ChemStudy

(19)

и (20)

здесь запись erfc-1 обозначает аргумент z функции erfc.

При решении практических задач, связанных с анализом диффузионных процессов необходимо знать количество примеси Q, накопленной в твердом теле при диффузии в течение времени t. Эта величина определяется по формуле

(21)

где J(0,t) - поток диффузанта в объем через плоскость x=0

(22)

отсюда

(23)

Следует обратить внимание на возрастающее со временем значение накопленной в диффузионном слое примеси при диффузии с данными граничными условиями.

Рассмотренная модель диффузионного процесса с постоянным источником описывает процесс диффузионного легирования полупроводникового материала из газовой или паровой фазы. Этот процесс используется при создании сильно легированных диффузионных слоев (например, эмиттерных) с поверхностными концентрациями No близкими к значениям предельной твердой растворимости примеси в данном полупроводниковом материале.

Твердое тело можно считать полубесконечным ( или бесконечным) в том случае, если его размеры в направлении движения диффузанта много больше длины диффузии.

1.3.3 Распределение примеси при диффузии из слоя конечной толщины (диффузия из ограниченного источника) в полубесконечное тело с отражающей границей.

Диффундирующая примесь поступает в полубесконечное тело из источника, который представляет собой примыкающий к границе тела слой толщиной h, примесь в котором распределена равномерно. Такой источник называют ограниченным. Концентрация примеси в источнике - No. Полагается, что в принимающем диффузант твердом теле нет рассматриваемой примеси.

При абсолютно непроницаемой для диффузанта (отражающей) границе поток примеси через поверхность x=0 должен обращаться в нуль при всех t ³0

для t ³0 (24)

ЯХИН Рустем Мухамет-Хазеевич (р . 1921), татарский композитор и пианист, народный артист СССР (1986). Первый в татарской музыке концерт для фортепьяно с оркестром (1951), камерно-инструментальные ансамбли, романсы, песни.

ЭССЕКС (Essex) Роберт Девере (1591-1646) , граф, один из лидеров пресвитериан в английской революции 17 в. С 1642 главнокомандующий парламентской армией. Сторонник компромисса с королем. Противился перестройке армии на демократических началах. В 1645 после военных неудач сложил с себя командование.

ЖУРКИНА-КИЕК Надежда Александровна (р . 1920), полный кавалер ордена Славы (1944, 1944, 1948), старшина. В Великую Отечественную войну с 1943 воздушный стрелок-радист отдельного гвардейского разведывательного авиаполка; 30 воздушных боев.