Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Страница 17

Полученные результаты используются для построения графика N = f(x) - примесного профиля. При построении профиля, как правило, используют полулогарифмический масштаб.

1.4.2 Диффузия из бесконечного источника примеси на поверхности пластины при Т=9500 С=1223 К, и времени диффузии 30 мин.=1800 с.

Коэффициент диффузии галлия в кремнии при Т=9500 С, N0=3×1019см-3.

Диффузия проходит согласно выражению (18).Дальнейший ход работы идет аналогично пункту 1.4.1. Заполняем расчетную таблицу.

Таблица 5 - Результаты расчета распределения галлия в кремнии

x,

мкм

erfc(z)

N(x),

см-3

x,

мкм

erfc(z)

N(x),

см-3

0

0

1

3×1019

0,1

2,05

0,003742

1,123×1017

0,02

0,41

0,562031

1,6861×1019

0,12

2,46

0,000503

1,5091016

0,04

0,82

0,246189

7,386×1018

0,14

2,87

0,000049

1,47×1015

0,06

1,23

0,08195

2,4585×1018

0,16

3,28

0,0000035

1,05×1014

0,08

1,64

0,020378

6,1134×1017

0,18

3,69

0,00000018

5,4×1012

Полученные результаты используются для построения графика N = f(x) - примесного профиля. При построении профиля, как правило, используют полулогарифмический масштаб.

Страницы: 13 14 15 16 17 18 19 20

ЧАРОИТ , минерал подкласса цепочечных силикатов. Волокнистые массы и длинностолбчатые агрегаты красивого фиолетового цвета. Твердость 5,5; плотность 2,5-2,6 г/см3. Образуется в щелочных сиенитах. Ценный поделочный камень. Единственное месторождение - на р. Чара.

ЙОРК , город на северо-востоке США, шт. Пенсильвания. 45 тыс. жителей, с пригородами 410 тыс. жителей (1988). Машиностроение и металлообработка, табачная и текстильная промышленность.

ТОРГОВАЯ КАЗНЬ , в России с 15 в. битье кнутом по приговору суда на торгу, площади. До 1817 сопровождалась вырыванием ноздрей и клеймением. Отменена в 1845.