Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Страница 2

Введение.

Каждое вещество может находится в состоянии которое характеризуется содержанием примеси в нем ниже некоторого определенного предела. Предел определяется различными условиями связанными со свойствами, областью применения веществ. Для полупроводниковых материалов достижения собственных свойств или близких к ним является тем необходимым пределом до которого материалы должны очищаться. При обосновании необходимой очистки нужно руководствоваться и экономической целесообразности очистки.

Для очистки полупроводниковых материалов в технологии микроэлектронных устройств используется метод зонной плавки (перекристаллизация). В некоторых случаях в технологии полупроводниковых материалов выращивают монокристаллы методом зонной плавки. Достоинством метода является совмещение процесса глубокой очистки полупроводника с последующим выращиванием его монокристалла. В технологии разлагающихся полупроводниковых соединений применение этого метода позволяет совмещать в одном технологическом цикле сразу три операции: синтез, очистку синтезированного соединения и выращивание его монокристалла.

Для введения в полупроводник примеси используется процесс диффузии. Для изготовления p-n переходов используется химическая диффузия примесных (растворимых) атомов, которые вводятся в кристаллическую решетку для изменения ее электрофизических свойств. Кроме того диффузия используется для перераспределения примеси в полупроводнике.

1.Расчетная часть.

1.1 Описание процесса зонной плавки и ее математическая модель.

Очистку полупроводниковых материалов методом зонной плавки предложил в 1952 году Пфанн. В связи с различной растворимостью примесей в твердой и жидкой фазах зонная плавка является одним из наиболее эффективных и производительных методов глубокой очистки монокристаллов. При его реализации перед началом кристаллизации расплавляется не вся твердая фаза кристалла (рис.1 ), а только узкая расплавленная зона, которую перемещают вдоль слитка.

Страницы: 1 2 3 4 5 6

РЕСТАВРАЦИЯ во Франции , период вторичного правления династии Бурбонов в 1814-1815 (1-я Реставрация) и в 1815-30 (2-я Реставрация). 1-ю и 2-ю Реставрации разделяют "Сто дней". Конец Реставрации положила Июльская революция 1830.

ПРОТОЗВЕЗДЫ , обособившиеся из газово-пылевого облака в результате его гравитационной неустойчивости плотные конденсации вещества, в недрах которых еще не достигнуты температуры, необходимые для начала термоядерных реакций - основного источника энергии звезд.

ШТУР (Stur) Людовит (1815-56) , идеолог и руководитель словацкого национального движения 40-х гг., поэт, филолог. Участник Пражского восстания 1848. В 1848 перешел на позиции австрославизма. Разработал (вместе с Й. Гурбаном и М. Годжей) нормы словацкого литературного языка, его грамматику. Один из авторов концепции "славянской взаимности". Воззрения Штура стали идейно-художественой основой словацкого романтизма 40-70-х гг. 19 в. Философско-политические трактаты, труды по славянскому фольклору; патриотическая лирика и эпика.