Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Страница 13

(19)

и (20)

здесь запись erfc-1 обозначает аргумент z функции erfc.

При решении практических задач, связанных с анализом диффузионных процессов необходимо знать количество примеси Q, накопленной в твердом теле при диффузии в течение времени t. Эта величина определяется по формуле

(21)

где J(0,t) - поток диффузанта в объем через плоскость x=0

(22)

отсюда

(23)

Следует обратить внимание на возрастающее со временем значение накопленной в диффузионном слое примеси при диффузии с данными граничными условиями.

Рассмотренная модель диффузионного процесса с постоянным источником описывает процесс диффузионного легирования полупроводникового материала из газовой или паровой фазы. Этот процесс используется при создании сильно легированных диффузионных слоев (например, эмиттерных) с поверхностными концентрациями No близкими к значениям предельной твердой растворимости примеси в данном полупроводниковом материале.

Твердое тело можно считать полубесконечным ( или бесконечным) в том случае, если его размеры в направлении движения диффузанта много больше длины диффузии.

1.3.3 Распределение примеси при диффузии из слоя конечной толщины (диффузия из ограниченного источника) в полубесконечное тело с отражающей границей.

Диффундирующая примесь поступает в полубесконечное тело из источника, который представляет собой примыкающий к границе тела слой толщиной h, примесь в котором распределена равномерно. Такой источник называют ограниченным. Концентрация примеси в источнике - No. Полагается, что в принимающем диффузант твердом теле нет рассматриваемой примеси.

При абсолютно непроницаемой для диффузанта (отражающей) границе поток примеси через поверхность x=0 должен обращаться в нуль при всех t ³0

для t ³0 (24)

Страницы: 9 10 11 12 13 14 15 16 17

ШЕМАЯ , рыба семейства карповых. Длина до 40 см, весит до 800 г. В бас. Азовского, Черного, Каспийского и Аральского морей. Нерест в реках (кроме аральской формы). Ценный объект промысла. Малочисленна.

ТИВ (самоназвание - мунши) , народ в Нигерии (ок. 2,7 млн. человек, 1992) и Камеруне (св. 300 тыс. человек). Язык тив. Большинство сохраняют традиционные верования, есть христиане и мусульмане-сунниты.

ХОВЕЛЬЯНОС (Ховельянос-и-Рамирес) (Jovellano Ramirez) Гаспар Мельчор де (1744-1811) , испанский просветитель, поэт, драматург, ученый и государственный деятель. В 1767-74 член Высшего апелляционного совета в Севилье, в 1778-90 член трибунала Высшего кастильского совета, в 1797-98 министр юстиции. В период Испанской революции 1808-14 возглавлял либеральное меньшинство в Центральной хунте. Физиократ. Драма "Благородный преступник" (1774).