Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Страница 18

1.4.3 Распределение примеси после перераспределения примеси накопленной в приповерхностном слое полупроводника при Т=950ОС=1223 К и времени диффузии 30мин=1800с. Условие перераспределения полностью отражающая граница. Т=1150ОС=1423 К, время 2 часа=7200с.

Произведение D1t1 для процесса загонки равно: D1t1 = 3,31×10-15×1800= 5,958×10-12 см2

Коэффициент диффузии для процесса перераспределения примеси (Do =0,374 см2/с , DE = 3,41 эВ, T = 1423 K) равен D = 3,128 × 10-13 см2/с. Произведение D2t2 = 3,128×10-13×7200= 2,25×10-9 см2. D2t2 > D1t1 (в 377 раз), т.е. условия быстрой истощаемости источника, следовательно, пользуемся для расчета распределения примеси выражением (27).

В первый столбец таблицы (6) заносим значения x, во второй значения exp(-x2/4D2t2), рассчитанные значения Ns заносим в третий столбец.

Таблица 6 - Результаты расчета распределения галлия в кремнии при диффузии из приповерхностного слоя.

x,

мкм

Ns ,

см-3

x,

мкм

Ns ,

см-3

0

1,0

9,823×1017

1,8

0,02742

2,693×1016

0,36

0,866

8,507×1017

2,16

0,005633

5,534×1015

0,72

0,5624

5,525×1017

2,52

0,0008681

8,527×1014

1,08

0,274

2,69×1017

2,88

0,0001

9,854×1013

1,44

0,1

9,831×1016

3,24

0,0000087

8,541×1012

Полученные результаты используются для построения графика N = f(x) - примесного профиля.

Страницы: 14 15 16 17 18 19 20

ГАЛИЧ Александр Иванович (1783-1848) , русский психолог, эстетик и философ. В 1814-15 преподавал в Царскосельском лицее, где в это время учился А. С. Пушкин. Профессор Петербургского университета (1819-21), отстранен от преподавания по обвинению в "пренебрежении к властям" и безбожии. Его "Лексикон философских предметов" (1845) - один из первых в России философских справочников.

ЗАГОСКИН Лаврентий Алексеевич (1808-90) , российский морской офицер, исследователь Аляски. Племянник Михаила Николаевича Загоскина. В 1842-44 руководил исследованиями в районе зал. Нортон и Коцебу, в бас. рек Юкон и Кускокуим.

ЛОСИНО-ПЕТРОВСКИЙ , город (с 1951) в Российской Федерации, Московская обл., при впадении р. Воря в Клязьму, близ ж.-д. ст. Монино. 22,5 тыс. жителей (1992). Фабрика первичной переработки шерсти.