Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Страница 20

Литература.

1. Готра З.Ю. Технология микроэлектронных устройств. Справочник. - М.: Радио и связь, 1991. -528 с.

2. Шишлянников Б.М. Физико-химические основы технологии микроэлектроники. Методические указания к курсовому проектированию для студентов направления 550700. Новгород, 1998. – 41с.

3. Нашельский А.Я. Технология полупроводниковых материалов. - М.: Металлургия, 1972. - 432 с.

4. Реньян В.Р. Технология полупроводникового кремния / Пер. с англ. - М.: Металлургия, 1969. - 336 с.

5. МОП СБИС. Моделирование элементов и технологических процессов /Под ред. П. Антонетти и др.; Пер. с англ. - М.: Радио и связь. 1988. - 496 с.

Страницы: 16 17 18 19 20 

АНЕМО ... (от греч. anemos - ветер), часть сложных слов, соответствующая по значению слову "ветер" (напр., анемометр).

ЩАПОВ Ярослав Николаевич (р . 1928), российский историк, член-корреспондент РАН (1991; член-корреспондент АН СССР с 1987). Труды по истории Др. Руси 9-14 вв. (государство и право, культура, связи с Византией и славянскими странами). Публикатор источников.

ЯСНОГОРСК (до 1965 Лаптево) , город в Российской Федерации, Тульская обл., на р. Вашана. Железнодорожная станция. 21,3 тыс. жителей (1993). Машиностроительный завод. Краеведческий музей.