Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Страница 2

Введение.

Каждое вещество может находится в состоянии которое характеризуется содержанием примеси в нем ниже некоторого определенного предела. Предел определяется различными условиями связанными со свойствами, областью применения веществ. Для полупроводниковых материалов достижения собственных свойств или близких к ним является тем необходимым пределом до которого материалы должны очищаться. При обосновании необходимой очистки нужно руководствоваться и экономической целесообразности очистки.

Для очистки полупроводниковых материалов в технологии микроэлектронных устройств используется метод зонной плавки (перекристаллизация). В некоторых случаях в технологии полупроводниковых материалов выращивают монокристаллы методом зонной плавки. Достоинством метода является совмещение процесса глубокой очистки полупроводника с последующим выращиванием его монокристалла. В технологии разлагающихся полупроводниковых соединений применение этого метода позволяет совмещать в одном технологическом цикле сразу три операции: синтез, очистку синтезированного соединения и выращивание его монокристалла.

Для введения в полупроводник примеси используется процесс диффузии. Для изготовления p-n переходов используется химическая диффузия примесных (растворимых) атомов, которые вводятся в кристаллическую решетку для изменения ее электрофизических свойств. Кроме того диффузия используется для перераспределения примеси в полупроводнике.

1.Расчетная часть.

1.1 Описание процесса зонной плавки и ее математическая модель.

Очистку полупроводниковых материалов методом зонной плавки предложил в 1952 году Пфанн. В связи с различной растворимостью примесей в твердой и жидкой фазах зонная плавка является одним из наиболее эффективных и производительных методов глубокой очистки монокристаллов. При его реализации перед началом кристаллизации расплавляется не вся твердая фаза кристалла (рис.1 ), а только узкая расплавленная зона, которую перемещают вдоль слитка.

Страницы: 1 2 3 4 5 6

ЛАБИАЛИЗАЦИЯ (от средневековой . лат. labialis - губной) (огубление), произнесение звуков речи с округлением вытянутых вперед губ.

ДОЛИНИНА Наталья Григорьевна (1928-79) , русская писательница. Дочь Г. А. Гуковского. Очерковые книги, акцентирующие нравственные аспекты воспитательного процесса: "Мои ученики и их родители" (1959), "Человек - людям" (1961), "Сколько стоит хлеб" (1963), "Взрослые или дети?" (1965), "Дорогие родители!" (1975) и др. Повести "Мы с Сережкой близнецы" (1962), "Разные люди", (1976); автобиографическая повесть "Отец" (1974). Популярные книги о классике: "Прочитаем "Онегина" вместе" (1968), "Печорин и наше время" (1970) и др.

КАПСУЛЬНЫЕ МИКРООРГАНИЗМЫ , бактерии, дрожжи и другие микроскопические организмы, клетки которых окружены слизистой капсулой, защищающей их от неблагоприятных внешних воздействий. Некоторые болезнетворные капсульные микроорганизмы, напр. пневмококки, утрачивая способность к образованию капсулы, становятся непатогенными.