Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легированииСтраница 17
Полученные результаты используются для построения графика N = f(x) - примесного профиля. При построении профиля, как правило, используют полулогарифмический масштаб.
1.4.2 Диффузия из бесконечного источника примеси на поверхности пластины при Т=9500 С=1223 К, и времени диффузии 30 мин.=1800 с.
Коэффициент диффузии галлия в кремнии при Т=9500 С, N0=3×1019см-3.
Диффузия проходит согласно выражению (18).Дальнейший ход работы идет аналогично пункту 1.4.1. Заполняем расчетную таблицу.
Таблица 5 - Результаты расчета распределения галлия в кремнии
|
x, мкм |
|
erfc(z) |
N(x), см-3 |
x, мкм |
|
erfc(z) |
N(x), см-3 |
|
0 |
0 |
1 |
3×1019 |
0,1 |
2,05 |
0,003742 |
1,123×1017 |
|
0,02 |
0,41 |
0,562031 |
1,6861×1019 |
0,12 |
2,46 |
0,000503 |
1,5091016 |
|
0,04 |
0,82 |
0,246189 |
7,386×1018 |
0,14 |
2,87 |
0,000049 |
1,47×1015 |
|
0,06 |
1,23 |
0,08195 |
2,4585×1018 |
0,16 |
3,28 |
0,0000035 |
1,05×1014 |
|
0,08 |
1,64 |
0,020378 |
6,1134×1017 |
0,18 |
3,69 |
0,00000018 |
5,4×1012 |
Полученные результаты используются для построения графика N = f(x) - примесного профиля. При построении профиля, как правило, используют полулогарифмический масштаб.
 |
ТРИАТЛОН (от греч . tri - три и athlon - состязание, борьба), вид непрерывного спортивного троеборья: плавание (в открытом водоеме), велогонка, легкоатлетический кросс. Различают 3 вида триатлона: большой (3,8 км, 180 км, 42 км); средний (2,5 км, 80 км, 20 км); короткий (1,5 км, 40 км, 10 км). Зародился в США в 1970-х гг. В международной федерации триатлона - ИТФ (ITF; основана в 1987) св. 50 стран (1993). Официальные чемпионаты мира (с 1988), Европы (с 1985). В России культивируется с нач. 1980-х гг.
ЯХОНТОВ Владимир Николаевич (1899-1945) , российский артист эстрады. Мастер художественного слова. Выступал с 1922. Автор и исполнитель литературных композиций "Ленин", "Пушкин", "Идиот" ("Настасья Филипповна" по Ф. М. Достоевскому), "Вечера Маяковского" и др.
ТОРРЕС (Torres) Луис Ваэс де (1560-1614?) , испанский мореплаватель. Участник экспедиции П. Кироса 1605-06. Открыл южный берег Нов. Гвинеи, Коралловое м., зал. Папуа и пролив между Нов. Гвинеей и Австралией, назван его именем.