Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Страница 17

Полученные результаты используются для построения графика N = f(x) - примесного профиля. При построении профиля, как правило, используют полулогарифмический масштаб.

1.4.2 Диффузия из бесконечного источника примеси на поверхности пластины при Т=9500 С=1223 К, и времени диффузии 30 мин.=1800 с.

Коэффициент диффузии галлия в кремнии при Т=9500 С, N0=3×1019см-3.

Диффузия проходит согласно выражению (18).Дальнейший ход работы идет аналогично пункту 1.4.1. Заполняем расчетную таблицу.

Таблица 5 - Результаты расчета распределения галлия в кремнии

x,

мкм

erfc(z)

N(x),

см-3

x,

мкм

erfc(z)

N(x),

см-3

0

0

1

3×1019

0,1

2,05

0,003742

1,123×1017

0,02

0,41

0,562031

1,6861×1019

0,12

2,46

0,000503

1,5091016

0,04

0,82

0,246189

7,386×1018

0,14

2,87

0,000049

1,47×1015

0,06

1,23

0,08195

2,4585×1018

0,16

3,28

0,0000035

1,05×1014

0,08

1,64

0,020378

6,1134×1017

0,18

3,69

0,00000018

5,4×1012

Полученные результаты используются для построения графика N = f(x) - примесного профиля. При построении профиля, как правило, используют полулогарифмический масштаб.

Страницы: 13 14 15 16 17 18 19 20

ФЕРРОДИНАМИЧЕСКИЙ ПРИБОР , для измерения силы тока, напряжения, мощности в цепях переменного (реже постоянного) тока, основан на взаимодействии магнитных полей двух (или более) катушек с током - подвижной и неподвижной, размещаемой на ферромагнитном сердечнике.

ЖЕЛЕЗНЫЙ КУПОРОС , см. в ст. Железа сульфаты.

НОВАЯ ЭКОНОМИЧЕСКАЯ ПОЛИТИКА (нэп) , принята весной 1921 10-м съездом РКП(б); сменила политику "военного коммунизма". Была рассчитана на восстановление народного хозяйства и последующий переход к социализму. Главное содержание: замена продразверстки продналогом в деревне; использование рынка, различных форм собственности. Привлекался иностранный капитал (концессии), проведена денежная реформа (1922-24), приведшая к превращению рубля в конвертируемую валюту. Быстро привела к восстановлению разрушенного войной народного хозяйства. С сер. 20-х гг. начались первые попытки свертывания нэпа. Ликвидировались синдикаты в промышленности, из которой административно вытеснялся частный капитал, создавалась жесткая централизованная система управления экономикой (хозяйственные наркоматы). И. В. Сталин и его окружение взяли курс на принудительное изъятие хлеба и насильственную "коллективизацию" деревни. Проводились репрессии против управленческих кадров (Шахтинское дело, процесс Промпартии и др.). К нач. 30-х гг. нэп фактически свернут.