руководством Немировича-Данченко (с 1926 Музыкальный театр им. В. И. Немировича-Данченко).