Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Страница 20

Литература.

1. Готра З.Ю. Технология микроэлектронных устройств. Справочник. - М.: Радио и связь, 1991. -528 с.

2. Шишлянников Б.М. Физико-химические основы технологии микроэлектроники. Методические указания к курсовому проектированию для студентов направления 550700. Новгород, 1998. – 41с.

3. Нашельский А.Я. Технология полупроводниковых материалов. - М.: Металлургия, 1972. - 432 с.

4. Реньян В.Р. Технология полупроводникового кремния / Пер. с англ. - М.: Металлургия, 1969. - 336 с.

5. МОП СБИС. Моделирование элементов и технологических процессов /Под ред. П. Антонетти и др.; Пер. с англ. - М.: Радио и связь. 1988. - 496 с.

Страницы: 16 17 18 19 20 

РОМАНЬЯ (Romagna) , историческая область в Сев. Италии. Название Романья появилось в 6 в., относилось к византийским владениям на Апеннинском п-ове, прежде всего к Равеннскому экзархату. В 16-18 вв. в основном входила в Папскую обл. В Итальянской Республике часть административной области Эмилия-Романья.

НИЛЬСБОРИЙ (лат . Nielsbohrium), Ns, искусственно полученный радиоактивный химический элемент V гр. периодической системы, атомный номер 105. Наиболее устойчивый изотоп 262Ns (период полураспада 40 с). Получен в 1970 в СССР и США. Назван по предложению советских физиков по имени Нильса Бора; американские ученые предложили название "ганий" в честь О. Гана. Название окончательно не принято.

ЯРКЕНД , река на западе Китая, самая длинная составляющая р. Тарим. 1068 км, площадь бассейна 81,4 тыс. км2. Верховья в горах Каракорума, протекает по северо-западной окраине Таримской равнины. Средний расход воды ок. 170 м3/с, весной пересыхает. Орошает Яркендский оазис.