Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легированииСтраница 17
Полученные результаты используются для построения графика N = f(x) - примесного профиля. При построении профиля, как правило, используют полулогарифмический масштаб.
1.4.2 Диффузия из бесконечного источника примеси на поверхности пластины при Т=9500 С=1223 К, и времени диффузии 30 мин.=1800 с.
Коэффициент диффузии галлия в кремнии при Т=9500 С, N0=3×1019см-3.
Диффузия проходит согласно выражению (18).Дальнейший ход работы идет аналогично пункту 1.4.1. Заполняем расчетную таблицу.
Таблица 5 - Результаты расчета распределения галлия в кремнии
|
x, мкм |
|
erfc(z) |
N(x), см-3 |
x, мкм |
|
erfc(z) |
N(x), см-3 |
|
0 |
0 |
1 |
3×1019 |
0,1 |
2,05 |
0,003742 |
1,123×1017 |
|
0,02 |
0,41 |
0,562031 |
1,6861×1019 |
0,12 |
2,46 |
0,000503 |
1,5091016 |
|
0,04 |
0,82 |
0,246189 |
7,386×1018 |
0,14 |
2,87 |
0,000049 |
1,47×1015 |
|
0,06 |
1,23 |
0,08195 |
2,4585×1018 |
0,16 |
3,28 |
0,0000035 |
1,05×1014 |
|
0,08 |
1,64 |
0,020378 |
6,1134×1017 |
0,18 |
3,69 |
0,00000018 |
5,4×1012 |
Полученные результаты используются для построения графика N = f(x) - примесного профиля. При построении профиля, как правило, используют полулогарифмический масштаб.
 |
КАРЛФЕЛЬДТ (Karlfeldt) Эрик Аксель (1864-1931) , шведский поэт. Фольклорная сочность и этнографическая конкретность в неоромантических стихах о шведском крестьянине: сборники "Песни о пустоши и любви" (1895), "Песни Фридолина" (1898), "Сад Фридолина" (1901). Литературоведческие сочинения. Нобелевская премия (1931).
ХЕЛЬЧИЦКИЙ (Chelcicky) Петр (ок . 1390 - ок. 1460), идеолог умеренных таборитов в Чехии. Выступал за создание (отрицая революционные методы) общества, основанного на равенстве и обязательном труде. Последователи Хельчицкого создали Общину чешских братьев.
ВИЛОЧКОВАЯ ЖЕЛЕЗА (зобная железа , тимус), центральный орган иммунной системы позвоночных. У большинства млекопитающих расположена в области переднего средостения. Хорошо развита в молодом возрасте. Участвует в формировании иммунитета (продуцирует Т-лимфоциты), в регуляции роста и общего развития организма.