Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Страница 17

Полученные результаты используются для построения графика N = f(x) - примесного профиля. При построении профиля, как правило, используют полулогарифмический масштаб.

1.4.2 Диффузия из бесконечного источника примеси на поверхности пластины при Т=9500 С=1223 К, и времени диффузии 30 мин.=1800 с.

Коэффициент диффузии галлия в кремнии при Т=9500 С, N0=3×1019см-3.

Диффузия проходит согласно выражению (18).Дальнейший ход работы идет аналогично пункту 1.4.1. Заполняем расчетную таблицу.

Таблица 5 - Результаты расчета распределения галлия в кремнии

x,

мкм

erfc(z)

N(x),

см-3

x,

мкм

erfc(z)

N(x),

см-3

0

0

1

3×1019

0,1

2,05

0,003742

1,123×1017

0,02

0,41

0,562031

1,6861×1019

0,12

2,46

0,000503

1,5091016

0,04

0,82

0,246189

7,386×1018

0,14

2,87

0,000049

1,47×1015

0,06

1,23

0,08195

2,4585×1018

0,16

3,28

0,0000035

1,05×1014

0,08

1,64

0,020378

6,1134×1017

0,18

3,69

0,00000018

5,4×1012

Полученные результаты используются для построения графика N = f(x) - примесного профиля. При построении профиля, как правило, используют полулогарифмический масштаб.

Страницы: 13 14 15 16 17 18 19 20

ЦЕТЛИН Михаил Осипович (1882-1945) , русский поэт. С 1919 в эмиграции (Франция, США). Стихи под псевд. Амари: сборники "Стихотворения" (1906), "Лирика" (1912), "Прозрачные тени" (1920), "Кровь на снегу. Стихи о декабристах" (1939). Книги прозы "Декабристы" (1933), "Пятеро и другие" (1944; о русских композиторах). Основатель и первый редактор (совместно с М. А. Алдановым) "Нового журнала" (с 1942).

УНОВИС (сокр . Утвердители нового искусства), группа, организованная К. С. Малевичем в 1919 в Витебске (куда он был приглашен преподавать в местном художественном училище). Придерживаясь принципа коллективного творчества, члены Уновиса (В. М. Ермолаева, Л. М. Лисицкий, Н. М. Суетин, Л. М. Хидекель, И. Г. Чашник и др.) стремились внедрить принципы нового, футуристического, "жизнестроительного" искусства во все сферы бытия, оформляя город к революционным празднествам, выпуская плакаты, манифесты, брошюры. Отделения Уновиса были созданы в ряде др. городов (в т. ч. в Москве). С переездом Малевича и большинства его учеников в Петроград в 1922 традиции группы унаследовал Инхук.

ИНФЛЮЭНТА , то же, что линия влияния.