Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легированииСтраница 17
Полученные результаты используются для построения графика N = f(x) - примесного профиля. При построении профиля, как правило, используют полулогарифмический масштаб.
1.4.2 Диффузия из бесконечного источника примеси на поверхности пластины при Т=9500 С=1223 К, и времени диффузии 30 мин.=1800 с.
Коэффициент диффузии галлия в кремнии при Т=9500 С, N0=3×1019см-3.
Диффузия проходит согласно выражению (18).Дальнейший ход работы идет аналогично пункту 1.4.1. Заполняем расчетную таблицу.
Таблица 5 - Результаты расчета распределения галлия в кремнии
|
x, мкм |
|
erfc(z) |
N(x), см-3 |
x, мкм |
|
erfc(z) |
N(x), см-3 |
|
0 |
0 |
1 |
3×1019 |
0,1 |
2,05 |
0,003742 |
1,123×1017 |
|
0,02 |
0,41 |
0,562031 |
1,6861×1019 |
0,12 |
2,46 |
0,000503 |
1,5091016 |
|
0,04 |
0,82 |
0,246189 |
7,386×1018 |
0,14 |
2,87 |
0,000049 |
1,47×1015 |
|
0,06 |
1,23 |
0,08195 |
2,4585×1018 |
0,16 |
3,28 |
0,0000035 |
1,05×1014 |
|
0,08 |
1,64 |
0,020378 |
6,1134×1017 |
0,18 |
3,69 |
0,00000018 |
5,4×1012 |
Полученные результаты используются для построения графика N = f(x) - примесного профиля. При построении профиля, как правило, используют полулогарифмический масштаб.
 |
МАСУДИ (кон . 9 в. - 956 или 957), арабский историк и путешественник. Посетил Иран, Индию, Сев. Африку, Азербайджан, Армению, жил в Сирии и Египте. Сочинения Масуди (св. 20) - важный исторический источник.
ИСПАНСКАЯ РЕВОЛЮЦИЯ 1820-23 , началась в январе 1820 выступлением под руководством Р. Риего-и-Нуньеса в Кадисе, восстановлением (март 1820) конституции 1812, образованием конституционного правительства (март - апрель 1820, правительство модерадос), которое провело ряд реформ. В августе 1822 власть перешла в руки эксальтадос; в мае 1823 вступил в силу закон об аграрной реформе. 7 апреля 1823 в Испанию по решению Священного союза вторглась французская армия. 30 сентября конституционное правительство капитулировало. 1 октября король Фердинанд VII восстановил абсолютистский режим.
ЭРУДИЦИЯ (от лат . eruditio - ученость, познания), глубокие всесторонние познания, широкая осведомленность.