Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Страница 17

Полученные результаты используются для построения графика N = f(x) - примесного профиля. При построении профиля, как правило, используют полулогарифмический масштаб.

1.4.2 Диффузия из бесконечного источника примеси на поверхности пластины при Т=9500 С=1223 К, и времени диффузии 30 мин.=1800 с.

Коэффициент диффузии галлия в кремнии при Т=9500 С, N0=3×1019см-3.

Диффузия проходит согласно выражению (18).Дальнейший ход работы идет аналогично пункту 1.4.1. Заполняем расчетную таблицу.

Таблица 5 - Результаты расчета распределения галлия в кремнии

x,

мкм

erfc(z)

N(x),

см-3

x,

мкм

erfc(z)

N(x),

см-3

0

0

1

3×1019

0,1

2,05

0,003742

1,123×1017

0,02

0,41

0,562031

1,6861×1019

0,12

2,46

0,000503

1,5091016

0,04

0,82

0,246189

7,386×1018

0,14

2,87

0,000049

1,47×1015

0,06

1,23

0,08195

2,4585×1018

0,16

3,28

0,0000035

1,05×1014

0,08

1,64

0,020378

6,1134×1017

0,18

3,69

0,00000018

5,4×1012

Полученные результаты используются для построения графика N = f(x) - примесного профиля. При построении профиля, как правило, используют полулогарифмический масштаб.

Страницы: 13 14 15 16 17 18 19 20

ЗЕЛЕНОГОРСК (до 1948 Териоки) , город (с 1946) в Российской Федерации, Ленинградская обл., на берегу Финского зал., в 50 км к северо-западу от Санкт-Петербурга. Железнодорожная станция. 13,6 тыс. жителей (1992). Приморская климатическая курортная местность.

НЕКРОФАГИ (от греч . nekros - мертвый и ...фаг) (трупоеды, падальники), животные, питающиеся трупами других животных (падалью). Напр., из птиц - стервятник, грифы, сипы, из млекопитающих - гиены.

ХЭВИ-МЕТАЛ (англ . Heavy metal, букв. тяжелый металл), одно из ответвлений хард-рока, получившее широкое распространение в начале 1980-х гг. Элемент импровизации в истинном "металле" практически сведен к нулю, точнее, он отсутствует в традиционном смысле этого слова, однако опытные "металлические" группы часто вводят в свои композиции очень сложные изменения ритма, и у неподготовленного слушателя может возникнуть ощущение какофонии, хотя речь идет о ритмической импровизации.