Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легированииСтраница 13
(19)
и
(20)
здесь запись erfc-1 обозначает аргумент z функции erfc.
При решении практических задач, связанных с анализом диффузионных процессов необходимо знать количество примеси Q, накопленной в твердом теле при диффузии в течение времени t. Эта величина определяется по формуле
(21)
где J(0,t) - поток диффузанта в объем через плоскость x=0
(22)
отсюда
(23)
Следует обратить внимание на возрастающее со временем значение накопленной в диффузионном слое примеси при диффузии с данными граничными условиями.
Рассмотренная модель диффузионного процесса с постоянным источником описывает процесс диффузионного легирования полупроводникового материала из газовой или паровой фазы. Этот процесс используется при создании сильно легированных диффузионных слоев (например, эмиттерных) с поверхностными концентрациями No близкими к значениям предельной твердой растворимости примеси в данном полупроводниковом материале.
Твердое тело можно считать полубесконечным ( или бесконечным) в том случае, если его размеры в направлении движения диффузанта много больше длины диффузии.
1.3.3 Распределение примеси при диффузии из слоя конечной толщины (диффузия из ограниченного источника) в полубесконечное тело с отражающей границей.
Диффундирующая примесь поступает в полубесконечное тело из источника, который представляет собой примыкающий к границе тела слой толщиной h, примесь в котором распределена равномерно. Такой источник называют ограниченным. Концентрация примеси в источнике - No. Полагается, что в принимающем диффузант твердом теле нет рассматриваемой примеси.
При абсолютно непроницаемой для диффузанта (отражающей) границе поток примеси через поверхность x=0 должен обращаться в нуль при всех t ³0
для t ³0 (24)
НЕМЕЦКИЙ ТЕАТР , драматический. Открыт в 1883 в Берлине. В 1905-33 (с перерывами) театр возглавлял М. Рейнхардт. Главные режиссеры: В. Лангхофф (1946-63), Г. Вольфрам (1972-82), Д. Манн (с 1984-90), Т. Лангхофф (с 1990). В репертуаре пьесы Ф. Шиллера, Г. фон Клейста, Г. Гауптмана, Л. Н. Толстого и др.
ВЕРХОВНОЕ ГЛАВНОКОМАНДОВАНИЕ (Верховное Командование) , высший орган стратегического руководства вооруженными силами государства (коалиции государств), создаваемый обычно в военное время и возглавляемый Верховным главнокомандующим (Верховным командующим). В годы Великой Отечественной войны Верховное Главнокомандование Вооруженных Сил СССР именовалось Ставкой Верховного Главнокомандования.
ЗАСЛОНОВ Константин Сергеевич (1909/10-42) , один из руководителей партизанского движения в Великую Отечественную войну в Белоруссии, Герой Советского Союза (1943, посмертно). Руководил подпольной группой в Орше, командир бригады. Погиб в бою.