Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легированииСтраница 17
Полученные результаты используются для построения графика N = f(x) - примесного профиля. При построении профиля, как правило, используют полулогарифмический масштаб.
1.4.2 Диффузия из бесконечного источника примеси на поверхности пластины при Т=9500 С=1223 К, и времени диффузии 30 мин.=1800 с.
Коэффициент диффузии галлия в кремнии при Т=9500 С, N0=3×1019см-3.
Диффузия проходит согласно выражению (18).Дальнейший ход работы идет аналогично пункту 1.4.1. Заполняем расчетную таблицу.
Таблица 5 - Результаты расчета распределения галлия в кремнии
|
x, мкм |
|
erfc(z) |
N(x), см-3 |
x, мкм |
|
erfc(z) |
N(x), см-3 |
|
0 |
0 |
1 |
3×1019 |
0,1 |
2,05 |
0,003742 |
1,123×1017 |
|
0,02 |
0,41 |
0,562031 |
1,6861×1019 |
0,12 |
2,46 |
0,000503 |
1,5091016 |
|
0,04 |
0,82 |
0,246189 |
7,386×1018 |
0,14 |
2,87 |
0,000049 |
1,47×1015 |
|
0,06 |
1,23 |
0,08195 |
2,4585×1018 |
0,16 |
3,28 |
0,0000035 |
1,05×1014 |
|
0,08 |
1,64 |
0,020378 |
6,1134×1017 |
0,18 |
3,69 |
0,00000018 |
5,4×1012 |
Полученные результаты используются для построения графика N = f(x) - примесного профиля. При построении профиля, как правило, используют полулогарифмический масштаб.
![]() |
ИНФОРМАЦИЯ (от лат . informatio - разъяснение, изложение), первоначальная - сведения, передаваемые людьми устным, письменным или другим способом (с помощью условных сигналов, технических средств и т. д.); с сер. 20 в. общенаучное понятие, включающее обмен сведениями между людьми, человеком и автоматом, автоматом и автоматом; обмен сигналами в животном и растительном мире; передачу признаков от клетки к клетке, от организма к организму (см. Генетическая информация); одно из основных понятий кибернетики.
ЗАХАРОВ Матвей Васильевич (1898-1972) , Маршал Советского Союза (1959), дважды Герой Советского Союза (1945, 1971). В Великую Отечественную войну начальник штаба армии, Калининского, Степного, 2-го Украинского и Забайкальского фронтов. В 1945-49 и 1963-64 начальник Военной академии Генштаба, в 1949-52 заместитель начальника Генштаба, в 1957-60 главнокомандующий Группой советских войск в Германии. В 1960-63 и 1964-71 начальник Генштаба - 1-й заместитель министра обороны СССР.
УЛЕЙ , жилище пчелы медоносной, устроенное человеком. Деревянный корпус с рамками, дном, крышей и надставкой с рамками. Ульи - вертикальные (2-корпусные и многокорпусные) и горизонтальные (лежаки). Первый разборный рамочный улей изобрел российский пчеловод П. И. Прокопович в 1814.
