Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Страница 17

Полученные результаты используются для построения графика N = f(x) - примесного профиля. При построении профиля, как правило, используют полулогарифмический масштаб.

1.4.2 Диффузия из бесконечного источника примеси на поверхности пластины при Т=9500 С=1223 К, и времени диффузии 30 мин.=1800 с.

Коэффициент диффузии галлия в кремнии при Т=9500 С, N0=3×1019см-3.

Диффузия проходит согласно выражению (18).Дальнейший ход работы идет аналогично пункту 1.4.1. Заполняем расчетную таблицу.

Таблица 5 - Результаты расчета распределения галлия в кремнии

x,

мкм

erfc(z)

N(x),

см-3

x,

мкм

erfc(z)

N(x),

см-3

0

0

1

3×1019

0,1

2,05

0,003742

1,123×1017

0,02

0,41

0,562031

1,6861×1019

0,12

2,46

0,000503

1,5091016

0,04

0,82

0,246189

7,386×1018

0,14

2,87

0,000049

1,47×1015

0,06

1,23

0,08195

2,4585×1018

0,16

3,28

0,0000035

1,05×1014

0,08

1,64

0,020378

6,1134×1017

0,18

3,69

0,00000018

5,4×1012

Полученные результаты используются для построения графика N = f(x) - примесного профиля. При построении профиля, как правило, используют полулогарифмический масштаб.

Страницы: 13 14 15 16 17 18 19 20

ЮЖНОЕ ОБЩЕСТВО , тайная революционная организация декабристов на Украине в 1821-25. Члены - главным образом офицеры. Создано на базе Тульчинской управы "Союза благоденствия". Учредители: П. И. Пестель, А. П. Юшневский, П. В. Аврамов, А. П. Барятинский, Н. В. Басаргин, Ф. Б. Вольф, В. П. Ивашев, бр. Крюковы, составившие Коренную думу. К ним присоединились С. Г. Волконский, В. Л. Давыдов, позднее М. И. и С. И. Муравьевы-Апостолы, М. П. Бестужев-Рюмин и др. Директория: Пестель, Юшневский, Н. М. Муравьев (от Северного общества). Управы: Тульчинская, Кишиневская (до 1822), Каменская, Васильковская, Славянская (с 1825). Политической программой была "Русская правда" Пестеля, на ее основе стремились к объединению с Северным обществом. С 1823 поддерживали связь с Польским патриотическим обществом, в 1825 присоединили Общество соединенных славян. После поражения Черниговского полка восстания было разгромлено.

ПЕРЛАМУТРОВЫЕ ОБЛАКА , тонкие просвечивающие облака, изредка возникающие в стратосфере на высоте 20-30 км. Видны на темном небе после захода и перед восходом Солнца.

ЦИСТОИДЕИ (морские пузыри) , группа вымерших морских беспозвоночных типа иглокожих. Жили в ордовике - девоне. Прикрепленные и свободнолежащие на дне формы. Ок. 400 видов.