Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легированииСтраница 13
(19)
и
(20)
здесь запись erfc-1 обозначает аргумент z функции erfc.
При решении практических задач, связанных с анализом диффузионных процессов необходимо знать количество примеси Q, накопленной в твердом теле при диффузии в течение времени t. Эта величина определяется по формуле
(21)
где J(0,t) - поток диффузанта в объем через плоскость x=0
(22)
отсюда
(23)
Следует обратить внимание на возрастающее со временем значение накопленной в диффузионном слое примеси при диффузии с данными граничными условиями.
Рассмотренная модель диффузионного процесса с постоянным источником описывает процесс диффузионного легирования полупроводникового материала из газовой или паровой фазы. Этот процесс используется при создании сильно легированных диффузионных слоев (например, эмиттерных) с поверхностными концентрациями No близкими к значениям предельной твердой растворимости примеси в данном полупроводниковом материале.
Твердое тело можно считать полубесконечным ( или бесконечным) в том случае, если его размеры в направлении движения диффузанта много больше длины диффузии.
1.3.3 Распределение примеси при диффузии из слоя конечной толщины (диффузия из ограниченного источника) в полубесконечное тело с отражающей границей.
Диффундирующая примесь поступает в полубесконечное тело из источника, который представляет собой примыкающий к границе тела слой толщиной h, примесь в котором распределена равномерно. Такой источник называют ограниченным. Концентрация примеси в источнике - No. Полагается, что в принимающем диффузант твердом теле нет рассматриваемой примеси.
При абсолютно непроницаемой для диффузанта (отражающей) границе поток примеси через поверхность x=0 должен обращаться в нуль при всех t ³0
для t ³0 (24)
УОТСОН Джеймс Дьюи (р . 1928), американский биохимик, иностранный член РАН (1991; иностранный член АН СССР с 1988). В 1953 совместно с Ф. Криком создал модель пространственной структуры ДНК (двойную спираль), что позволило объяснить многие ее свойства и биологические функции. Нобелевская премия (1962, совместно с Ф. Криком и М. Уилкинсом).
ЖУРНАЛИСТИКА , деятельность по сбору, обработке и распространению информации с помощью средств массовой информации (печать, радио, телевидение, кино и др.); научная дисциплина журналистика возникла с созданием печати. Во 2-й пол. 19 - нач. 20 вв. появились фото- и киножурналистика, в 20-40-е гг. 20 в. - радио- и тележурналистика.
ФЕДОРОВ Иван Петрович (? - 1568) , боярин, влиятельный член правительства в сер. 16 в., конюший с 1547, один из руководителей земской Боярской думы с 1565. Выступил против опричнины. Обвинен в заговоре. По "делу" Федорова казнено ок. 500 человек.