Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Страница 20

Литература.

1. Готра З.Ю. Технология микроэлектронных устройств. Справочник. - М.: Радио и связь, 1991. -528 с.

2. Шишлянников Б.М. Физико-химические основы технологии микроэлектроники. Методические указания к курсовому проектированию для студентов направления 550700. Новгород, 1998. – 41с.

3. Нашельский А.Я. Технология полупроводниковых материалов. - М.: Металлургия, 1972. - 432 с.

4. Реньян В.Р. Технология полупроводникового кремния / Пер. с англ. - М.: Металлургия, 1969. - 336 с.

5. МОП СБИС. Моделирование элементов и технологических процессов /Под ред. П. Антонетти и др.; Пер. с англ. - М.: Радио и связь. 1988. - 496 с.

Страницы: 16 17 18 19 20 

УРЕАЗА , фермент, катализирующий у некоторых животных и растений гидролиз мочевины до аммиака и углекислого газа. Первый фермент, полученный в кристаллическом виде (Дж. Самнер, 1926).

УЭЛЬСКОГО ПРИНЦА ОСТРОВ (Prince of Wales Island) , о-в в Канадском Арктическом архипелаге, в составе Канады. 33,3 тыс. км2. Высота до 254 м.

ЕВСТАФИЙ ПЛАКИДА (Евстахий Плацид) (ум . ок. 118), христианский великомученик, пострадавший в Риме при императоре Адриане. Память в Православной церкви 20 сентября (3 октября), в Католической - 8 августа и 20 сентября.