Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Страница 2

Введение.

Каждое вещество может находится в состоянии которое характеризуется содержанием примеси в нем ниже некоторого определенного предела. Предел определяется различными условиями связанными со свойствами, областью применения веществ. Для полупроводниковых материалов достижения собственных свойств или близких к ним является тем необходимым пределом до которого материалы должны очищаться. При обосновании необходимой очистки нужно руководствоваться и экономической целесообразности очистки.

Для очистки полупроводниковых материалов в технологии микроэлектронных устройств используется метод зонной плавки (перекристаллизация). В некоторых случаях в технологии полупроводниковых материалов выращивают монокристаллы методом зонной плавки. Достоинством метода является совмещение процесса глубокой очистки полупроводника с последующим выращиванием его монокристалла. В технологии разлагающихся полупроводниковых соединений применение этого метода позволяет совмещать в одном технологическом цикле сразу три операции: синтез, очистку синтезированного соединения и выращивание его монокристалла.

Для введения в полупроводник примеси используется процесс диффузии. Для изготовления p-n переходов используется химическая диффузия примесных (растворимых) атомов, которые вводятся в кристаллическую решетку для изменения ее электрофизических свойств. Кроме того диффузия используется для перераспределения примеси в полупроводнике.

1.Расчетная часть.

1.1 Описание процесса зонной плавки и ее математическая модель.

Очистку полупроводниковых материалов методом зонной плавки предложил в 1952 году Пфанн. В связи с различной растворимостью примесей в твердой и жидкой фазах зонная плавка является одним из наиболее эффективных и производительных методов глубокой очистки монокристаллов. При его реализации перед началом кристаллизации расплавляется не вся твердая фаза кристалла (рис.1 ), а только узкая расплавленная зона, которую перемещают вдоль слитка.

Страницы: 1 2 3 4 5 6

МОНОЛИТНЫЕ КОНСТРУКЦИИ , конструкции (главным образом бетонные и железобетонные), выполненные непосредственно на строительном объекте в виде единого целого (монолита).

ЗЕЛЕННЫЕ КУЛЬТУРЫ , овощные растения, употребляемые в пищу в зеленом виде (свежими или консервированными). Более 30 видов лука, салата, шпината, укропа, ревеня, щавеля, петрушки, сельдерея и др. Богаты витаминами, минеральными веществами; улучшают вкус пищи, возбуждают аппетит.

"МАШИНА ВРЕМЕНИ" , российская рок-группа, образована в 1968 в Москве. Состав: А. Макаревич, А. Кутиков, Зайцев, Ефремов, Маргулис, Подгородецкий. Первыми вложили в тексты песен социально-этическое содержание. Лучшие песни конца 1970-х гг. - "Пока горит свеча", "Кафе Лира", "Кого ты хотел удивить?", "Девятый вал" и др. Из песен 1980-90 гг. наибольший успех имели "Музыка под снегом", "Она идет по жизни смеясь", "Герои вчерашних дней" и др.