Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легированииСтраница 17
Полученные результаты используются для построения графика N = f(x) - примесного профиля. При построении профиля, как правило, используют полулогарифмический масштаб.
1.4.2 Диффузия из бесконечного источника примеси на поверхности пластины при Т=9500 С=1223 К, и времени диффузии 30 мин.=1800 с.
Коэффициент диффузии галлия в кремнии при Т=9500 С, N0=3×1019см-3.
Диффузия проходит согласно выражению (18).Дальнейший ход работы идет аналогично пункту 1.4.1. Заполняем расчетную таблицу.
Таблица 5 - Результаты расчета распределения галлия в кремнии
|
x, мкм |
|
erfc(z) |
N(x), см-3 |
x, мкм |
|
erfc(z) |
N(x), см-3 |
|
0 |
0 |
1 |
3×1019 |
0,1 |
2,05 |
0,003742 |
1,123×1017 |
|
0,02 |
0,41 |
0,562031 |
1,6861×1019 |
0,12 |
2,46 |
0,000503 |
1,5091016 |
|
0,04 |
0,82 |
0,246189 |
7,386×1018 |
0,14 |
2,87 |
0,000049 |
1,47×1015 |
|
0,06 |
1,23 |
0,08195 |
2,4585×1018 |
0,16 |
3,28 |
0,0000035 |
1,05×1014 |
|
0,08 |
1,64 |
0,020378 |
6,1134×1017 |
0,18 |
3,69 |
0,00000018 |
5,4×1012 |
Полученные результаты используются для построения графика N = f(x) - примесного профиля. При построении профиля, как правило, используют полулогарифмический масштаб.
 |
КАСТОРОВОЕ МАСЛО , растительное жирное масло, получаемое из семян клещевины. Основа мазей и кремов; смазочный материал; в медицине - слабительное средство.
ЕРМАК , город (с 1961) в Казахстане, Павлодарская обл., на р. Иртыш. 48,4 тыс. жителей (1991). ГРЭС. Заводы: ферросплавов, металлоконструкций и др. Близ Ермака начинается канал Иртыш - Караганда. Название по имени Ермака.
ГАВАНА (La Habana) , столица Кубы, административный центр пров. Гавана. Имеет статус самостоятельной провинции. Город Гавана (Ciudad de la Habana). 2,1 млн. жителей (1989). Главный порт страны (св. 3/5 импорта, ок. 1/4 экспорта). Международный аэропорт Хосе Марти. Металлургический комбинат, машиностроение, нефтеперерабатывающая, химическая, фармацевтическая, пищевкусовая, текстильная, кожевенно-обувная, полиграфическая промышленность. Университет. Академия наук. Гавана основана в 1515. С кон. 16 в. административный центр испанской колонии на о. Куба. В 1762-63 оккупирована Великобританией, во время испано-американской войны 1898 - США. С 1902 столица Республики Куба. Национальный музей, Дом-музей Э. Хемингуэя и др. Архитектурные памятники 16-18 вв., в т. ч. кафедральная площадь с собором 18 в.