Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Страница 17

Полученные результаты используются для построения графика N = f(x) - примесного профиля. При построении профиля, как правило, используют полулогарифмический масштаб.

1.4.2 Диффузия из бесконечного источника примеси на поверхности пластины при Т=9500 С=1223 К, и времени диффузии 30 мин.=1800 с.

Коэффициент диффузии галлия в кремнии при Т=9500 С, N0=3×1019см-3.

Диффузия проходит согласно выражению (18).Дальнейший ход работы идет аналогично пункту 1.4.1. Заполняем расчетную таблицу.

Таблица 5 - Результаты расчета распределения галлия в кремнии

x,

мкм

erfc(z)

N(x),

см-3

x,

мкм

erfc(z)

N(x),

см-3

0

0

1

3×1019

0,1

2,05

0,003742

1,123×1017

0,02

0,41

0,562031

1,6861×1019

0,12

2,46

0,000503

1,5091016

0,04

0,82

0,246189

7,386×1018

0,14

2,87

0,000049

1,47×1015

0,06

1,23

0,08195

2,4585×1018

0,16

3,28

0,0000035

1,05×1014

0,08

1,64

0,020378

6,1134×1017

0,18

3,69

0,00000018

5,4×1012

Полученные результаты используются для построения графика N = f(x) - примесного профиля. При построении профиля, как правило, используют полулогарифмический масштаб.

Страницы: 13 14 15 16 17 18 19 20

ОХАБЕНЬ , старинный русский широкий кафтан с четырехугольным отложным воротником и длинными прямыми, часто откидными рукавами.

ПОЛУКУСТАРНИЧКИ , многолетние мелкие полукустарники, напр. тимьян.

УГАНДА , Республика Уганда (Republic of Uganda), государство в Вост. Африке. 236 тыс. км2. Население 17,7 млн. человек (1993); ганда, сога, ньянколе, тесо и др. Городское население 11,3% (1991). Официальный язык - английский и суахили. 75% верующих - католики и протестанты, 5-6% - мусульмане, остальные придерживаются местных традиционных верований. Административно-территориальное деление: 38 округов. Столица - Кампала. Входит в Содружество. Глава государства и правительства - президент. Временный законодательный орган - Национальный совет сопротивления. Уганда расположена в пределах Вост.-Африканского плоскогорья. В рельефе преобладают возвышенные равнины высота 1100-1500 м. На западе - горный массив Рувензори (высота до 5109 м). Климат субэкваториальный. Средние месячные температуры от 18 до 25 °С. Осадков от 750 мм до 1500 мм в год. Крупные озера: Мобуту-Сесе-Секо, Кьога и Виктория. Речная сеть относится к бас. р. Нил. Преобладают высокотравные саванны. Национальные парки - Рувензори и Кабарега. В средние века на территории Уганды существовали государства Китара, позже Уньоро, Нкоре, Торо. К сер. 19 в. усилилось образовавшееся в 14 в. государство Буганда. В 90-х гг. 19 - нач. 20 вв. над этими государствами был установлен британский протекторат, они стали автономными провинциями протектората Уганда. С октября 1962 Уганда - независимое государство, в котором автономные права получили прежние королевства. Главой государства стал кабака (наследственный правитель) Мутеса II. В 1967 принята республиканская конституция, королевство Буганда было упразднено. Президентом Уганды стал М. Оботе, начавший проводить политику "африканизации" экономики. В 1971 совершен военный переворот. Главой государства стал И. Амин Дада, установивший диктаторский режим. Массовым репрессиям подвергались целые народы Уганды. В 1979 с помощью танзаннийских войск режим Амина был свергнут. После выборов 1980 президентом вновь стал М. Оботе; смещен в 1985 после военного переворота. Высшим органом государственной власти стал Военный совет. В 1986 к власти пришли силы Национальной армии сопротивления. Высшим законодательным органом провозглашен Национальный совет сопротивления (Военный совет был распущен). Уганда - экономически слаборазвитая аграрная страна. Доля в валовом внутреннем продукте (1990, %): сельское хозяйство 35,4, промышленность 6,8. Главные товарные сельскохозяйственные культуры: кофе, хлопчатник, чай, табак; выращивают просо, сорго, кукурузу, батат, маниок, ямс. Экстенсивное животноводство. Озерное рыболовство. Лесозаготовки. Добыча медной и вольфрамовой руд, апатитов. Переработка сельскохозяйственного сырья. Текстильные, медеплавильные, цементные и другие предприятия. Производство электроэнергии 783 млн. кВт·ч (1991). Длина (тыс. км) железных дорог 1,3, автодорог 28 (1990). Экспорт: сельскохозяйственная продукция (св. 95% стоимости). Основные внешнеторговые партнеры: страны Европейского Сообщества, США и др. Денежная единица - угандийский шиллинг.