Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Страница 13

(19)

и (20)

здесь запись erfc-1 обозначает аргумент z функции erfc.

При решении практических задач, связанных с анализом диффузионных процессов необходимо знать количество примеси Q, накопленной в твердом теле при диффузии в течение времени t. Эта величина определяется по формуле

(21)

где J(0,t) - поток диффузанта в объем через плоскость x=0

(22)

отсюда

(23)

Следует обратить внимание на возрастающее со временем значение накопленной в диффузионном слое примеси при диффузии с данными граничными условиями.

Рассмотренная модель диффузионного процесса с постоянным источником описывает процесс диффузионного легирования полупроводникового материала из газовой или паровой фазы. Этот процесс используется при создании сильно легированных диффузионных слоев (например, эмиттерных) с поверхностными концентрациями No близкими к значениям предельной твердой растворимости примеси в данном полупроводниковом материале.

Твердое тело можно считать полубесконечным ( или бесконечным) в том случае, если его размеры в направлении движения диффузанта много больше длины диффузии.

1.3.3 Распределение примеси при диффузии из слоя конечной толщины (диффузия из ограниченного источника) в полубесконечное тело с отражающей границей.

Диффундирующая примесь поступает в полубесконечное тело из источника, который представляет собой примыкающий к границе тела слой толщиной h, примесь в котором распределена равномерно. Такой источник называют ограниченным. Концентрация примеси в источнике - No. Полагается, что в принимающем диффузант твердом теле нет рассматриваемой примеси.

При абсолютно непроницаемой для диффузанта (отражающей) границе поток примеси через поверхность x=0 должен обращаться в нуль при всех t ³0

для t ³0 (24)

Страницы: 9 10 11 12 13 14 15 16 17

ШЕНФЕР Клавдий Ипполитович (1885-1946) , российский ученый, академик АН СССР (1932). Труды по электрическим машинам. Государственная премия СССР (1943).

"Ю-ТУ" (U2) , ирландская рок-группа, образована в 1976. Состав: Боно (наст. имя Пол Хьюисон) (вокал), Эйдж (наст. имя. Дэйв Эванс) (гитара), Ларри Маллен (ударные), Адам Клейтон (бас-гитара). Приобрели мировую известность в 1980-90-е гг. Исполняли песни в поддержку прав человека. Альбомы "War" (Война) (1983) и "The Joshua Tree" (Дерево Джошуа) (1987) стали лидерами национальных хит-парадов США и Великобритании. Группа была удостоена нескольких премий "Грэмми".

ЧИМБАЙ , город (с 1926) в Узбекистане, Каракалпакия, в 56 км от г. Нукус. 28,8 тыс. жителей (1991). Хлопкоочистительные, пищевые предприятия.