Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Страница 2

Введение.

Каждое вещество может находится в состоянии которое характеризуется содержанием примеси в нем ниже некоторого определенного предела. Предел определяется различными условиями связанными со свойствами, областью применения веществ. Для полупроводниковых материалов достижения собственных свойств или близких к ним является тем необходимым пределом до которого материалы должны очищаться. При обосновании необходимой очистки нужно руководствоваться и экономической целесообразности очистки.

Для очистки полупроводниковых материалов в технологии микроэлектронных устройств используется метод зонной плавки (перекристаллизация). В некоторых случаях в технологии полупроводниковых материалов выращивают монокристаллы методом зонной плавки. Достоинством метода является совмещение процесса глубокой очистки полупроводника с последующим выращиванием его монокристалла. В технологии разлагающихся полупроводниковых соединений применение этого метода позволяет совмещать в одном технологическом цикле сразу три операции: синтез, очистку синтезированного соединения и выращивание его монокристалла.

Для введения в полупроводник примеси используется процесс диффузии. Для изготовления p-n переходов используется химическая диффузия примесных (растворимых) атомов, которые вводятся в кристаллическую решетку для изменения ее электрофизических свойств. Кроме того диффузия используется для перераспределения примеси в полупроводнике.

1.Расчетная часть.

1.1 Описание процесса зонной плавки и ее математическая модель.

Очистку полупроводниковых материалов методом зонной плавки предложил в 1952 году Пфанн. В связи с различной растворимостью примесей в твердой и жидкой фазах зонная плавка является одним из наиболее эффективных и производительных методов глубокой очистки монокристаллов. При его реализации перед началом кристаллизации расплавляется не вся твердая фаза кристалла (рис.1 ), а только узкая расплавленная зона, которую перемещают вдоль слитка.

Страницы: 1 2 3 4 5 6

ГАРДЕЛЬ (Gardel) Карлос (1890-1935) , аргентинский музыкант, певец и киноактер. Известен как "король танго".

ЧЕТВЕРТЫЙ ПЕРЕДЕЛ , в металлургии - дополнительная обработка металла (главным образом проката), полученного после первых трех переделов: холодная прокатка металла, профилирование полосы (производство гнутых профилей), волочение, нанесение защитных покрытий, а также производство метизов и некоторых бытовых изделий.

ВОРТ (Worth) Чарлз Фредерик (1825-95) , первый кутюрье, основатель ведущей во 2-й пол. 19 в. фирмы мод в Париже, названной его именем. Ворт родился в Англии, во Франции с 1845. В 1857 в Париже совместно со шведом Бабергом (вскоре отошел от дел) Ворт основал свою фирму, где впервые модели одежды создавались не на заказчицу, а на манекенщицу (первой манекенщицей была его жена). Модели Ворта пользовались популярностью во всем мире и неоднократно отмечались медалями на международных выставках (ввел в моду кринолины и турнюры). Его дело с 1890 продолжили сыновья Гастон и Жан Филипп, однако, выдержать конкуренцию с новыми творцами моды не смогли. В 1954 имя Ворта купила одна из английских фирм.