Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Страница 17

Полученные результаты используются для построения графика N = f(x) - примесного профиля. При построении профиля, как правило, используют полулогарифмический масштаб.

1.4.2 Диффузия из бесконечного источника примеси на поверхности пластины при Т=9500 С=1223 К, и времени диффузии 30 мин.=1800 с.

Коэффициент диффузии галлия в кремнии при Т=9500 С, N0=3×1019см-3.

Диффузия проходит согласно выражению (18).Дальнейший ход работы идет аналогично пункту 1.4.1. Заполняем расчетную таблицу.

Таблица 5 - Результаты расчета распределения галлия в кремнии

x,

мкм

erfc(z)

N(x),

см-3

x,

мкм

erfc(z)

N(x),

см-3

0

0

1

3×1019

0,1

2,05

0,003742

1,123×1017

0,02

0,41

0,562031

1,6861×1019

0,12

2,46

0,000503

1,5091016

0,04

0,82

0,246189

7,386×1018

0,14

2,87

0,000049

1,47×1015

0,06

1,23

0,08195

2,4585×1018

0,16

3,28

0,0000035

1,05×1014

0,08

1,64

0,020378

6,1134×1017

0,18

3,69

0,00000018

5,4×1012

Полученные результаты используются для построения графика N = f(x) - примесного профиля. При построении профиля, как правило, используют полулогарифмический масштаб.

Страницы: 13 14 15 16 17 18 19 20

ЛИВР (франц . livre, от лат. libra - римский фунт), 1) денежная единица Франции до введения в 1799 франка. Ливр обращался также в других странах, в т. ч. в Великобритании. 2) Мера массы во Франции до введения метрической системы (1 ливр - 489,5 г).

"ЗАРЯ" , парусно-моторная шхуна русской арктической экспедиции Э. В. Толля (1900-02) в районе Новосибирских о-вов. В сентябре 1902 выброшена на мель и оставлена участниками экспедиции.

ОКТЯБРЬСКИЕ СОБЫТИЯ 1993 (21 сент . - 4 окт.), явились следствием противостояния законодательной и исполнительной ветвей власти Российской Федерации. В условиях, когда "брежневская", подправленная Съездом народных депутатов российская конституция стала объективным тормозом в проведении реформ, а работа над новой велась слишком медленно и неэффективно, президент Б. Н. Ельцин издал указ "О поэтапной конституционной реформе в Российской Федерации", в соответствии с которым Верховный Совет и Съезд народных депутатов прекращали свою деятельность. Конституционный суд РФ пришел к заключению о несоответствии данного указа российской Конституции, однако Ельцин его не отменил. Верховный Совет, находившийся в Белом доме, отказался подчиниться указу президента, квалифицировав его действия как государственный переворот. Оборону Белого дома возглавили вице-президент А. В. Руцкой и председатель Верховного Совета Р. И. Хасбулатов. Попытки преодолеть кризис путем переговоров оказались безуспешными. Затянувшийся конфликт привел к блокаде Белого дома милицией. Защитники Белого дома предприняли штурм мэрии, пытались с помощью оружия овладеть Центральным телевидением в Останкине и штабом объединенных Вооруженных сил СНГ. 4 октября в результате осады и танкового обстрела Белый дом пал. В ходе событий погибло (по неполным данным) около 150 человек. В итоге событий система советов перестала существовать. В 1994 арестованные участники этих драматических событий были амнистированы Государственной думой Российской Федерации.