Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Страница 17

Полученные результаты используются для построения графика N = f(x) - примесного профиля. При построении профиля, как правило, используют полулогарифмический масштаб.

1.4.2 Диффузия из бесконечного источника примеси на поверхности пластины при Т=9500 С=1223 К, и времени диффузии 30 мин.=1800 с.

Коэффициент диффузии галлия в кремнии при Т=9500 С, N0=3×1019см-3.

Диффузия проходит согласно выражению (18).Дальнейший ход работы идет аналогично пункту 1.4.1. Заполняем расчетную таблицу.

Таблица 5 - Результаты расчета распределения галлия в кремнии

x,

мкм

erfc(z)

N(x),

см-3

x,

мкм

erfc(z)

N(x),

см-3

0

0

1

3×1019

0,1

2,05

0,003742

1,123×1017

0,02

0,41

0,562031

1,6861×1019

0,12

2,46

0,000503

1,5091016

0,04

0,82

0,246189

7,386×1018

0,14

2,87

0,000049

1,47×1015

0,06

1,23

0,08195

2,4585×1018

0,16

3,28

0,0000035

1,05×1014

0,08

1,64

0,020378

6,1134×1017

0,18

3,69

0,00000018

5,4×1012

Полученные результаты используются для построения графика N = f(x) - примесного профиля. При построении профиля, как правило, используют полулогарифмический масштаб.

Страницы: 13 14 15 16 17 18 19 20

АСУАН (древнее название Сиене , Сиена), город в Египте, порт на р. Нил, адм. ц. мухафазы Асуан. Железнодорожная станция. 196 тыс. жителей (1986). Химическая, текстильная, металлургическая промышленность. Близ Асуана плотины - старая и новая высотная Асуанская (построена с помощью СССР). 2 ГЭС. Центр туризма и паломничества мусульман - исмаилитов. Климатический курорт. Добыча железной руды и строительного камня-сиенита.

ЯРОВ Юрий Федорович (р . 1942), российский государственный деятель, заместитель председателя правительства Российской Федерации с декабря 1992. С 1964 на инженерно-технической работе. С 1978 директор электромеханического завода "Буревестник" (Гатчина). С 1985 1-й секретарь Гатчинского горкома КПСС. В 1987-91 заместитель председателя исполкома, председатель Ленинградского облсовета. В 1991-92 заместитель председателя ВС Российской Федерации.

БОБРИЩЕВЫ-ПУШКИНЫ , декабристы, члены Южного общества, поручики, братья: 1) Николай Сергеевич (1800-71), осужден на вечное поселение, в 1827-56 в Среднеколымске, Туруханске...2) Павел Сергеевич (1802-65), осужден на 12 лет каторги, с 1827 в Нерчинских рудниках, в 1832-56 на поселении в Красноярске, Тобольске.