Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Страница 13

(19)

и (20)

здесь запись erfc-1 обозначает аргумент z функции erfc.

При решении практических задач, связанных с анализом диффузионных процессов необходимо знать количество примеси Q, накопленной в твердом теле при диффузии в течение времени t. Эта величина определяется по формуле

(21)

где J(0,t) - поток диффузанта в объем через плоскость x=0

(22)

отсюда

(23)

Следует обратить внимание на возрастающее со временем значение накопленной в диффузионном слое примеси при диффузии с данными граничными условиями.

Рассмотренная модель диффузионного процесса с постоянным источником описывает процесс диффузионного легирования полупроводникового материала из газовой или паровой фазы. Этот процесс используется при создании сильно легированных диффузионных слоев (например, эмиттерных) с поверхностными концентрациями No близкими к значениям предельной твердой растворимости примеси в данном полупроводниковом материале.

Твердое тело можно считать полубесконечным ( или бесконечным) в том случае, если его размеры в направлении движения диффузанта много больше длины диффузии.

1.3.3 Распределение примеси при диффузии из слоя конечной толщины (диффузия из ограниченного источника) в полубесконечное тело с отражающей границей.

Диффундирующая примесь поступает в полубесконечное тело из источника, который представляет собой примыкающий к границе тела слой толщиной h, примесь в котором распределена равномерно. Такой источник называют ограниченным. Концентрация примеси в источнике - No. Полагается, что в принимающем диффузант твердом теле нет рассматриваемой примеси.

При абсолютно непроницаемой для диффузанта (отражающей) границе поток примеси через поверхность x=0 должен обращаться в нуль при всех t ³0

для t ³0 (24)

Страницы: 9 10 11 12 13 14 15 16 17

КЛИШЕ (франц . cliche), иллюстрационная печатная форма высокой печати. По характеру рисунка подразделяются на штриховые (с рисунков пером, с чертежей и т. п.) и растровые (с фотографий, рисунков акварелью, маслом). Получают травлением (см. Цинкография) или гравированием металла.

ТАТСКИЙ ЯЗЫК , язык татов, относится к иранской группе индоевропейской семьи языков. Распадается на 2 диалекта: северный и южный. Северный диалект является одним из литературных языков Дагестана. Письменность на основе русского алфавита.

ИБСЕН (Ibsen) Генрик (1828-1906) , норвежский драматург. Один из создателей национального норвежского театра. Романтические драмы на сюжеты скандинавских саг, исторические пьесы. Философско-символические драматические поэмы "Бранд" (1866) и "Пер Гюнт" (1867). Острокритические социальные реалистические драмы "Кукольный дом" ("Нора", 1879), "Привидения" (1881), "Враг народа" (1882). В драмах "Дикая утка" (1884), "Гедда Габлер" (1890), "Строитель Сольнес" (1892) усилились черты психологизма и символизма, сближающие их с неоромантическим искусством конца века. Обнаруживая глубокое несоответствие между благопристойной видимостью и внутренней порочностью изображаемой действительности, Ибсен выразил протест против всей системы современных общественных установлений, требуя максимальной эмансипации человека.