Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Страница 2

Введение.

Каждое вещество может находится в состоянии которое характеризуется содержанием примеси в нем ниже некоторого определенного предела. Предел определяется различными условиями связанными со свойствами, областью применения веществ. Для полупроводниковых материалов достижения собственных свойств или близких к ним является тем необходимым пределом до которого материалы должны очищаться. При обосновании необходимой очистки нужно руководствоваться и экономической целесообразности очистки.

Для очистки полупроводниковых материалов в технологии микроэлектронных устройств используется метод зонной плавки (перекристаллизация). В некоторых случаях в технологии полупроводниковых материалов выращивают монокристаллы методом зонной плавки. Достоинством метода является совмещение процесса глубокой очистки полупроводника с последующим выращиванием его монокристалла. В технологии разлагающихся полупроводниковых соединений применение этого метода позволяет совмещать в одном технологическом цикле сразу три операции: синтез, очистку синтезированного соединения и выращивание его монокристалла.

Для введения в полупроводник примеси используется процесс диффузии. Для изготовления p-n переходов используется химическая диффузия примесных (растворимых) атомов, которые вводятся в кристаллическую решетку для изменения ее электрофизических свойств. Кроме того диффузия используется для перераспределения примеси в полупроводнике.

1.Расчетная часть.

1.1 Описание процесса зонной плавки и ее математическая модель.

Очистку полупроводниковых материалов методом зонной плавки предложил в 1952 году Пфанн. В связи с различной растворимостью примесей в твердой и жидкой фазах зонная плавка является одним из наиболее эффективных и производительных методов глубокой очистки монокристаллов. При его реализации перед началом кристаллизации расплавляется не вся твердая фаза кристалла (рис.1 ), а только узкая расплавленная зона, которую перемещают вдоль слитка.

Страницы: 1 2 3 4 5 6

ВО (Waugh) Ивлин (1903-66) , английский писатель. Сатирик-моралист консервативной направленности (романы "Мерзкая плоть", 1930, "Пригоршня праха", 1934, "Незабвенная", 1948); проницательный психолог (роман "Возвращение в Брайдсхед", 1945). Последовательно отрицая устои современного буржуазного общества, в поисках идеала обращался к религии и культуре прошлого как средоточию незыблемых добродетелей и непреходящих духовных ценностей. Трилогия "Почетный меч" (1952-61, русский перевод под названием "Офицеры и джентльмены", 1977) о 2-й мировой войне, высмеивающая громоздкую военно-бюрократическую машину "Старой Англии". Автобиографический роман "Испытание Гилберта Пинфолда" (1957).

РЖЕВСКАЯ Елена Моисеевна (р .1919), русская писательница. В прозе, сочетающей публицистичность и художественно-документальное начало с лирической интонацией, обращается к военной теме, послевоенному городскому быту. Книги: "Весна в шинели" (1961), "Берлин, май 1945" (1965), "Ближние подступы" (1985) и др.

ЗЕЛЬДОВИЧ Борис Яковлевич (р . 1944), российский физик, член-корреспондент РАН (1991; член-корреспондент АН СССР с 1987). Сын Якова Борисовича Зельдовича. Труды по нелинейной и физической оптике. Государственная премия СССР (1983).