Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легированииСтраница 17
Полученные результаты используются для построения графика N = f(x) - примесного профиля. При построении профиля, как правило, используют полулогарифмический масштаб.
1.4.2 Диффузия из бесконечного источника примеси на поверхности пластины при Т=9500 С=1223 К, и времени диффузии 30 мин.=1800 с.
Коэффициент диффузии галлия в кремнии при Т=9500 С, N0=3×1019см-3.
Диффузия проходит согласно выражению (18).Дальнейший ход работы идет аналогично пункту 1.4.1. Заполняем расчетную таблицу.
Таблица 5 - Результаты расчета распределения галлия в кремнии
|
x, мкм |
|
erfc(z) |
N(x), см-3 |
x, мкм |
|
erfc(z) |
N(x), см-3 |
|
0 |
0 |
1 |
3×1019 |
0,1 |
2,05 |
0,003742 |
1,123×1017 |
|
0,02 |
0,41 |
0,562031 |
1,6861×1019 |
0,12 |
2,46 |
0,000503 |
1,5091016 |
|
0,04 |
0,82 |
0,246189 |
7,386×1018 |
0,14 |
2,87 |
0,000049 |
1,47×1015 |
|
0,06 |
1,23 |
0,08195 |
2,4585×1018 |
0,16 |
3,28 |
0,0000035 |
1,05×1014 |
|
0,08 |
1,64 |
0,020378 |
6,1134×1017 |
0,18 |
3,69 |
0,00000018 |
5,4×1012 |
Полученные результаты используются для построения графика N = f(x) - примесного профиля. При построении профиля, как правило, используют полулогарифмический масштаб.
 |
ЩЕЛЕВАЯ АНТЕННА , металлический радиоволновод, жесткая коаксиальная линия, объемный резонатор или плоский металлический лист (экран), в проводящей поверхности которых прорезаны отверстия (щели), служащие для излучения или приема радиоволн. Используется преимущественно в диапазоне СВЧ, напр. на летательных аппаратах.
ИТАЛЬЯНСКИЙ КОММЕРЧЕСКИЙ БАНК (Banca Commerciale Italiana) , акционерный коммерческий банк Италии (90% капитала принадлежит государству). Основан в 1894. Правление в Милане. Более 400 отделений и агентств в стране, 24 представительства (в т. ч. в Москве), 9 отделений и 33 дочерних банка за рубежом. Сумма баланса, собственный капитал, прибыль [млрд. лир (млрд. дол. США)]: 81874 (66,46); 4344 (35); 373 (0,3) (кон. 1980-х гг.).
ЩУКИН Александр Николаевич (1900-90) , российский радиотехник, академик АН СССР (1953), генерал-лейтенант-инженер (1971), дважды Герой Социалистического Труда (1956, 1975). Труды по распространению коротких волн, теории и методам расчета дальней коротковолновой связи и др. Ленинская премия (1957), Государственная премия СССР (1953).