Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легированииСтраница 17
Полученные результаты используются для построения графика N = f(x) - примесного профиля. При построении профиля, как правило, используют полулогарифмический масштаб.
1.4.2 Диффузия из бесконечного источника примеси на поверхности пластины при Т=9500 С=1223 К, и времени диффузии 30 мин.=1800 с.
Коэффициент диффузии галлия в кремнии при Т=9500 С, N0=3×1019см-3.
Диффузия проходит согласно выражению (18).Дальнейший ход работы идет аналогично пункту 1.4.1. Заполняем расчетную таблицу.
Таблица 5 - Результаты расчета распределения галлия в кремнии
|
x, мкм |
|
erfc(z) |
N(x), см-3 |
x, мкм |
|
erfc(z) |
N(x), см-3 |
|
0 |
0 |
1 |
3×1019 |
0,1 |
2,05 |
0,003742 |
1,123×1017 |
|
0,02 |
0,41 |
0,562031 |
1,6861×1019 |
0,12 |
2,46 |
0,000503 |
1,5091016 |
|
0,04 |
0,82 |
0,246189 |
7,386×1018 |
0,14 |
2,87 |
0,000049 |
1,47×1015 |
|
0,06 |
1,23 |
0,08195 |
2,4585×1018 |
0,16 |
3,28 |
0,0000035 |
1,05×1014 |
|
0,08 |
1,64 |
0,020378 |
6,1134×1017 |
0,18 |
3,69 |
0,00000018 |
5,4×1012 |
Полученные результаты используются для построения графика N = f(x) - примесного профиля. При построении профиля, как правило, используют полулогарифмический масштаб.
 |
САД (Sade) Донасьен Альфонс Франсуа де (1740-1814) , маркиз, французский писатель. В 1772 заключен в тюрьму по обвинению в разврате. Освобожденный в 1790, во время Великой французской революции, напечатал написанные в тюрьме романы "Жюстина, или Злоключения добродетели" (1791, 1794). "Новая Жюстина..." (1797), книгу "Философия в будуаре" (1795) (все в 1801 конфискованы); книгу "Сто двадцать дней Содома" (опубликована в 1931-35). В произведениях Сада патологическая эротика, инцест неотделимы от насилия и жестокости (отсюда садизм); сочинения Сада переполнены описанием пыток, убийств, богохульств. Созданные в стиле жизненного правдоподобия, романы Сада по существу абсолютно фантастичны, носят черты утопии. Снимая все моральные, культурные, социальные нормы и запреты, Сад превращает человека в чисто "природное" существо, в биологический механизм. С 1803 пожизненно в лечебнице для душевнобольных.
ЮРСКИЙ Сергей Юрьевич (р . 1935), российский актер, режиссер, народный артист России (1987). С 1957 в Ленинградском Большом драматическом театре, с 1979 в Московском театре им. Моссовета. В 1992 организовал в Москве "АРТель АРТистов Сергея Юрского". Среди ролей: Чацкий ("Горе от ума" А. С. Грибоедова, 1962), Осип ("Ревизор" Н. В. Гоголя, 1972), Тесман ("Гедда Габлер" Г. Ибсена, 1983) и др. Снимался в фильмах "Время, вперед!" (1966), "Золотой теленок" (1968), телефильме "Место встречи изменить нельзя" (1979) и др. Поставил спектакли "Правда - хорошо, а счастье лучше" А. Н. Островского (1980, сыграл Грознова), "Игроки-ХХI" по Н. В. Гоголю (1992, МХАТ им. А. П. Чехова и "АРТель АРТистов Сергея Юрского") и др.; поставил фильм "Чернов, Chernov" (1990).
КАЗЫР , река в горах Юж. Сибири, одна из составляющих р. Туба (бассейн Енисея). 388 км, площадь бассейна 20,9 тыс. км2. Порожиста. Средний расход воды ок. 570 м3/с. Судоходна в половодье (97 км).