Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Страница 17

Полученные результаты используются для построения графика N = f(x) - примесного профиля. При построении профиля, как правило, используют полулогарифмический масштаб.

1.4.2 Диффузия из бесконечного источника примеси на поверхности пластины при Т=9500 С=1223 К, и времени диффузии 30 мин.=1800 с.

Коэффициент диффузии галлия в кремнии при Т=9500 С, N0=3×1019см-3.

Диффузия проходит согласно выражению (18).Дальнейший ход работы идет аналогично пункту 1.4.1. Заполняем расчетную таблицу.

Таблица 5 - Результаты расчета распределения галлия в кремнии

x,

мкм

erfc(z)

N(x),

см-3

x,

мкм

erfc(z)

N(x),

см-3

0

0

1

3×1019

0,1

2,05

0,003742

1,123×1017

0,02

0,41

0,562031

1,6861×1019

0,12

2,46

0,000503

1,5091016

0,04

0,82

0,246189

7,386×1018

0,14

2,87

0,000049

1,47×1015

0,06

1,23

0,08195

2,4585×1018

0,16

3,28

0,0000035

1,05×1014

0,08

1,64

0,020378

6,1134×1017

0,18

3,69

0,00000018

5,4×1012

Полученные результаты используются для построения графика N = f(x) - примесного профиля. При построении профиля, как правило, используют полулогарифмический масштаб.

Страницы: 13 14 15 16 17 18 19 20

ИНФОРМАЦИЯ (от лат . informatio - разъяснение, изложение), первоначальная - сведения, передаваемые людьми устным, письменным или другим способом (с помощью условных сигналов, технических средств и т. д.); с сер. 20 в. общенаучное понятие, включающее обмен сведениями между людьми, человеком и автоматом, автоматом и автоматом; обмен сигналами в животном и растительном мире; передачу признаков от клетки к клетке, от организма к организму (см. Генетическая информация); одно из основных понятий кибернетики.

ЗАХАРОВ Матвей Васильевич (1898-1972) , Маршал Советского Союза (1959), дважды Герой Советского Союза (1945, 1971). В Великую Отечественную войну начальник штаба армии, Калининского, Степного, 2-го Украинского и Забайкальского фронтов. В 1945-49 и 1963-64 начальник Военной академии Генштаба, в 1949-52 заместитель начальника Генштаба, в 1957-60 главнокомандующий Группой советских войск в Германии. В 1960-63 и 1964-71 начальник Генштаба - 1-й заместитель министра обороны СССР.

УЛЕЙ , жилище пчелы медоносной, устроенное человеком. Деревянный корпус с рамками, дном, крышей и надставкой с рамками. Ульи - вертикальные (2-корпусные и многокорпусные) и горизонтальные (лежаки). Первый разборный рамочный улей изобрел российский пчеловод П. И. Прокопович в 1814.