Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Страница 17

Полученные результаты используются для построения графика N = f(x) - примесного профиля. При построении профиля, как правило, используют полулогарифмический масштаб.

1.4.2 Диффузия из бесконечного источника примеси на поверхности пластины при Т=9500 С=1223 К, и времени диффузии 30 мин.=1800 с.

Коэффициент диффузии галлия в кремнии при Т=9500 С, N0=3×1019см-3.

Диффузия проходит согласно выражению (18).Дальнейший ход работы идет аналогично пункту 1.4.1. Заполняем расчетную таблицу.

Таблица 5 - Результаты расчета распределения галлия в кремнии

x,

мкм

erfc(z)

N(x),

см-3

x,

мкм

erfc(z)

N(x),

см-3

0

0

1

3×1019

0,1

2,05

0,003742

1,123×1017

0,02

0,41

0,562031

1,6861×1019

0,12

2,46

0,000503

1,5091016

0,04

0,82

0,246189

7,386×1018

0,14

2,87

0,000049

1,47×1015

0,06

1,23

0,08195

2,4585×1018

0,16

3,28

0,0000035

1,05×1014

0,08

1,64

0,020378

6,1134×1017

0,18

3,69

0,00000018

5,4×1012

Полученные результаты используются для построения графика N = f(x) - примесного профиля. При построении профиля, как правило, используют полулогарифмический масштаб.

Страницы: 13 14 15 16 17 18 19 20

ЦЕСИС (до 1917 официальное название Венден) , город в Латвии, на р. Гауя. Железнодорожная станция. 22 тыс. жителей (1989). Пищевая промышленность; предприятия стройматериалов и др. Исторический и художественный музей. Известен с 1206.

ПЕСТАЛОЦЦИ (Pestalozzi) Иоганн Генрих (1746-1827) , швейцарский педагог. В своей теории начального обучения связал обучение с воспитанием и развитием ребенка (развивающее обучение), педагогику с психологией. Развил идею соединения обучения с производительным трудом. Труды: "Лингард и Гертруда" (1781-87), "Как Гертруда учит своих детей" (1801), "Лебединая песня" (1826).

ЖЕМЧУЖНЫЙ ПАТ , смесь кальциевой соли гуанина, находящейся на чешуе некоторых рыб (уклейки, чехони, белоглазки), с нитроцеллюлозным лаком; густая масса серебристого цвета, похожая на перламутр. Применяется при изготовлении искусственного жемчуга, пластмасс с перламутровым отливом и т. д.