Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легированииСтраница 13
(19)
и (20)
здесь запись erfc-1 обозначает аргумент z функции erfc.
При решении практических задач, связанных с анализом диффузионных процессов необходимо знать количество примеси Q, накопленной в твердом теле при диффузии в течение времени t. Эта величина определяется по формуле
(21)
где J(0,t) - поток диффузанта в объем через плоскость x=0
(22)
отсюда
(23)
Следует обратить внимание на возрастающее со временем значение накопленной в диффузионном слое примеси при диффузии с данными граничными условиями.
Рассмотренная модель диффузионного процесса с постоянным источником описывает процесс диффузионного легирования полупроводникового материала из газовой или паровой фазы. Этот процесс используется при создании сильно легированных диффузионных слоев (например, эмиттерных) с поверхностными концентрациями No близкими к значениям предельной твердой растворимости примеси в данном полупроводниковом материале.
Твердое тело можно считать полубесконечным ( или бесконечным) в том случае, если его размеры в направлении движения диффузанта много больше длины диффузии.
1.3.3 Распределение примеси при диффузии из слоя конечной толщины (диффузия из ограниченного источника) в полубесконечное тело с отражающей границей.
Диффундирующая примесь поступает в полубесконечное тело из источника, который представляет собой примыкающий к границе тела слой толщиной h, примесь в котором распределена равномерно. Такой источник называют ограниченным. Концентрация примеси в источнике - No. Полагается, что в принимающем диффузант твердом теле нет рассматриваемой примеси.
При абсолютно непроницаемой для диффузанта (отражающей) границе поток примеси через поверхность x=0 должен обращаться в нуль при всех t ³0
для t ³0 (24)
ОНЕГА , река в Российской Федерации, Архангельская обл. 416 км, площадь бассейна 56,9 тыс. км2. Вытекает из оз. Лача; при впадении в Онежскую губу Белого м. образует дельту. Средний расход воды 505 м3/с. Сплавная. Судоходна между порогами. На Онеге - г. Каргополь; в устье - г. Онега.
РАДИОГРАФИЯ (от радио ... и ...графия), метод исследования различных объектов, использующий воздействие на слой фотоэмульсии прошедшего через вещество излучения радионуклидов. Нуклиды могут вводиться непосредственно в исследуемый объект (авторадиография). Радиографию используют, напр., для контроля качества сварки, литья и т. д., а также в биологических, медицинских и других исследованиях.
БОБРИЩЕВЫ-ПУШКИНЫ , декабристы, члены Южного общества, поручики, братья: 1) Николай Сергеевич (1800-71), осужден на вечное поселение, в 1827-56 в Среднеколымске, Туруханске...2) Павел Сергеевич (1802-65), осужден на 12 лет каторги, с 1827 в Нерчинских рудниках, в 1832-56 на поселении в Красноярске, Тобольске.