ChemStudy

(19)

и (20)

здесь запись erfc-1 обозначает аргумент z функции erfc.

При решении практических задач, связанных с анализом диффузионных процессов необходимо знать количество примеси Q, накопленной в твердом теле при диффузии в течение времени t. Эта величина определяется по формуле

(21)

где J(0,t) - поток диффузанта в объем через плоскость x=0

(22)

отсюда

(23)

Следует обратить внимание на возрастающее со временем значение накопленной в диффузионном слое примеси при диффузии с данными граничными условиями.

Рассмотренная модель диффузионного процесса с постоянным источником описывает процесс диффузионного легирования полупроводникового материала из газовой или паровой фазы. Этот процесс используется при создании сильно легированных диффузионных слоев (например, эмиттерных) с поверхностными концентрациями No близкими к значениям предельной твердой растворимости примеси в данном полупроводниковом материале.

Твердое тело можно считать полубесконечным ( или бесконечным) в том случае, если его размеры в направлении движения диффузанта много больше длины диффузии.

1.3.3 Распределение примеси при диффузии из слоя конечной толщины (диффузия из ограниченного источника) в полубесконечное тело с отражающей границей.

Диффундирующая примесь поступает в полубесконечное тело из источника, который представляет собой примыкающий к границе тела слой толщиной h, примесь в котором распределена равномерно. Такой источник называют ограниченным. Концентрация примеси в источнике - No. Полагается, что в принимающем диффузант твердом теле нет рассматриваемой примеси.

При абсолютно непроницаемой для диффузанта (отражающей) границе поток примеси через поверхность x=0 должен обращаться в нуль при всех t ³0

для t ³0 (24)

СОЛОНЕНКО Виктор Прокопьевич (1916-88) , российский геолог и геофизик, член-корреспондент АН СССР (1966). Труды по полезным ископаемым Вост. Сибири и Дальнего Востока, инженерной сейсмогеологии.

ПЕТЕРБУРГСКИЙ "СОЮЗ БОРЬБЫ ЗА ОСВОБОЖДЕНИЕ РАБОЧЕГО КЛАССА" , создан в 1895, объединил ок. 20 рабочих кружков. В Центральную группу (руководящий орган) "Союза", входили: В. И. Ленин, Г. М. Кржижановский, Н. К. Крупская, Л. Мартов и др. С 1898 название Петербургский "Союз борьбы..." - Петербургский комитет Российской cоциал-демократической рабочей партии.

ЙЕРГЕНСЕН (Jrgensen) Анкер (р . 1922), премьер-министр Дании в 1972-73 и в 1975-1982. В 1973-87 председатель Социал-демократической партии Дании.