Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Страница 17

Полученные результаты используются для построения графика N = f(x) - примесного профиля. При построении профиля, как правило, используют полулогарифмический масштаб.

1.4.2 Диффузия из бесконечного источника примеси на поверхности пластины при Т=9500 С=1223 К, и времени диффузии 30 мин.=1800 с.

Коэффициент диффузии галлия в кремнии при Т=9500 С, N0=3×1019см-3.

Диффузия проходит согласно выражению (18).Дальнейший ход работы идет аналогично пункту 1.4.1. Заполняем расчетную таблицу.

Таблица 5 - Результаты расчета распределения галлия в кремнии

x,

мкм

erfc(z)

N(x),

см-3

x,

мкм

erfc(z)

N(x),

см-3

0

0

1

3×1019

0,1

2,05

0,003742

1,123×1017

0,02

0,41

0,562031

1,6861×1019

0,12

2,46

0,000503

1,5091016

0,04

0,82

0,246189

7,386×1018

0,14

2,87

0,000049

1,47×1015

0,06

1,23

0,08195

2,4585×1018

0,16

3,28

0,0000035

1,05×1014

0,08

1,64

0,020378

6,1134×1017

0,18

3,69

0,00000018

5,4×1012

Полученные результаты используются для построения графика N = f(x) - примесного профиля. При построении профиля, как правило, используют полулогарифмический масштаб.

Страницы: 13 14 15 16 17 18 19 20

ХАЛХИН-ГОЛ , река в Монголии и Китае. 233 км, площадь бассейна 17 тыс. км2. Начинается в Б. Хингане, впадает двумя рукавами в оз. Буир-Нур и р. Орчун-Гол. Средний расход воды 25 м3/с. В мае, июле и августе 1939 в районе Халхин-Гола японские войска вторгались на территорию Монголии, имевшей союзный договор с СССР, но были разгромлены советско-монгольскими войсками. Особенно крупные бои происходили в августе между 6-й японской армией и советской 1-й армейской группой (командующий - комкор Г. К. Жуков).

ДМИТРИЕВСКИЙ СОБОР во Владимире , памятник русской архитектуры. Построен в 1194-1197 и первоначально входил в комплекс княжеского дворца. Строго продуманные тектоника и пропорции одноглавого 4-столпного храма, обилие фасадных скульптурных украшений придают собору величественность и торжественную парадность.

ИВАНОВСКИЙ Евгений Филиппович (1918-91) , генерал армии (1972), Герой Советского Союза (1985). Участник Великой Отечественной войны. С 1968 командующий войсками Московского ВО, с 1972 главнокомандующий Группой советских войск в Германии, с 1980 командующий войсками Белорусского ВО. В 1985-89 главнокомандующий Сухопутными войсками - заместитель министра обороны СССР.