Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легированииСтраница 17
Полученные результаты используются для построения графика N = f(x) - примесного профиля. При построении профиля, как правило, используют полулогарифмический масштаб.
1.4.2 Диффузия из бесконечного источника примеси на поверхности пластины при Т=9500 С=1223 К, и времени диффузии 30 мин.=1800 с.
Коэффициент диффузии галлия в кремнии при Т=9500 С, N0=3×1019см-3.
Диффузия проходит согласно выражению (18).Дальнейший ход работы идет аналогично пункту 1.4.1. Заполняем расчетную таблицу.
Таблица 5 - Результаты расчета распределения галлия в кремнии
|
x, мкм |
|
erfc(z) |
N(x), см-3 |
x, мкм |
|
erfc(z) |
N(x), см-3 |
|
0 |
0 |
1 |
3×1019 |
0,1 |
2,05 |
0,003742 |
1,123×1017 |
|
0,02 |
0,41 |
0,562031 |
1,6861×1019 |
0,12 |
2,46 |
0,000503 |
1,5091016 |
|
0,04 |
0,82 |
0,246189 |
7,386×1018 |
0,14 |
2,87 |
0,000049 |
1,47×1015 |
|
0,06 |
1,23 |
0,08195 |
2,4585×1018 |
0,16 |
3,28 |
0,0000035 |
1,05×1014 |
|
0,08 |
1,64 |
0,020378 |
6,1134×1017 |
0,18 |
3,69 |
0,00000018 |
5,4×1012 |
Полученные результаты используются для построения графика N = f(x) - примесного профиля. При построении профиля, как правило, используют полулогарифмический масштаб.
 |
ЕВПАТИЙ КОЛОВРАТ , полулегендарный богатырь, рязанский боярин. Зимой 1237/38 с "полком" в 1700 человек нанес поражение монголо-татарам во Владимиро-Суздальской земле. Убит в бою. Его подвиги описаны в "Повести о разорении Рязани Батыем".
ЧУМАКОВ Михаил Петрович (1909-93) , российский вирусолог, академик АМН (1960), Герой Социалистического Труда (1984). Основатель и первый директор (1955-72) Института полиомиелита и вирусных энцефалитов АМН. Разработал и внедрил (совместно с А. А. Смородинцевым) вакцину против полиомиелита. Ленинская премия (1963), Государственная премия СССР (1941).
ЗАЙЦЕВ Варфоломей Александрович (1842-82) , российский публицист и критик. Сотрудник журнала "Русское слово"; в 60-е гг. участвовал в полемике с "Современником", получившей название "раскол в нигилистах".