Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Страница 18

1.4.3 Распределение примеси после перераспределения примеси накопленной в приповерхностном слое полупроводника при Т=950ОС=1223 К и времени диффузии 30мин=1800с. Условие перераспределения полностью отражающая граница. Т=1150ОС=1423 К, время 2 часа=7200с.

Произведение D1t1 для процесса загонки равно: D1t1 = 3,31×10-15×1800= 5,958×10-12 см2

Коэффициент диффузии для процесса перераспределения примеси (Do =0,374 см2/с , DE = 3,41 эВ, T = 1423 K) равен D = 3,128 × 10-13 см2/с. Произведение D2t2 = 3,128×10-13×7200= 2,25×10-9 см2. D2t2 > D1t1 (в 377 раз), т.е. условия быстрой истощаемости источника, следовательно, пользуемся для расчета распределения примеси выражением (27).

В первый столбец таблицы (6) заносим значения x, во второй значения exp(-x2/4D2t2), рассчитанные значения Ns заносим в третий столбец.

Таблица 6 - Результаты расчета распределения галлия в кремнии при диффузии из приповерхностного слоя.

x,

мкм

Ns ,

см-3

x,

мкм

Ns ,

см-3

0

1,0

9,823×1017

1,8

0,02742

2,693×1016

0,36

0,866

8,507×1017

2,16

0,005633

5,534×1015

0,72

0,5624

5,525×1017

2,52

0,0008681

8,527×1014

1,08

0,274

2,69×1017

2,88

0,0001

9,854×1013

1,44

0,1

9,831×1016

3,24

0,0000087

8,541×1012

Полученные результаты используются для построения графика N = f(x) - примесного профиля.

Страницы: 14 15 16 17 18 19 20

ЖИГУЛИ , горы на правом берегу Волги, огибаемые ее излучиной (т. н. Самарская Лука). Высота до 375 м. На северных склонах широколиственные и сосновые леса, на южном - лесостепи. Заповедник. Туризм. В районе Жигулей - Волжская (Куйбышевская) ГЭС.

ГАНН (Gunn) Джон (р . 1928), физик. Родился в Каире, с 1959 работает в США. Труды по физике полупроводников, полупроводниковым приборам, автоматике. Открыл и исследовал эффект, названный его именем.

ФОМА КЕМПИЙСКИЙ (Thomas a Kempis) , Томас Хемеркен, Хеммерлейн или Моллеолус (ок. 1380-1471), нидерландский христианский писатель. С 1406 в монастыре близ Цволле; был близок к предреформационному течению "Братьев общей жизни". Трактат "О подражании Христу" приобрел необычайную популярность (св. 2 тыс. изданий) и был переведен на все европейские языки (на русский язык - К. П. Победоносцевым). Память в Католической церкви 25 июля.