Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Страница 18

1.4.3 Распределение примеси после перераспределения примеси накопленной в приповерхностном слое полупроводника при Т=950ОС=1223 К и времени диффузии 30мин=1800с. Условие перераспределения полностью отражающая граница. Т=1150ОС=1423 К, время 2 часа=7200с.

Произведение D1t1 для процесса загонки равно: D1t1 = 3,31×10-15×1800= 5,958×10-12 см2

Коэффициент диффузии для процесса перераспределения примеси (Do =0,374 см2/с , DE = 3,41 эВ, T = 1423 K) равен D = 3,128 × 10-13 см2/с. Произведение D2t2 = 3,128×10-13×7200= 2,25×10-9 см2. D2t2 > D1t1 (в 377 раз), т.е. условия быстрой истощаемости источника, следовательно, пользуемся для расчета распределения примеси выражением (27).

В первый столбец таблицы (6) заносим значения x, во второй значения exp(-x2/4D2t2), рассчитанные значения Ns заносим в третий столбец.

Таблица 6 - Результаты расчета распределения галлия в кремнии при диффузии из приповерхностного слоя.

x,

мкм

Ns ,

см-3

x,

мкм

Ns ,

см-3

0

1,0

9,823×1017

1,8

0,02742

2,693×1016

0,36

0,866

8,507×1017

2,16

0,005633

5,534×1015

0,72

0,5624

5,525×1017

2,52

0,0008681

8,527×1014

1,08

0,274

2,69×1017

2,88

0,0001

9,854×1013

1,44

0,1

9,831×1016

3,24

0,0000087

8,541×1012

Полученные результаты используются для построения графика N = f(x) - примесного профиля.

Страницы: 14 15 16 17 18 19 20

ЩЕТИНА , жесткий упругий волосяной покров из утолщенных остевых волос у некоторых животных, напр. у свиней и барсуков. Из щетины делают щетки, кисти.

ХАРТИИ ПОСЕЛЕНИЯ , в средневековых государствах Пиренейского п-ова соглашения между земельным собственником и жителями поселений, основывавшихся на его землях в процессе Реконкисты. Фиксировали (как и фуэрос) права, привилегии и обязанности поселенцев.

СТУДИИ МХАТ , создавались для проведения экспериментальной работы и подготовки актеров. 1-я Студия открыта в 1913 (с 1924 МХАТ 2-й), 2-я - в 1916 (в 1924 ее воспитанники А. К. Тарасова, О. Н. Андровская, М. П. Хмелев, М. М. Яншин и др. вошли в труппу МХАТ). В 1921 название 3-й Студии МХАТ получила Студия Вахтангова (на ее основе возник Театр им. Е. Вахтангова в 1926). В 1921 открылась 4-я Студия (с 1927 Реалистический театр), в 1919 - Музыкальная студия МХТ под руководством Немировича-Данченко (с 1926 Музыкальный театр им. В. И. Немировича-Данченко).