Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Страница 17

Полученные результаты используются для построения графика N = f(x) - примесного профиля. При построении профиля, как правило, используют полулогарифмический масштаб.

1.4.2 Диффузия из бесконечного источника примеси на поверхности пластины при Т=9500 С=1223 К, и времени диффузии 30 мин.=1800 с.

Коэффициент диффузии галлия в кремнии при Т=9500 С, N0=3×1019см-3.

Диффузия проходит согласно выражению (18).Дальнейший ход работы идет аналогично пункту 1.4.1. Заполняем расчетную таблицу.

Таблица 5 - Результаты расчета распределения галлия в кремнии

x,

мкм

erfc(z)

N(x),

см-3

x,

мкм

erfc(z)

N(x),

см-3

0

0

1

3×1019

0,1

2,05

0,003742

1,123×1017

0,02

0,41

0,562031

1,6861×1019

0,12

2,46

0,000503

1,5091016

0,04

0,82

0,246189

7,386×1018

0,14

2,87

0,000049

1,47×1015

0,06

1,23

0,08195

2,4585×1018

0,16

3,28

0,0000035

1,05×1014

0,08

1,64

0,020378

6,1134×1017

0,18

3,69

0,00000018

5,4×1012

Полученные результаты используются для построения графика N = f(x) - примесного профиля. При построении профиля, как правило, используют полулогарифмический масштаб.

Страницы: 13 14 15 16 17 18 19 20

ЦЫБИН Павел Владимирович (р . 1905), конструктор авиационной и ракетно-космической техники. В 1940-48 главный конструктор ряда авиационных заводов. Создатель т. н. "летающих лабораторий" ЛЛ-1 и ЛЛ-2 для исследования аэродинамики самолетов на трансзвуковых скоростях, разрабатывал конструкцию сверхзвукового дальнего бомбардировщика. С 1961 заместитель С. П. Королева.

БЕЛГАОН (Белгаум) , город на юге Индии, шт. Карнатака. 326 тыс. жителей (1991). Пищевая, хлопчатобумажная, химическая промышленность. Выплавка алюминия.

БИРОН Эрнст Иоганн (1690-1772) , граф, фаворит императрицы Анны Ивановны, обер-камергер ее двора; герцог Курляндский (с 1737). В 1730-40 пользовался неограниченным доверием императрицы Анны Ивановны. Проводимая Бироном политика привела к засилью иностранцев, разграблению богатств страны, жестокому преследованию недовольных и т. д. После дворцового переворота 1740 арестован и сослан. В 1761 помилован императором Петром III.