Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легированииСтраница 20
Литература.
1. Готра З.Ю. Технология микроэлектронных устройств. Справочник. - М.: Радио и связь, 1991. -528 с.
2. Шишлянников Б.М. Физико-химические основы технологии микроэлектроники. Методические указания к курсовому проектированию для студентов направления 550700. Новгород, 1998. – 41с.
3. Нашельский А.Я. Технология полупроводниковых материалов. - М.: Металлургия, 1972. - 432 с.
4. Реньян В.Р. Технология полупроводникового кремния / Пер. с англ. - М.: Металлургия, 1969. - 336 с.
5. МОП СБИС. Моделирование элементов и технологических процессов /Под ред. П. Антонетти и др.; Пер. с англ. - М.: Радио и связь. 1988. - 496 с.
УРЕАЗА , фермент, катализирующий у некоторых животных и растений гидролиз мочевины до аммиака и углекислого газа. Первый фермент, полученный в кристаллическом виде (Дж. Самнер, 1926).
УЭЛЬСКОГО ПРИНЦА ОСТРОВ (Prince of Wales Island) , о-в в Канадском Арктическом архипелаге, в составе Канады. 33,3 тыс. км2. Высота до 254 м.
ЕВСТАФИЙ ПЛАКИДА (Евстахий Плацид) (ум . ок. 118), христианский великомученик, пострадавший в Риме при императоре Адриане. Память в Православной церкви 20 сентября (3 октября), в Католической - 8 августа и 20 сентября.