Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легированииСтраница 20
Литература.
1. Готра З.Ю. Технология микроэлектронных устройств. Справочник. - М.: Радио и связь, 1991. -528 с.
2. Шишлянников Б.М. Физико-химические основы технологии микроэлектроники. Методические указания к курсовому проектированию для студентов направления 550700. Новгород, 1998. – 41с.
3. Нашельский А.Я. Технология полупроводниковых материалов. - М.: Металлургия, 1972. - 432 с.
4. Реньян В.Р. Технология полупроводникового кремния / Пер. с англ. - М.: Металлургия, 1969. - 336 с.
5. МОП СБИС. Моделирование элементов и технологических процессов /Под ред. П. Антонетти и др.; Пер. с англ. - М.: Радио и связь. 1988. - 496 с.
ЖДАНОВСК , название города Бейлаган в Азербайджане до 1989.
ЕНОТЫ , род млекопитающих семейства енотовых. 2 вида (полоскун и ракоед), в лесах Америки. Мех густой длинный. Енот-полоскун акклиматизирован в Германии, Белоруссии, Азербайджане, на Дальнем Востоке и в ряде других мест.
ФАУЗЕР (Fauser) Джакомо (1892-1971) , итальянский химик-технолог. Создал первую установку для синтеза аммиака под давлением (1920). Труды по технологии азотной кислоты, мочевины и др.