Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Страница 2

Введение.

Каждое вещество может находится в состоянии которое характеризуется содержанием примеси в нем ниже некоторого определенного предела. Предел определяется различными условиями связанными со свойствами, областью применения веществ. Для полупроводниковых материалов достижения собственных свойств или близких к ним является тем необходимым пределом до которого материалы должны очищаться. При обосновании необходимой очистки нужно руководствоваться и экономической целесообразности очистки.

Для очистки полупроводниковых материалов в технологии микроэлектронных устройств используется метод зонной плавки (перекристаллизация). В некоторых случаях в технологии полупроводниковых материалов выращивают монокристаллы методом зонной плавки. Достоинством метода является совмещение процесса глубокой очистки полупроводника с последующим выращиванием его монокристалла. В технологии разлагающихся полупроводниковых соединений применение этого метода позволяет совмещать в одном технологическом цикле сразу три операции: синтез, очистку синтезированного соединения и выращивание его монокристалла.

Для введения в полупроводник примеси используется процесс диффузии. Для изготовления p-n переходов используется химическая диффузия примесных (растворимых) атомов, которые вводятся в кристаллическую решетку для изменения ее электрофизических свойств. Кроме того диффузия используется для перераспределения примеси в полупроводнике.

1.Расчетная часть.

1.1 Описание процесса зонной плавки и ее математическая модель.

Очистку полупроводниковых материалов методом зонной плавки предложил в 1952 году Пфанн. В связи с различной растворимостью примесей в твердой и жидкой фазах зонная плавка является одним из наиболее эффективных и производительных методов глубокой очистки монокристаллов. При его реализации перед началом кристаллизации расплавляется не вся твердая фаза кристалла (рис.1 ), а только узкая расплавленная зона, которую перемещают вдоль слитка.

Страницы: 1 2 3 4 5 6

ЗАЛКА (Zalka) Мате (наст . имя и фам. Бела Франкль; Frankl) (1896-1937), венгерский писатель. Роман "Добердо" (1937) о 1-й мировой войне. Участвовал под именем генерала Лукача в гражданской войне в Испании 1936-39 на стороне республиканцев. Погиб в бою.

ПОДГОРИЦА , (в 1952-92 Титоград), столица Черногории (Союзная Республика Югославия; СРЮ). 96 тыс. жителей (1981). Международный аэропорт. Алюминиевая, металлообрабатывающая, мебельная, текстильная, пищевкусовая промышленность. Академия наук и искусств Черногории. Университет. Как город известна приблизительно с 1330. С кон. 15 в. в составе Османской империи. Решением Берлинского конгресса в 1878 возвращена Черногории. С 1918 в Королевстве сербов, хорватов и словенцев (с 1929 Югославия). Остатки турецкой крепости 15 в. Дома 17-19 вв., современные жилые кварталы, общественные здания.

ГИКСОСЫ , кочевые азиатские племена, ок 1700 до н. э. захватившие Египет. Поселившись в Дельте, гиксосы основали свою столицу Аварис. В нач. 16 в. до н. э. господство гиксосов было ликвидировано египтянами.