ChemStudy

(19)

и (20)

здесь запись erfc-1 обозначает аргумент z функции erfc.

При решении практических задач, связанных с анализом диффузионных процессов необходимо знать количество примеси Q, накопленной в твердом теле при диффузии в течение времени t. Эта величина определяется по формуле

(21)

где J(0,t) - поток диффузанта в объем через плоскость x=0

(22)

отсюда

(23)

Следует обратить внимание на возрастающее со временем значение накопленной в диффузионном слое примеси при диффузии с данными граничными условиями.

Рассмотренная модель диффузионного процесса с постоянным источником описывает процесс диффузионного легирования полупроводникового материала из газовой или паровой фазы. Этот процесс используется при создании сильно легированных диффузионных слоев (например, эмиттерных) с поверхностными концентрациями No близкими к значениям предельной твердой растворимости примеси в данном полупроводниковом материале.

Твердое тело можно считать полубесконечным ( или бесконечным) в том случае, если его размеры в направлении движения диффузанта много больше длины диффузии.

1.3.3 Распределение примеси при диффузии из слоя конечной толщины (диффузия из ограниченного источника) в полубесконечное тело с отражающей границей.

Диффундирующая примесь поступает в полубесконечное тело из источника, который представляет собой примыкающий к границе тела слой толщиной h, примесь в котором распределена равномерно. Такой источник называют ограниченным. Концентрация примеси в источнике - No. Полагается, что в принимающем диффузант твердом теле нет рассматриваемой примеси.

При абсолютно непроницаемой для диффузанта (отражающей) границе поток примеси через поверхность x=0 должен обращаться в нуль при всех t ³0

для t ³0 (24)

ФЕТИДА , в греческой мифологии морская богиня, одна из нереид, мать Ахилла.

ЖИГУЛИН Анатолий Владимирович (р . 1930), русский поэт. В сборнике стихов "Память" (1964) - тема человеческой стойкости; в сборнике "Прозрачные дни" (1970), "Соловецкая чайка", "Калина красная - калина черная" (оба 1979), "Жизнь, нечаянная радость" (1980), "В надежде вечной" (1983), цикле стихов "Сгоревшая тетрадь" (1987) - раздумье о жизни и судьбе, лирика природы. Автобиографическая повесть "Черные камни" (1988) - о попытке молодежи противостоять идеологии и режиму тоталитаризма в годы культа личности.

"ФОТОН" , российский искусственный спутник Земли (запуски с 1988) с аппаратурой для получения в условиях невесомости полупроводниковых материалов с улучшенными свойствами и особо чистых биологически активных препаратов, а также изучения протекающих при этом процессов.