Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Страница 2

Введение.

Каждое вещество может находится в состоянии которое характеризуется содержанием примеси в нем ниже некоторого определенного предела. Предел определяется различными условиями связанными со свойствами, областью применения веществ. Для полупроводниковых материалов достижения собственных свойств или близких к ним является тем необходимым пределом до которого материалы должны очищаться. При обосновании необходимой очистки нужно руководствоваться и экономической целесообразности очистки.

Для очистки полупроводниковых материалов в технологии микроэлектронных устройств используется метод зонной плавки (перекристаллизация). В некоторых случаях в технологии полупроводниковых материалов выращивают монокристаллы методом зонной плавки. Достоинством метода является совмещение процесса глубокой очистки полупроводника с последующим выращиванием его монокристалла. В технологии разлагающихся полупроводниковых соединений применение этого метода позволяет совмещать в одном технологическом цикле сразу три операции: синтез, очистку синтезированного соединения и выращивание его монокристалла.

Для введения в полупроводник примеси используется процесс диффузии. Для изготовления p-n переходов используется химическая диффузия примесных (растворимых) атомов, которые вводятся в кристаллическую решетку для изменения ее электрофизических свойств. Кроме того диффузия используется для перераспределения примеси в полупроводнике.

1.Расчетная часть.

1.1 Описание процесса зонной плавки и ее математическая модель.

Очистку полупроводниковых материалов методом зонной плавки предложил в 1952 году Пфанн. В связи с различной растворимостью примесей в твердой и жидкой фазах зонная плавка является одним из наиболее эффективных и производительных методов глубокой очистки монокристаллов. При его реализации перед началом кристаллизации расплавляется не вся твердая фаза кристалла (рис.1 ), а только узкая расплавленная зона, которую перемещают вдоль слитка.

Страницы: 1 2 3 4 5 6

ЖЕЗЛОВ Михаил Сергеевич (1898-1960) , российский организатор производства авиационных двигателей в СССР, генерал-майор инженерной службы (1944), Герой Социалистического Труда (1945). Руководил организацией производства двигателей для бомбардировщика Ил-4, для штурмовиков Ил-2 и Ил-10.

"РИДЕРС ДАЙДЖЕСТ" ("Reader's Digest") , ежемесячный литературно-политический журнал в США, основан в 1922, Плезантвилл, шт. Нью-Йорк. Перепечатывает или излагает в сокращенном виде материалы из других изданий.

ШЕЛЕР (Sheler) Вернер (р . 1923), немецкий фармаколог, академик (1973) и президент (в 1979-90) АН ГДР, иностранный член АН СССР (1982) и АМН СССР (1982). Труды по общей фармакологии, созданию лекарственных сердечно-сосудистых и противоопухолевых препаратов; по токсикологии, изучению белков крови.