Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Страница 17

Полученные результаты используются для построения графика N = f(x) - примесного профиля. При построении профиля, как правило, используют полулогарифмический масштаб.

1.4.2 Диффузия из бесконечного источника примеси на поверхности пластины при Т=9500 С=1223 К, и времени диффузии 30 мин.=1800 с.

Коэффициент диффузии галлия в кремнии при Т=9500 С, N0=3×1019см-3.

Диффузия проходит согласно выражению (18).Дальнейший ход работы идет аналогично пункту 1.4.1. Заполняем расчетную таблицу.

Таблица 5 - Результаты расчета распределения галлия в кремнии

x,

мкм

erfc(z)

N(x),

см-3

x,

мкм

erfc(z)

N(x),

см-3

0

0

1

3×1019

0,1

2,05

0,003742

1,123×1017

0,02

0,41

0,562031

1,6861×1019

0,12

2,46

0,000503

1,5091016

0,04

0,82

0,246189

7,386×1018

0,14

2,87

0,000049

1,47×1015

0,06

1,23

0,08195

2,4585×1018

0,16

3,28

0,0000035

1,05×1014

0,08

1,64

0,020378

6,1134×1017

0,18

3,69

0,00000018

5,4×1012

Полученные результаты используются для построения графика N = f(x) - примесного профиля. При построении профиля, как правило, используют полулогарифмический масштаб.

Страницы: 13 14 15 16 17 18 19 20

УТРЕХТ (Utrecht) , город в Нидерландах, административный центр пров. Утрехт. 234 тыс. жителей (1993). Порт на Рейне. Машиностроение, химическая, табачная, текстильная (с 11 в.) промышленность. Международные ярмарки. Университет (с 17 в.). Центральный музей. Базилика Синт-Питерскерк (11-14 вв.), собор (Домкерк, 11-16 вв.), ратуша (19 в.), многочисленные церкви и монастыри 11-16 вв.; жилые дома 14-16 вв.

ЧЕХОВО , климатокумысолечебный курорт в Башкирии, к юго-западу от Уфы.

НИТРОГЛИЦЕРИН , полный эфир глицерина и азотной кислоты. Слегка желтая густая жидкость. Температура замерзания 13,5 °С. Чувствителен к удару, трению, огню. Токсичен. Теплота взрыва 6,3 МДж/кг. Применяется в нитроглицериновых взрывчатых веществах и бездымных порохах. В медицине - сосудорасширяющее средство (улучшает коронарное кровообращение), используется в растворе или в таблетках под язык при приступах стенокардии. Для профилактики приступов стенокардии применяют специальные лекарственные формы нитроглицерина (напр., препарат "Сустак").