Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Страница 17

Полученные результаты используются для построения графика N = f(x) - примесного профиля. При построении профиля, как правило, используют полулогарифмический масштаб.

1.4.2 Диффузия из бесконечного источника примеси на поверхности пластины при Т=9500 С=1223 К, и времени диффузии 30 мин.=1800 с.

Коэффициент диффузии галлия в кремнии при Т=9500 С, N0=3×1019см-3.

Диффузия проходит согласно выражению (18).Дальнейший ход работы идет аналогично пункту 1.4.1. Заполняем расчетную таблицу.

Таблица 5 - Результаты расчета распределения галлия в кремнии

x,

мкм

erfc(z)

N(x),

см-3

x,

мкм

erfc(z)

N(x),

см-3

0

0

1

3×1019

0,1

2,05

0,003742

1,123×1017

0,02

0,41

0,562031

1,6861×1019

0,12

2,46

0,000503

1,5091016

0,04

0,82

0,246189

7,386×1018

0,14

2,87

0,000049

1,47×1015

0,06

1,23

0,08195

2,4585×1018

0,16

3,28

0,0000035

1,05×1014

0,08

1,64

0,020378

6,1134×1017

0,18

3,69

0,00000018

5,4×1012

Полученные результаты используются для построения графика N = f(x) - примесного профиля. При построении профиля, как правило, используют полулогарифмический масштаб.

Страницы: 13 14 15 16 17 18 19 20

ВИНОГРАДОВ Олег Михайлович (р . 1937), российский балетмейстер, художник, народный артист СССР (1983). В 1973-77 главный балетмейстер Ленинградского Малого оперного театра. В 1967-72 балетмейстер, с 1977 главный балетмейстер Мариинского театра. Постановки: "Ромео и Джульетта" С. С. Прокофьева, "Лиза и Колен, или Тщетная предосторожность" П. Л. Гертеля, "Коппелия" Л. Делиба, "Ярославна" Б. И. Тищенко, "Ревизор" А. В. Чайковского и др.

СКОБЕЛЬЦЫН Дмитрий Владимирович (1892-1990) , российский физик, основатель отечественной школы по физике атомного ядра и космических лучей, академик АН СССР (1946), Герой Социалистического Труда (1969). Директор Физического института АН СССР (1951-73). Обнаружил в космических лучах заряженные частицы и их ливни, заложив этим основы физики высоких энергий. Открыл электронноядерные ливни и ядерный каскадный процесс. Исследовал эффект Комптона. Ленинская премия (1982), Государственная премия СССР (1951).

МЕЖДУНАРОДНАЯ ОРГАНИЗАЦИЯ ТРУДА (МОТ) , специализированное учреждение ООН. Создана в 1919 при Лиге Наций как Международная комиссия для выработки конвенций и рекомендаций по вопросам трудового законодательства и улучшения условий труда. В 1990 членами были 150 государств. Нобелевская премия мира (1969). Местопребывание - Женева.