Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легированииСтраница 20
Литература.
1. Готра З.Ю. Технология микроэлектронных устройств. Справочник. - М.: Радио и связь, 1991. -528 с.
2. Шишлянников Б.М. Физико-химические основы технологии микроэлектроники. Методические указания к курсовому проектированию для студентов направления 550700. Новгород, 1998. – 41с.
3. Нашельский А.Я. Технология полупроводниковых материалов. - М.: Металлургия, 1972. - 432 с.
4. Реньян В.Р. Технология полупроводникового кремния / Пер. с англ. - М.: Металлургия, 1969. - 336 с.
5. МОП СБИС. Моделирование элементов и технологических процессов /Под ред. П. Антонетти и др.; Пер. с англ. - М.: Радио и связь. 1988. - 496 с.
ГАМЕТОФИТ (от гаметы и греч . phyton - растение), половое поколение, этап жизненного цикла растений; чередуется со спорофитом. Образуется из споры, содержит гаплоидный набор хромосом; продуцирует гаметы в гаметангиях. У покрытосеменных гаметофитов редуцирован до пылинки (мужской гаметофит) и зародышевого мешка (женский гаметофит).
АППАЛАЧИ (Appalachian Mountains) , горная система на востоке Сев. Америки, в США и Канаде. Длина 2600 км. Сев. Аппалачи (к северу от рр. Мохок и Гудзон) - волнистое плоскогорье с отдельными массивами высотой до 1916 м (г. Вашингтон); следы древнего оледенения. Юж. Аппалачи в осевой зоне состоят из параллельных хребтов и массивов, разделенных широкими долинами; к осевой зоне прилегают с востока плато Пидмонт, с запада - Аппалачское плато. Высота до 2037 м (г. Митчелл). Месторождения каменного угля, нефти и газа, железных руд, титана. Широколиственные, хвойные и смешанные леса.
ЧЕРДЫНСКАЯ ДОРОГА , путь в Сибирь в 16 в. через Ср. Урал (от г. Чердынь по р. Вишера, далее волоком к рекам Ивдель - Лозьва - Тавда - Тобол). Заменен Бабиновской дорогой.