Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Страница 20

Литература.

1. Готра З.Ю. Технология микроэлектронных устройств. Справочник. - М.: Радио и связь, 1991. -528 с.

2. Шишлянников Б.М. Физико-химические основы технологии микроэлектроники. Методические указания к курсовому проектированию для студентов направления 550700. Новгород, 1998. – 41с.

3. Нашельский А.Я. Технология полупроводниковых материалов. - М.: Металлургия, 1972. - 432 с.

4. Реньян В.Р. Технология полупроводникового кремния / Пер. с англ. - М.: Металлургия, 1969. - 336 с.

5. МОП СБИС. Моделирование элементов и технологических процессов /Под ред. П. Антонетти и др.; Пер. с англ. - М.: Радио и связь. 1988. - 496 с.

Страницы: 16 17 18 19 20 

ЖОДЕЛЬ (Jodelle) Этьен (1532-73) , французский поэт и драматург. Автор первой французской трагедии "Плененная Клеопатра" (1552) и первой французской комедии "Евгений" (1552).

ГЕДЕОНОВ Степан Александрович (1816-78) , российский историк, театральный деятель, почетный член Петербургской АН (1863). Директор Эрмитажа (1863-78) и императорских театров (1867-75). Труд "Варяги и Русь" (против норманнской теории).

ДОРЗАЛЬНЫЙ , то же, что дорсальный.