Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Страница 17

Полученные результаты используются для построения графика N = f(x) - примесного профиля. При построении профиля, как правило, используют полулогарифмический масштаб.

1.4.2 Диффузия из бесконечного источника примеси на поверхности пластины при Т=9500 С=1223 К, и времени диффузии 30 мин.=1800 с.

Коэффициент диффузии галлия в кремнии при Т=9500 С, N0=3×1019см-3.

Диффузия проходит согласно выражению (18).Дальнейший ход работы идет аналогично пункту 1.4.1. Заполняем расчетную таблицу.

Таблица 5 - Результаты расчета распределения галлия в кремнии

x,

мкм

erfc(z)

N(x),

см-3

x,

мкм

erfc(z)

N(x),

см-3

0

0

1

3×1019

0,1

2,05

0,003742

1,123×1017

0,02

0,41

0,562031

1,6861×1019

0,12

2,46

0,000503

1,5091016

0,04

0,82

0,246189

7,386×1018

0,14

2,87

0,000049

1,47×1015

0,06

1,23

0,08195

2,4585×1018

0,16

3,28

0,0000035

1,05×1014

0,08

1,64

0,020378

6,1134×1017

0,18

3,69

0,00000018

5,4×1012

Полученные результаты используются для построения графика N = f(x) - примесного профиля. При построении профиля, как правило, используют полулогарифмический масштаб.

Страницы: 13 14 15 16 17 18 19 20

ЖУКРОВСКИЙ Войцех (р . 1916), польский писатель. Роман "Дни поражения" (1952) о трагедии Польши в сентябре 1939, "Крещенные огнем" (1961) о становлении новой власти в кон. 40-х гг. В романах "Каменные скрижали" (1966), "Запах собачьей шерсти" (1980) - современные моральные и политические проблемы; роман-парабола "На троне в Блабоне" (1986).

ЦУКЕРМАН Вениамин Аронович (1913-93) , российский рентгенотехник, основатель отечественной импульсной рентгенографии. Автор первых работ по рентгенографическому исследованию явлений взрыва и детонации. Создатель оригинальной рентгенотехники. Ленинская премия (1960). Государственная премия СССР (1946, 1949, 1955, 1978).

ОПРИЧНИНА ,..1) в 14-15 вв. особое удельное владение женщин из великокняжеской семьи...2) Название удела Ивана Грозного в 1565-72 с особой территорией, войском и государственным аппаратом...3) Система внутриполитических мер Ивана Грозного в 1565-72 для борьбы с предполагаемой изменой в среде знати (массовые репрессии, казни, земельные конфискации и т. п.).