Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легированииСтраница 17
Полученные результаты используются для построения графика N = f(x) - примесного профиля. При построении профиля, как правило, используют полулогарифмический масштаб.
1.4.2 Диффузия из бесконечного источника примеси на поверхности пластины при Т=9500 С=1223 К, и времени диффузии 30 мин.=1800 с.
Коэффициент диффузии галлия в кремнии при Т=9500 С, N0=3×1019см-3.
Диффузия проходит согласно выражению (18).Дальнейший ход работы идет аналогично пункту 1.4.1. Заполняем расчетную таблицу.
Таблица 5 - Результаты расчета распределения галлия в кремнии
|
x, мкм |
|
erfc(z) |
N(x), см-3 |
x, мкм |
|
erfc(z) |
N(x), см-3 |
|
0 |
0 |
1 |
3×1019 |
0,1 |
2,05 |
0,003742 |
1,123×1017 |
|
0,02 |
0,41 |
0,562031 |
1,6861×1019 |
0,12 |
2,46 |
0,000503 |
1,5091016 |
|
0,04 |
0,82 |
0,246189 |
7,386×1018 |
0,14 |
2,87 |
0,000049 |
1,47×1015 |
|
0,06 |
1,23 |
0,08195 |
2,4585×1018 |
0,16 |
3,28 |
0,0000035 |
1,05×1014 |
|
0,08 |
1,64 |
0,020378 |
6,1134×1017 |
0,18 |
3,69 |
0,00000018 |
5,4×1012 |
Полученные результаты используются для построения графика N = f(x) - примесного профиля. При построении профиля, как правило, используют полулогарифмический масштаб.
 |
АСАНЬЯ Мануэль (1880-1940) , президент Испанской республики в 1936-39, один из лидеров правого крыла Народного фронта. В 1931-33, 1936 (февраль-май) глава правительства.
ШЕРЕМЕТЬЕВСКИЙ Николай Николаевич (р . 1916), российский ученый, академик РАН (1991; академик АН СССР с 1984), Герой Социалистического Труда (1986). Труды по исследованию электромеханических комплексов космических объектов, силовых гироскопических установок, следящего привода, статических преобразователей электрической энергии. Ленинская премия (1978), Государственная премия СССР (1949, 1967).
ЭЛЕКТРОННАЯ ТЕОРИЯ (микроскопическая классическая электродинамика) , теория, в которой вещество рассматривается как совокупность взаимодействующих между собой микроскопических заряженных частиц (отрицательных и положительных), движущихся в вакууме. См. Лоренца-Максвелла уравнения.