Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Страница 17

Полученные результаты используются для построения графика N = f(x) - примесного профиля. При построении профиля, как правило, используют полулогарифмический масштаб.

1.4.2 Диффузия из бесконечного источника примеси на поверхности пластины при Т=9500 С=1223 К, и времени диффузии 30 мин.=1800 с.

Коэффициент диффузии галлия в кремнии при Т=9500 С, N0=3×1019см-3.

Диффузия проходит согласно выражению (18).Дальнейший ход работы идет аналогично пункту 1.4.1. Заполняем расчетную таблицу.

Таблица 5 - Результаты расчета распределения галлия в кремнии

x,

мкм

erfc(z)

N(x),

см-3

x,

мкм

erfc(z)

N(x),

см-3

0

0

1

3×1019

0,1

2,05

0,003742

1,123×1017

0,02

0,41

0,562031

1,6861×1019

0,12

2,46

0,000503

1,5091016

0,04

0,82

0,246189

7,386×1018

0,14

2,87

0,000049

1,47×1015

0,06

1,23

0,08195

2,4585×1018

0,16

3,28

0,0000035

1,05×1014

0,08

1,64

0,020378

6,1134×1017

0,18

3,69

0,00000018

5,4×1012

Полученные результаты используются для построения графика N = f(x) - примесного профиля. При построении профиля, как правило, используют полулогарифмический масштаб.

Страницы: 13 14 15 16 17 18 19 20

ПРАГА (Praha) , столица Чехии, административный центр Среднечешской обл. Расположена на р. Влтава. 1,2 млн. жителей (1991). Важный транспортный, промышленный и культурный центр страны. Международный аэропорт. Машиностроение (станкостроение, транспортное, электротехническое и др.), химическая, текстильная, швейная, полиграфическая, пищевая промышленность. Метрополитен. Карлов университет, Университет им. 17 ноября, Высшее техническое училище и многие др. Академии: наук, изящных искусств, изобразительных искусств, библиотеки, Национальный и другие театры. Национальная галерея, Национальный музей, Художественно-промышленный музей и др. Территория Праги заселена с 4-го тыс. до н. э. В 5 в. до н. э. население - бойи, в 6 в. н. э. - славяне. С 10 в. столица Чешского государства. В 973 основное епископство (с 1344 архиепископство). С 1918 столица Чехословацкой республики. В марте 1939 оккупирована немецко-фашистскими войсками. 9 мая 1945 освобождена Советской Армией. Историческое ядро города - Пражский Град с готическим собором св. Вита (14-20 вв.) и королевским дворцом (12-18 вв.). Дворец Бельведер в стиле ренессанса (16 в.). Многочисленные постройки в стилях готики и барокко. Постройки кон. 19 в. в духе эклектики (Национальный музей, Национальный театр). Современные общественные здания (Политехнический институт и др.).

ЖАРГОН (франц . jargon), социальная разновидность речи, отличающаяся от общенародного языка специфической лексикой и фразеологией (ср. Арго). Иногда термин "жаргон" применяется для обозначения искаженной, неправильной речи.

ФУКУОКА , город в Японии, на о. Кюсю, административный центр префектуры Фукуока. Св. 1,3 млн. жителей (1992). Порт в зал. Хаката. Международный аэропорт. Химическая, машиностроительная, текстильная и др. промышленность. Производство национальных художественных изделий (игрушки, ткани). Университеты.