Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Страница 2

Введение.

Каждое вещество может находится в состоянии которое характеризуется содержанием примеси в нем ниже некоторого определенного предела. Предел определяется различными условиями связанными со свойствами, областью применения веществ. Для полупроводниковых материалов достижения собственных свойств или близких к ним является тем необходимым пределом до которого материалы должны очищаться. При обосновании необходимой очистки нужно руководствоваться и экономической целесообразности очистки.

Для очистки полупроводниковых материалов в технологии микроэлектронных устройств используется метод зонной плавки (перекристаллизация). В некоторых случаях в технологии полупроводниковых материалов выращивают монокристаллы методом зонной плавки. Достоинством метода является совмещение процесса глубокой очистки полупроводника с последующим выращиванием его монокристалла. В технологии разлагающихся полупроводниковых соединений применение этого метода позволяет совмещать в одном технологическом цикле сразу три операции: синтез, очистку синтезированного соединения и выращивание его монокристалла.

Для введения в полупроводник примеси используется процесс диффузии. Для изготовления p-n переходов используется химическая диффузия примесных (растворимых) атомов, которые вводятся в кристаллическую решетку для изменения ее электрофизических свойств. Кроме того диффузия используется для перераспределения примеси в полупроводнике.

1.Расчетная часть.

1.1 Описание процесса зонной плавки и ее математическая модель.

Очистку полупроводниковых материалов методом зонной плавки предложил в 1952 году Пфанн. В связи с различной растворимостью примесей в твердой и жидкой фазах зонная плавка является одним из наиболее эффективных и производительных методов глубокой очистки монокристаллов. При его реализации перед началом кристаллизации расплавляется не вся твердая фаза кристалла (рис.1 ), а только узкая расплавленная зона, которую перемещают вдоль слитка.

Страницы: 1 2 3 4 5 6

КАРЛФЕЛЬДТ (Karlfeldt) Эрик Аксель (1864-1931) , шведский поэт. Фольклорная сочность и этнографическая конкретность в неоромантических стихах о шведском крестьянине: сборники "Песни о пустоши и любви" (1895), "Песни Фридолина" (1898), "Сад Фридолина" (1901). Литературоведческие сочинения. Нобелевская премия (1931).

ЦЕНЗУРА (лат . censura), система государственного надзора за печатью и средствами массовой информации. В Западной Европе возникла в 15 в., в России - в нач. 18 в. По формам контроля подразделялась на предварительную и карательную. С 1804 регулировалась цензурными уставами и временными правилами. Делилась на общую (внутреннюю и иностранную) и ведомственную (духовная, военная, театральная и др.). В 1865 на основе "Временных правил о печати" проведена цензурная реформа, по которой вводилась карательная цензура вместо предварительной для ряда столичных изданий (в 1872 была урезана в связи с возобновлением преследования печати в административном порядке). В СССР с 1922 цензура осуществлялась Главлитом. По Российскому закону "О средствах массовой информации" (1992) цензура массовой информации не допускается.

СУДЕЙКИН Георгий Порфирьевич (1850-83) , жандармский подполковник (1882), с 1882 инспектор секретной полиции в Петербурге. Организатор политических провокаций, т. н. дегаевщины. Убит народовольцами.