ChemStudy

(19)

и (20)

здесь запись erfc-1 обозначает аргумент z функции erfc.

При решении практических задач, связанных с анализом диффузионных процессов необходимо знать количество примеси Q, накопленной в твердом теле при диффузии в течение времени t. Эта величина определяется по формуле

(21)

где J(0,t) - поток диффузанта в объем через плоскость x=0

(22)

отсюда

(23)

Следует обратить внимание на возрастающее со временем значение накопленной в диффузионном слое примеси при диффузии с данными граничными условиями.

Рассмотренная модель диффузионного процесса с постоянным источником описывает процесс диффузионного легирования полупроводникового материала из газовой или паровой фазы. Этот процесс используется при создании сильно легированных диффузионных слоев (например, эмиттерных) с поверхностными концентрациями No близкими к значениям предельной твердой растворимости примеси в данном полупроводниковом материале.

Твердое тело можно считать полубесконечным ( или бесконечным) в том случае, если его размеры в направлении движения диффузанта много больше длины диффузии.

1.3.3 Распределение примеси при диффузии из слоя конечной толщины (диффузия из ограниченного источника) в полубесконечное тело с отражающей границей.

Диффундирующая примесь поступает в полубесконечное тело из источника, который представляет собой примыкающий к границе тела слой толщиной h, примесь в котором распределена равномерно. Такой источник называют ограниченным. Концентрация примеси в источнике - No. Полагается, что в принимающем диффузант твердом теле нет рассматриваемой примеси.

При абсолютно непроницаемой для диффузанта (отражающей) границе поток примеси через поверхность x=0 должен обращаться в нуль при всех t ³0

для t ³0 (24)

ЮРОВСКИЙ (Саруханов) Юрий Ильич (1894-1959) , актер и режиссер, народный артист СССР (1956). На сцене с 1914. С 1924 (с перерывом) в Рижском театре русской драмы. Снимался в кино. Государственная премия СССР (1950, 1951).

ЕРОФЕЕВА Людмила Васильевна (р . 1937), молдавская певица (лирико-колоратурное сопрано), народная артистка СССР (1976). С 1960 в Молдавском театре оперы и балета.

ФОМЕНКО Владимир Дмитриевич (р . 1911), русский писатель. Роман "Память земли" (кн. 1-2, 1961-70) о переменах в жизни донских станичников в связи со строительством Волго-Донского канала; рассказы (в т. ч. "Охотничья жилка", новое издание 1983), очерки.