Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Страница 2

Введение.

Каждое вещество может находится в состоянии которое характеризуется содержанием примеси в нем ниже некоторого определенного предела. Предел определяется различными условиями связанными со свойствами, областью применения веществ. Для полупроводниковых материалов достижения собственных свойств или близких к ним является тем необходимым пределом до которого материалы должны очищаться. При обосновании необходимой очистки нужно руководствоваться и экономической целесообразности очистки.

Для очистки полупроводниковых материалов в технологии микроэлектронных устройств используется метод зонной плавки (перекристаллизация). В некоторых случаях в технологии полупроводниковых материалов выращивают монокристаллы методом зонной плавки. Достоинством метода является совмещение процесса глубокой очистки полупроводника с последующим выращиванием его монокристалла. В технологии разлагающихся полупроводниковых соединений применение этого метода позволяет совмещать в одном технологическом цикле сразу три операции: синтез, очистку синтезированного соединения и выращивание его монокристалла.

Для введения в полупроводник примеси используется процесс диффузии. Для изготовления p-n переходов используется химическая диффузия примесных (растворимых) атомов, которые вводятся в кристаллическую решетку для изменения ее электрофизических свойств. Кроме того диффузия используется для перераспределения примеси в полупроводнике.

1.Расчетная часть.

1.1 Описание процесса зонной плавки и ее математическая модель.

Очистку полупроводниковых материалов методом зонной плавки предложил в 1952 году Пфанн. В связи с различной растворимостью примесей в твердой и жидкой фазах зонная плавка является одним из наиболее эффективных и производительных методов глубокой очистки монокристаллов. При его реализации перед началом кристаллизации расплавляется не вся твердая фаза кристалла (рис.1 ), а только узкая расплавленная зона, которую перемещают вдоль слитка.

Страницы: 1 2 3 4 5 6

ГУННЫ , кочевой народ, сложился во 2-4 вв. в Приуралье из тюркоязычных хунну и местных угров и сарматов. Массовое передвижение гуннов на запад (с 70-х гг. 4 в.) дало толчок т. н. Великому переселению народов. Подчинив ряд германских и других племен, возглавили мощный союз племен, предпринимавший опустошительные походы во многие страны. Наибольшего могущества достигли при Аттиле. Продвижение гуннов на запад было остановлено их разгромом на Каталаунских полях (451). После смерти Аттилы (453) союз племен распался.

ФАУЗЕР (Fauser) Джакомо (1892-1971) , итальянский химик-технолог. Создал первую установку для синтеза аммиака под давлением (1920). Труды по технологии азотной кислоты, мочевины и др.

ОБИНЬЕ (d'Aubigne) Теодор Агриппа д' (1552-1630) , французский поэт и историк, гугенот, соратник Генриха Наваррского. Сочинения посвящены главным образом религиозным войнам.