ChemStudy

(19)

и (20)

здесь запись erfc-1 обозначает аргумент z функции erfc.

При решении практических задач, связанных с анализом диффузионных процессов необходимо знать количество примеси Q, накопленной в твердом теле при диффузии в течение времени t. Эта величина определяется по формуле

(21)

где J(0,t) - поток диффузанта в объем через плоскость x=0

(22)

отсюда

(23)

Следует обратить внимание на возрастающее со временем значение накопленной в диффузионном слое примеси при диффузии с данными граничными условиями.

Рассмотренная модель диффузионного процесса с постоянным источником описывает процесс диффузионного легирования полупроводникового материала из газовой или паровой фазы. Этот процесс используется при создании сильно легированных диффузионных слоев (например, эмиттерных) с поверхностными концентрациями No близкими к значениям предельной твердой растворимости примеси в данном полупроводниковом материале.

Твердое тело можно считать полубесконечным ( или бесконечным) в том случае, если его размеры в направлении движения диффузанта много больше длины диффузии.

1.3.3 Распределение примеси при диффузии из слоя конечной толщины (диффузия из ограниченного источника) в полубесконечное тело с отражающей границей.

Диффундирующая примесь поступает в полубесконечное тело из источника, который представляет собой примыкающий к границе тела слой толщиной h, примесь в котором распределена равномерно. Такой источник называют ограниченным. Концентрация примеси в источнике - No. Полагается, что в принимающем диффузант твердом теле нет рассматриваемой примеси.

При абсолютно непроницаемой для диффузанта (отражающей) границе поток примеси через поверхность x=0 должен обращаться в нуль при всех t ³0

для t ³0 (24)

БУМАЗЕЯ (от итал . bambagino, букв. - хлопчатый), мягкая, главным образом хлопчатобумажная, ткань с начесом (обычно на изнаночной стороне). Из бумазеи шьют женские платья и детскую одежду.

МАТРИЦА , в математике - прямоугольная таблица каких-либо элементов aik (чисел, математических выражений), состоящая из m строк и n столбцов:Если m=n, то матрица называется квадратной. Над матрицей можно производить действия по правилам матричной алгебры. Матрицы используются во многих разделах математики и физики, в частности при исследовании систем m линейных уравнений с n неизвестными.

РОССИЙСКОЕ ИНФОРМАЦИОННОЕ АГЕНТСТВО "НОВОСТИ" (РИА "Новости") , государственная информационно-аналитическая организация. Основано в 1993. Учредитель - правительство Российской Федерации. Предшественники: Совинформбюро (1941-61), Агентство печати "Новости" (АПН; 1961-90), Информационное агентство "Новости" (ИАН; 1990-93). Распространяет российскую и иностранную информацию. 50 бюро в зарубежных государствах, 17 представительств в странах СНГ, сеть корпунктов. Издает книги и периодику, готовит телевизионные программы и фотоматериалы.