Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Страница 17

Полученные результаты используются для построения графика N = f(x) - примесного профиля. При построении профиля, как правило, используют полулогарифмический масштаб.

1.4.2 Диффузия из бесконечного источника примеси на поверхности пластины при Т=9500 С=1223 К, и времени диффузии 30 мин.=1800 с.

Коэффициент диффузии галлия в кремнии при Т=9500 С, N0=3×1019см-3.

Диффузия проходит согласно выражению (18).Дальнейший ход работы идет аналогично пункту 1.4.1. Заполняем расчетную таблицу.

Таблица 5 - Результаты расчета распределения галлия в кремнии

x,

мкм

erfc(z)

N(x),

см-3

x,

мкм

erfc(z)

N(x),

см-3

0

0

1

3×1019

0,1

2,05

0,003742

1,123×1017

0,02

0,41

0,562031

1,6861×1019

0,12

2,46

0,000503

1,5091016

0,04

0,82

0,246189

7,386×1018

0,14

2,87

0,000049

1,47×1015

0,06

1,23

0,08195

2,4585×1018

0,16

3,28

0,0000035

1,05×1014

0,08

1,64

0,020378

6,1134×1017

0,18

3,69

0,00000018

5,4×1012

Полученные результаты используются для построения графика N = f(x) - примесного профиля. При построении профиля, как правило, используют полулогарифмический масштаб.

Страницы: 13 14 15 16 17 18 19 20

ИНВАЙРОНМЕНТ (энвайронмент) (англ . environment, букв. - среда, окружение), вид искусства, занимающий промежуточное положение между скульптурой и архитектурой малых форм. Его пластические образы, рассчитаны на театрализованное соучастие зрителей. Иногда даже (как во многих хэппенингах) активно видоизменяющих их конструкцию; могут быть представлены публике в виде особых сценических пространств с фигурами типа манекенов (напр., в работах Э. Кинхольца). Искусство инвайронмента окончательно обособилось в раннем авангарде (см. К. Швиттерс), получив широкое распространение во второй половине 20 в.

ЧИРКИ , общее название мелких речных уток. Ок. 20 видов. Распространены широко на пресных водоемах. В России 4 вида, в т. ч. чирок-свистунок и чирок-трескунок. Объект промысла. Мраморный чирок, встречавшийся по западному и северо-западному побережью Каспийского м., под угрозой исчезновения.

РОБЕРТС (Roberts) Ричард Дж . (р. 1943), американский молекулярный биолог. Родился в Великобритании, с 1969 в США. Открыл (одновременно и независимо от Ф. Шарпа) прерывистую (экзон-интронную) структуру гена. Нобелевская премия (1993, совместно с Шарпом).