Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Страница 2

Введение.

Каждое вещество может находится в состоянии которое характеризуется содержанием примеси в нем ниже некоторого определенного предела. Предел определяется различными условиями связанными со свойствами, областью применения веществ. Для полупроводниковых материалов достижения собственных свойств или близких к ним является тем необходимым пределом до которого материалы должны очищаться. При обосновании необходимой очистки нужно руководствоваться и экономической целесообразности очистки.

Для очистки полупроводниковых материалов в технологии микроэлектронных устройств используется метод зонной плавки (перекристаллизация). В некоторых случаях в технологии полупроводниковых материалов выращивают монокристаллы методом зонной плавки. Достоинством метода является совмещение процесса глубокой очистки полупроводника с последующим выращиванием его монокристалла. В технологии разлагающихся полупроводниковых соединений применение этого метода позволяет совмещать в одном технологическом цикле сразу три операции: синтез, очистку синтезированного соединения и выращивание его монокристалла.

Для введения в полупроводник примеси используется процесс диффузии. Для изготовления p-n переходов используется химическая диффузия примесных (растворимых) атомов, которые вводятся в кристаллическую решетку для изменения ее электрофизических свойств. Кроме того диффузия используется для перераспределения примеси в полупроводнике.

1.Расчетная часть.

1.1 Описание процесса зонной плавки и ее математическая модель.

Очистку полупроводниковых материалов методом зонной плавки предложил в 1952 году Пфанн. В связи с различной растворимостью примесей в твердой и жидкой фазах зонная плавка является одним из наиболее эффективных и производительных методов глубокой очистки монокристаллов. При его реализации перед началом кристаллизации расплавляется не вся твердая фаза кристалла (рис.1 ), а только узкая расплавленная зона, которую перемещают вдоль слитка.

Страницы: 1 2 3 4 5 6

ЕЖОВНИК (анабазис) , род многолетних трав или полукустарничков семейства маревых. Ок. 30 видов, в Центр. Азии, на юге Европы, в Сев. Африке, но главным образом в Ср. Азии. Некоторые виды - пастбищный корм верблюдов, овец. Иногда ежовником называют также некоторые виды семейства злаков (пайзу, куриное просо).

ДЖОКЬЯКАРТА , город в Индонезии, на о. Ява. Выделен в особую административную единицу. 2,9 млн. жителей (1990, с пригородами). Кустарное производство ткани батик, художественных изделий. Университеты. Дворец султана Джокьякарта (18 в.), в окрестностях - Прамбанан (селение с архитектурными культовыми комплексами 8-9 вв.), святилище Боробудур.

ЯДРО , в биологии - обязательная часть клетки у многих одноклеточных и всех многоклеточных организмов. Типичное ядро отделено от окружающей цитоплазмы оболочкой, содержит ядрышко, хромосомы и кариоплазму. Размеры от 1 мкм (у некоторых простейших) до 1 мм (в яйцах некоторых рыб и земноводных). Управляет синтезом белков (в т. ч. ферментов) и через них всеми физиологическими процессами в клетке. Большинство клеток содержит одно ядро. По наличию или отсутствию в клетках оформленного ядра все организмы делят соответственно на эукариот и прокариот.