Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Страница 2

Введение.

Каждое вещество может находится в состоянии которое характеризуется содержанием примеси в нем ниже некоторого определенного предела. Предел определяется различными условиями связанными со свойствами, областью применения веществ. Для полупроводниковых материалов достижения собственных свойств или близких к ним является тем необходимым пределом до которого материалы должны очищаться. При обосновании необходимой очистки нужно руководствоваться и экономической целесообразности очистки.

Для очистки полупроводниковых материалов в технологии микроэлектронных устройств используется метод зонной плавки (перекристаллизация). В некоторых случаях в технологии полупроводниковых материалов выращивают монокристаллы методом зонной плавки. Достоинством метода является совмещение процесса глубокой очистки полупроводника с последующим выращиванием его монокристалла. В технологии разлагающихся полупроводниковых соединений применение этого метода позволяет совмещать в одном технологическом цикле сразу три операции: синтез, очистку синтезированного соединения и выращивание его монокристалла.

Для введения в полупроводник примеси используется процесс диффузии. Для изготовления p-n переходов используется химическая диффузия примесных (растворимых) атомов, которые вводятся в кристаллическую решетку для изменения ее электрофизических свойств. Кроме того диффузия используется для перераспределения примеси в полупроводнике.

1.Расчетная часть.

1.1 Описание процесса зонной плавки и ее математическая модель.

Очистку полупроводниковых материалов методом зонной плавки предложил в 1952 году Пфанн. В связи с различной растворимостью примесей в твердой и жидкой фазах зонная плавка является одним из наиболее эффективных и производительных методов глубокой очистки монокристаллов. При его реализации перед началом кристаллизации расплавляется не вся твердая фаза кристалла (рис.1 ), а только узкая расплавленная зона, которую перемещают вдоль слитка.

Страницы: 1 2 3 4 5 6

ЦИТРА (нем . Zither), струнный щипковый музыкальный инструмент, получивший наибольшее распространение в Австрии и Германии в 19 в. Струны (в некоторых разновидностях до 40) натягиваются над грифом и вне грифа над декой. Аналогичные инструменты древнего происхождения встречаются у многих народов.

ДАЛИМИЛ МЕЗИРЖИЦКИЙ (Dalimil Meziricsky) (2-я пол . 13 в. - 1-я пол. 14 в.), предполагаемый автор т. н. Болеславской стихотворной хроники (латинский язык) событий чешской истории (с древнейших времен до 1314).

ТРИХИНА (трихинелла) , червь класса нематод, паразитирующий в стенках кишок и мышцах преимущественно плотоядных или всеядных млекопитающих и человека. Длина самцов 0,6-1,6 мм, самок до 4,4 мм. Вызывают трихинеллез. Личинки трихины в инкапсулированном состоянии в мышцах хозяина сохраняют жизнеспособность до 1 года и более.