Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Страница 17

Полученные результаты используются для построения графика N = f(x) - примесного профиля. При построении профиля, как правило, используют полулогарифмический масштаб.

1.4.2 Диффузия из бесконечного источника примеси на поверхности пластины при Т=9500 С=1223 К, и времени диффузии 30 мин.=1800 с.

Коэффициент диффузии галлия в кремнии при Т=9500 С, N0=3×1019см-3.

Диффузия проходит согласно выражению (18).Дальнейший ход работы идет аналогично пункту 1.4.1. Заполняем расчетную таблицу.

Таблица 5 - Результаты расчета распределения галлия в кремнии

x,

мкм

erfc(z)

N(x),

см-3

x,

мкм

erfc(z)

N(x),

см-3

0

0

1

3×1019

0,1

2,05

0,003742

1,123×1017

0,02

0,41

0,562031

1,6861×1019

0,12

2,46

0,000503

1,5091016

0,04

0,82

0,246189

7,386×1018

0,14

2,87

0,000049

1,47×1015

0,06

1,23

0,08195

2,4585×1018

0,16

3,28

0,0000035

1,05×1014

0,08

1,64

0,020378

6,1134×1017

0,18

3,69

0,00000018

5,4×1012

Полученные результаты используются для построения графика N = f(x) - примесного профиля. При построении профиля, как правило, используют полулогарифмический масштаб.

Страницы: 13 14 15 16 17 18 19 20

ЯКОВЛЕВ Александр Евгеньевич (1887-1938) , российский и французский художник. Работал в Петербурге, завоевав известность как мастер живописи и графики в духе "нового классицизма". В 1917 покинул Россию и работал главным образом во Франции, подолгу путешествуя по странам Азии и Африки. В своих путевых зарисовках, картинах сочетал детальную наблюдательность с декоративным изяществом, непринужденной элегантностью манеры.

АНТИСЕЙСМИЧЕСКОЕ СТРОИТЕЛЬСТВО , возведение зданий и сооружений с учетом возможного воздействия на них сейсмических (инерционных) сил. Осуществляется в районах, подверженных землетрясениям силой 7-9 баллов. Сейсмостойкость сооружений обеспечивается специальными конструктивными мероприятиями, повышающими прочность и монолитность несущих конструкций (напр., использование для многоэтажных зданий каркасных конструкций из стали и железобетона, с монолитными железобетонными стенами), и др. Большое значение в антисейсмическом строительстве имеет высокое качество строительных материалов и работ.

ЭХАЛИЯ , область в Греции (Пелопоннес) с городом того же названия. Город был разрушен Гераклом во время правления царя Эврита.