ChemStudy

Существует заметное несоответствие между распределением примеси в источнике, сформированном при загонке, с декларируемым при выводе выражений (25) и (26) - ступенчатым. Это несоответствие должно отразиться на точности описания реального распределения примеси после второй стадии диффузии выражением (26). Не существует и объективного количественного критерия «тонкости» источника — нет каких-либо признаков, согласно которым для представления результатов данного процесса следует использовать выражение (26), а на (25) и наоборот.

При моделировании двухстадийной диффузии и анализе результатов процесса полагают, что выражение (26) достаточно точно соответствует реальному при условии, если величина произведения D1t1 для первого этапа процесса легирования значительно меньше, чем D2t2 для второго - . Это условие быстрой истощаемости источника. В этом случае, учитывая, что количество накопленной при первом этапе примеси определяется соотношением

из (26) получим

(27)

Величины D2 и t2 относятся ко второй стадии диффузии.

В случае, если продолжительность второй стадии не очень велика по сравнению с первой, или, иными словами, D2t2 ³ D1t1 , предположение о том, что диффузионный слой, образовавшийся в результате загонки, будет вести себя как тонкий источник неверно. В этом случае решение диффузионного уравнения будет выглядеть следующим образом

(28)

где

и

Поверхностная концентрация примеси после второй стадии диффузии выражается при данных условиях соотношением

(29)

Выражение (25) используется для представления распределения при условии, что D1t1 >D2t2 – . При этом полагают, что .

1.4 Расчет распределения примеси после диффузионного легирования.

1.4.1 Диффузия из бесконечного источника примеси на поверхности пластины и при температуре, соответствующей максимальной растворимости примеси в полупроводнике; время диффузии 30 мин.= 1800с.

Материал – кремний;

примесь – галлий.

Условия проведения диффузии соответствуют решению, представляемому уравнением (18). .

Температуру соответствующую максимальной растворимости галлия в кремнии, а так же и саму предельную растворимость найдем из графика предельной растворимости примеси в кремнии.

Nпред. раств.=N0=6×1019 см-3, Т=1523 К.

Коэффициент диффузии сурьмы при температуре диффузии найдем используя известное выражение в форме уравнения Аррениуса

ЧОЛПОН-АТА , город (с 1975) в Киргизии, Иссык-Кульская обл., на северном берегу оз. Иссык-Куль, в 75 км от г. Иссык-Куль. 11 тыс. жителей (1991). Климатический и бальнеогрязевой курорт. Молочный комбинат. Историко-краеведческий музей. Дом-музей М. Ауэзова.

ЗЕРАВШАНСКИЙ ХРЕБЕТ , в системе Гиссаро-Алая, к югу от р. Зеравшан. Ок. 370 км, высота до 5489 м (г. Чимтарга). Ледники (площадь 307 км2). Карстовая пропасть Киевская (глубина 950 м).

РЖЕВСКАЯ Елена Моисеевна (р .1919), русская писательница. В прозе, сочетающей публицистичность и художественно-документальное начало с лирической интонацией, обращается к военной теме, послевоенному городскому быту. Книги: "Весна в шинели" (1961), "Берлин, май 1945" (1965), "Ближние подступы" (1985) и др.