Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легированииСтраница 13
(19)
и
(20)
здесь запись erfc-1 обозначает аргумент z функции erfc.
При решении практических задач, связанных с анализом диффузионных процессов необходимо знать количество примеси Q, накопленной в твердом теле при диффузии в течение времени t. Эта величина определяется по формуле
(21)
где J(0,t) - поток диффузанта в объем через плоскость x=0
(22)
отсюда
(23)
Следует обратить внимание на возрастающее со временем значение накопленной в диффузионном слое примеси при диффузии с данными граничными условиями.
Рассмотренная модель диффузионного процесса с постоянным источником описывает процесс диффузионного легирования полупроводникового материала из газовой или паровой фазы. Этот процесс используется при создании сильно легированных диффузионных слоев (например, эмиттерных) с поверхностными концентрациями No близкими к значениям предельной твердой растворимости примеси в данном полупроводниковом материале.
Твердое тело можно считать полубесконечным ( или бесконечным) в том случае, если его размеры в направлении движения диффузанта много больше длины диффузии.
1.3.3 Распределение примеси при диффузии из слоя конечной толщины (диффузия из ограниченного источника) в полубесконечное тело с отражающей границей.
Диффундирующая примесь поступает в полубесконечное тело из источника, который представляет собой примыкающий к границе тела слой толщиной h, примесь в котором распределена равномерно. Такой источник называют ограниченным. Концентрация примеси в источнике - No. Полагается, что в принимающем диффузант твердом теле нет рассматриваемой примеси.
При абсолютно непроницаемой для диффузанта (отражающей) границе поток примеси через поверхность x=0 должен обращаться в нуль при всех t ³0
для t ³0 (24)
ЦИНКОГРАФИЯ (от цинк и ...графия),..1) способ изготовления клише. Негатив воспроизводимого оригинала копируют на металлическую (цинковую, магниевую и др.) пластину, которую затем подвергают травлению для получения рельефных печатающих элементов...2) Название цеха (отделения, участка) типографии, где изготовляются клише способом цинкографии.
ЕФИМОВ Борис Ефимович (р . 1900), российский график, народный художник СССР (1967), действительный член АХ (1975), Герой Социалистического Труда (1990). Брат М. Е. Кольцова. Злободневные политические, в т. ч. антифашистские, карикатуры. С 1922 в газетах "Правда", "Известия", журнале "Крокодил". Государственные премии СССР (1950, 1951, 1972).
СТОРК (Storck) Анри (р . 1907), бельгийский кинорежиссер. Фильмы: этнографический "Остров Пасхи" (1935), об изобразительном искусстве "Образы старой Бельгии" (1936) и "Рубенс" (1948, с П. Хасартсом, P. Haesaerts), "Бельгийские праздники" (1972) и др.