Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Страница 20

Литература.

1. Готра З.Ю. Технология микроэлектронных устройств. Справочник. - М.: Радио и связь, 1991. -528 с.

2. Шишлянников Б.М. Физико-химические основы технологии микроэлектроники. Методические указания к курсовому проектированию для студентов направления 550700. Новгород, 1998. – 41с.

3. Нашельский А.Я. Технология полупроводниковых материалов. - М.: Металлургия, 1972. - 432 с.

4. Реньян В.Р. Технология полупроводникового кремния / Пер. с англ. - М.: Металлургия, 1969. - 336 с.

5. МОП СБИС. Моделирование элементов и технологических процессов /Под ред. П. Антонетти и др.; Пер. с англ. - М.: Радио и связь. 1988. - 496 с.

Страницы: 16 17 18 19 20 

ЯИДЗУ , город в Японии, на юго-востоке о. Хонсю, на побережье зал. Суруга. 114 тыс. жителей (1992). Узел скоростных железных и шоссейных дорог. Пищевая промышленность.

ИЗОАНЕМОНЫ (от изо ... и греч. anemos - ветер) (изовелы), изолинии, характеризующие средние скорости ветра за какой-либо промежуток времени.

ЕЛИСЕЕВ Николай Александрович (1897-1966) , российский геолог и петрограф, член-корреспондент АН СССР (1953). Основные труды по методике петрографических исследований и метаморфизму горных пород.