ChemStudy

(19)

и (20)

здесь запись erfc-1 обозначает аргумент z функции erfc.

При решении практических задач, связанных с анализом диффузионных процессов необходимо знать количество примеси Q, накопленной в твердом теле при диффузии в течение времени t. Эта величина определяется по формуле

(21)

где J(0,t) - поток диффузанта в объем через плоскость x=0

(22)

отсюда

(23)

Следует обратить внимание на возрастающее со временем значение накопленной в диффузионном слое примеси при диффузии с данными граничными условиями.

Рассмотренная модель диффузионного процесса с постоянным источником описывает процесс диффузионного легирования полупроводникового материала из газовой или паровой фазы. Этот процесс используется при создании сильно легированных диффузионных слоев (например, эмиттерных) с поверхностными концентрациями No близкими к значениям предельной твердой растворимости примеси в данном полупроводниковом материале.

Твердое тело можно считать полубесконечным ( или бесконечным) в том случае, если его размеры в направлении движения диффузанта много больше длины диффузии.

1.3.3 Распределение примеси при диффузии из слоя конечной толщины (диффузия из ограниченного источника) в полубесконечное тело с отражающей границей.

Диффундирующая примесь поступает в полубесконечное тело из источника, который представляет собой примыкающий к границе тела слой толщиной h, примесь в котором распределена равномерно. Такой источник называют ограниченным. Концентрация примеси в источнике - No. Полагается, что в принимающем диффузант твердом теле нет рассматриваемой примеси.

При абсолютно непроницаемой для диффузанта (отражающей) границе поток примеси через поверхность x=0 должен обращаться в нуль при всех t ³0

для t ³0 (24)

УРАНИЯ , в греческой мифологии:..1) одна из 9 муз, покровительница астрономии...2) Эпитет Афродиты, буквально - Афродита-небесная.

ЧЖЭНЬЦЗЯН (Даньту) , город в восточной части Китая, пров. Цзянсу, порт на р. Янцзы и Великом канале. 368 тыс. жителей (1990). Шелкообрабатывающая, бумажная и пищевая промышленность; машиностроение.

"ВОЕННЫЙ КОММУНИЗМ" , внутренняя политика Советского государства в условиях Гражданской войны. Политика "Военного коммунизма" была направлена на преодоление экономического кризиса и опиралась на теоретические представления о возможности непосредственного введения коммунизма. Основные черты: национализация всей крупной и средней промышленности и большей части мелких предприятий; продовольственная диктатура, продразверстка, прямой продуктообмен между городом и деревней; замена частной торговли государственным распределением продуктов по классовому признаку (карточная система); натурализация хозяйственных отношений; всеобщая трудовая повинность; уравнительность в оплате труда; военно-приказная система руководства всей жизнью общества. После окончания войны многочисленные выступления рабочих и крестьян против политики "Военного коммунизма" показали ее полный крах, в 1921 введена новая экономическая политика.