Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легированииСтраница 13
(19)
и
(20)
здесь запись erfc-1 обозначает аргумент z функции erfc.
При решении практических задач, связанных с анализом диффузионных процессов необходимо знать количество примеси Q, накопленной в твердом теле при диффузии в течение времени t. Эта величина определяется по формуле
(21)
где J(0,t) - поток диффузанта в объем через плоскость x=0
(22)
отсюда
(23)
Следует обратить внимание на возрастающее со временем значение накопленной в диффузионном слое примеси при диффузии с данными граничными условиями.
Рассмотренная модель диффузионного процесса с постоянным источником описывает процесс диффузионного легирования полупроводникового материала из газовой или паровой фазы. Этот процесс используется при создании сильно легированных диффузионных слоев (например, эмиттерных) с поверхностными концентрациями No близкими к значениям предельной твердой растворимости примеси в данном полупроводниковом материале.
Твердое тело можно считать полубесконечным ( или бесконечным) в том случае, если его размеры в направлении движения диффузанта много больше длины диффузии.
1.3.3 Распределение примеси при диффузии из слоя конечной толщины (диффузия из ограниченного источника) в полубесконечное тело с отражающей границей.
Диффундирующая примесь поступает в полубесконечное тело из источника, который представляет собой примыкающий к границе тела слой толщиной h, примесь в котором распределена равномерно. Такой источник называют ограниченным. Концентрация примеси в источнике - No. Полагается, что в принимающем диффузант твердом теле нет рассматриваемой примеси.
При абсолютно непроницаемой для диффузанта (отражающей) границе поток примеси через поверхность x=0 должен обращаться в нуль при всех t ³0
для t ³0 (24)
ПЕОНАЖ (от исп . peon - поденщик, батрак), одна из форм долговой зависимости непосредственных производителей (преимущественно крестьян) от помещика или предпринимателя. Зародилась во 2-й пол. 16 в., сохранилась во многих странах Лат. Америки, Азии, Африки и на юге США.
ЖОКЕЙ (англ . jockey), профессиональный наездник на скачках; специалист по тренингу и испытаниям верховых лошадей.
ЩЕРБАКОВ Борис Васильевич (р . 1949), российский актер, народный артист Российской Федерации (1994). С 1972 во МХАТе. Снимался в фильмах: "С любимыми не расставайтесь" (1982), "Берег" (Государственная премия СССР, 1985), "Валентин и Валентина" (1985), "Криминальный квартет" (1989), "Кодекс бесчестья" (1992), "С ума сойти" (1994) и др.