Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Страница 17

Полученные результаты используются для построения графика N = f(x) - примесного профиля. При построении профиля, как правило, используют полулогарифмический масштаб.

1.4.2 Диффузия из бесконечного источника примеси на поверхности пластины при Т=9500 С=1223 К, и времени диффузии 30 мин.=1800 с.

Коэффициент диффузии галлия в кремнии при Т=9500 С, N0=3×1019см-3.

Диффузия проходит согласно выражению (18).Дальнейший ход работы идет аналогично пункту 1.4.1. Заполняем расчетную таблицу.

Таблица 5 - Результаты расчета распределения галлия в кремнии

x,

мкм

erfc(z)

N(x),

см-3

x,

мкм

erfc(z)

N(x),

см-3

0

0

1

3×1019

0,1

2,05

0,003742

1,123×1017

0,02

0,41

0,562031

1,6861×1019

0,12

2,46

0,000503

1,5091016

0,04

0,82

0,246189

7,386×1018

0,14

2,87

0,000049

1,47×1015

0,06

1,23

0,08195

2,4585×1018

0,16

3,28

0,0000035

1,05×1014

0,08

1,64

0,020378

6,1134×1017

0,18

3,69

0,00000018

5,4×1012

Полученные результаты используются для построения графика N = f(x) - примесного профиля. При построении профиля, как правило, используют полулогарифмический масштаб.

Страницы: 13 14 15 16 17 18 19 20

ЕЛИСЕЕВ Николай Александрович (1897-1966) , российский геолог и петрограф, член-корреспондент АН СССР (1953). Основные труды по методике петрографических исследований и метаморфизму горных пород.

ИСТОЧНИКИ ИСТОРИЧЕСКИЕ , все объекты, непосредственно отражающие исторический процесс и дающие возможность изучать прошлое человеческого общества, т. е. все созданное человеком, а также результаты его взаимодействия с окружающей средой; предметы материальной культуры, памятники письменности, обычаи, обряды и др. Количество исторических источников безгранично, но число сохранившихся от различных исторических периодов неодинаково.

АГЛАБИДЫ , династия арабских эмиров в Сев. Африке в 800-909; вассалы Аббасидов. Пали в борьбе с Фатимидами.