ChemStudy

(19)

и (20)

здесь запись erfc-1 обозначает аргумент z функции erfc.

При решении практических задач, связанных с анализом диффузионных процессов необходимо знать количество примеси Q, накопленной в твердом теле при диффузии в течение времени t. Эта величина определяется по формуле

(21)

где J(0,t) - поток диффузанта в объем через плоскость x=0

(22)

отсюда

(23)

Следует обратить внимание на возрастающее со временем значение накопленной в диффузионном слое примеси при диффузии с данными граничными условиями.

Рассмотренная модель диффузионного процесса с постоянным источником описывает процесс диффузионного легирования полупроводникового материала из газовой или паровой фазы. Этот процесс используется при создании сильно легированных диффузионных слоев (например, эмиттерных) с поверхностными концентрациями No близкими к значениям предельной твердой растворимости примеси в данном полупроводниковом материале.

Твердое тело можно считать полубесконечным ( или бесконечным) в том случае, если его размеры в направлении движения диффузанта много больше длины диффузии.

1.3.3 Распределение примеси при диффузии из слоя конечной толщины (диффузия из ограниченного источника) в полубесконечное тело с отражающей границей.

Диффундирующая примесь поступает в полубесконечное тело из источника, который представляет собой примыкающий к границе тела слой толщиной h, примесь в котором распределена равномерно. Такой источник называют ограниченным. Концентрация примеси в источнике - No. Полагается, что в принимающем диффузант твердом теле нет рассматриваемой примеси.

При абсолютно непроницаемой для диффузанта (отражающей) границе поток примеси через поверхность x=0 должен обращаться в нуль при всех t ³0

для t ³0 (24)

НГУЕНЫ , в 1558-1802 правящий род на территории Центр. и Юж. Вьетнама, в 1802-1945 имп. династии Вьетнама (с 1884 правление под французским протекторатом).

ЖЕГИН (наст . фам. Шехтель) Лев Федорович (1892-1969), российский художник и теоретик искусств. Сын Ф. О. Шехтеля. Активный член общества "Маковец". В своей живописи и графике предпочитал простые пейзажные и жанровые мотивы в духе "тихого искусства", насыщая их философски созерцательным настроением. Занимался также исследованием формально-композиционных основ древнерусского искусства (книга "Язык живописного произведения", 1970).

ЗАХАРОВ Матвей Васильевич (1898-1972) , Маршал Советского Союза (1959), дважды Герой Советского Союза (1945, 1971). В Великую Отечественную войну начальник штаба армии, Калининского, Степного, 2-го Украинского и Забайкальского фронтов. В 1945-49 и 1963-64 начальник Военной академии Генштаба, в 1949-52 заместитель начальника Генштаба, в 1957-60 главнокомандующий Группой советских войск в Германии. В 1960-63 и 1964-71 начальник Генштаба - 1-й заместитель министра обороны СССР.