Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Страница 17

Полученные результаты используются для построения графика N = f(x) - примесного профиля. При построении профиля, как правило, используют полулогарифмический масштаб.

1.4.2 Диффузия из бесконечного источника примеси на поверхности пластины при Т=9500 С=1223 К, и времени диффузии 30 мин.=1800 с.

Коэффициент диффузии галлия в кремнии при Т=9500 С, N0=3×1019см-3.

Диффузия проходит согласно выражению (18).Дальнейший ход работы идет аналогично пункту 1.4.1. Заполняем расчетную таблицу.

Таблица 5 - Результаты расчета распределения галлия в кремнии

x,

мкм

erfc(z)

N(x),

см-3

x,

мкм

erfc(z)

N(x),

см-3

0

0

1

3×1019

0,1

2,05

0,003742

1,123×1017

0,02

0,41

0,562031

1,6861×1019

0,12

2,46

0,000503

1,5091016

0,04

0,82

0,246189

7,386×1018

0,14

2,87

0,000049

1,47×1015

0,06

1,23

0,08195

2,4585×1018

0,16

3,28

0,0000035

1,05×1014

0,08

1,64

0,020378

6,1134×1017

0,18

3,69

0,00000018

5,4×1012

Полученные результаты используются для построения графика N = f(x) - примесного профиля. При построении профиля, как правило, используют полулогарифмический масштаб.

Страницы: 13 14 15 16 17 18 19 20

КИСЕЛЕВ Юрий Петрович (1914-96) , российский режиссер, актер, народный артист СССР (1974). Сценическая деятельность с 1930. С 1943 главный режиссер Саратовского Театра юного зрителя. Государственная премия СССР (1952).

ВАНИН Василий Васильевич (1898-1951) , российский актер, режиссер, народный артист СССР (1949). На сцене с 1920. В 1924-49 в Театре им. Моссовета. Снимался в фильмах: "Ленин в Октябре", "Ленин в 1918 году", "Секретарь райкома", "Валерий Чкалов" и др. Профессор ВГИКа (с 1949). Государственная премия СССР (1943, 1946, 1949).

ЛЫСЕНКО Михаил Григорьевич (1906-72) , российский скульптор, народный художник СССР (1963), действительный член АХ СССР (1970). Монументальная и станковая скульптура, в т. ч. группы на "Холме Славы" во Львове (1947), памятник Н. А. Щорсу в Киеве (1949-54) - с коллективом авторов.