ChemStudy

(19)

и (20)

здесь запись erfc-1 обозначает аргумент z функции erfc.

При решении практических задач, связанных с анализом диффузионных процессов необходимо знать количество примеси Q, накопленной в твердом теле при диффузии в течение времени t. Эта величина определяется по формуле

(21)

где J(0,t) - поток диффузанта в объем через плоскость x=0

(22)

отсюда

(23)

Следует обратить внимание на возрастающее со временем значение накопленной в диффузионном слое примеси при диффузии с данными граничными условиями.

Рассмотренная модель диффузионного процесса с постоянным источником описывает процесс диффузионного легирования полупроводникового материала из газовой или паровой фазы. Этот процесс используется при создании сильно легированных диффузионных слоев (например, эмиттерных) с поверхностными концентрациями No близкими к значениям предельной твердой растворимости примеси в данном полупроводниковом материале.

Твердое тело можно считать полубесконечным ( или бесконечным) в том случае, если его размеры в направлении движения диффузанта много больше длины диффузии.

1.3.3 Распределение примеси при диффузии из слоя конечной толщины (диффузия из ограниченного источника) в полубесконечное тело с отражающей границей.

Диффундирующая примесь поступает в полубесконечное тело из источника, который представляет собой примыкающий к границе тела слой толщиной h, примесь в котором распределена равномерно. Такой источник называют ограниченным. Концентрация примеси в источнике - No. Полагается, что в принимающем диффузант твердом теле нет рассматриваемой примеси.

При абсолютно непроницаемой для диффузанта (отражающей) границе поток примеси через поверхность x=0 должен обращаться в нуль при всех t ³0

для t ³0 (24)

ЭЙЛИ (Ailеy) Алвин (1931-89) , американский актер, танцовщик, хореограф, педагог. Один из виднейших представителей школы танца "модерн". В 1958 основал собственную труппу Американский театр танца Алвина Эйли. Тематика и лексика большинства его постановок восходят к афро-американской музыкальной и танцевальной фольклорной традиции.

ЭЛЕКТРОМОТЫГА , сельскохозяйственное орудие для обработки междурядий в теплицах, парниках, на приусадебных участках; используется также для сплошной обработки почвы на глубину до 10 см. Основной рабочий орган - ротор со сменными ножами, приводимый в действие от электродвигателя.

ЗАЖОР , скопление шуги с включением мелкобитого льда в русле реки; вызывает стеснение водного сечения, подъем уровня воды и затопление прибрежных участков.