Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Страница 17

Полученные результаты используются для построения графика N = f(x) - примесного профиля. При построении профиля, как правило, используют полулогарифмический масштаб.

1.4.2 Диффузия из бесконечного источника примеси на поверхности пластины при Т=9500 С=1223 К, и времени диффузии 30 мин.=1800 с.

Коэффициент диффузии галлия в кремнии при Т=9500 С, N0=3×1019см-3.

Диффузия проходит согласно выражению (18).Дальнейший ход работы идет аналогично пункту 1.4.1. Заполняем расчетную таблицу.

Таблица 5 - Результаты расчета распределения галлия в кремнии

x,

мкм

erfc(z)

N(x),

см-3

x,

мкм

erfc(z)

N(x),

см-3

0

0

1

3×1019

0,1

2,05

0,003742

1,123×1017

0,02

0,41

0,562031

1,6861×1019

0,12

2,46

0,000503

1,5091016

0,04

0,82

0,246189

7,386×1018

0,14

2,87

0,000049

1,47×1015

0,06

1,23

0,08195

2,4585×1018

0,16

3,28

0,0000035

1,05×1014

0,08

1,64

0,020378

6,1134×1017

0,18

3,69

0,00000018

5,4×1012

Полученные результаты используются для построения графика N = f(x) - примесного профиля. При построении профиля, как правило, используют полулогарифмический масштаб.

Страницы: 13 14 15 16 17 18 19 20

ИНВАР (от лат . invariabilis - неизменный), магнитный сплав Fe (основа) с Ni (36%), обладающий малым температурным коэффициентом линейного расширения. Выпускается также суперинвар (64% Fe, 32%Ni, 4% Co) и нержавеющий инвар (54% Co, 37% Fe, 9% Cr). Из инвара изготовляют главным образом детали измерительных приборов очень высокой точности.

НЕЗНАНСКИЙ Фридрих Евсеевич (р . 1932), русский писатель. С 1977 в эмиграции в США, затем в Германии. Наиболее известны его остросюжетные романы "Журналист для Брежнева, или Смертельные игры" (1981) и "Красная площадь" (1983; оба совместно с Э. Х. Тополем), а также "Ярмарка в Сокольниках" (1984). Книги: "Операция "Фауст" (1986), "Записки следователя, или Земля преступления" (1989), "Ящик Пандоры. Август в Москве" (1991) и др.

ЕДИНАЯ ЭЛЕКТРОЭНЕРГЕТИЧЕСКАЯ СИСТЕМА (ЕЭЭС) , совокупность нескольких электроэнергетических систем, объединенных линиями электропередачи высокого напряжения и обеспечивающих энергоснабжение обширных территорий в пределах одной, а иногда и нескольких стран. ЕЭЭС Российской Федерации, Украины, Молдавии, Грузии, Армении, Латвии, Литвы, Эстонии и Казахстана включает 9 объединенных энергосистем: Северо-Запада, Центра, Ср. Волги, Юга, Сев. Кавказа, Закавказья, Урала, Казахстана и Сибири; объединяет (1992) св. 900 электростанций общей мощностью ок. 280 ГВт; работает совместно с электроэнергетическими системами стран Вост. Европы: Болгарии, Венгрии, Польши, Румынии, Словакии, Чехии, восточной части Германии.